JPS594851U - 電子ビ−ム描画装置のステ−ジ駆動用減速機構 - Google Patents
電子ビ−ム描画装置のステ−ジ駆動用減速機構Info
- Publication number
- JPS594851U JPS594851U JP10074782U JP10074782U JPS594851U JP S594851 U JPS594851 U JP S594851U JP 10074782 U JP10074782 U JP 10074782U JP 10074782 U JP10074782 U JP 10074782U JP S594851 U JPS594851 U JP S594851U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron beam
- beam lithography
- reduction mechanism
- stage drive
- stage
- Prior art date
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
図は本考案の一実施例における断面図である。
１・・・入力軸、４．６・・・歯車、５・・・出力軸、
８・・・プーリ、９・・・ベルト。
８・・・プーリ、９・・・ベルト。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 、（１） 電動機へ接続された入力軸と、被駆動体へ
接続された出力軸と、前記両軸へ固着され互に噛み合う
一対の歯車と、前記歯車の減速比に対し同−或いは小さ
い減速化の摩擦伝達機構とを前記両軸へ設けた電子ビー
ム描画装置のステージ駆動用減速機構。 （２） 摩擦伝達機構としてベルトを使用したことを
特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項記載の電子ビ
ーム描画装置のステージ駆動用減速機構。 − （３） 摩擦伝達機構として摩擦車を使用したことを
特徴とする実用新案登録請求の範囲第１項記載の電子ビ
ーム描画装置のステージ駆動用減速機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10074782U JPS594851U (ja) | 1982-07-02 | 1982-07-02 | 電子ビ−ム描画装置のステ−ジ駆動用減速機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10074782U JPS594851U (ja) | 1982-07-02 | 1982-07-02 | 電子ビ−ム描画装置のステ−ジ駆動用減速機構 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS594851U true JPS594851U (ja) | 1984-01-12 |
Family
ID=30238198
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10074782U Pending JPS594851U (ja) | 1982-07-02 | 1982-07-02 | 電子ビ−ム描画装置のステ−ジ駆動用減速機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS594851U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61104038U (ja) * | 1984-12-11 | 1986-07-02 |
-
1982
- 1982-07-02 JP JP10074782U patent/JPS594851U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61104038U (ja) * | 1984-12-11 | 1986-07-02 |
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