JPH065956A - 三軸直交形高周波放電ガスレーザの発振器 - Google Patents
三軸直交形高周波放電ガスレーザの発振器Info
- Publication number
- JPH065956A JPH065956A JP16157392A JP16157392A JPH065956A JP H065956 A JPH065956 A JP H065956A JP 16157392 A JP16157392 A JP 16157392A JP 16157392 A JP16157392 A JP 16157392A JP H065956 A JPH065956 A JP H065956A
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- JP
- Japan
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- oscillator
- gas
- high frequency
- laser light
- discharger
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- Pending
Links
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Landscapes
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 レーザ出力を増加すると共に、発振効率を向
上する。 【構成】 三軸直交形高周波放電ガスレーザにおいて、
その発振器の高周波放電部１に、放電部１を通過する励
起ガスの下流部の流れ方向を、矢印のようにレーザ光の
光路方向へ湾曲させる耐熱絶縁材料からなる邪魔板１５
を設けたものである。
上する。 【構成】 三軸直交形高周波放電ガスレーザにおいて、
その発振器の高周波放電部１に、放電部１を通過する励
起ガスの下流部の流れ方向を、矢印のようにレーザ光の
光路方向へ湾曲させる耐熱絶縁材料からなる邪魔板１５
を設けたものである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は三軸直交形高周波放電
ガスレーザの発振器の改良に関する。
ガスレーザの発振器の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】図４は従来の高周波放電による三軸直交
形炭酸ガスレーザの発振器の放電部の概略図である。図
示のように、放電部１には上部および下部金属電極３，
５がそれぞれ上部および下部誘電体７，９によって囲ま
れ、相対峙して設けられ、上部および下部金属電極３，
５には高周波電源Ｅが接続され、放電は上下方向に生ず
る。レーザガスは図示しない送風機によって整流板１
１，１３に沿って放電部１を矢印の方向へ左から右へ流
れる。放電部１の両側面（紙面の向い側と手前側）には
複数のミラＭが設けられている。
形炭酸ガスレーザの発振器の放電部の概略図である。図
示のように、放電部１には上部および下部金属電極３，
５がそれぞれ上部および下部誘電体７，９によって囲ま
れ、相対峙して設けられ、上部および下部金属電極３，
５には高周波電源Ｅが接続され、放電は上下方向に生ず
る。レーザガスは図示しない送風機によって整流板１
１，１３に沿って放電部１を矢印の方向へ左から右へ流
れる。放電部１の両側面（紙面の向い側と手前側）には
複数のミラＭが設けられている。
【０００３】レーザガスは高周波放電によって励起さ
れ、発生した光は放電部１の両側面に設けられた複数の
ミラＭ間を、紙面にほぼ垂直方向に往復し、励起ガスの
誘導放出により増幅され、レーザの光強度の利得が損失
（出力を含む）を上回るようになると、安定してレーザ
光を発振するようになる。その一部は出力ミラを介して
外部へ放出される。
れ、発生した光は放電部１の両側面に設けられた複数の
ミラＭ間を、紙面にほぼ垂直方向に往復し、励起ガスの
誘導放出により増幅され、レーザの光強度の利得が損失
（出力を含む）を上回るようになると、安定してレーザ
光を発振するようになる。その一部は出力ミラを介して
外部へ放出される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】前記の発振器の放電部
における励起ガスの光強度の利得係数Ｇの分布は、例え
ば図５のようになる。この図から明らかなように、ガス
流の下流部の斜線で示した励起ガスの利得部は、レーザ
光の光路から外れているので、励起ガスはそのエネルギ
ーが利用されないまま放電部から流出し、無駄に消費さ
れている。この対策の一つとして、金属電極の左右方向
の幅をせまくすると、この無駄な部分は少なくなるが、
注入電力が制限され、反ってレーザ出力が減少すると言
う問題が生ずる。また、ミラの数を増やすことも考えら
れるが、取付空間等の関係で必ずしも容易ではない。
における励起ガスの光強度の利得係数Ｇの分布は、例え
ば図５のようになる。この図から明らかなように、ガス
流の下流部の斜線で示した励起ガスの利得部は、レーザ
光の光路から外れているので、励起ガスはそのエネルギ
ーが利用されないまま放電部から流出し、無駄に消費さ
れている。この対策の一つとして、金属電極の左右方向
の幅をせまくすると、この無駄な部分は少なくなるが、
注入電力が制限され、反ってレーザ出力が減少すると言
う問題が生ずる。また、ミラの数を増やすことも考えら
れるが、取付空間等の関係で必ずしも容易ではない。
【０００５】この発明は、このような問題に着目してな
されたもので、従来、無駄に消費されていた放電部下流
の励起ガスのエネルギーを有効に利用することにより、
レーザ光の出力を増加を図ると共に、発振器の発振効率
を向上することを目的とするものである。
されたもので、従来、無駄に消費されていた放電部下流
の励起ガスのエネルギーを有効に利用することにより、
レーザ光の出力を増加を図ると共に、発振器の発振効率
を向上することを目的とするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めに、この発明の三軸直交形高周波放電ガスレーザの発
振器は、その高周波放電部に、放電部を通過する励起ガ
スの下流の流れ方向をレーザ光の光路方向へ湾曲させる
耐熱絶縁材料からなる邪魔板を設けたものである。
めに、この発明の三軸直交形高周波放電ガスレーザの発
振器は、その高周波放電部に、放電部を通過する励起ガ
スの下流の流れ方向をレーザ光の光路方向へ湾曲させる
耐熱絶縁材料からなる邪魔板を設けたものである。
【０００７】
【作用】このように構成されているので、発振器の放電
部を通過する励起ガスの下流の流れ方向が、耐熱絶縁材
料からなる邪魔板によってレーザ光の光路方向へ湾曲す
るため、レーザ光がその中を通過し、励起ガスからエネ
ルギーを吸収するようになる。従って、吸収エネルギー
に相当してレーザ光の出力が増加する。
部を通過する励起ガスの下流の流れ方向が、耐熱絶縁材
料からなる邪魔板によってレーザ光の光路方向へ湾曲す
るため、レーザ光がその中を通過し、励起ガスからエネ
ルギーを吸収するようになる。従って、吸収エネルギー
に相当してレーザ光の出力が増加する。
【０００８】
【実施例】次に、この発明の実施例について図１に基づ
いて説明する。図示のように、放電部１のガス流の下流
で、上部及び下部の誘電体７，９の右端付近にセラミッ
クス等の耐熱絶縁材料からなる邪魔板１５を３枚設けた
ものである。隣り合う邪魔板１５の間にはガスが流れる
ための適当な間隔が設けられている。このように邪魔板
１５を設けることにより、ガス流は矢印のように湾曲し
て流れ、下流部の大部分が上下方向即ち光路方向に沿っ
て流れるようになり、レーザ光は下流部の励起ガスから
もエネルギーを吸収する。
いて説明する。図示のように、放電部１のガス流の下流
で、上部及び下部の誘電体７，９の右端付近にセラミッ
クス等の耐熱絶縁材料からなる邪魔板１５を３枚設けた
ものである。隣り合う邪魔板１５の間にはガスが流れる
ための適当な間隔が設けられている。このように邪魔板
１５を設けることにより、ガス流は矢印のように湾曲し
て流れ、下流部の大部分が上下方向即ち光路方向に沿っ
て流れるようになり、レーザ光は下流部の励起ガスから
もエネルギーを吸収する。
【０００９】図２は下流部の邪魔板１５の他に、更にガ
ス流の上流部にも邪魔板１７を２枚設けたもので、下流
部のガス流方向が一層光路方向へ湾曲するようになる。
ス流の上流部にも邪魔板１７を２枚設けたもので、下流
部のガス流方向が一層光路方向へ湾曲するようになる。
【００１０】図３は一枚の邪魔板１９を下部誘電体９の
右端に設けたもので、ガス流は矢印のように邪魔板１９
に沿って上方へ湾曲して流出する。
右端に設けたもので、ガス流は矢印のように邪魔板１９
に沿って上方へ湾曲して流出する。
【００１１】図１では邪魔板１５を３枚設けているが、
圧力損失を軽減するため、更に適数個増加してもよい。
圧力損失を軽減するため、更に適数個増加してもよい。
【００１２】
【発明の効果】以上の説明から理解されるように、この
発明は特許請求の範囲に記載の構成を備えているので、
従来無駄に消費されていた放電部の下流の励起ガスのエ
ネルギーを利用することにより、レーザ光の出力が増加
すると共に発振器の発振効率が向上する。
発明は特許請求の範囲に記載の構成を備えているので、
従来無駄に消費されていた放電部の下流の励起ガスのエ
ネルギーを利用することにより、レーザ光の出力が増加
すると共に発振器の発振効率が向上する。
【図１】この発明の一つの実施例の説明図である。
【図２】この発明の他の実施例の説明図である。
【図３】この発明の更に他の実施例の説明図である。
【図４】従来の高周波放電による三軸直交形炭酸ガスレ
ーザの発振器の放電部の概略図である。
ーザの発振器の放電部の概略図である。
【図５】図４の放電部における励起ガスの利得係数Ｇの
分布図である。
分布図である。
１ 放電部 ３，５ 上部及び下部金属電極＠ ７，９ 上部及び下部誘電体 １５，１７，１９ 邪魔板
Claims (1)
- 【請求項１】 三軸直交形高周波放電ガスレーザにおい
て、その発振器の高周波放電部に、放電部を通過する励
起ガスの下流の流れ方向をレーザ光の光路方向へ湾曲さ
せる耐熱絶縁材料からなる邪魔板を設けたことを特徴と
する三軸直交形高周波放電ガスレーザの発振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16157392A JPH065956A (ja) | 1992-06-22 | 1992-06-22 | 三軸直交形高周波放電ガスレーザの発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16157392A JPH065956A (ja) | 1992-06-22 | 1992-06-22 | 三軸直交形高周波放電ガスレーザの発振器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH065956A true JPH065956A (ja) | 1994-01-14 |
Family
ID=15737685
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16157392A Pending JPH065956A (ja) | 1992-06-22 | 1992-06-22 | 三軸直交形高周波放電ガスレーザの発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH065956A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2025133792A1 (en) * | 2023-12-18 | 2025-06-26 | Cymer, Llc | Laser chamber gas flow and acoustic control |
-
1992
- 1992-06-22 JP JP16157392A patent/JPH065956A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2025133792A1 (en) * | 2023-12-18 | 2025-06-26 | Cymer, Llc | Laser chamber gas flow and acoustic control |
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