JPS5952203U - 流体圧シリンダ - Google Patents
流体圧シリンダInfo
- Publication number
- JPS5952203U JPS5952203U JP14822782U JP14822782U JPS5952203U JP S5952203 U JPS5952203 U JP S5952203U JP 14822782 U JP14822782 U JP 14822782U JP 14822782 U JP14822782 U JP 14822782U JP S5952203 U JPS5952203 U JP S5952203U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piston rod
- fluid pressure
- pressure cylinder
- eddy current
- cylinder
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Actuator (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第1図は本考案の流体圧シリンダの具体例を示す一部切
断正面図、第2図はピストンロッド形状および渦電流セ
ンサのピストンロッドに対する関係を示す要部の説明図
、第3図a、 bは渦電流センサの出力波形図、第4
図は二つの渦電流センサのピストンロッドに対する関係
を示す要部の説明図、第5図a、 b、 c、 d、
e、 f、 gおよび第6図a、 b、 c
、 d、 e、 f、 gはピストンロッドを
一方向および他方向のそれぞれに変位させた場合に、第
7図の回路各部が出力する信号のタイムチャート、第7
図は渦電流センサ出力によってピストンロッドの変位方
向を検出する回路図である。 1・・・・・・シリンダ、2・・・・・・ピストンロッ
ド、3・・・・・・ピストン、6. 6a、 6b・
・・・・・渦電流センサ、7・・・・・・凹凸面。 −一ピョ 、(b)−顆才 (c)−7 「l−[]−一 )
断正面図、第2図はピストンロッド形状および渦電流セ
ンサのピストンロッドに対する関係を示す要部の説明図
、第3図a、 bは渦電流センサの出力波形図、第4
図は二つの渦電流センサのピストンロッドに対する関係
を示す要部の説明図、第5図a、 b、 c、 d、
e、 f、 gおよび第6図a、 b、 c
、 d、 e、 f、 gはピストンロッドを
一方向および他方向のそれぞれに変位させた場合に、第
7図の回路各部が出力する信号のタイムチャート、第7
図は渦電流センサ出力によってピストンロッドの変位方
向を検出する回路図である。 1・・・・・・シリンダ、2・・・・・・ピストンロッ
ド、3・・・・・・ピストン、6. 6a、 6b・
・・・・・渦電流センサ、7・・・・・・凹凸面。 −一ピョ 、(b)−顆才 (c)−7 「l−[]−一 )
Claims (4)
- (1)制御指令に応動してシリンダ内をピストンロッド
が出入する量を検出し、この検出データと前記制御指令
データとの誤差データに基づいて前記ピストンロッドの
出入量を前記制御指令データ通りの位置にセットする流
体圧シリンダにおいて、前記ピストンロッドには外周面
め長手方向に導電部材からなりかつその長手方向にスケ
ーリングした凹凸面を設け、この凹凸面に対向する位置
のシリンダには、前記ピストンロッドに接触しないよう
に渦電流センサを設けてなり、前記ピストンロッドの出
入動作に伴って前記渦電流センサに生じるインピーダン
スの変化量からピストンロッドの出入量を求めうるよう
に構成した流体圧シリンダ。 - (2)ピストンロッドの外周面にはセラミック層がコー
ティングされてなる実用新案登録請求の範囲第1項に記
載の流体圧シリンダ。 - (3)ピストンロッドに対し渦電流センサが複数個並設
されてなる実用新案登録請求の範囲第1項に記載の流体
圧シリンダ。 - (4) 渦電流センサがシリンダ上であってこれの外
部に臨む位置に設けられてなる実用新案登録請求の範囲
第1項および第3項に記載の流体圧シリンダ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14822782U JPS5952203U (ja) | 1982-09-30 | 1982-09-30 | 流体圧シリンダ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14822782U JPS5952203U (ja) | 1982-09-30 | 1982-09-30 | 流体圧シリンダ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5952203U true JPS5952203U (ja) | 1984-04-06 |
Family
ID=30329392
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14822782U Pending JPS5952203U (ja) | 1982-09-30 | 1982-09-30 | 流体圧シリンダ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5952203U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006227005A (ja) * | 2005-02-17 | 2006-08-31 | Agilent Technol Inc | インピーダンス比較による位置エンコード |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5032704U (ja) * | 1973-07-19 | 1975-04-09 | ||
| JPS529414U (ja) * | 1976-03-03 | 1977-01-22 |
-
1982
- 1982-09-30 JP JP14822782U patent/JPS5952203U/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5032704U (ja) * | 1973-07-19 | 1975-04-09 | ||
| JPS529414U (ja) * | 1976-03-03 | 1977-01-22 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006227005A (ja) * | 2005-02-17 | 2006-08-31 | Agilent Technol Inc | インピーダンス比較による位置エンコード |
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