JPS5945944B2 - ガスレ−トセンサ - Google Patents
ガスレ−トセンサInfo
- Publication number
- JPS5945944B2 JPS5945944B2 JP55039492A JP3949280A JPS5945944B2 JP S5945944 B2 JPS5945944 B2 JP S5945944B2 JP 55039492 A JP55039492 A JP 55039492A JP 3949280 A JP3949280 A JP 3949280A JP S5945944 B2 JPS5945944 B2 JP S5945944B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sensor
- gas rate
- rate sensor
- casing
- temperature
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/58—Turn-sensitive devices without moving masses
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Radar, Positioning & Navigation (AREA)
- Remote Sensing (AREA)
- Gyroscopes (AREA)
- Measuring Volume Flow (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はガスレートセンサに係り、特にセンサ本体を収
納するケーシングの外側にヒータを設けてセンサ本体内
の温度を外気温に影響されずに一定に保つことができる
ようにしたガスレートセンサに関する。
納するケーシングの外側にヒータを設けてセンサ本体内
の温度を外気温に影響されずに一定に保つことができる
ようにしたガスレートセンサに関する。
ガスレートセンサは、密閉したケーシング内でノズルよ
りフローセンサの感温素子に向けてガス流を噴出させて
おき、ガスレートセンサに外部から加わる角速度運動の
影響によつてガス流が偏向したときに生ずるフローセン
サの出力値の変化から角速度(レート)の大きさを検出
するようにしたものである。
りフローセンサの感温素子に向けてガス流を噴出させて
おき、ガスレートセンサに外部から加わる角速度運動の
影響によつてガス流が偏向したときに生ずるフローセン
サの出力値の変化から角速度(レート)の大きさを検出
するようにしたものである。
この種のセンサはガス流の偏向によりフローセンサの放
熱量の変化の微差を感知して角速度を検知するようにし
たものであるから、外気温の変化が外乱として影響し、
検出精度に悪影響を与える。
熱量の変化の微差を感知して角速度を検知するようにし
たものであるから、外気温の変化が外乱として影響し、
検出精度に悪影響を与える。
また、ヒートワイヤー等の感温素子を使つたものは、微
少出力を検出するために高利得の増幅器が不可欠のもの
となるが、この種の増幅器も一般に温度依存性が高いこ
とから何らかの改善が求められていた。本発明はこのよ
うな事情を考慮して発明されたものであつて、センサ本
体内の温度を一定に保持して外気温度の変化による悪影
響を防止できるようにしたガスレートセンサを提供する
ことにある。
少出力を検出するために高利得の増幅器が不可欠のもの
となるが、この種の増幅器も一般に温度依存性が高いこ
とから何らかの改善が求められていた。本発明はこのよ
うな事情を考慮して発明されたものであつて、センサ本
体内の温度を一定に保持して外気温度の変化による悪影
響を防止できるようにしたガスレートセンサを提供する
ことにある。
以下本発明によるガスレートセンサの一実施例を図面を
参照して説明する。第1図において、符号1はケーシン
グを示し、このケーシング1は中空円筒状の胴部2を有
し、この胴部2の一端は端板3によつて閉塞されている
。
参照して説明する。第1図において、符号1はケーシン
グを示し、このケーシング1は中空円筒状の胴部2を有
し、この胴部2の一端は端板3によつて閉塞されている
。
一方、上記胴部2の他端は開放されて開口4となつてお
り、この開口4の周縁にはフランジ5が設けられている
。また、上記胴部2の横断面形状は、円周上を等分した
3個所が内方に向つて突出して隆起条となつており、こ
れらの隣り合つた隆起条の間に軸方向の流路6が形成さ
れている。
り、この開口4の周縁にはフランジ5が設けられている
。また、上記胴部2の横断面形状は、円周上を等分した
3個所が内方に向つて突出して隆起条となつており、こ
れらの隣り合つた隆起条の間に軸方向の流路6が形成さ
れている。
しかして、上記ケーシング1内には、センサ本体7が収
容される。
容される。
このセンサ本体Tは、ホルダ部8と首部9と筒体部10
とから構成され、ホルダ部8内にはポンプ室11が形成
されている。このポンプ室11内にはポンプとしてのピ
エゾプレート12が設けられ、このポンプ室11内で圧
縮されたガスは、吐出口14より排出され、筒体部10
の外周に沿つて流路6内を軸方向に流れる。一方、筒体
部10の先端にはノズル孔15が穿設されており、この
ノズル孔15は内側流路16と連通しており、この内側
流路16の端にはフローセンサ17を構成する感温素子
18a,18bが配設されている。したがつて、前記ポ
ンプ室11から吐出口14を通して筒体部10の外側の
流路6内を流れたガスはノズル孔15より内側流路16
内に導入され、感温素子18a,18bに向つて噴出さ
れる。そして、ガスレートセンサに対して外部から角速
度運動が加わつたとき内側流路16内でガス流が偏向さ
れ、フローセンサ17の出力値を変化させ、この出力値
の微少変化は、増幅装置20を介して増幅されて外部へ
取り出される。しかして、本発明によれば、上記ケーシ
ング1の外側には、シーズヒータ線21がらせん状に巻
装されており、通電したときにケーシング1を加熱でき
るようになつている。
とから構成され、ホルダ部8内にはポンプ室11が形成
されている。このポンプ室11内にはポンプとしてのピ
エゾプレート12が設けられ、このポンプ室11内で圧
縮されたガスは、吐出口14より排出され、筒体部10
の外周に沿つて流路6内を軸方向に流れる。一方、筒体
部10の先端にはノズル孔15が穿設されており、この
ノズル孔15は内側流路16と連通しており、この内側
流路16の端にはフローセンサ17を構成する感温素子
18a,18bが配設されている。したがつて、前記ポ
ンプ室11から吐出口14を通して筒体部10の外側の
流路6内を流れたガスはノズル孔15より内側流路16
内に導入され、感温素子18a,18bに向つて噴出さ
れる。そして、ガスレートセンサに対して外部から角速
度運動が加わつたとき内側流路16内でガス流が偏向さ
れ、フローセンサ17の出力値を変化させ、この出力値
の微少変化は、増幅装置20を介して増幅されて外部へ
取り出される。しかして、本発明によれば、上記ケーシ
ング1の外側には、シーズヒータ線21がらせん状に巻
装されており、通電したときにケーシング1を加熱でき
るようになつている。
このシーズヒータ線21によつてケーシング1内の温度
を調節することができ、好ましくはケーシング1の内側
に温度検出センサ22を設けておいて温度を検出しなが
ら0N−OFFをくり返すことによりケーシング1内の
温度を所定の温度に一定に制御するのが良い。また、本
発明によれば、ケーシング1の外側に円筒状の支持筒2
3が設けられ、その外側にさらに断熱材料で構成された
ハウジング25が設けられている。
を調節することができ、好ましくはケーシング1の内側
に温度検出センサ22を設けておいて温度を検出しなが
ら0N−OFFをくり返すことによりケーシング1内の
温度を所定の温度に一定に制御するのが良い。また、本
発明によれば、ケーシング1の外側に円筒状の支持筒2
3が設けられ、その外側にさらに断熱材料で構成された
ハウジング25が設けられている。
そして、上記支持筒23とハウジング25との間には第
2のシーズヒータ線26が配設されている。
2のシーズヒータ線26が配設されている。
このシーズヒータ線26についても、例えば支持筒23
の内側に取付けた温度検出センサ27によつて0N−O
FF制御を行ないハウジング25内の室温を一定に保持
することが望ましい。しかして、シーズヒータ線21V
Cよるケーシング1内の室温T。とシーズヒータ線26
によるハウジング25内の室温THとはそれぞれ任意の
設定値に保持することができるが、本発明の好ましい実
施例によれば、TO>THの関係となるように温度勾配
をつけておくとハウジング25の外の外気温度の変化に
対して緩衝効果を発生させることができ好都合である。
以上述べたように、本発明によれば、センサ本体を収容
したケーシングの外側にヒータ線を巻装してケーシング
内の温度を一定に保持できるようにしたから、外気温の
変化によつてフローセンサの出力値が外乱を受けること
がなく高い検出性能を維持することができる。
の内側に取付けた温度検出センサ27によつて0N−O
FF制御を行ないハウジング25内の室温を一定に保持
することが望ましい。しかして、シーズヒータ線21V
Cよるケーシング1内の室温T。とシーズヒータ線26
によるハウジング25内の室温THとはそれぞれ任意の
設定値に保持することができるが、本発明の好ましい実
施例によれば、TO>THの関係となるように温度勾配
をつけておくとハウジング25の外の外気温度の変化に
対して緩衝効果を発生させることができ好都合である。
以上述べたように、本発明によれば、センサ本体を収容
したケーシングの外側にヒータ線を巻装してケーシング
内の温度を一定に保持できるようにしたから、外気温の
変化によつてフローセンサの出力値が外乱を受けること
がなく高い検出性能を維持することができる。
図は本発明によるガスレートセンサの一実施例を示した
縦断面図である。 1・・・ケーシング、2・・・センサ本体、11・・・
ポンプ室、12・・・ピエゾプレート、14・・・吐出
口、15・・・ノズル孔、17・・・フローセンサ、1
8a,18b・・・感温素子、21・・・シーズヒータ
線、22・・・温度検出センサ、25・・・ハウジング
、26・・・シーズヒータ線、27・・・温度検出セン
サ。
縦断面図である。 1・・・ケーシング、2・・・センサ本体、11・・・
ポンプ室、12・・・ピエゾプレート、14・・・吐出
口、15・・・ノズル孔、17・・・フローセンサ、1
8a,18b・・・感温素子、21・・・シーズヒータ
線、22・・・温度検出センサ、25・・・ハウジング
、26・・・シーズヒータ線、27・・・温度検出セン
サ。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 ケーシング内に収容されたセンサ本体のノズル孔か
らフローセンサに向けて噴出されたガス流に対して角速
度が作用したときに生ずるガス流の偏向にもとづくフロ
ーセンサの出力差から角速度を検出するようにしたガス
レートセンサにおいて、上記ケーシングの外側にヒータ
線を巻装しておき、このヒータ線をケーシング内の温度
検出センサによつて制御し、ケーシングの内側の温度を
一定に保持するようにしたことを特徴とするガスレート
センサ。 2 特許請求の範囲第1項記載のガスレートセンサにお
いて、前記センサ本体を内部に組込んだケーシングを断
熱材料で密閉されたハウジング内に配置したことを特徴
とするガスレートセンサ。 3 特許請求の範囲第2項に記載のガスレートセンサに
おいて、上記ハウジングの外側には、ヒータ線が配設さ
れていることを特徴とするガスレートセンサ。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP55039492A JPS5945944B2 (ja) | 1980-03-27 | 1980-03-27 | ガスレ−トセンサ |
| US06/230,039 US4408490A (en) | 1980-03-27 | 1981-01-30 | Angular velocity sensor |
| FR8106210A FR2479473B1 (fr) | 1980-03-27 | 1981-03-27 | Detecteur de vitesse angulaire |
| GB08109757A GB2105494B (en) | 1980-03-27 | 1981-03-27 | Angular velocity sensor |
| DE19813112259 DE3112259A1 (de) | 1980-03-27 | 1981-03-27 | Winkelgeschwindigkeitsmesseinrichtung |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP55039492A JPS5945944B2 (ja) | 1980-03-27 | 1980-03-27 | ガスレ−トセンサ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS56137158A JPS56137158A (en) | 1981-10-26 |
| JPS5945944B2 true JPS5945944B2 (ja) | 1984-11-09 |
Family
ID=12554543
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP55039492A Expired JPS5945944B2 (ja) | 1980-03-27 | 1980-03-27 | ガスレ−トセンサ |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4408490A (ja) |
| JP (1) | JPS5945944B2 (ja) |
| DE (1) | DE3112259A1 (ja) |
| FR (1) | FR2479473B1 (ja) |
| GB (1) | GB2105494B (ja) |
Families Citing this family (21)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5746112A (en) * | 1980-09-04 | 1982-03-16 | Honda Motor Co Ltd | Running cource indicator |
| US4470124A (en) * | 1981-06-01 | 1984-09-04 | Honda Giken Kogyo Kabushiki Kaisha | Method of adjusting the zero-point of rate type sensor |
| JPS57200812A (en) * | 1981-06-05 | 1982-12-09 | Honda Motor Co Ltd | Running path displaying device |
| JPS5837566A (ja) * | 1981-08-24 | 1983-03-04 | Honda Motor Co Ltd | ガスレ−トセンサ |
| JPS6040961A (ja) * | 1983-08-16 | 1985-03-04 | Tamagawa Seiki Kk | ガスレートセンサの温度制御方法 |
| JPS60144664A (ja) * | 1984-01-09 | 1985-07-31 | Tamagawa Seiki Kk | ガスレ−トセンサ |
| US4584878A (en) * | 1984-09-24 | 1986-04-29 | Tamagawa Seigi Kabushiki Kaisha | Gas-rate sensor |
| JPS6348509A (ja) * | 1986-08-18 | 1988-03-01 | Komatsu Ltd | レ−ザスキヤナ装置 |
| US4930349A (en) * | 1987-05-29 | 1990-06-05 | Honda Giken Kogyo Kabushiki Kaisha & Stanley Electric Co. | Gas rate sensor |
| JPH0614063B2 (ja) * | 1988-01-13 | 1994-02-23 | 本田技研工業株式会社 | ガスレートセンサ |
| JPH01180458A (ja) * | 1988-01-13 | 1989-07-18 | Honda Motor Co Ltd | ガスレートセンサ |
| US5385046A (en) * | 1992-04-10 | 1995-01-31 | Honda Giken Kogyo Kabushiki Kaisha | Gas flow type angular velocity sensor |
| DE69510569T2 (de) * | 1994-01-20 | 1999-10-28 | Honda Giken Kogyo K.K., Tokio/Tokyo | Beschleunigungsmessaufnehmer |
| JP3244208B2 (ja) * | 1994-02-07 | 2002-01-07 | 本田技研工業株式会社 | ガスレート検出器 |
| JP3312227B2 (ja) * | 1994-02-23 | 2002-08-05 | 本田技研工業株式会社 | ガス式角速度センサ |
| US5786744A (en) * | 1994-03-24 | 1998-07-28 | Honda Giken Kogyo Kabushiki Kaisha | Hybrid sensor |
| JP3281169B2 (ja) * | 1994-03-24 | 2002-05-13 | 本田技研工業株式会社 | 多軸型ガスレートセンサ |
| DE102005016449A1 (de) * | 2005-04-11 | 2006-10-12 | Robert Bosch Gmbh | Beheizter Heißfilmluftmassenmesser |
| CN100453972C (zh) * | 2007-06-01 | 2009-01-21 | 北京沃尔康科技有限责任公司 | 气体摆式惯性传感器 |
| US7942031B2 (en) * | 2008-03-13 | 2011-05-17 | Rocky Research | Sensor mount assembly |
| US20230061188A1 (en) * | 2021-08-30 | 2023-03-02 | Apple Inc. | Enhanced mems sensor embedded heater |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2303845A (en) * | 1937-11-15 | 1942-12-01 | Krasnow Shelley | Apparatus for the measurement of gravity |
| US2840366A (en) * | 1952-11-25 | 1958-06-24 | Sperry Rand Corp | Accelerometers |
| US2855495A (en) * | 1954-09-20 | 1958-10-07 | Statham Instrument Inc | Temperature control device |
| DE1255148B (de) * | 1959-09-08 | 1967-11-30 | Amphenol Corp | Temperatursteuervorrichtung fuer einen Konstantfrequenzgenerator |
| US3173297A (en) * | 1961-10-18 | 1965-03-16 | Lloyd G D Thompson | Pendulum apparatus for relative gravity determinations |
| US3635095A (en) * | 1969-06-05 | 1972-01-18 | Hercules Inc | Gravity-compensating means for fluid jet deflection-type instrument |
| US4020699A (en) * | 1976-02-05 | 1977-05-03 | United Technologies Corporation | Temperature stabilized fluidic angular rate sensor |
| US4020700A (en) * | 1976-02-25 | 1977-05-03 | United Technologies Corporation | Unitary fluidic angular rate sensor |
-
1980
- 1980-03-27 JP JP55039492A patent/JPS5945944B2/ja not_active Expired
-
1981
- 1981-01-30 US US06/230,039 patent/US4408490A/en not_active Expired - Lifetime
- 1981-03-27 FR FR8106210A patent/FR2479473B1/fr not_active Expired
- 1981-03-27 GB GB08109757A patent/GB2105494B/en not_active Expired
- 1981-03-27 DE DE19813112259 patent/DE3112259A1/de active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS56137158A (en) | 1981-10-26 |
| FR2479473B1 (fr) | 1985-07-12 |
| US4408490A (en) | 1983-10-11 |
| GB2105494B (en) | 1984-06-06 |
| FR2479473A1 (fr) | 1981-10-02 |
| DE3112259A1 (de) | 1982-04-22 |
| GB2105494A (en) | 1983-03-23 |
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