JPS5953806A - レ−ザ発振器用ミラ−保持装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 この発明はレーザ発振器用ミラー保持装置に関するもの
である。

従来例の構成とその問題点 レーザ発振器において、全反射鏡および半透過鏡の各ミ
ラー角度がレーザ出力に及ぼす影響は、第１図に示すよ
うに大なるものであシ、ミラー角度を安定に保持するか
は、重要な課題である。

従来のミラー保持構造を第２図に示す。すなわち、レー
ザ発振器（図示せず）の両端においてレーザ管軸に直交
配置した基準板１に、全反射鏡および半透過鏡であるミ
ツ−２を固定したミラー保持板３を対向配置するととも
に、このミラー保持板３を３本のｒ＃ＦＪ隔胸整部材４
によシ基準板１へ連結したもので、これら間隔調整部材
４によりミラー保持板３を基準板１に対して個別に接近
・離隔調整することによシ、ミラー２の角度調整を行な
う。

ところが、間隔調整部材４はミラー２に対してＬ形に配
置され、すなわち、ミツ−２に対して非対称に配置させ
るため、ミラー保持板３が温度変化により変形すると、
間隔調整部材４のあるコーナ部三点は固定されて変化し
な込が、間隔調整部材４のない残りのコーナ部に変位を
生じ、その影響が、ミツ−２の角ｆｆｆ化にまで及んで
、レーザ出力を変動させるという欠点を有していた。

発明の目的 この発明の目的は、温度変化が生じてもミラー角度を安
定に保つことができるレーザ発振器用ミヲー保持装置を
提供することである。

発明の構成 この発明のレーザ発振器用ミラー保持装置は、３木の間
隔調整部材を、ミラー保持板上に描いたミラー中心に重
心をもつ仮想正三角形の各頂点位置と基準板間にそれぞ
れ連結することによシ、財い換えれば、各間隔調整部材
をミラーに対１７て対称配置することにより、ミラー保
持板の温）Ｗ　鮒化による変形を各間隔調整部材相互間
で打消して、ミラー角度を安定に保つものである。

実施例の説明 この発明の一実施例を第３図を用−て説明する。

すなわち、このレーザ発振器用ミラー保持装置は、同図
に示すように、３木の間隔調整部４Ａ４′の一端を、ミ
ラー保持阪３の表１ｍ上に描いたミラー中・ＵＡに重心
をもつ仮想正三角形Ｂの各頂点位置に直交貫通するとと
もに、他端を基準板ｌへ連結して、これら各間隔調整部
材４′によシミラー保持板３を基準板１に対して個別に
撥近・Ｎ１隔調整自在としたもので、その他の構成は上
記従来例と同様であるので同一部分に同一符号を付して
その説明を省略する。

このように、各間隔調整部材４′をミラー２に対して対
称配置したため、温度変化が生じても、ミラー保持板３
の変形は各間隔調整部材４′相互間で打消されてミラー
２の角度を安定に保つことができ、レーザ出力の変動を
防止できる。

発明の効果 この発明によれば、温度変化が生じてもミラー角度を安
定に保つことができるという効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図はレーザ発振器におけるミラー角度の変化と出力
との関係を示す説明図、第２図（ａｌおよび（ｂｌはそ
れぞれ従来のミラー保持装置を示す正１■図および断面
図、第３図（ａｌおよび（ｂ）はそれぞれこの発明の一
実施例の正面図および断面図である。 １・・・基準板、２・・・ミラー、３・・・ミラー保持
板、４′・・・間隔調整部材、Ａ・・・ミラー中心、Ｂ
・・・仮想正三角形

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. レーザ管軸に直交配置し九基準板と、この基準板に対向
   したミラー保持板と、このミラー保持板に取付けたミラ
   ーと、前記ミラー保持板に描いたミラー中心に重心をも
   つ仮想正三角形の各頂点位置と前記基準板間に連結した
   ３本の間隔調整部材とを備えたレーザ発振器用ミラー保
   持装置。