JPS5949532B2 - ガス濃度分析装置 - Google Patents
ガス濃度分析装置Info
- Publication number
- JPS5949532B2 JPS5949532B2 JP52014472A JP1447277A JPS5949532B2 JP S5949532 B2 JPS5949532 B2 JP S5949532B2 JP 52014472 A JP52014472 A JP 52014472A JP 1447277 A JP1447277 A JP 1447277A JP S5949532 B2 JPS5949532 B2 JP S5949532B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flow path
- detector
- gas
- sample gas
- gas flow
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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Landscapes
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
- Sampling And Sample Adjustment (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By The Use Of Chemical Reactions (AREA)
- Automatic Analysis And Handling Materials Therefor (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はガス濃度分析装置に関し、比較的簡単な構造で
、一個の検出器で広範囲の濃度にわたる精度のよい分析
を行なえるものを提供することを目的としている。
、一個の検出器で広範囲の濃度にわたる精度のよい分析
を行なえるものを提供することを目的としている。
ガス濃度の分析方法としては、ガスクロマトグラフ法、
赤外線分析法、化学発光法、水素炎イオン化法、炎光光
度法等があり、測定時間の短縮化及び応答性能の向上を
はかるため、たとえばＮＤＩＲ、ＧＬＤ、ＦＩＤ、ＦＰ
Ｄ等の専用検出器が用いられている。
赤外線分析法、化学発光法、水素炎イオン化法、炎光光
度法等があり、測定時間の短縮化及び応答性能の向上を
はかるため、たとえばＮＤＩＲ、ＧＬＤ、ＦＩＤ、ＦＰ
Ｄ等の専用検出器が用いられている。
しかし、これらの検出器はいずれも共通した欠点をもつ
ている。それは各検出器は、それぞれ分析感度がもつと
もすぐれている一定の測定濃度範囲を有しており、一個
の検出器では、ある限られた測定濃度範囲内でしか正確
な測定ができず、広範囲のガス濃度の分析ができないこ
とである。この測定濃度範囲を少しでも広げるために、
２つのセルをシリーズにしてみたり、電気的に増巾率を
変化させる方法などが採用されている。しかし、これら
の方法では低い濃度から順次高い濃度を測定する場合は
問題は少ないが、高濃度のガスが一度サンプリングライ
ンを流れ、次に低い濃度のガスを測定する場合、（特に
吸着性の強いガスの場合）テーリングを解消するため相
当長時間ゼロガスでパージする必要がある。又、パージ
時間を短かくするために、大流量のゼロガスを導入する
ことも考えられるが、検出部分に大流量のゼロガスを導
入すれば、検出器の動作状態が変化し、（例えば、温度
が低下したり、内部に圧力変化が生じる等）測定条件を
その都度調整する必要がある。又、特に電気的に増巾率
を変化させる場合は、いずれの方法においても、検出器
出力とガス濃度との関係が直線関係にないことから、各
レンジの検量線が必要となり、煩瑣である。本発明は、
このような従来欠点をできるだけ簡単な構造で解消した
ものである。
ている。それは各検出器は、それぞれ分析感度がもつと
もすぐれている一定の測定濃度範囲を有しており、一個
の検出器では、ある限られた測定濃度範囲内でしか正確
な測定ができず、広範囲のガス濃度の分析ができないこ
とである。この測定濃度範囲を少しでも広げるために、
２つのセルをシリーズにしてみたり、電気的に増巾率を
変化させる方法などが採用されている。しかし、これら
の方法では低い濃度から順次高い濃度を測定する場合は
問題は少ないが、高濃度のガスが一度サンプリングライ
ンを流れ、次に低い濃度のガスを測定する場合、（特に
吸着性の強いガスの場合）テーリングを解消するため相
当長時間ゼロガスでパージする必要がある。又、パージ
時間を短かくするために、大流量のゼロガスを導入する
ことも考えられるが、検出部分に大流量のゼロガスを導
入すれば、検出器の動作状態が変化し、（例えば、温度
が低下したり、内部に圧力変化が生じる等）測定条件を
その都度調整する必要がある。又、特に電気的に増巾率
を変化させる場合は、いずれの方法においても、検出器
出力とガス濃度との関係が直線関係にないことから、各
レンジの検量線が必要となり、煩瑣である。本発明は、
このような従来欠点をできるだけ簡単な構造で解消した
ものである。
以下、本発明の一実施例を図面について説明する。
図において、１は導入口２から導入されたサンプルガス
が流れるサンプルガス流路であつて、検出器（たとえば
、ＦＩＤ）３に接続されている。
が流れるサンプルガス流路であつて、検出器（たとえば
、ＦＩＤ）３に接続されている。
４，５，６，７，８は前記サンプルガス流路１中に夫々
上流側からこの順番に設けられたフイルタ、クーラ一、
加圧ポンプ、定差圧レギユレータ、固定流体抵抗素子と
しての毛細管であつて、サンプルガス中のダストはフイ
ルタ４で除去され、分析を妨害するミストや水分はクー
ラ−５で除去される。
上流側からこの順番に設けられたフイルタ、クーラ一、
加圧ポンプ、定差圧レギユレータ、固定流体抵抗素子と
しての毛細管であつて、サンプルガス中のダストはフイ
ルタ４で除去され、分析を妨害するミストや水分はクー
ラ−５で除去される。
ポンプ６はサンプルガスを導入するため設けられたもの
であり、この実施例のような加圧ポンプに限らず、検出
器３の下流側に吸入ポンプを設けてもよい。定差圧レギ
ユレータ７は所定の長さ及び内径を有する毛細管８の入
口側と出口側との差圧を一定に保つことにより該毛細管
８に常に定流量Ｑ，のガスが流れるようにするものであ
り、前記定流量Ｑ，が検出器３における最適流量と一致
するように毛細管８（の長さ及び内径）ならびにその両
端差圧を選定してある。次に、９は希釈ガス（たとえば
Ｎ２ガス等の分析計に妨害を与えないガス）を流す希釈
ガス流路であつて、この希釈ガス流路９の端部は複数の
分岐流路１０１，２．．．．．１のうち所望するいずれ
かに択一的に選択することのできる切換部１１を介して
、前記毛細管８より上流側で後述するバイパス１５の接
続箇所より下流側のサンプルガス流路１に接続できるよ
うにしてあり、各分岐流路１０１，２．．．．．．ｎ中
にはそれぞれ長さ及び／又は内径の異なる固定流体抵抗
素子としての毛細管１２１，２．．．．．．ｎが設けら
れている。
であり、この実施例のような加圧ポンプに限らず、検出
器３の下流側に吸入ポンプを設けてもよい。定差圧レギ
ユレータ７は所定の長さ及び内径を有する毛細管８の入
口側と出口側との差圧を一定に保つことにより該毛細管
８に常に定流量Ｑ，のガスが流れるようにするものであ
り、前記定流量Ｑ，が検出器３における最適流量と一致
するように毛細管８（の長さ及び内径）ならびにその両
端差圧を選定してある。次に、９は希釈ガス（たとえば
Ｎ２ガス等の分析計に妨害を与えないガス）を流す希釈
ガス流路であつて、この希釈ガス流路９の端部は複数の
分岐流路１０１，２．．．．．１のうち所望するいずれ
かに択一的に選択することのできる切換部１１を介して
、前記毛細管８より上流側で後述するバイパス１５の接
続箇所より下流側のサンプルガス流路１に接続できるよ
うにしてあり、各分岐流路１０１，２．．．．．．ｎ中
にはそれぞれ長さ及び／又は内径の異なる固定流体抵抗
素子としての毛細管１２１，２．．．．．．ｎが設けら
れている。
切換部１１は、たとえば図外切換コツク等を操作するこ
とによつて前記分岐流路１０，，２．．．．．．ｎのう
ち、所望するいずれかの流路に希釈ガスが流れるように
したものである。（尚、図では希釈ガスが分岐流路１０
，を流れる場合を示している。）１３は希釈ガス流路９
中に設けられた可変レギユレータ、１４は毛細管（１２
１，２．．．．．．ｎのうちいずれか）を有する分岐流
路（１０１，２．．．．．．ｎのうちのいずれか）の入
口側と出口側の差圧を示すメータであり、このメータ１
４の指示をみながら可変レギユレータ１３を操作するこ
とにより毛細管（１２１，２．．．．．．ｎのうちいず
れか）に所望定流量を流すことができる。（尚、周知の
ように、これら毛細管１２１，２．．．．．．。に夫々
流れる希釈ガスの量は、各毛細管１２１，２．．．．．
．ｎの長さ、内径及び両端差圧などにより定まる。）次
に、１５は定差圧レギユレータ７より上流側のサンプル
ガス流路１から分岐されたバイパスであつて、検出器３
へと送られるサンプルガス以外の余剰のサンプルガスは
このバイパス１５を通つて排出口１６から排出される。
とによつて前記分岐流路１０，，２．．．．．．ｎのう
ち、所望するいずれかの流路に希釈ガスが流れるように
したものである。（尚、図では希釈ガスが分岐流路１０
，を流れる場合を示している。）１３は希釈ガス流路９
中に設けられた可変レギユレータ、１４は毛細管（１２
１，２．．．．．．ｎのうちいずれか）を有する分岐流
路（１０１，２．．．．．．ｎのうちのいずれか）の入
口側と出口側の差圧を示すメータであり、このメータ１
４の指示をみながら可変レギユレータ１３を操作するこ
とにより毛細管（１２１，２．．．．．．ｎのうちいず
れか）に所望定流量を流すことができる。（尚、周知の
ように、これら毛細管１２１，２．．．．．．。に夫々
流れる希釈ガスの量は、各毛細管１２１，２．．．．．
．ｎの長さ、内径及び両端差圧などにより定まる。）次
に、１５は定差圧レギユレータ７より上流側のサンプル
ガス流路１から分岐されたバイパスであつて、検出器３
へと送られるサンプルガス以外の余剰のサンプルガスは
このバイパス１５を通つて排出口１６から排出される。
尚、検出器３に送られて分析を終えたガス（サンプルガ
ス＋希釈ガス）も排出流路１７を経て排出口１６から排
出される。切換部１１を操作して、いま仮りに図に示す
ように分岐流路１０，から希釈ガスを流すようにし、可
変レギユレータ１３を操作してメータ１４が所定の指示
値を示したときの毛細管１２，を流れる希釈ガス流量を
ｑ１（定流量）とし、且つポンプ６にて導入されたサン
プルガスの定流量（応答性が無視できるオーダーの大流
量）をＱとすると、前述したように定差圧レギユレータ
７の作用により、毛細管８には定流量Ｑ，のガスが流れ
るから検出器３には希釈ガスｑ１とサンプルガス（Ｑ，
ｑ，）とが流入することになる。
ス＋希釈ガス）も排出流路１７を経て排出口１６から排
出される。切換部１１を操作して、いま仮りに図に示す
ように分岐流路１０，から希釈ガスを流すようにし、可
変レギユレータ１３を操作してメータ１４が所定の指示
値を示したときの毛細管１２，を流れる希釈ガス流量を
ｑ１（定流量）とし、且つポンプ６にて導入されたサン
プルガスの定流量（応答性が無視できるオーダーの大流
量）をＱとすると、前述したように定差圧レギユレータ
７の作用により、毛細管８には定流量Ｑ，のガスが流れ
るから検出器３には希釈ガスｑ１とサンプルガス（Ｑ，
ｑ，）とが流入することになる。
そして、検出器３により分析した測定対象成分（たとえ
ばメタン以外の炭化水素）の濃度及び希釈ガスによる希
釈率（定流量であるＱ，及びｑ１より求められる）とか
らサンプルガス中の測定対象成分の濃度をしることがで
きる。そして、ガス濃度を分析するさい、前記サンプル
ガス中の測定対象成分を予じめ推定し、分岐流路１２１
，２．．．．．１のうちいずれに希釈ガスを流すか、及
びその分岐流路（１２，，２．．．．．．。のうち選択
されたいずれか）中の毛細管の両端差圧をいくらにする
かを決めて希釈率を定め使用する検出器３の特性に応じ
該検出器３においてもつとも分析精度がすぐれている測
定濃度範囲内に希釈後のガス中における測定対象成分の
濃度が入るように希釈するのである。尚、定差圧レギユ
レータ７の作用により余剰のサンプルガス（Ｑ一（Ｑ，
−Ｑ，））はバイパス１５を通り、排出口１６から排出
される。本発明は上述したように、使用する検出器の特
性に応じ、該検出器において分析感度がもつともすぐれ
ている測定濃度範囲内に入るように、サンプルガスを所
望比率で希釈ガスにて希釈した後、検出器に流すので、
希釈率を適宜変更することにより、一個の検出器で、広
範囲の濃度にわたつて精度のよいサンプルガスの分析が
行なれる。
ばメタン以外の炭化水素）の濃度及び希釈ガスによる希
釈率（定流量であるＱ，及びｑ１より求められる）とか
らサンプルガス中の測定対象成分の濃度をしることがで
きる。そして、ガス濃度を分析するさい、前記サンプル
ガス中の測定対象成分を予じめ推定し、分岐流路１２１
，２．．．．．１のうちいずれに希釈ガスを流すか、及
びその分岐流路（１２，，２．．．．．．。のうち選択
されたいずれか）中の毛細管の両端差圧をいくらにする
かを決めて希釈率を定め使用する検出器３の特性に応じ
該検出器３においてもつとも分析精度がすぐれている測
定濃度範囲内に希釈後のガス中における測定対象成分の
濃度が入るように希釈するのである。尚、定差圧レギユ
レータ７の作用により余剰のサンプルガス（Ｑ一（Ｑ，
−Ｑ，））はバイパス１５を通り、排出口１６から排出
される。本発明は上述したように、使用する検出器の特
性に応じ、該検出器において分析感度がもつともすぐれ
ている測定濃度範囲内に入るように、サンプルガスを所
望比率で希釈ガスにて希釈した後、検出器に流すので、
希釈率を適宜変更することにより、一個の検出器で、広
範囲の濃度にわたつて精度のよいサンプルガスの分析が
行なれる。
又、上述のように希釈された後のガスを検出器へ流すの
で、テーリング現象がおこりにくく、一層、精度が向上
するとともにゼロガスによるパージもごく短時間ですむ
。又、パージのためのゼロガスの量も少量でよく、且つ
希釈されたサンプルガスを前記検出器における最適流量
で検出器に流すようにしてあるから検出器の動作状態の
変化（温度低下や内部圧力の変化等）も生じることなく
、従つて測定条件をその都度調整する必要がない。又電
気的に増巾率を変化させる場合のように各レンジの検量
線を作成するといつた作業は不要となり、検量線は一本
ですむ。そして、検出器出力の増巾部が非常に簡単にな
り、且つ増巾部からの出力の処理も簡単になる。このよ
うに、冒頭で述べた従来の欠点を全て解消するに至つた
のであるが、特に、サンプルガス流路側に、固定流体抵
抗素子、定差圧レギユレータ、バイパスなどを設けて、
検出器内に常に一定流量のガスを供給するように構成す
る一方、希釈ガス流路側に、可変レギユレータ、択一的
に選択可能な流量変更のための分岐流路、圧力メータな
どを設けて、前記固定流体抵抗素子より上流側のサンプ
ルガス流路に常に所望流量の希釈ガスを供給するように
構成するものであるから、複雑な演算回路などを必要と
することなく、比較的簡単な構造で、サンプルガスの希
釈率を広範囲にわたつて多段切換えでき、切換え後にお
いては、所定の希釈率を確実に保持しながら、検出器に
供給することができるのである。
で、テーリング現象がおこりにくく、一層、精度が向上
するとともにゼロガスによるパージもごく短時間ですむ
。又、パージのためのゼロガスの量も少量でよく、且つ
希釈されたサンプルガスを前記検出器における最適流量
で検出器に流すようにしてあるから検出器の動作状態の
変化（温度低下や内部圧力の変化等）も生じることなく
、従つて測定条件をその都度調整する必要がない。又電
気的に増巾率を変化させる場合のように各レンジの検量
線を作成するといつた作業は不要となり、検量線は一本
ですむ。そして、検出器出力の増巾部が非常に簡単にな
り、且つ増巾部からの出力の処理も簡単になる。このよ
うに、冒頭で述べた従来の欠点を全て解消するに至つた
のであるが、特に、サンプルガス流路側に、固定流体抵
抗素子、定差圧レギユレータ、バイパスなどを設けて、
検出器内に常に一定流量のガスを供給するように構成す
る一方、希釈ガス流路側に、可変レギユレータ、択一的
に選択可能な流量変更のための分岐流路、圧力メータな
どを設けて、前記固定流体抵抗素子より上流側のサンプ
ルガス流路に常に所望流量の希釈ガスを供給するように
構成するものであるから、複雑な演算回路などを必要と
することなく、比較的簡単な構造で、サンプルガスの希
釈率を広範囲にわたつて多段切換えでき、切換え後にお
いては、所定の希釈率を確実に保持しながら、検出器に
供給することができるのである。
そして、その供給量も、濃度分析に好適な一定流量に維
持することができ、試料ガスの停滞による応答遅れが防
止されるのである。
持することができ、試料ガスの停滞による応答遅れが防
止されるのである。
図面は本発明の一実施例を示す説明図である。
１・・・・・・サンプルガス流路、３・・・・・・検出
器、７・・・・・・定差圧レギユレータ、８・・・・・
・固定流体抵抗素子、９・・・・・・希釈ガス流路、１
０・・・・・・分岐流路、１１・・・・・・切換部、１
２・・・・・・固定流体抵抗素子、１３・・・・・・可
変レギユレータ、１４・・・・・・圧力メータ、１５・
・・・・・バイパス。
器、７・・・・・・定差圧レギユレータ、８・・・・・
・固定流体抵抗素子、９・・・・・・希釈ガス流路、１
０・・・・・・分岐流路、１１・・・・・・切換部、１
２・・・・・・固定流体抵抗素子、１３・・・・・・可
変レギユレータ、１４・・・・・・圧力メータ、１５・
・・・・・バイパス。
Claims (1)
- １ サンプルガス流路に検出器を接続し、このサンプル
ガス流路から供給されるサンプルガスの濃度分析を前記
検出器にて行なうように構成したガス濃度分析装置にお
いて、前記サンプルガス流路に固定流体抵抗素子と、こ
の流体抵抗素子の入口側と出口側との差圧を一定に保つ
定差圧レギュレータとを設け、且つ、この定差圧レギュ
レータより上流側のサンプルガス流路にバイパスを接続
して前記固定流体抵抗素子を介して前記検出器内に常に
一定流量のガスを供給するように構成するとともに、前
記固定流体抵抗素子より上流側でバイパス接続箇所より
下流側のサンプルガス流路に、可変レギュレータを備え
た希釈ガス流路を接続し、この希釈ガス流路に、それぞ
れ固定流体抵抗素子を有する複数の分岐流路と、これら
複数の分岐流路を択一的に選択する切換部とを設け、且
つ、前記分岐流路の入口側と出口側との差圧を測定する
圧力メータを設けて、前記サンプルガス流路に所望流量
の希釈ガスを供給するように構成したことを特徴とする
ガス濃度分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP52014472A JPS5949532B2 (ja) | 1977-02-12 | 1977-02-12 | ガス濃度分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP52014472A JPS5949532B2 (ja) | 1977-02-12 | 1977-02-12 | ガス濃度分析装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5399990A JPS5399990A (en) | 1978-08-31 |
| JPS5949532B2 true JPS5949532B2 (ja) | 1984-12-03 |
Family
ID=11861991
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP52014472A Expired JPS5949532B2 (ja) | 1977-02-12 | 1977-02-12 | ガス濃度分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5949532B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60263751A (ja) * | 1984-06-13 | 1985-12-27 | Aisin Warner Ltd | ４輪駆動車の４輪駆動切換表示装置 |
| JPS6172445U (ja) * | 1984-10-19 | 1986-05-16 | ||
| JPS6227U (ja) * | 1985-02-21 | 1987-01-06 |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6033772Y2 (ja) * | 1980-07-19 | 1985-10-08 | ヤンマー農機株式会社 | 歩行型田植機の操縦装置 |
| JPS61129548A (ja) * | 1984-11-28 | 1986-06-17 | Toshiba Corp | ナトリウム漏洩検出システム |
| JPH0619311B2 (ja) * | 1985-10-19 | 1994-03-16 | 株式会社堀場製作所 | 多成分同時測定用ガス分析装置 |
| JPS62184360A (ja) * | 1986-02-07 | 1987-08-12 | Jeol Ltd | 化学分析装置 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5117918B2 (ja) * | 1972-12-20 | 1976-06-05 |
-
1977
- 1977-02-12 JP JP52014472A patent/JPS5949532B2/ja not_active Expired
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60263751A (ja) * | 1984-06-13 | 1985-12-27 | Aisin Warner Ltd | ４輪駆動車の４輪駆動切換表示装置 |
| JPS6172445U (ja) * | 1984-10-19 | 1986-05-16 | ||
| JPS6227U (ja) * | 1985-02-21 | 1987-01-06 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5399990A (en) | 1978-08-31 |
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