JPS5948354B2 - 電離箱型ｘ線検出器及びその製造方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、Ｘ線検出器、特にコンピユータ化されたＸ線
断層写真装置に用いて好適な電離箱型Ｘ線検出器及びそ
の製造方法に関する。

従来、この種の装置の検出器として、Ｘ線光子の空間分
布を測定する電離箱型検出器が用いられている。

この検出器の概略構成は、第１図Ａに示すごとく複数個
の平面状アノード電極２と平面状カソード電極３とを交
互に、はぼ平行な間隔を保って電極保持板（例えば絶縁
物）１に配置し、これらの電極を約１０〜５０気圧の範
囲の圧力にある電子量の高い気体（例えばキセノンガス
）中に封入して使用される。

なお、Ｘ線は、第１図Ａの矢印の方向から入射される。

第１図Ｂは、第１図Ａに示す電離箱型Ｘ線検出器の電極
部の概略を示した図である。

図において絶縁物に所定の間隔に溝５を設けた２枚の電
極保持板１を上下に一定間隔に配置し、−上記溝５の中
にアノード電極２とカソード電極３とを交互に挿入して
、溝の内部で接着材４により固定する。

かかる検出器において、検出素子の高密度化を実現しよ
うとする場合においては、電極間隔ｄを小さくしなけれ
ばならなくなり、当然のことながら絶縁物の沿面距離が
短縮される。

したがって、この状態でアノード電極２とカソード電極
３との間の絶縁抵抗を高い値に維持することは困難とな
り、アノード電極２からの暗電流が絶縁物表面を沿って
、カソード電極３へ流れこむために信号電流を安定して
カソード電極３から検出することは困難である。

かかる点に鑑み本発明は、アノード電極からカソード電
極へ流れ込む暗電流を除去することを可能にするＸ線検
出器構造及びその製造方法を提供することを目的とする
。

以下、本発明に係る検出器を図面により説明する。

第２図は、第１図に示すような構造の電離箱型検出器に
おいて、その電極部の構成を固定方法と共に本発明の実
施例として示したものである。

電極保持板１に使用する材料は熱可塑性樹脂を使用する
。

例えばポリテトラフルオロエチレン樹脂、フッ化ビニリ
デン樹脂、３７フ化塩化エチレン樹脂、４７フ化エチレ
ン−６フン化プロピレン共重合樹脂等の材料とする。

これらの材料はいずれも電気的絶縁性にすぐれた特性を
もち、体積固有抵抗として、１０１７〜１０１１０１８
０ｈが得られるために、この種の装置の電極保持板とし
て使用した場合、第２図Ｂに示すように電極２，３間を
電気絶縁するのに有効である。

電極保持板１には第２図Ａに示すように所定の間隙に溝
加工を行うのであるが、この溝加工はカッターで行うの
もよいが、上述の樹脂材料は溶融時の流れ性がよい特徴
があるので、型による成形加工を行っても容易に作成す
ることができる。

所定の寸法に溝加工を完了した電極保持板１を対向して
配置し、この溝の中に電極２，３を交互に挿入したのち
、加熱炉により所定の温度（樹脂の軟化温度近傍）まで
加熱すると、電極２，３と電極保持板１との接触部分■
は強固に融着することとなる。

第２図に示すＸ線検出器において電極２，３との間隙が
比較的大きく、電極２，３を支持する電極保持板の沿面
距離を長く取ることによって暗電流の除去は可能である
が、検出器の高密度化を実現しようとする場合には、必
然的に各電極間隙を小さくしなければならなくなる。

このような場合、電極保持板の沿面距離を長くとること
が不可能となるために、電極保持板の沿面を伝ってアノ
ード電極２からカソード電極３に流れこむ暗電流が増大
し検出器が安定に動作しなくなる場合がある。

このような場合においては、第３図Ａに示すように電極
の１部分（電極が溝部に挿入される部分のみ）のみ、各
電極の片面に４７フ化樹脂系でできている剥離材４を塗
付し７たものを電極保持板１に挿入したのち熱処理を行
うと、第３図Ｂに示すように剥離材４を塗付してない部
分［Ｆ］の電極は、電極保持板１と直接接触するために
電極保持板１と接着することが可能となるが剥離材４を
塗付しである面は電極保持板１とは接着されない、しか
も接着部分をよく観察してみると、剥離材４を塗付しで
ある側は電極保持板１と電極２，３との間に一様にｄ（
ｄ＝１０〜２０μｍ）なる間隙の生ずるこさが生じる。

この原因は、熱処理により、電極保持板に使用した熱可
塑性樹脂が、熱処理を行うことによりわずかながら収縮
した結果にもとづくものであるが、このような収縮作用
も一様に生ずるものであれば、電極組立精度にはなんら
影響をおよぼすものではない。

上述のごとく、電極の片面に間隙が生ずることはアノー
ド電極２とカソード電極３との沿面距離を長くすること
に役立つ結果、アノード電極２からカソード電極３に流
れこむ暗電流を皆無にすることが可能となり、電気的に
安定した検出器を実現することが可能となる。

以上説明した如く本発明によれば、電極間隔を小さくし
ても、出力信号を安定して検出できるため、Ｘ線検出器
の電極の高密度化を実現できる。

【図面の簡単な説明】

第１図Ａ及びＢは、従来のＸ線検出器の構成を説明する
ための図、第２図Ａ及びＢは、本発明の一実施例の要部
の構成を示す図、第３図Ａ及びＢは、本発明の他の実施
例の要部の構成を示す図である。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 所定気体媒体中に、複数個の平面状アノード電極と
   複数個の平面状カソード電極とがほぼ平行に配置された
   電離箱Ｘ線検出器において、上記電極を支持する電極保
   持板が、熱可塑性樹脂からなり、かつ上記熱可塑性樹脂
   に所定の間隔で複数の溝が設けられると共に、上記電極
   が上記溝中に挿入され、上記電極の一側面が上記溝の側
   面に接着されかつ他の側面が上記樹脂とはく離する樹脂
   を有することを特徴とする電離箱型Ｘ線検出器。 ２ 所定の熱可塑性樹脂に溝を所定の間隔に形成する工
   程と、上記溝に、電極板とこの電極板の側面に上記熱可
   塑性樹脂とはく離するはく離材とをさし込む工程と、上
   記溝の一側面に上記電極板の他の側面を溶接させる所定
   温度の熱処理工程とからなり、上記電極板に接着された
   上記はく離削と上記溝の他の側面との間に一様なすき間
   を有する構造を特徴とする電離箱型Ｘ線検出器の製造方
   法。