JPS5952888A - ガスレ−ザ発振器 - Google Patents
ガスレ−ザ発振器Info
- Publication number
- JPS5952888A JPS5952888A JP57165619A JP16561982A JPS5952888A JP S5952888 A JPS5952888 A JP S5952888A JP 57165619 A JP57165619 A JP 57165619A JP 16561982 A JP16561982 A JP 16561982A JP S5952888 A JPS5952888 A JP S5952888A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- laser tube
- laser
- pipe
- reflection mirror
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Lasers (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
この発明はガスレーザ発振器に関するものである。
従来例の構成とその問題点
炭酸カスレーザに代表されるガスレーザ発振器は、ブロ
ワやポンプを用いてレーザ管内にレーザ媒質ガスの流れ
を形成している。このようなガスの流れは放電などによ
多温度上昇する媒質ガスを除去することが主たる目的で
ある。
ワやポンプを用いてレーザ管内にレーザ媒質ガスの流れ
を形成している。このようなガスの流れは放電などによ
多温度上昇する媒質ガスを除去することが主たる目的で
ある。
一般的なカスレーザ発振器の構成（ｒＪ：８１図に示す
とおシである。同図において、１，１′は光学的共振器
を構成する反射鏡を含む反射鏡支持体で、レーザ管２の
両端に密封連結される。３はアノード、４はカンードで
あｐル−ザ管２内の放電領域５において放電を行なわせ
る。６はレーザ管２に連結したガス導入管、７はガス排
出管である。
とおシである。同図において、１，１′は光学的共振器
を構成する反射鏡を含む反射鏡支持体で、レーザ管２の
両端に密封連結される。３はアノード、４はカンードで
あｐル−ザ管２内の放電領域５において放電を行なわせ
る。６はレーザ管２に連結したガス導入管、７はガス排
出管である。
一般に、反射鏡は高い圧力で固定されると歪が発生して
反射鏡の表面形状が変形するため、出力および横モード
が悪化する。そのため、反射鏡の保持は、第２図に示す
ようにばね８を用いて小さな加圧力で反射鏡９を保持し
ている。この場合、反射鏡９はレーザ管軸１０に対し直
交配置される。
反射鏡の表面形状が変形するため、出力および横モード
が悪化する。そのため、反射鏡の保持は、第２図に示す
ようにばね８を用いて小さな加圧力で反射鏡９を保持し
ている。この場合、反射鏡９はレーザ管軸１０に対し直
交配置される。
１１は冷却された金属ブロック、１２は反射鏡固定板で
、１３はガスシール材である。ところが、反射鏡９の加
圧力を小さくすると、機械的歪を防止できるものの、冷
却された金属ブロック１１への熱伝導が小さくなるため
、熱的歪が発生するという新たな問題を有していた。ま
た、ガス導入管６からレーザ管２へのガスの流れが乱流
状態となっており、放電を偏よらせることにエリ効率の
向上をさまたげている欠点もあった。
、１３はガスシール材である。ところが、反射鏡９の加
圧力を小さくすると、機械的歪を防止できるものの、冷
却された金属ブロック１１への熱伝導が小さくなるため
、熱的歪が発生するという新たな問題を有していた。ま
た、ガス導入管６からレーザ管２へのガスの流れが乱流
状態となっており、放電を偏よらせることにエリ効率の
向上をさまたげている欠点もあった。
発明の目的
この発明の目的は、反射鏡の熱的歪発生を低減でき、し
かも発振効率の向上も図れるガスレーザ発振器を提供す
ることである。
かも発振効率の向上も図れるガスレーザ発振器を提供す
ることである。
発明の構成
この発明のガスレーザ発振器は、レーザ管の途中に連結
した主ガス導入管とレーザ管管端に配した反料鏡との間
において、そのレーザ管へ副ガス導入管を連結すること
により、副ガス導入管からレーザ管内へ送り込んだガス
で、反射鏡の温度上昇率を低減して、その熱的歪発生を
軽減するものである。また、副ガスの流れが加味される
ことによりガス乱流状態が改善され、レーザ出力の効率
向上も可能となるものである。
した主ガス導入管とレーザ管管端に配した反料鏡との間
において、そのレーザ管へ副ガス導入管を連結すること
により、副ガス導入管からレーザ管内へ送り込んだガス
で、反射鏡の温度上昇率を低減して、その熱的歪発生を
軽減するものである。また、副ガスの流れが加味される
ことによりガス乱流状態が改善され、レーザ出力の効率
向上も可能となるものである。
実施例の説明
この発明ｐ−実施例を第３図を用いて説明する。
同図において、１．１′は反射鏡支持体、３はアノード
、４はカソード、５は放電領域、６は主ガス導入管、７
はプスダト出竺、１４は副ガス導入管である。
、４はカソード、５は放電領域、６は主ガス導入管、７
はプスダト出竺、１４は副ガス導入管である。
副ガス導入管１４は反射鏡支持体１，１′の近傍に設け
られており、主たるガスの流れは、レーザ管２因におい
て主ガス導入管６とガス排出管７の間に形成される。ま
た、副ガスＪｌｌｋ人管１４からは高圧力ボンベなどに
より、主ガス導入管６から送り込まれるガスと同種類の
ガスをレーザ管２因に送り込む。その他の構成は、従来
例と同様である。
られており、主たるガスの流れは、レーザ管２因におい
て主ガス導入管６とガス排出管７の間に形成される。ま
た、副ガスＪｌｌｋ人管１４からは高圧力ボンベなどに
より、主ガス導入管６から送り込まれるガスと同種類の
ガスをレーザ管２因に送り込む。その他の構成は、従来
例と同様である。
このように構成した結果、レーザ管２内での放電は、主
ガス導入管６からガス排出管７への主たるガス流により
アノード３とカソード４間の放電領域５たおいて行なわ
れ、したがって副ガス導入管１４からレーザ管２内に送
り込まれた補給ガスは、反射鏡９の近傍において放電に
は一切関与せずに、反射鏡９の前面を流れて反射鏡９の
温度上昇率を低減するため、反射鏡９の熱的歪の発生を
軽減できる。
ガス導入管６からガス排出管７への主たるガス流により
アノード３とカソード４間の放電領域５たおいて行なわ
れ、したがって副ガス導入管１４からレーザ管２内に送
り込まれた補給ガスは、反射鏡９の近傍において放電に
は一切関与せずに、反射鏡９の前面を流れて反射鏡９の
温度上昇率を低減するため、反射鏡９の熱的歪の発生を
軽減できる。
第４図は主たるガス流撒（主ガス導入管６から導入）に
対する補給ガス導入量（副ガス導入管１４から導入）の
比率と、熱的歪発生量との関係特性図である。図から明
らかなように、主たるガス流量のわずか０．３チ以上を
補給ガスとし−Ｃ補給するだけで、熱的歪を大幅に軽減
することが可能となる。
対する補給ガス導入量（副ガス導入管１４から導入）の
比率と、熱的歪発生量との関係特性図である。図から明
らかなように、主たるガス流量のわずか０．３チ以上を
補給ガスとし−Ｃ補給するだけで、熱的歪を大幅に軽減
することが可能となる。
また、主たるガス流の放電にエリ温度上昇している放電
領域５へ副１ガス導入管１４からの補給ガスが導入され
るため、そのガス温度上昇が軽減されて出力増大に寄与
することもできる。しかも、補給ガスを導入しない場合
には、レーデ管軸１０の方向がガス導入管６の管軸方向
と直交しているため、ガス導入管６からレーザ管２因に
導入されたガス陣が、両管２，６の接続部で乱流となる
がこの実施例では、副ガス導入管１４から補給ガスを導
入しているため、その補給ガスが層流状態１５でレー″
！７″管２内を流れて上記乱流の発生を防止し、すなわ
ち、補給ガスが主ガス要人情・６から導入された主たる
、ガス流１６の方向をレーザ管軸方向へ円滑に転向させ
てガス排出管７へ迅速に導くため、補給ガスのわずかの
流れで熱交換を充分に行なうことができて、この点でも
発振出力の向上を図れる。
領域５へ副１ガス導入管１４からの補給ガスが導入され
るため、そのガス温度上昇が軽減されて出力増大に寄与
することもできる。しかも、補給ガスを導入しない場合
には、レーデ管軸１０の方向がガス導入管６の管軸方向
と直交しているため、ガス導入管６からレーザ管２因に
導入されたガス陣が、両管２，６の接続部で乱流となる
がこの実施例では、副ガス導入管１４から補給ガスを導
入しているため、その補給ガスが層流状態１５でレー″
！７″管２内を流れて上記乱流の発生を防止し、すなわ
ち、補給ガスが主ガス要人情・６から導入された主たる
、ガス流１６の方向をレーザ管軸方向へ円滑に転向させ
てガス排出管７へ迅速に導くため、補給ガスのわずかの
流れで熱交換を充分に行なうことができて、この点でも
発振出力の向上を図れる。
第５図は、主たるガス流薮に対する補給ガス導入量の比
率と、レーザ出力との関係特性図である。
率と、レーザ出力との関係特性図である。
図から明らかなように、補給ガスの供給減が増すことに
エリ、レーデ出力を増大できる。
エリ、レーデ出力を増大できる。
なお、この発明は、多数の反射鏡を用いて折返し型の共
振器を構成した場合も、各々の折返しに対して同様な効
果を達成できるものである。
振器を構成した場合も、各々の折返しに対して同様な効
果を達成できるものである。
発明の効果
この発明によれば、反射鏡の熱的歪発生を低減でき、し
かも発振効率を向上できるという効果が得られる。
かも発振効率を向上できるという効果が得られる。
第１図は従来例の構１戊図、第２図はその要部拡大断面
図、第３図はこの発明の一実施例の構成図、第４図は主
たるガス流量に対する補給ガス導入量の比率と熱的歪発
生率との関係特性図、第５図は主たるガス流量に対する
補給ガス導入はの比率とレーザ出力との関係特性図であ
る。。 １．１′・・・反射鏡支持体、２・・・１ノ−ザ管、３
・・・アノード、４・・・カソード、６・・・主ガス導
入上・、７・・・ガス排出管、９・・・反射鏡、１４・
・・副ガス導入管第１図 第３図
図、第３図はこの発明の一実施例の構成図、第４図は主
たるガス流量に対する補給ガス導入量の比率と熱的歪発
生率との関係特性図、第５図は主たるガス流量に対する
補給ガス導入はの比率とレーザ出力との関係特性図であ
る。。 １．１′・・・反射鏡支持体、２・・・１ノ−ザ管、３
・・・アノード、４・・・カソード、６・・・主ガス導
入上・、７・・・ガス排出管、９・・・反射鏡、１４・
・・副ガス導入管第１図 第３図
Claims (1)
- （１） レーザ管と、反射鏡を前記レーザ管軸に対し
直交支持して前記レーザ管の両管端に密封連結された一
対の反射鏡支持体と、前記レーザ管の途中に連結したガ
ス排出管と、このガス排出管と前記反射鏡支持体間にお
い゛Ｃ１前記レーザ管へ連結した一対の主ガス導入管と
、前記レーザ管内に電圧をかけて放ａｔ行なわせる電極
と、前記主ガス導入管と前記反射鏡支持体間において前
記レーザ管へ連結して反射鏡前面にガスを送り出す副ガ
ス導入管とを備えたガスレーザ発振器。 し）前記電極は、前記レーザ管内において、主ガス導入
管とガス排出管の近傍位置にそれぞれ設置した特許請求
の範囲第（１）項記載のガスレーザ発振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57165619A JPS5952888A (ja) | 1982-09-20 | 1982-09-20 | ガスレ−ザ発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57165619A JPS5952888A (ja) | 1982-09-20 | 1982-09-20 | ガスレ−ザ発振器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5952888A true JPS5952888A (ja) | 1984-03-27 |
Family
ID=15815801
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57165619A Pending JPS5952888A (ja) | 1982-09-20 | 1982-09-20 | ガスレ−ザ発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5952888A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1988009579A1 (fr) * | 1987-05-18 | 1988-12-01 | Fanuc Ltd | Oscillateur laser et procede d'injection etanche d'un gaz permettant l'effet laser dans ledit oscillateur laser |
-
1982
- 1982-09-20 JP JP57165619A patent/JPS5952888A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1988009579A1 (fr) * | 1987-05-18 | 1988-12-01 | Fanuc Ltd | Oscillateur laser et procede d'injection etanche d'un gaz permettant l'effet laser dans ledit oscillateur laser |
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