JPS643054Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 この考案は、グロースリークチエツク機のイナ
ートリキツド回収装置に関するものである。

第１図は従来のグロースリークチエツク機を示
す。図において、１はグロースリークチエツク
機、２はイナートリキツド、例えばフロリナート
液３を貯蔵する液貯蔵槽、４は槽２内のイナート
リキツド３を加熱するためのヒータ、５は槽２の
上部内壁に設置され、イナートリキツド３の蒸発
気体３ａを冷却液化するための冷却パイプ、６は
半導体部品７を収容するチユーブ、８はチユーブ
６を載置するチユーブ載置台、９は半導体部品７
を槽２内のイナートリキツド３に浸漬するための
シユート、１０はチユーブ６とシユート９との間
で半導体部品７を搬送する搬送具である。

次に動作について説明する。チユーブ載置台８
上のチユーブ６内の半導体部品７は搬送具１０に
よつてチユーブ６からシユート９に送られ、この
シユート９は槽２内のイナートリキツド３の中に
下降して半導体部品７をイナートリキツド３内に
浸漬する。そして30秒間のチエツク後、シユート
９は上昇し、このシユート９内の半導体部品７は
搬送具１０によつて元の位置のチユーブ６内に送
られ、このようにして１回のサイクルが完了す
る。

その際、槽２内のイナートリキツド３はヒータ
４によつて加熱され、140℃の高温になるため、
どうしても蒸発する。この蒸発気体３ａの一部
は、槽２上部に設置してある冷却パイプ５によつ
て冷却され、液化されるが、蒸発気体３ａの大部
分は空気中に混入して消えて行つてしまうことと
なり、必然的にイナートリキツド３の消費量が増
大する。

従来のグロースリークチエツク機は以上のよう
に構成されており、イナートリキツド３の回収を
冷却パイプ５のみによつて行なつていたので、回
収量が少なく、空気中に出て行くイナートリキツ
ド３の蒸発気体３ａの量が多くなつてコスト高に
なるという欠点があつた。例えばグロースリーク
チエツク機１台の液消費量は８時間当り1200〜
1300c.c.にも達し、１日当り３万円以上の液が消費
される。

この考案は以上のような従来のものの欠点を除
去するためになされたもので、グロースリークチ
エツク機の液貯蔵槽の上部空間と液化装置との間
でイナートリキツドの蒸発気体を循環させ、この
液化装置を利用して蒸発気体を液化回収するよう
にすることにより、高価なイナートリキツドの消
費量を低減して低コスト化を図つたグロースリー
クチエツク機のイナートリキツド回収装置を提供
することを目的としている。

以下本考案の一実施例を図について説明する。

第２図は本考案の一実施例によるグロースリー
クチエツク機のイナートリキツド回収装置を示
す。図において、第１図と同一符号は同図と同一
のものを示し、１１は液貯蔵槽２上にその上面開
口及びシユート９を覆つて設置されたカバー、１
２はカバー１１の密閉度を向上させるための目張
り、１３および１４はそれぞれイナートリキツド
３の蒸発気体３ａを収容する容器２５と、この容
器２５に収容された蒸発気体３ａを冷却液化する
冷却器１５と冷却器１５が吸熱した熱を放出する
放熱器１６とからなる１次回収用および２次回収
用の液化装置で、両液化化装置１３，１４の蒸放
熱器１６はともに容器２５外部のＢの位置に配設
されている。また１７は液化装置１３，１４内に
設けられた回収液貯蔵用の容器、１８は上記放熱
器１６を冷却するフアン、１９，２０，２１はカ
バー１１と１次回収用液化装置１３間、液化装置
１３，１４間及び２次回収用液化装置１４とカバ
ー１１間にそれぞれ設けられたダクトであり、上
記カバー１１とダクト１９〜２１とは槽２の上部
空間と液化装置１３，１４との間で蒸発気体３ａ
を循環させるための循環系路２２を構成してい
る。

このように、本実施例では、蒸発気体の大部分
が空気中に消失してしまうという上述の問題点を
解消するため、以下の点をその構成の要点として
いる。

(i) 槽２上にカバー１１を設置し、さらに蒸発気
体３ａがカバー１１外に出ないよう目張り１２
を設けている。

(ii) 液化装置１３，１４を２台使用して、蒸発気
体３ａの１次回収及び２次回収を行なうように
している。

(iii) 蒸発気体３ａの回収をより一層図るため、液
化装置１３，１４内の放熱器１６を外部に配設
し、これをフアン１８によつて冷却するように
している。これは液化装置１３，１４は吸入口
の気体温度が１℃〜40℃のときのみに限つてそ
の液化能力を発揮するものであり、放熱器１６
を外部に出すことによつて１次排気は冷気とな
り、２次回収の回収液量が増大するからであ
る。

次に動作について説明する。

槽２内においてイナートリキツド３が140℃に
加熱されて蒸発すると、この蒸発気体３ａはダク
ト１９を介して１次回収用の液化装置１３に強制
的に吸い込まれ、その冷却器１５によつて冷却液
化される。この１次回収で完全に液化されない蒸
発気体は１次排気としてダクト２０を通り、２次
回収側の液化装置１４に導入され、そこで２次回
収される。それでも多少残つている蒸発気体は２
次排気としてダクト２１を介して元のカバー１１
内に送られる。このようにイナートリキツド３の
蒸発気体は空気中に出ることはなく、図中矢印Ｃ
で示すように、カバー１１内から１次回収用及び
２次回収用の液化装置１３，１４を経て元のカバ
ー１１内に循環する仕組みになつている。

また液化装置１３，１４においては、イナート
リキツド３の蒸発気体は空気中の水分と混合され
た状態で回収され、その混合液２３は液化装置１
３，１４の回収容器１７内に落ち、比重差（イナ
ートリキツド：1.8、水：１）により水２４とイ
ナートリキツド３とに分離される。

以上のような本実施例の装置では、イナートリ
キツドの蒸発気体を槽の上部空間と液化装置との
間で循環させて１次回収及び２次回収を行なうよ
うにしたので、グロースリークチエツク工程での
作業中に高価なイナートリキツドが空気中に出て
いくのを防止でき、低コスト化を達成できる。本
装置を使用した結果、イナートリキツドの消費量
は従来の1/3に減少した。

なお上記実施例では液化装置を２台設けたが、
この液化装置は１台であつてもよい。

以上のように、本考案に係るグロースリークチ
エツク機のイナートリキツド回収装置によれば、
液貯蔵槽の上部空間と液化装置との間でイナート
リキツドの蒸発気体を循環させ、この液化装置を
利用して蒸発気体を液化回収するようにしたの
で、高価なイナートリキツドの消費量を低減して
低コスト化を達成できる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図ａ，ｂはそれぞれ従来のグロースリーク
チエツク機の正面図及び側面図、第２図は本考案
の一実施例によるイナートリキツド回収装置を備
えたグロースリークチエツク機の概略構成図であ
る。 １……グロースリークチエツク機、２……液貯
蔵槽、３……イナートリキツド、１３，１４……
液化装置、１５……冷却器、１６……放熱器、１
８……フアン、２２……循環系路、２５……容
器。なお図中、同一符号は同一又は相当部分を示
す。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) グロースリークチエツク機の液貯蔵槽内で蒸
   発したイナートリキツドの蒸発気体を収容する
   容器と、この容器に収容された上記蒸発気体を
   冷却し液化する冷却器と、上記容器の外部に設
   けられ上記容器内の熱を放出する放熱器とを有
   する液化装置、上記液貯蔵槽の上部空間と上記
   液化装置との間で上記蒸発気体を循環させる循
   環系路、上記液化装置の放熱器を冷却するフア
   ンを備えたことを特徴とするグロースリークチ
   エツク機のイナートリキツド回収装置。 (2) 上記液化装置として、一次回収用及び２次回
   収用の２つの液化装置を設けたことを特徴とす
   る実用新案登録請求の範囲第１項記載のグロー
   スリークチエツク機のイナートリキツド回収装
   置。