JPS59501062A - ウェーハ設置装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるため要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ウェーハ移動装置 発明の背景 この発明は、物体の自動高精度位置ぎめ、例えば半導体ウェーハをホルダーない しボートに位置ぎめないし設置する装置に関する。

半導体ウェーハの面に汚れがつがないようにして、ウェーハをプラスチック・ボ ードより（ウェーハーを拡散炉に導入する）クオルッ・ボートに、あるいはその 逆の移送を迅速に行うことか望まれる。上記の汚れは、ウェーハをクオルッ・ボ ートに設置する際に、しばしばウェーハが受入用のスロットとこすり合うために 生じる。これらのスロットはウェーハ自体より若干幅が広いだけであるため、こ のようなこすりを生じないようにして充分正確に設置することは困難であった。

汚れは、移動を行う装置内部の部品のこすれやすべりからも生じ得る。

アームやりセプタクル等（例、ロボットの要素）の移動を正しい位置間で再現性 良く（即ち、一時的に離れた後同じ場所に戻ること）できることが望まれる。半 導体ウェーハを移動させる装置にあっては、ウェーハ・ボートとウェーハー移送 アームを正確に動かさなければならない。

発明の概要 一側面における本発明の特徴によれば、支持部材（パドル）と、支持部材により 要素（例えば半導体ウェーハー）が位置ぎめされる既知の形状変化部（例えばス ロット）として認められる既知の位置との整合を検出するセンサーが支持部材に 設けら２ れる。

好適実施例では、検出は位置ぎめに先立って行う。検出を行うには、エネルギー ・ビーム（例、光）を、半導体ウェーハのホルダーに形成したスロットと交差す る径路に沿って通過させる。センサーの出力を処理して、ウェーッドパドルいて 支持されているウェーハーがスロットの中心にはめられるような位置にホルダー があるか否かを判定する。これらの整合位置情報を記憶し、後で実際にウェーハ を移動するときに用いる。ホルダーの２つのし〜ルの各々のスロットを検出する ２つのセンサーがウェーハ・ノドルに設けられる。パドル中火に設けられた鏡が パー’ルの外方部に配置された光源とセンサー間の光を反射する。実際には中央 部のみがボートの内部に入る構成である。

他の面での本発明の特徴によれば、半導体ウェーッーを、その中心より周辺の近 くに配置した真空開口で半導体ウェー−・−をピックアップする（持ち上げる） ことにより、ウェーッ・にそりがある場合でも、ピックアップ素子に対するウェ ーッ・の縁の位置が確実に保たれる。好適実施例では、真空開口部を盛上部で囲 み、開口の内側のウェーッ・の中央部が開口面より低くなるようにしているため 、ウェーハのそった部分が・ξドルの残りの部側々に圧力センサーを真空開口に 設けているため、１つの開口の圧力変化を検出することでパドルにウェーッ・が 接触し始めたことを検知できる。ウェーッ＼・パドルをウェーッーに対して動か す装置は、ひとつの開口が開じたことが検出されたら、速度を低下させるように 働（。

他の面での本発明の特徴によれば、ウェーハ・メト９ルはアルミニウムにテフロ ンを成層した構造である。好適実施例では、アルミニウムは溝つきでその内に管 がつまっていて、この管により真空をテフロン表面の開口に与える。

他の面での本発明の特徴によれば、ホルダーに挿入するのに先立ち、個々のウェ ーハを回転させることにより、ウェーハとホルダー・スロット間の整合をよ（す る。好適実施例では、センサーによりスロット位置がめられ、このセンサー出力 より回転角度をめる。ステップモータとカムの１駆動するアームにより回転が与 えられる。

他の而ての本発明の特徴によれば、トラックの上、下面に設けたローラの組でト ロリイを支持し、可撓性素子でローラをトラック面に対して圧接させる。好適実 施例では、このようなトラック／トロソイ装置を用いてウェーハ・ホルダを支持 し、ウニーハパト９ルに対して並進させる。２重の組の上述のトラックとトロリ イによりウェーハ・パドルは平面内を正確に並進する。

ステップ・モータの駆動するチェインとスプロケットがあり、スプロケットに結 合したエンコーダでトロリイの位置を測定する。

他の面での本発明の特徴によれば、半導体ウェーハのクオルツ・ホードを保持す るため、その２つの上部レールをレールをはめる溝（凹部）による６点と、溝（ 四部）なしの平らな面を第４点として２つのレールを杷持することにより、レー ル間に不整合があるボートでも取扱える。

本発明の種りの側面は数多くの利点を有する。センサーをウェーハ・バドル自体 に設けたことにより、パドル又はウェーハー・ホルダの絶対位置を知る必要がな くなり、したがって製造公差の要件がそれほどきびしくなくて足り、時間や環境 の変化による変動にも自動的に対応できる。スロットの壁をこすることなくウェ ーハをホルダー・スロットに入れることができるから粒子による汚れの発生を避 けることができる。ウェーハ・ホルダとツクドル・アームは、移動機構からの汚 れを発生することなく、精度よく所定の位置間を並進する。ウェーハの載置とピ ックアップを無衝撃で行っているため、ウェーハ縁からの粒子のはげおちを防止 でき、汚れをさらに少なくできる。そりのあるウェーハは、本発明の真空ピック アップにより処理でき、ボー４のひずみは本発明のボート保持装置により対処で きる。

本発明のその他の特徴、利点につ（・ては好適実施例についての以下の記載及び 請求の範囲から明らかである。

好適実施例の説明 以下、本発明の好適実施例を説明する。

図面 第１図は好適実施例の若干線図風の透視図、第２図はカバーを取り外した好適実 施例の一部を切り欠いた図、 第３図は好適実施例の一部を切欠いた。平面図、第４図は第６図の線４−４に沿 う断面図、第５図はクオルツ・ボートとその保持装置の透視図、第６図はプラス チックボート、その保持装置、及びウェーハ整合機構の透視図、 第７図は代表的なウェーハ、 第８図はウェーハ操作パト８ルの透視図、第９図は吸引開口と光学位置系を示す ウェーハ操作パドルの断面図、 第１０図は第９図の線ｉｏ−ｉｏに沿う断面図、第１１図は、クオルッ・ボート 、ウェーハ操作パドル、の一部を切欠（・た平面図であって、線図で示すレンズ 、光フアイバ系、光源、光スロット検出装置のセンサーを含む図、第１２α図と 第１２ｂ図はウェーハ操作パドルとアームの平面図で、アームを２つの異なる角 度位置で示したもの（第１２ｈ図はアームの一端の部分図）、 第１６図はプラスチックとクオルッポートのトロリイ駆動機構の平面図、 第１４図は第１６図の線１４１４に沿う断面図、第１５図はウェーハ操作ノξト ９ルとウェーハ整合機構を示すプラスチック・ボートの断面図、 第１６図はウェーハを無衝撃で載置し、ピックアップする機構の線図である。

構造 第１図には、半導体ウェーハ１１を、プラスチック・ボート１２へ、及びプラス チック・ボート１２よりクオルッ・ボート１４（拡散炉へ入れるときにウェハー を支持するボート）へ運ぶウェーハ移動装置１０が示されている。

装置１０にはベース１６（この上にカバー１８が置かれる）６ ボートを移動するためのトロリイ２０．２２及びウェーッ・移動アーム３２があ る。

トロリイ２０．２２はカバー１８のスロット２４．２６を通って延びている。ス ロットの両側に沿って唇状部２１が設けられる。トロリイ２０は、クオルツ・ボ ート１４を支持する上端プラットホーム２８を有する。トロリイ２２は、プラス チック・ボート１２を支持する、上端プラットホーム６０を有する。

両トロリイ２０．２２はトロリイの上下方部（第１４図にトロリイ２２について 示す）間にボルト止めされる溝状部゛材１１６ヲ含ム。ドリップ・シールド１１ ８は、カバー１８に取り付けられ、部材１１６の形成する溝状開口部内に配置さ れる。溝状部材１１６と、ドリップ・シールド１１８と唇状部２１とにより、洗 浄液がカバー１８に漏れるのを防止する。

ウェー　バー”　移動アーム３２はカバー１８のスロット６８を通る垂直アーム ６４、ろ６に取り付けられる。直角部材４０を介してアーム３２はアルミニウム ・ウェーハ・ノξドル４２に連結される。ウエーハパトゝル４２はその中央の脚 ４６にウェー／Ｓ　−をつかむための４つの吸引開口１５４がある。各真空開口 １５４には、開口を囲む画ぷち状の盛上部（ｏ、ｏｉｏインチの盛上り）がある 。開口と盛上部は、ウエノ・−を中火より縁寄りでつかむよう配置されている。

第８図と第１０図を参照するに、パドル４２には中央脚４６の片面に成層された テフロン・シート１６がある。（接着しやすいようエツチングされた）テフロン ・シートはにューシャージー州、ウニイン、ケムプレスト社の）ケムグリップ・ エポキシ接着剤でアルミニウムに接着され、次いで所望の厚さく約０．０２０イ ンチ）に加工される、中央脚４６の厚さは約０．１２インチである。この小さな 寸法であればパドルを、スロットにウェーハをはめろことのできるボートの端部 のごく近くまで動かすことができる。吸引管１６４はテフロンシートを接着する 前に、アルミニウムの溝に挿入する。真空付属品、真空ライン（図示せず）によ り吸引管１６４を真空源につなぐ。４つのソレノイド゛・バルブと４つのセンサ ー（図示せず）が各真空ラインごとに設けられていて、各開口１５４の真空状態 を個々に制御し、検出する。

真空タンクが主真空ラインに接続されており、これは、主真空源の故障時に主ン レノイ、ド・バルブを介して２つの開口１５４の真空度を維持するのに用いられ る。

真空ラインの圧力センサーは２つの開口の真空度、即ちウニ・・−を確実につか める状態か否かを指示する情報を与える。残りの２つの開口のバルブは次いで閉 じ、真空タンクにより、この残りの２つの開口のみの真空が維持される。タンク は、つかんでいたウェーハをボートに乗せるまでの間真空を維持することができ る。

第１６図にはクオルツ・ボートのトロリイ２０の駆動機構を示しである。サーボ ・モータ４８ははすばカップリング５１を介してスプロケット４９に結合してい る。チェイン５５（本書で述べる他のチェインとしてはウィンフレンド・エム・ バーブ社製のケーブル・チェイン・ベルトがあり、このベルトはバックラッシュ がな（、延性がほとんどない）が（他のスプロケットと同様にベアリングで支持 される）スプロケット４９とスプロケット５６間に懸かる。固定下方プレイと可 調整上方プレート（図示せず）がスプロケット４９と５３を支持し、一方のスプ ロケットを他方のスプロケットに対して動かすことにより、チェイン５５の張り を調整できる。スプロケット５６はクラッチ装置５７とはすばカップリング５２ を介してスプロケット５０に結合している。トロリイ２０はアルミニウム・トラ ック１１０（第２図）上に置かれ、スプロケット５０と５６間に懸っているチェ イン５４に結合される。スプロケット５０．５６の支持体は２軸（第２図）に沿 って移動可能でチェイン５４の張りを調整できる。トロリイ２０は、トロリイと チェインにボルト止めされた可撓性の留め具２０１により、チェイン５４に結合 する。増分光エンコーダ６０ははすばカップリング６１を介してスプロケット６ １に結合する。冗長増分形光エンコーダ４７を設けることができる（はすばカッ シリング４５０を介してスプロケット５０に結合される）。エンコーダ６０はト ロリイ２０のＺ方向の移動について、０．００．０３インチの分解能をもってい る。

第１６図にはプラスチック・トロリイ２２の駆動機構も示されている。サーボ・ モータ６２ははすばカップリング６５を介してスプロケット６６に結合している 。チェイン６７がスプロケット６６とスプロケット６９間にかかる。チェイン６ ７の張りはチェイン５５と同様の仕方で調整できる。スプロケット６９はクラッ チ装置７１とはすばカッシリング６６を介してスプロケット６４に結合している 。トロリイ２２はアルミニウムトランク１１２（第２図、第１４図）上に置かれ 、スプロケット６４と７０間にかかるチェイン６８につながれる。スプロケット ６４と７０の支持体はＺ軸方向に移動でき、チェイン６８の張りを調整できる。

トロリイ２０はトロリイ２２がチェイン５４につながれるのと同様の仕方でチェ イン６８につながれる。

増分形光エンコーダ７４がはすげカップリングを介してスプロケツ）７０に結合 される。クラッチ５７と７１は、故障時に、トロリイが（ウェーハを・ξト９ル に過度の圧力をかけることにより）、ウェーハを破壊するのを防止する。クラッ チのすべりのためにサーボ・モータとトロリの関係はずれるが、エンコーダ６０ ．７４とトロリイの関係については、エンコーダがトロリイを駆動するスプロケ ットに直結しているため、影響がなく、クラッチにすべりが生じた場合にトロリ イの位置情報がそこなわれることはない。

第２図と第６図にはウェーハ移動アーム３２の支持機構を示しである。垂直軸ろ ４．６６は垂直アルミニウム・トラック７８に取り付けられたトロリイア乙に取 り付けられている。アームろ２をＸ、Ｙ方向に動かすため垂直トラック７８は、 支持部材８４によりベース１６に強固に取り付けられた水平アルミニウム・トラ ック８２に取り付けられたトロリイ８０に取り付けられる。

第２図、第６図及び第４図には、ウェーハ移動アーム６２の駆動機構が示されて いる。ステップ・モータ８６がクラッチ９０を介してスプロケット８８に結合す る。チェイン９２がスプロケット８８と９４の間にかかる。スプロケット９４は 垂直１０ 部材ろＯＯを貫通するシャフト９８を介してスプロケット９６と結合する。チェ イン１００は、スプロケット９６．１０２．１０４．１０乙に巻かれ、カップリ ング１０７を介して垂直アームろ４に結合する。垂直アームろ４を並進させるた めチェイン１００を動かすカップリング１０７には、アーム３４に取りイ」けら れたブロック１１１の、対応する穴に入れられるチェイン１００に取り付られた ピン１０９がある。パドルの垂直と水平運動（ＸとＹ方向の運動）は、カップリ ング１０７を介して垂直アームろ４に結合するチェイン１００を駆動するステッ プ・モータ８６により制御される。ブロックの対応する穴に挿入された−７１０ ９は、アームろ４の運動かＸ方向からＹ方向に、あるいはＹ方向からＸ方向に変 わるときに自由に回転する。キャリッジ７６が垂直運動を可能ならしめるトラッ ク７８に乗りキャリッジ８０が水平運動を可能ならしめるトランク８２に乗る。

第５図を参照するに、クオルツ・ボート１４を支持するテフロン支持部材１２０ ，１２２，１２４，１２６はプラット・ホーム２８に取り付けられる。プラント ・ホームの一端に位置する部材１２６は固定されるが他端に位置する部材１２４ はプラットホームに自在に取り付けられる。部材１２４，１２６は一方の下部ボ ート・レール１６０の両端と係合する。プラットホーム２８の裏側に位置する部 材１２０は部材１２０を固定するアルミニウム背面１２１を有し、一方、前面に 位置する部材１２２゜１２６はベースにばね鋼撓み材を介してプラットホームに 可変に取り付けられる。固定部材１２０には上部ボート・レール１２８と平行で これと係合可能な凹部２０２と、クオルツ・ボートの中央パン）１３４と整合す る垂直切欠２０４が形成される。可撓部材１２３には中央バンドの一方の側にあ る上部ボート・レールと平行でこれと停台状態な凹部２１０が形成される。

可撓部材１２２には上部レールと係合する凹部はないが、代りに平らで先細の面 がある。四部がな（・ため、上部レール調整部材１２２の凹部なしの面に沿う任 意の位置と合わせること力そきこれにより２つの上部レール間の角度的な不整合 を調整できる。

これにより、上部レールは他の支持部材の四部にピッタリとはまることになる。

全ての部材に四部を設けた場合には、し丹ル間が整合していないボードは全ての 凹部にははまらなくなり、どの凹部により支持されているのか予想できない。こ こに示す６点構成の場合には、レールは常に部材１２０と１２２に形成された６ つの凹部にピッタリとはまるから、正確に、再現性よ＜ホードの位置ぎめを行う ことができる。

支持部材と整合するクオルツ・ボート１４は、２つの上部レール１２８と１つ又 は２つの下部レール１６０を有する。上部レールにはウェーハ１３０を受入れる スロット１ろ２が形成されている。レールは６つの半円バンド１ろ４と２つの端 部材１６６により相互に連結され、互に平行にされる。ウェーハはスロットに入 れられ下部レールに支持される。２つのスロット付の上部レール′間には、ボー トの一作時の誤差あるいは拡散炉でのボートのそりのために、通常ずれがある。

このずれないし不整合は２方向に沿う相対的なずれにすぎない場合もあるが、通 常は、ウェーハをスロットの壁をこすることなく２つのスロ２ ットに挿入させるためには、ウェーハをＹ軸を中心として回転させる必要がある 。

第６図にはプラスチック・ボート１２の支持部材を示しである。アルミニウム・ チャンネル部１３９はプラットホーム６゜の各端に位置し、可撓性の部材１６８ ．１４２を支持する。部材１３８．１４２はテフロンでばね鋼プレート１４３を 介してチャンネル部１６９に取り付けられる。プラットボーム６ｏの中央部に位 置するアルミニウム・チャンネル１４１は両ボート１２間に位置する固定テフロ ン支持部材１４０を支持する。

支持部材１６８．１４０．１４２はボートの両端に位置する溝１４５内を摺動す る。部材１６８．１４２の可撓性によりボートは所定の位置で確実に支持され、 一方、部材１４０の剛性により、プラットホームに対するボートの正確な位置ぎ めを保つことができる。プラスチックボート１２は、ウェーハを受入れるため、 開口した底部と側部スロット１４４を有する。

整合ローラー１４６．１４８はプラットホーム６０の上面を長さ方向に沿って延 び、ボートの開口した底部を介してウェーハと接触可能である。第１５図に示す ようにローラ１４６はチェイン１５２を介してモータ１５０と結合している。

第８図と第１１図に示すように、ウェーハ・パドル４２は中央脚４６と２つの外 方光脚１５６を有する。赤外線のＬＥＤ−ξルス光源４００（テキサス社のＴｌ りろ１による約１００００パルス／秒、パルス持続時間約１０マイクロ秒）から の光はレンズ４０１、光ファイ・ぐ−束４０２（アーム部材１６８の空胴を通る ）、及びパドルのレンズ４０３を通る。鏡１６０で反射した光はレンズ４０５で 受光され、もうひとつの光フアイバー束（図示せず）、もうひとつのレンズ（図 示せず）を通って赤外線センサー（テキサス社のＴｌ１３１、図示せず）に至る 。パドルルの両側には同一構成の光源レンズ、光フアイバー束及びセンサーが用 いられる。光源と光ファイバーのセンサー端にあるレンズは光源からの光を束に 集光し、束からの光をセンサーに集光させる。メト９ルのレンズは光ビームがほ ぼスロットの場所に集光し、その場所におけるピース幅を最少にしてスロット中 央を識別する能力を上げるものとする。

鏡６０は断面が台形である。台形の狭い底部が光を反射し、わずかに約００６０ インチの幅であって同一幅の光ビームのみを反射する。（台形断面の傾斜脚に対 応する）鏡の隣接面は他の光を反射する。

光ビームはスロットのところで最も狭くなるよう集光されるため、スロット中央 を識別する能力が高い。かかる場所でのビーム幅はスロット幅と同程度であり、 スロット幅の１５０％より広くてはならなし・。

パドルアームがＸＹ平面を動く場合に光フアイバー束が連続的に曲げられること を避けるため、光フアイバー束の両端をアームと一緒に動かし、パドルが降下し てクオルツ・ボート内の測定位置にきたときにのみ光源とセンサーと整合させる 。他のパドル位置では光測定は不要であるから束は光源とセンサーからずらす。

第２図、第４図、第１２図を参照するに、回転アーム６２をＹ軸のまわりに回転 させてウェーハを回転させる機構を示して１４ ある。ウェーハ移動アーム６２は中実部材１６６と中空部材１６８より成る。モ ータ１７０は部材１６６のスロット１７６を貫通するピン１７４（第１２図）を 有するカム１７２に結合する。部材１６６はパドル４２を支持する部材１４０に 強固に取り付けられる。部材１４０と１６８は部材１６６とパドル間のＹ軸回転 を可能とするばね鋼撓み材１４１を介して取り付けられる。

第１６図に示すのは、ウェーハを激しく置（・た（あるいはもち上げた）場合に ウェーハの縁よりウェーハの破片が飛んで汚れが生じるのを避けるため、クオル ッ・ボートに対しウェーハをゆるやかに載置し、ボートより持ち上げる機構であ る。真空作動アクチュエータ４１０とばね４１２はピボット・アーム４１４の一 端に取り付けられる。摩擦なしのダンパー４１６はウェーハ移動アームの部材１ ６８の遠端に取り付けられる。ダイパー４１６と部材１６８を結合するロット’ ４１８は拡大部４２０がピボット・アーム４１４と接触するまで自由にピボット アームを通って摺る。

ゆるやかな載置を行うには、まずアクチュエータ４１０を作動してアーム４１４ を下方に引っばってウェーハ移動パドルを若干持上げ、ついでパドルが載置の場 所にきたら、アクチュエータ４１０を解放すると、ばね４１２の力の下で迅速に アーム４１４を上方に動かし、パドルの下方への運動がダンパー４１６の力のみ により抵抗を受けるようにする。

ゆるやかに持上げるには、真空アクチュエータを作動するだけでよい。ダンパー ４１６はアクチュエータの下方運動に抵抗するためパドルをゆっくりと持ち上げ ることができる。ゆるやかな載置と持上げを行う際のパドルの垂直運動は１００ ないし２０ロミル程度であり、この運動に要する時間は約１／２　秒である。ア ーム部材１６８の遠端にある可調整釣合錘は調整によりメト８ル（ウェーハを積 んだ状態で）の下方への衝突の力を約５０ダラムにする。真空ラインにある手動 で可調整の可変流量バルブは上昇、降下の速度を調整する。

第１４図を参照するに、アルミニウム・トラック１１２は、トラック７８．８２ ．１１０の代表例であるが、その上部と底部に沿って長さ方向に延びる傾斜面１ ８８が設けられている。

トロクイ２旧まトロリイ２２．７６．８０と同様に、ローラーノし−１８９を介 してトラック１１２上に支持される。各バーは４５度の傾斜面１８８上に置かれ た一対のアルミニウム・ローラ１９０を有する。各ローラー１９０はローラー・ バーにゾレスばめされ、止ねじにより保持された固定シャフトのまわりを回転す る。シャフトのスペーサによりローラー１９０とローラー・バー１８９間の接触 は防止され、一方、止め輪がローラをシャフトに保持する、ローラはキャリヤを 一方のローラ・バーに結合する平行なばね鋼撓み材１８５，１８７の作用により 、トラックの面１８８と圧接する。トロリイ２０．　２２．　７６゜８０に設け られた、平行なばね鋼撓み材１８５，１８７は平行四辺形として働き、スロップ やバックラッシュなしで、変動を吸収し、トロリイの傾きを防止し、運動の損失 なしでトロリイをトラック上に支持する。底面１８８は、撓み材が底面の変動を 吸収するため、底面１８８はど正確に加工する必要はない。

６ ボート・トロリイ２０．２２には調整機構（図示せず）が設けられており、ボー ト支持機構とトロリイ間の垂直調整と傾きの調整（又とＹ軸のまわり）を行う。

動作 ウェーハ１１を積載した２つのプラスチックボート１２を洗浄し、次いでトロリ イ２２の、プラットホームろ０に置き支持部材１３８，１４０により所定の位置 に保持する。

プラスチックボート１２の下にあるローラ１４６に結合したステップ・モータ１ ５０を短時間作動して、ローラ１４６を回転し、ウェーハの平らな側面１９２が 全て下方を向く（即ちプラットホームろＯと平行になる）までウェーッ・１１を 回転させる。ローラ１４８は自由に動き、ウェーハを所望の位置に案内するのを 容易にする。ローラ１４６はウェーッーの平らな側面が下方を向くとウェーハの 回転を停止させる。ステップ・モータ１５０の作動時間は全てのウェーハが所望 の位置に達するのを確保する長さにする。

空のクオルッ・ボート１４をプラットホーム２８に置き、部材１２０，１２２， １２４，１２６でその場所に保持する。パドルをボートまで下げ、トロリイ２０ を動かしてパドルにスロットを通過させる。パドルの高さは、その高さに光路が 達してスロット位置での光センサー出力に変動が常に生じるところに調整する。

この調整は移動を行うごとにする必要はない。クオルッ・ボートの支持部材によ り、クオルツ・レールとスロットは常に同一の高さになるからである。

空のクオルツ・ボート１４の上部レールにあるスロットの位置を測定するため、 ウェーッ・・パドル４２を空のクオルツ・ボートの内部の一端に動かす。パドル の中央脚４６が上部レール間を通り、一方、先回１５６はボートの外側に沿って 通る。次いでクオルツ・ボートのトロリイ２０を前進させ、・ξドルを（約１イ ンチ／秒の速度）で動かして支持部月１２６（凹部２１０を有する支持部材）に 最も近℃・ボートの端近くの５つのスロット１ろ２を通過させる。測定はこの端 で行う。と℃・うのは、この位置でのみ両ボートレールは既知の垂直位置にある ことが確保されるからである（他端では、レールの一方が不整合のため高くなり すぎたり、低くなりすぎたりしてスロットセンサーが満足に作動しない。） スロット１ろ２の位置は、光センサーの光強度の変化を検出することによって決 定できる。光源からの光は鏡１６０で反射してセンサーに達する。この光路は、 第９図に示すようにスロット１ろ２が光路と整合していなし・ときは連断される 。各スロットの正確な中央部で透過光が最大となる。パドルと１０個のスロット （各レールに５つ）間の位置の整合は、エン−１−ｆ６０と光センサーの出力か ら判定できる。この１０個の位置情報を処理して、パドルに担持されるウェーハ をスロットと整合させるのに必要な回転角度θ（第１１図）をめる。全てのスロ ットに対して、ひとつのウェーハ回転角度だけで一般には充分である（２つの上 部レール間のスロット間隔のばらつきはレールの長さ方向のずれに比較してずつ と小さいからである）が所望なら、各スロット対ごとに個別にウェーハ回転角を めてもよい。

ウェーハの不整合角度θを出したら、パトゝル４２をＹ軸のまわりにその角度だ け回転させる。これを行うには、ステップモーり１７０を回転させて、カム１７ ２を回転させ、ピン１７４（第１２ａ図、第１２ｈ図）を７−ム３２の部材１６ ６にあるスロット１７６内を長手方向に移動させる。これにより、パドル４２に は固定されて℃・るが部材１６８にはばね鋼撓み材１４１により可動に取り付け られている部材１６６は、部材１６８に対してＹ軸のまわりを回転する。

角度修正の精度を調べるため、パドル４２を再び動かしてクオルツ・ボート１４ に通す。再びエンコーダ６σの出力を記録し、最大光量の位置から整合位置と判 定する。

整合が不充分であれば、新たにウェーハ回転角度をめ、ステップモータ１７０を 作動して、パドル４２を新しい角度に位置ぎめし、再びクオルツボートに通す。

この手順を、正しい整合が得られるまで何回か繰り返す。正しい整合が得られな い場合はオにレータにエラー表示する。整合に関す最終チェックとして、ボート の実質止金てのスロットに通しく各端にある１又は２つのスロットは光で観察で きないが、他のスロット位置を基にしてその位置を算出することがよりウェーッ ・を充填できる）、エンコーダ６０と光センサーの出力より、各スロット対につ いて１．ウェーハが充分スロットの中央近くで受入れられていてウェーハの縁と スロットの壁間のこすりが生じないようになっているか判定する。バック・レー ルの全てのスロットが検出されそれらの中央がこすりなしの状態となるよう位置 ぎめされなければならない。フロント・レールについては全てのスロットを常に 検出する必要はない。これは、レールの不一致のために往々にしてフロント・レ ールのスロットがセンサτが検出できる位置より高すぎたり、低くなりすぎたり するためである。したがって移動を決定するに際して、全てのフロントスロット が検出される必要はない。

ウェーハの移動では、まず、・ξドル４２を、第１のボートの一端と第１のウェ ーハ間にある２つのプラスチックボートの第１のボートに動かず。このパトゝル 位置は全ての移動について同じである。オープニング１５４に吸引力を与える外 部の真空源を作動し、圧力センサー（図示せず）にすり４つの真空開口のひとつ が、第１のウェーハとこの開口を囲む盛上り部１５との接触により完全に又は部 分的に閉じたことが検出されるまで、トロリイ２２を前進させる。次いでトロリ イ２２の速度をただちに落とし、少な（とも２つの上部開口とひとつの下方開口 が閉じたら、トロリイな完全に停止させる。かかる６点ウェーハ、ピック・アッ プにより、ウェーハには（全ての４つの開口でウェーハに力を加える場合に生じ る）屈曲応力は生じない。オープニング１５４の吸引力で第１のウェーハを保持 するパドル４２を、次いで上昇させ、すでにトロリイ２０により第１のウェーハ な受け入れる正確な位置に位置ぎめされているクオルッ・ボート上に移送し、さ らにクオルッ・ボートのところまで降下させる。ウェーハを無衝撃でクオルッ・ ボートに載せるため第１６図に示す無衝撃載置機構を作動し、パドルの最終降下 を０ ダンパー４１６で制御する。次いで真空オープニング１５４の吸引を停止し、ク オルツ・ボートを若干動かして、パドルからウェーハを離す、パドルをクオルツ ・ボートより上昇させプラスチック・ボートに戻す。

全てのウェーッ・がクオルツボートに渡されるまで上記の移送手順を繰り返す。

クオルツボートからプラスチック・ボートへの移送は、無衝撃載置の代りに無衝 撃ピック・アップにより、逆の手順でなされる。

センサーとして、（１）１つ又は２つのプラスチックボートがトロリイ２２に載 せられているか、（２）クオルツ・ボートにウェーハが入っているか否か（セン サーブロック４２２の赤外線光源／センサー及びボートを通る２方向に沿う光路 （第５図））、（３）プラスチックボートにウェーッ・が入っているか否か（ク オルツ・ボートのと同様な赤外線光源／センサー）（４）クオルツ・ボートは載 置されているか否か（ノロツク４２０にあり、Ｚ軸に沿って検出し、クオルツ・ ボートにより遮断される赤外線光源／センサー）、を検出するものがある。

クオルツ・ボートのスロットは約０．０３０インチ幅であり、ウェーハは約０． ０２５インチ幅である。ウェーッ・の−縁をスロットの中心に正確に整合させる ことにより、挿入時にウェーッ・がスロットにこすられる事態は生じず、こすり による汚れの発生を避けることができる（こすりのためにウェーッ・とボートよ り飛び散った粒子がウェーッ・に溶着するおそれがある）。

スロットに挿入後、すべてのウェーッ・が一方向（Ｘ軸のまわり）に等しく傾く ようにするため、高さ可調整の脚（図示せず）を利用して装置をＸ軸より約１５ 度傾かせることができる。

パドルルに真空開口を設けているので、そりのひどいウェーハ（例、ウェーハの 径１インチにつき１ミル）でも支持することができろ利点がある。真空開口のま わりを盛り上げているのでウェーハはパトゝル面から離れて支持され、多少のそ りがあってもウェーハを・ξドルの残りの部分に接触させることなく支持でき、 そりに対する余裕がある。真空開口をウェー・・の周辺近くに配置しであるので 、ウェーハの縁の位置でのそりの影響を軽減できる、というのは、（・ξドルに 対して既知の位置でウェーハを支持する）真空開口とウェーハ縁との距離が短い ため、そりのために縁が大きく変位することはあり得ないからである。

これと対照的に、ウェーハをその中央で支持する場合だと、ウェーハの縁の位置 が大きくばらつくことになる（このため、ウェーハの縁をボートのスロットに位 置合せすることが困難になる）。５インチ（１２５ｍｍ）のウェーハではがなり のそりを受けやすいが、本装置はそのようなウェーハでも問題なく取り扱える。

スロットの測定またはウェーハの移送に先立ち、装置を較正工程（電源をいった ん切ってから再度入れることにより開始する）に通す。この工程では（他の全て の動作と同様コンピュータの制御の下で行なわれる）、電源と真空が正常かどう かをチェックし、種々のステップ・モータをサイクル運転する。２つのトロリイ を駆動するステップ・モータを一方の限度位置まで駆動し、モータの絶対計数基 準として各モータのカウンタをゼ２２ ０に設定する。ウェーハ角度ステップ・モータもサイクル運転１、てその上下限 に動かし、次℃・でその中心位置に設定する。ウェーハ・アーム・ステップ・モ ータ（アームなＸＹ平面で運動させるモータ）も通常のリセット位置に設定する 。フロント・パネルには、装置の起動／停止とウェーハ移送の起動／停止を行う ボタン（図示せず）が設けられる。後者は非常時に移送を停止するのに用いる。

移送の起動ボタンを押すと、センサー出力がチェックされ、載置されているプラ スチック・ボートの数（１か２か）と、クオルツ・ボートが載置されているか否 かを判定する。ウェーハがクオルツ・ボートとプラスチック・ボートのいずれに 入っているかの検査も行う。この情報より装置にウェーハの移送の方向を知らせ る。ウェーハが両方の場所にある場合にはエラー表示を（例えばフロント・パネ ルに数値エラー・コードを表示することにより）行う。

プラスチック・ボートよりクオルツ・ボートへの移送では、クオルツ・トロリー を中心に置き、パドルをスロット位置のため所定の高さまで降下させる。次いで クオルツ・ボートを並進させてパトゝル／センサーをボートの一端にもってくる 。ここでパドル回転角度θの決定手順を繰り返す：　（１１５対のスロットに対 してパドル／スロット整合位置を測定する、（２）パドルを回転させ不整合を修 正する、（３）回転後、スロット／パドルの整合を検査する、（４）最良の整合 回転角度が得られるまで手順を繰り疲す・ その他の実施例は、後述の請求の範囲内にある。例えば、装置を、異なる大きさ のウェー・・や異なる形態のボートに適合するよう容易に変形できる。・ξドル にセンサーを付加して、クオルツ・ボートの下部レールのスロット位置を検出さ せることができる。トロリイ・トラックに異なる種類の面を設けてもよい。

例えば、面１８８の代りに、夫ｋ、上、下のトラックに取り付けられたプラスチ ックバーを使用することにより、運転がより静かになり、摩耗も少なくなる。セ ンサーを追加して、ウェーハの前面又は裏面であるかを検出することにより、ボ ートが後向きに設置されているかどうかを検知できる。

第１図 第５図 第１０図 国際調査報告 １ｎ喝ｖｎａ＋：ｏｎ耐Ａｏｐｌ：ｘａＩ□口ｎＮｏ、ｐ（７／ｉＪＳεｊ／１ ＪＯ７Ｌｊ一１ ｃｏｖｅｔＩＯｎｌＨ ＰＣＴ／ＵＳ　８３１００７８３

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、第１の要素を、第２の要素のある位置に載せる装置において【ここに前記第 ２の要素には前記位置においてその形状に既知の変化部があること）、 前記第１の要素を支持しかつ載置方向に沿って前記第２の要素の方へ並進させら れる支持部材と、前記載置方向を横切る横断方向に沿って前記支持部材又は前記 第２の要素を動かす第１の移動装置と、前記支持部材に設けられ、前記支持部材 と前記形状の変化部間の前記横断方向に沿う相対的な整合を検出するための検出 装置と、 から成る装置。 ２、請求の範囲第１項記載の装置は、さらに、前記載置方向に沿って、前記第２ の要素に対して、前記支持部材と検出装置を動かす第２の移動装置を含むこと。 ろ、請求の範囲第１項記載の装置において、前記検出装置は、前記支持部材と形 状のずれが整合しているときの方が整合していないときより多くのエネルギー・ ビームが経路ｒ沿って伝送されるように、エネルギー・ビームを向けるエネルギ ー・ビーム源と 前記経路に沿う前記エネルギー・ビームの量の差を検出するエネルギー・ビーム ・センサーとから成ること。 ４　請求の範囲第１項記載の装・置において、前記第２の要素の形状の変化部は 複数あり、前記第１の移動装置は、前記検出装置が順次、前記複数の形状の変化 部を通過するよう、前記支持部材又は前記第２の要素を動かすこと。 ５、請求の範囲第４項記載の装置は、さらに、前記第１の移動装置が前記検出装 置に前記形状変化部を通過させるときに、前記支持部材と形状変化部の相対整合 についての情報を記憶する第１の処理装置と、 前記の記憶した整合情報を処理し、それに基いて、前記支持部材が前記載置方向 に沿って動いて前記第１の要素を前記複数の形状変化部に載せることができるよ う、前記第１の移動装置の所望位置を決定する第２の処理装置、を含むこと。 ６　請求の範囲第１項記載の装置において、前記第１の要素は半導体ウェーハで あり、前記支持部材は前記ウェーハを支持し、前記形状変化部は前記ウェーハの 受口であり、前記検出装置はエネルギー・ビーム又は検出要素を前記受口に通す 装置を含むこと。 Ｚ　請求の範囲第６項記載の装置において、前記第２の要素は複数のウェーハの ホルダーであり、前記受口はウェーハ支持スロットより成り、前記スロットは曲 射横断方向に沿って配列され、さらに前記載置方向に沿って前記ホルダーに対し 前記支持部材と検出装置を動かす第２の移動装置を設けたこと。 ８、請求の範囲第７項記載の装置は、さらに、前記ウェーハな前記スロット対に 一度にひとつずつ載置するため、前記載置方向に沿って前記支持部材を順次前後 に動かす装置を含むこと。 ９　請求の範囲第７項記載の装置は、さらに、前記第１０移２６ 動装置により動かされる前記ホルダー又は支持部材の前記横断方向に沿う位置を 測定する位置測定装置と、前記第１の移動装置を作動して前記支持部材と検出装 置を動かして複数の前記スロットを通過させる測定制御装置と、前記位置測定装 置と前記検出装置の出力を処理して、前記支持部材により前記載置方向に沿って 運ばれたウェーハが前記スロットに受けいれられるように前記支持部材とスロッ トとが整合する前記横断方向に沿う複数の整合位置を決定する第１の処理装置と 、 を含むこと。 １０　請求の範囲第９項記載の装置は、さらに、前記第１の移動装置を作動して 前記支持部材又はホルダーを順次前記整合位置の夫々に動かし、前記第２の移動 装置を前記の各位置で作動して前記支持部材の運ぶ前記ウェーッ・を前記スロッ トに動かすウェーハ積載制御装置を含むこと。 １１、請求の範囲第１０項記載の装置において、前記ホルダーには前記の各ウェ ーッ・ごとに２つの前記スロットがあり、さらに各スロット対の整合位置を処理 してそれに基℃・て、前記載置方向とほぼ平行な軸を中心として、前記載置方向 に沿って動かした場合にウェー・・が前記スロット対に受け入れられるように、 ウェーッ・を回転させなければならない回転角度を決定する第２の処理装置を設 けたこと。 １２、請求の範囲第１１項記載の装置は、さらに、前記ウェーハを前記スロット に設置する前に、前記支持部材を前記回転軸のまわりを前記回転角度だけ回転さ せる装置を含むこと。 １６　請求の範囲第１０項記載の装置にお℃・て、前記ウェーッ・・ホルダーは 前記ウェーッ１を炉に入れるのに適したクオルツ・ホルダーであり、前記支持部 材、検出装置、第１と第２の移動装置は前記クオルツ・ホルダーとともに働くこ と。 １４、請求の範囲第６項記載の装置において、前記検出装置は、少なくとも前記 支持部材とスロットが整合しているときにはスロットと交差する径路に沿ってエ ネルギー・ビームを向は支持部材とスロットが整合しているときの方が不整合の ときより多くの前記ビームが通過するように配置されたエネルギー・ビーム源と 、 前記径路に沿って通過した前記ビームの量の差を検出するよう配置されたエネル ギー・ビーム・センサーと、より成ること。 １５４　請求の範囲第１４項記載の装置において、前記エネルギー・ビーム源は 前記径路に沿って光ビームを向ける光源であり、前記エネルギー・ビーム・セン サーは光センサーであること。 １６　請求の範囲第１４項記載の装置において、前記ホルダーには前記の各ウェ ーバごとに２つのスロットがあり、前記２つの源と前記支持部材に配置された２ つのセンサーがあり、夫々の指向するビームは、整合下では、前記スロット対の 夫々のスロットと交差すること。 １７　請求の範囲第１６項記載の装置は、さらに、前記第１の移動装置により動 かされる前記ホルダ１又は支持部材の、前記横断方向に沿う位置を測定する位置 測定装置と、８ 前記第１の移動装置を作動して前記支持部材と検出装置を動かして前記スロット 対を通過させる測定制御装置と、前記位置測定装置の出力と前記検訂装置の両方 のセンサーの出力を処理して、前記エネルギー・ビームとスロットとが整合する 、前記横断方向に沿う位置を決定する第１の処理装置と、を含むこと・ １８　請求の範囲第１６項記載の装置において、前記支持部材は前記ホルダーの 内部に入れられる中央部と、前記ホルダの外側ではあるが、前記横断方向に沿っ て前記ホルダーとほぼ同じ位置に配置される少なくともひとつの外方部を有し、 前記中央部と外方部は前記ホルダーの片側をまたぎ、前記検出装置は前記中央部 より前記外方部へと光を向ける装置を含むこと。 １９　請求の範囲第１８項記載の装置において、前記光源とセンサーは前記外方 部に配置され、前記中央部には前記光源からの光を反射する鏡が配置されること 。 ２０　請求の範囲第１９項記載の装置において、前記中央部の両側には２つの鏡 があり、前記２つの外方部には２対の光源とセンサーがあり、夫々前記ホルダー の一側をまたぐこと。 ２１、請求の範囲第１６項記載の装置において、前記光源とセンサーは前記支持 部材に至る２つの光フアイバー径路と、前記部材から遠い位置に配置された光源 とセンサーを含むこと。 ２２　請求の範囲第１６項記載の装置において、前記光ビームは、前記スロット と交差する領ぼψは前記スロット幅（前記横断方向に沿う幅）の１．５倍以下の 幅を有しており、前記検出装置による前記スロットの位置の分解能を上げている こと。 ２３　請求の範囲第１７項記載の装置において、前記第１の処理装置は、前記ス ロットを通る前記ビームの通過量が最大となる、前記横断方向に沿う位置をめる ことにより前記整合位置を決定する装置を含むこと。 ２４、請求の範囲第１２項記載の装置におし・て、前記測定制御装置は、前記支 持部材を前記回転角だけ回転させた後、前記支持部材と検出装置を動かして再び 前記複数のスロットを通過させる装置を含み、前記第２の処理装置は前記回転角 度の変化により前記スロットに対する前記支持部材の整合具合がよぐなかったか どうかを決定する装置を含むこと。 ２５　請求の範囲第１２・項記載の装置において、前記測定制御装置は前記支持 部材と検出装置を動かして、前記複数のスロットの一部のみを通過させる装置を 含み、前記第２の処理装量は前記一部のスロットのみについての出力から全ての スロットについての前記回転角を決定する装置を含むこと。 ２６、半導体ウェーハな移動する装置にお℃・て、夫々、ウェーハの中心よりウ ェーハの縁の近（に配置された少なくとも２つの開口を形成しであるウェーハ・ ピック・アップ素子と、 ウェーハを前記ウェーハ・ピック・アップ面に吸着させるため前記開口に大気圧 より低圧又は真空を与える装置と、より成り、 ピック・アップ素子に対するウェーハの縁の位置がずれないようにしてウェーハ をピック・アップできるようにした装置。 ３０ ２７　請求の範囲第２６項記載の装置において、前記開口はそのまわりに盛土部 があり、前記ウェーハ・ピック・アップ素子の前記開口間の領域が前記盛土部よ り下に位置するようにすることによりそりのあるウェーハをピック・アップでき るようにしたこと。 ２８　請求の範囲第２６項記載の装置は、さらに、前記の各開口に至る真空ライ ンに接続された個別の圧力センサーを有しいずれかの開口の圧力センサーの出力 変化よりひとつの開口とウェーハとの初期接触を検出できること。 ２９　請求の範囲第２７項記載の装置において、前記盛上部はテフロンで形成さ れること。 ６０、請求の範囲第２７項記載の装置において、前記開口は４つあり、夫々、前 記ウェーハの半径方向を横切る平行な方向に沿って延びており、そのまわりを前 記盛土部が囲むこと。 ろ１．請求の範囲第２８項記載の装置は、さらに、前記ウェーハ・ピック・アッ プ素子が支持するウェーハの平面と直角の方向に、ウェーハ・ホルダーに対して 前記ウェーハ・ピック・アップ素子を移動させる装置と、前記圧力センサーのひ とつより、ひとつの真空開口が閉じ、ウェーハ面と接触し始めたことが検出され たらウェーハの移動速度を落とす装置と、複数の前記開口が閉じたことが検出さ れたらウェーッ・の移動を停止する装置とを含むこと。 ６２、ウェーハを５０以上載せることのできるクオルッ・ウェーハ・ボートにウ ェーハを載せるのに充分な薄手のウェーハ、ピック・アップ素子であって、ウェ ーハに対する不活性接触を与えるテフロンの層に剛性を与えるアツベニウムの層 で成層した素子より成る半導体ウェーハ移動装置。 ３６　請求の範囲第６２項記載の装置において、前記アルミニウムには、ウェー ハ接触面の真空開口に真空を導くための管で満たされた溝があり、前記溝は前記 テフロン層に成層された前記アルミニウムの表面に開口しており、前記管は前記 成層に先立って溝内に配設されること。 ３４、ボートに半導体ウェーハを載せ、又はボートよりウェーハをピックアップ する装置において、はぼ垂直方向に前記ウェーハを支持するウェーハ支持部材又 はパトゝルと 前記支持部材を前記ボートに移動させる移動装置と前記ウェーハの載置位置に載 せる際に前記支持部材とウェーハがダンピング力によって遅くされて下方に動く ようにし、ピック・アップの際にはダンピング力で遅くされて上方に動くように したダンピング装置ト、 から成る装置。 ６５、請求の範囲第６４項記載の装置において、前記支持部材は回転し得るよう に撓みをもたせて支持されたアームに支持され、前記ダンピング装置は前記アー ムの回転を妨げるよう作用すること。 ６６　半導体ウェーハを受入れる少なくとも２つのスロットを備えたボートにウ ェーハを挿入する装置において、前記ウェーハを支持するウェーハ支持部材又は ノξドルと、前記ウェーハの縁を前記スロットの中心に入れるのに必要な角度だ け前記支持部材を回転させる回転装置と、前記回転ささた支持部材を並進させ前 記ウェーハを前記ボートの前記スロットに設置する設置装置と、より成り、前記 ウェーハを前記スロットに、ウェーハの縁がスロットの壁とこすり合うことなく 、設置できるようにした装置。 ６７　請求の範囲第３６項記載の装置は、受入れるべき前記ウェーハの縁に対す る前記スロットの位置を検出する検出装置と、前記検出位置より前記回転角度を める処理装置。 ６８　請求の範囲第６６項記載の装置において、設置に際して前記の並進は単一 の設置方向に沿い、前記回転は前記設置方向と並行な軸のまわりに行なわれるこ と。 ろ９　請求の範囲第３７項記載の装置において、前記ウェーハ支持部材は、回転 可能なように支持されたアームに支持されウェーハの回軸は前記アームの回転に より行なわれること、４０、請求の範囲第６９項記載の装置は、さらに、前記ア ームを回転させるステップ・モータとカムを有し、前記ステップ・モータは前記 処理装置により制御されること。 ４１　請求の範囲第４０項記載の装置において、前記検出装置は前記支持部材に 配置されており、さらに前記ステップ・モータを作動して前記支持部材を前記回 転角だけ回転させ、次いで前記検出装置を作動して選択した回転角度によりウェ ーハの縁とスロットの中心間に所望の整合が得られたがどうかを判定し、繰返し 前記ステップ・モータを作動して前記回転角を変える装置を含むこと。 ４２　請求の範囲第４０項記載の装置は、さらに前記回転アームを可変に支持す る固定アームを有すること。 ４６　請求の範囲第４２項記載の装置において、前記ス〃プ・モータは前記固定 アームに固定され、前記カムは前記ステップ・モータのシャフトに結合した回転 可能な部材を有し、この部材は前記シャフトの軸よりはずれたピンを有し、この ピンを受入れる前記回転可能なアームのスロットを有し、前記ステップ・モータ の回転により前記ピンが前記スロット内で動℃・てこれにより前記回転可能なア ームに回転を与えるようにしたこと。 ４４　請求の範囲第４２項記載の装置において、前記アームは前記回転角度を変 化させることなく一緒に並進してウェーハを前記ボートに移すこと。 ４５　部材がくり返し、正確な位置から離れ、かつ戻るように部材を所定の経路 に沿って並進させる装置において、前記経路に沿う上面及び下面を備えたトラッ ク、前記トラックに支持されるトロリイ、 前記トラックの上面と下面に前記トロリイを支持するローラ、及び、 トロリイとローラ間のトラックの下面に取り付けられた撓み材より成り、この撓 み材は前記ローラを前記トラックの上面と下面に強固に圧接することにより、前 記トロリイとトラックの前１１にスロツプヤ運動のずれが生じないようにしてト ロリイをトラックに支持する、装置。 ４６、請求の範囲第４５項記載の装置において、前記上面と下面の各々には、夫 々、ひとつのローラを支持する２つの傾斜面が形成されていること。 ３４ ４Ｚ　請求の範囲第４５項記載の装置において、前記上面は前記下面よりなめら かであること。 ４８、請求の範囲第４５項記載の装置において、前記撓み材は、トロリイより下 ローラを支持する構造体に延在する２つの可撓性プレートより成る平行四辺形構 成であること。 ４９　請求の範囲第４５屓記載の装置において、前記トロリイには、上、下のロ ーラーに前と後の組ローラがあって、合計８つより成るローラーをもっこと。 ５０　請求の範囲第４５項記載の装置はさらに、スプロケットに支持され、前記 トロリイに結合していてトロリイを前記トラックに沿って駆動するチェインを含 むこと。 ５１　請求の範囲第４５項記載の装置は、さらに、前記第１のトロリイに取り付 けられた第１のトラック、前記第２のトロリイに取り付けられた第２のトラック を含み、前記トロリイとトランクは、前記第２のトロリイが前記２つのトラック の並進の２つの方向の定める平面内で並進できるように構成されていること。 ５２、請求の範囲第５０項記載の装置は、さらに、前記スプロケットに結合して いて前記チェインを駆動するステップ・モータと、前記スプロケットに結合して いて前記トロリイの位置を表示するエンコーダを含むこと。 ５６、請求の範囲第５１項記載の装置は、さらに、前記第２のトロリイに結合し たアーム、連続チェイン、このチェインを前記平面内の非直線径路に沿って移動 させるようにしたスプロケット、及び前記トロリイを前記連続チェインに結合す る結合部材を含み、前記アームが前記チェインの非直線径路の定める前記平面内 の非直線径路を通って動くことができるようにしたこと。 ５４　第１のボートと第２のボート間で少なくともひとつの半導体ウェーハを移 送する装置において、移送の際、前記ウェーハを支持するウェーハ支持部材と、 前記支持部材を取り付けたアームと、 前記アームを前記第１と第２のボート間で移動させるアーム移動装置と、 前記第１のボートを支持する第１ボート支持装置と前記第２のボートを支持する 第２ボート支持装置とを備え、前記ボート支持装置の少なくともひとつには、前 記ボートを取り付げたトロリイをローラ軸受答弁して支持するトラックを有する 、装置。 ５５、請求の範囲第５６項記載の装置において、前記ボート支持装置の両方とも 、前記トラック、ローラ、軸受及びトロリイを有すること。 ５６　請求の範囲第５４項記載の装置は、さらに前記アームなＸＹ平面で並進さ せ、前記ボートをＺ方向に並進させる装置を含むこと。 ５７　請求の範囲第５４項記載の装置において、前記アーム移動装置は、請求の 範囲第５１項の２つのトラック構成を有すること。 ５８　半導体ウェーハ移動装置に、炉に入れるタイプでスｐット付の２つの上方 レールを備えたウェーハホルダーを保持す６ る装置において、 前記レールの一方を、レールに沿って隔置した２つの位置で受け入れる２つの凹 部を有する第１の保持部材と、他方のレールをレールに沿う第１の位置で受け入 れるひとつの凹部を有する第２の保持部材と、 前記他方のレールとレールに沿う第２の位置で係合するための平らで凹部のない 面を有する第６の保持部材より成り、前記レールは６つの位置でのみ拘束され、 第４位置につし・てはレールの間の不整合を補償するように自然の位置をとるよ うにしたことを特徴とする装置。 ５９　請求の範囲第５８項記載の装置において、前記第１の保持部材は固定され 、前記第２と第６の保持部材は自在に取り付けられて℃・ること。