JPS5952561A - 霧化器 - Google Patents
霧化器Info
- Publication number
- JPS5952561A JPS5952561A JP57164628A JP16462882A JPS5952561A JP S5952561 A JPS5952561 A JP S5952561A JP 57164628 A JP57164628 A JP 57164628A JP 16462882 A JP16462882 A JP 16462882A JP S5952561 A JPS5952561 A JP S5952561A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- nozzle plate
- soft solder
- electric vibrator
- thin film
- film layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05B—SPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
- B05B17/00—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups
- B05B17/04—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods
- B05B17/06—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations
- B05B17/0607—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations generated by electrical means, e.g. piezoelectric transducers
- B05B17/0638—Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations generated by electrical means, e.g. piezoelectric transducers spray being produced by discharging the liquid or other fluent material through a plate comprising a plurality of orifices
- B05B17/0646—Vibrating plates, i.e. plates being directly subjected to the vibrations, e.g. having a piezoelectric transducer attached thereto
Landscapes
- Special Spraying Apparatus (AREA)
- Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、灯油などの液体燃料、水、薬液などの液体の
霧化器に関するものであり、さらに詳しくは、圧電振動
子などの電気振動子を利用した霧化器に関するものであ
る。
霧化器に関するものであり、さらに詳しくは、圧電振動
子などの電気振動子を利用した霧化器に関するものであ
る。
従来例の構成とその問題点
従来この種の霧化ポンプは、第１図に示すように構成さ
れている。すなわち電気振動子１の相対向する平滑面に
は、電極膜２ａ、２ｂが形成され、電極膜２ｂとノズル
板３とは軟鑞４ａを介して接合がされていた。さらにノ
ズル板３の他方の面と、ボディーｉは軟鑞４ｂを介して
接合されていた。
れている。すなわち電気振動子１の相対向する平滑面に
は、電極膜２ａ、２ｂが形成され、電極膜２ｂとノズル
板３とは軟鑞４ａを介して接合がされていた。さらにノ
ズル板３の他方の面と、ボディーｉは軟鑞４ｂを介して
接合されていた。
電気振動子１′は主成分がＰｂＯ９Ｔｌｏ２．ｚＴ○２
゜ＮｂＯ，ＭｇＯからなるセラミック体で、円形中央部
に開口部を設けたリング形状を有し、電極膜２ａ、２ｂ
は、銀系の厚膜用導電性ペーストの焼結体などが用いら
れ、ノズル板３は厚さ約６０μｍ程度のディスク状に加
工された金属板が用いられ、その中央部にはノズル孔６
（孔径約７０〜１００μｍ）が複数個設けられていた。
゜ＮｂＯ，ＭｇＯからなるセラミック体で、円形中央部
に開口部を設けたリング形状を有し、電極膜２ａ、２ｂ
は、銀系の厚膜用導電性ペーストの焼結体などが用いら
れ、ノズル板３は厚さ約６０μｍ程度のディスク状に加
工された金属板が用いられ、その中央部にはノズル孔６
（孔径約７０〜１００μｍ）が複数個設けられていた。
尚、ノズル板３は、各構成部材を軟鑞で接合するため、
軟鑞に不活性な金属を用いた場合、第２図に示す様にノ
ズル板３表面を予じめ軟鑞に活性な金属薄膜層３１で形
成してあった。この金属薄膜層３１とノズル板３表面と
の付着強度を高めるために、クロム、チタン等の金属薄
膜による中間薄膜層３２を設ける方法もおこなわれてい
た。
軟鑞に不活性な金属を用いた場合、第２図に示す様にノ
ズル板３表面を予じめ軟鑞に活性な金属薄膜層３１で形
成してあった。この金属薄膜層３１とノズル板３表面と
の付着強度を高めるために、クロム、チタン等の金属薄
膜による中間薄膜層３２を設ける方法もおこなわれてい
た。
次に、電極膜２ａは外部リード線接続用電極であり、ボ
ディー６には液体通路７および液体室８が設けられ、こ
の様にして霧化ポングユニットは構成されていた。
ディー６には液体通路７および液体室８が設けられ、こ
の様にして霧化ポングユニットは構成されていた。
この構成では、ノズル板３と電気振動子１（電極膜２ｂ
）ならびに、ノズル板３とボディー６を軟鑞４ａで接合
するため、軟鑞溶融時の軟鑞流れが生じ易く接合界面以
上に軟鑞４ａ、４ｂが拡大し、軟鑞４ａ、＋ｂの位置規
正ができなかった。
）ならびに、ノズル板３とボディー６を軟鑞４ａで接合
するため、軟鑞溶融時の軟鑞流れが生じ易く接合界面以
上に軟鑞４ａ、４ｂが拡大し、軟鑞４ａ、＋ｂの位置規
正ができなかった。
従って、電気振動子１からの振動伝播が異なって、霧化
特性の安定化が得られないという欠点を有していた。ま
だ、半田レジスト膜により軟鑞接合部を規正することも
おこなわれていたが、ノズル孔６を汚染したり、目詰り
させる問題や、軟鑞４ｂ側の接合では、レジスト膜が除
去できないという欠点を有していた。
特性の安定化が得られないという欠点を有していた。ま
だ、半田レジスト膜により軟鑞接合部を規正することも
おこなわれていたが、ノズル孔６を汚染したり、目詰り
させる問題や、軟鑞４ｂ側の接合では、レジスト膜が除
去できないという欠点を有していた。
発明の目的
本発明はかかる従来の欠点を除去するもので、霧化器の
電気振動子とノズル板ならびにノズル板とボディーを軟
鑞接合するうえで、実用上信頼性の高い該ユニットを提
供することを目的とする。
電気振動子とノズル板ならびにノズル板とボディーを軟
鑞接合するうえで、実用上信頼性の高い該ユニットを提
供することを目的とする。
発明の構成
この目的を達成するために本発明は、リング形状を有し
た電気振動子と、１ないし１以上のノズル孔を設けたノ
ズル板とボディーからなり、前記のノズル板表面の一部
に軟鑞に活性な金属薄膜層を形成し、その後、軟鑞を介
して前記電気振動子と前記ノズル板ならびに前記ノズル
板と前記ボディーとを接合したものである。
た電気振動子と、１ないし１以上のノズル孔を設けたノ
ズル板とボディーからなり、前記のノズル板表面の一部
に軟鑞に活性な金属薄膜層を形成し、その後、軟鑞を介
して前記電気振動子と前記ノズル板ならびに前記ノズル
板と前記ボディーとを接合したものである。
この構成によって、軟鑞層の位置規正が精度よくでき、
霧化特性の安定した霧化ポンプユニットが得られる。
霧化特性の安定した霧化ポンプユニットが得られる。
実施例の説明
以下、本発明の一実施例を、第３図、第４図を用いて説
明する。尚、これらの図において第１図と同じものにつ
いては、同一番号を付している。
明する。尚、これらの図において第１図と同じものにつ
いては、同一番号を付している。
第３図において、電気振動子１は外径１０ｍ。
開口径３．６ｍ＋ｎ、厚さ約１．０（転）のリング状で
従来例と同じものであり、電極膜２ａ、２ｂが形成され
ている。ノズル板３は、軟鑞に不活性なステンレス、チ
タン等の金属薄板で、従来と同じ材質を選んだ。ノズル
板３の両面の一部には、軟鑞に活性な銅、金、銀、真鍮
、コパール等の金属薄膜層９が、真空蒸着法、スパッタ
法、メッキ法、溶射法などにより形成される。この金属
薄膜層９の形成は、ノズル板３面上で電気振動子１なら
びにボディーとの接合を要す部分のみにパターン形成が
なされている。
従来例と同じものであり、電極膜２ａ、２ｂが形成され
ている。ノズル板３は、軟鑞に不活性なステンレス、チ
タン等の金属薄板で、従来と同じ材質を選んだ。ノズル
板３の両面の一部には、軟鑞に活性な銅、金、銀、真鍮
、コパール等の金属薄膜層９が、真空蒸着法、スパッタ
法、メッキ法、溶射法などにより形成される。この金属
薄膜層９の形成は、ノズル板３面上で電気振動子１なら
びにボディーとの接合を要す部分のみにパターン形成が
なされている。
ついで、電気振動子１（電極膜２ｂ）とノズル板３なら
びにノズル板３とボディー６は、軟鑞層４ａおよび軟鑞
層４ｂを介して接合される。また、液体通路７．液体室
８は従来と同じ形態である。
びにノズル板３とボディー６は、軟鑞層４ａおよび軟鑞
層４ｂを介して接合される。また、液体通路７．液体室
８は従来と同じ形態である。
上記構成において、電気振動子１（電極膜２ｂ）とノズ
ル板３ならびにノズル板３とボディー６間の軟鑞接合の
場合、ノズル板３面上には軟鑞に活性な金属薄膜層９を
パターン形成しているため、各軟鑞層４ａ、４ｂは接合
界面が規正され、従って形状的に安定した接合部が得ら
れる。
ル板３ならびにノズル板３とボディー６間の軟鑞接合の
場合、ノズル板３面上には軟鑞に活性な金属薄膜層９を
パターン形成しているため、各軟鑞層４ａ、４ｂは接合
界面が規正され、従って形状的に安定した接合部が得ら
れる。
また、上記構成によれば、レジスト膜を用いたときのよ
うな、ノズル孔６を汚染したり、目詰りさせるなどの問
題は全くない。
うな、ノズル孔６を汚染したり、目詰りさせるなどの問
題は全くない。
尚、上記実施例ではノズル板３面上に、金属薄膜層９を
直接的に形成する方法で述べてきたが、ノズル板３と金
属薄膜層９の付着力を高めるだめに、第４図に示す如く
、ノズル板３両面の全表面上あるいは、第６図に示す如
くノズル板３両面の一部分に金属薄膜層９と同一パター
ンで、付着力の高いクロム、チタンなどの中間薄膜層３
２を形成する方法でも、上記実施例と同様の効果が得ら
れる。
直接的に形成する方法で述べてきたが、ノズル板３と金
属薄膜層９の付着力を高めるだめに、第４図に示す如く
、ノズル板３両面の全表面上あるいは、第６図に示す如
くノズル板３両面の一部分に金属薄膜層９と同一パター
ンで、付着力の高いクロム、チタンなどの中間薄膜層３
２を形成する方法でも、上記実施例と同様の効果が得ら
れる。
尚、本実施例で用いられる軟鑞は、Ｐｂ−８ｎ共高合金
を始めとした４５０℃より低い融点をもつ、鑞付用金属
溶加材である。
を始めとした４５０℃より低い融点をもつ、鑞付用金属
溶加材である。
発明の効果
以上のように、本発明の霧化器によれば、次の効果が得
られる。
られる。
（１）金属薄膜層をパターン形成するため、接合部の接
合界面が形状的に安定化できる。従って、電気振動子か
らの振動伝播が安定し、霧化特性の安定化が得られる。
合界面が形状的に安定化できる。従って、電気振動子か
らの振動伝播が安定し、霧化特性の安定化が得られる。
（２）半田レジスト膜を用いた場合のような、目詰りや
ノズル孔の汚染などの問題がない。
ノズル孔の汚染などの問題がない。
第１図は従来の霧化器の構成を示す断面図、第２図は従
来の要部の拡大断面図、第３図は本発明の霧化器の一実
施例を示す断面図、第４図ならびに第６図は本発明の他
の実施例を示す断面図である。 １・・・・・・電気振動子、２ａ・・・・・・電極膜、
２ｂ・・・・・・電極膜、３・・・・・・ノズル板、３
２・・・・・・中間薄膜層、４ａ・・・・・・軟鑞、４
ｂ・・・・・・軟鑞、６・・・・・・支持容器、６・・
・・・・ノズル孔、７・・川・液体通路、８・・・・・
・液体室、９・・・・・・金属薄膜層。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 はが１名！、
５１図 第３図 ？ａ
来の要部の拡大断面図、第３図は本発明の霧化器の一実
施例を示す断面図、第４図ならびに第６図は本発明の他
の実施例を示す断面図である。 １・・・・・・電気振動子、２ａ・・・・・・電極膜、
２ｂ・・・・・・電極膜、３・・・・・・ノズル板、３
２・・・・・・中間薄膜層、４ａ・・・・・・軟鑞、４
ｂ・・・・・・軟鑞、６・・・・・・支持容器、６・・
・・・・ノズル孔、７・・川・液体通路、８・・・・・
・液体室、９・・・・・・金属薄膜層。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 はが１名！、
５１図 第３図 ？ａ
Claims (4)
- （１）リング形状を有し相対向する平滑面に電極膜を設
けた電気振動子と、この電気振動子で加振される１ない
し１以上のノズル孔を設けたノズル板電気振動子と前記
ノズル板ならびに前記ノズル板と前記ボディーとを接合
した霧化器。 - （２）ノズル板は軟鑞に不活性なステンレス、チタンな
どの金属薄板とした特許請求の範囲第′１項記載の霧化
器。 - （３）軟鑞に活性な金属薄膜層は、銅、金、銀、真鍮、
コバールなどの金属とした特許請求の範囲第１項記載の
霧化器。 - （４）軟鑞に活性な金属薄膜層は、ノズル板表面で電気
振動子ならびにボディーを接合するに必要な範囲に形成
した特許請求の範囲第１項記載の霧化器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57164628A JPS5952561A (ja) | 1982-09-20 | 1982-09-20 | 霧化器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57164628A JPS5952561A (ja) | 1982-09-20 | 1982-09-20 | 霧化器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5952561A true JPS5952561A (ja) | 1984-03-27 |
| JPS632222B2 JPS632222B2 (ja) | 1988-01-18 |
Family
ID=15796810
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57164628A Granted JPS5952561A (ja) | 1982-09-20 | 1982-09-20 | 霧化器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5952561A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20220161291A1 (en) * | 2020-11-23 | 2022-05-26 | Specialist Health Solutions Limited | Injection head for excitation of fluid |
-
1982
- 1982-09-20 JP JP57164628A patent/JPS5952561A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20220161291A1 (en) * | 2020-11-23 | 2022-05-26 | Specialist Health Solutions Limited | Injection head for excitation of fluid |
| US12208409B2 (en) * | 2020-11-23 | 2025-01-28 | Specialist Health Solutions Limited | Injection head for excitation of fluid |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS632222B2 (ja) | 1988-01-18 |
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