JPS63127218A - 光線変向ミラ−の方向調整装置 - Google Patents
光線変向ミラ−の方向調整装置Info
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- JPS63127218A JPS63127218A JP61272815A JP27281586A JPS63127218A JP S63127218 A JPS63127218 A JP S63127218A JP 61272815 A JP61272815 A JP 61272815A JP 27281586 A JP27281586 A JP 27281586A JP S63127218 A JPS63127218 A JP S63127218A
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Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 8
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- 210000005069 ears Anatomy 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Laser Beam Processing (AREA)
- Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
この発明は9例えばレーザ加工機の光路案内装置等にお
ける光線変向ミラーの方向調整装置に関する。
ける光線変向ミラーの方向調整装置に関する。
[従来の技術]
従来は、例えばレーザ加工機の光路案内装置等における
光線変向ミラーの方向調整装置は、光線変向ミラーの取
付支承手段に球面座又は調整三点支承を利用している。
光線変向ミラーの方向調整装置は、光線変向ミラーの取
付支承手段に球面座又は調整三点支承を利用している。
[R明が解決しようとする問題点]
従来の技術のように、調整三点支承を利用したものでは
、調整に際してミラー反射面中心の位置決めが困難であ
る。又、球面座を利用したものは、三点支承の欠点はな
いが、球面座の加工精度が高くなければならず、コスト
的にも不利であり、小型化も困難である。しかも、球面
部の摺動摩擦のために微調整が困難である。
、調整に際してミラー反射面中心の位置決めが困難であ
る。又、球面座を利用したものは、三点支承の欠点はな
いが、球面座の加工精度が高くなければならず、コスト
的にも不利であり、小型化も困難である。しかも、球面
部の摺動摩擦のために微調整が困難である。
この発明は、そのような従来の技術の欠点を解消しよう
とするものである。
とするものである。
[問題点を解決するための手段]
この発明による光線変向ミラーの方向調整装置において
は、光線変向ミラーの反射面上にあって互に交差する回
動軸線を成す回動支点が弾性可撓部で構成された回動支
承部と、弾性可撓部の撓み状態の保持手段とを具備した
ばねジンバルをもって光線変向ミラーを支承している。
は、光線変向ミラーの反射面上にあって互に交差する回
動軸線を成す回動支点が弾性可撓部で構成された回動支
承部と、弾性可撓部の撓み状態の保持手段とを具備した
ばねジンバルをもって光線変向ミラーを支承している。
[作 用コ
光路案内装置等の光線変向ミラーにおいて、反射光線の
方向を調整するべく、ばねジンバルの回動支点である弾
性撓み部を交差した各回動軸線回りに適宜撓ませると、
ばねジンバルに取付けられたミラーの反射面は、その中
心点を変位させずに所望の方向に調整される。
方向を調整するべく、ばねジンバルの回動支点である弾
性撓み部を交差した各回動軸線回りに適宜撓ませると、
ばねジンバルに取付けられたミラーの反射面は、その中
心点を変位させずに所望の方向に調整される。
[実 施 例]
この発明の実施例を図面に従って説明する。
第1図及び第2図は、例えばレーザ加工機の光路案内装
置等における光線変向用のコーナブロックを示す。
置等における光線変向用のコーナブロックを示す。
コーナブロック本体1には、交差(例えば直交)する光
線案内孔2,3が穿設され、その交差部において、コー
ナブロック本体1に第3図に示すようなばねジンバル4
の下面(A面)が固着されている6更に、ばねジンバル
4の上面(F面)には、ばねジンバル4と共軸標的にミ
ラーホルダ5が取付けられている。ミラーホルダ5の中
心孔には光線変向ミラー6とその背面に重ねた冷却用フ
ィンブロック7とが共に嵌合され、押えばねを介してロ
ック環でミラーホルダ5に固着されている。ばねジンバ
ル4・ミラーホルダ5の軸線は、交差する光線案内孔2
.3の2軸線の二等分線となり、交点が光線変向ミラー
6の反射面8上に位置するようなっている。
線案内孔2,3が穿設され、その交差部において、コー
ナブロック本体1に第3図に示すようなばねジンバル4
の下面(A面)が固着されている6更に、ばねジンバル
4の上面(F面)には、ばねジンバル4と共軸標的にミ
ラーホルダ5が取付けられている。ミラーホルダ5の中
心孔には光線変向ミラー6とその背面に重ねた冷却用フ
ィンブロック7とが共に嵌合され、押えばねを介してロ
ック環でミラーホルダ5に固着されている。ばねジンバ
ル4・ミラーホルダ5の軸線は、交差する光線案内孔2
.3の2軸線の二等分線となり、交点が光線変向ミラー
6の反射面8上に位置するようなっている。
ばねジンバル4は、第3図に示すような一体構造をなし
、全厚はA面・F面間の厚さであり、その間にA面側か
ら順次B而、6面(C,1面、C2面)、D面(C1面
、D2面)、E面が層状に位置する。
、全厚はA面・F面間の厚さであり、その間にA面側か
ら順次B而、6面(C,1面、C2面)、D面(C1面
、D2面)、E面が層状に位置する。
A面・01面をもち、取付用のボルト孔が穿設されてい
るはねジンバル4の取付耳部9,9は、ばねジンバル4
の直径方向に対向して設けられている。環体部10は、
C1面・E面をもつ環体凸部11゜11と8面・C2面
をもち、耳部12をもつ環体凹部13゜13とからなり
、環体凸部11,11及び環体凹部13,13は、共に
直径方向に対向し、凸部11と凹部13とは90度ずれ
て位置している4そうして、耳部12には調整ねじ孔1
4が螺設され、調整ねじ15が螺入されている。調整ね
じ15の先端は、コーナブロック本体1のばねジンバル
取付面に衝接する。
るはねジンバル4の取付耳部9,9は、ばねジンバル4
の直径方向に対向して設けられている。環体部10は、
C1面・E面をもつ環体凸部11゜11と8面・C2面
をもち、耳部12をもつ環体凹部13゜13とからなり
、環体凸部11,11及び環体凹部13,13は、共に
直径方向に対向し、凸部11と凹部13とは90度ずれ
て位置している4そうして、耳部12には調整ねじ孔1
4が螺設され、調整ねじ15が螺入されている。調整ね
じ15の先端は、コーナブロック本体1のばねジンバル
取付面に衝接する。
環体凸部11のD1面は、取付耳部9のC1面と対向し
1円周方向に薄くなった弾性可撓部16で連結されてい
る、F面・02面をもつ突片部17.17のD2面は、
環体凹部13のC2面に対向し1両面は4円周方向に薄
くなった弾性可撓部18で連結されている。結局、弾性
可撓部16,16と弾性可撓部1B、18とは同一平面
上にあって、対向した弾性可撓部16゜16面士を結ぶ
回動軸線と同じく弾性可撓部18,18同士を結ぶ回動
軸線とは共に光線変向ミラー6の反射面8上にあって、
互に交わり、その交差角は直角が好ましい。そうして、
弾性可撓部18の両側において突片部17には、ミラー
ホルダ取付用のねじ孔19,19が螺設されている。
1円周方向に薄くなった弾性可撓部16で連結されてい
る、F面・02面をもつ突片部17.17のD2面は、
環体凹部13のC2面に対向し1両面は4円周方向に薄
くなった弾性可撓部18で連結されている。結局、弾性
可撓部16,16と弾性可撓部1B、18とは同一平面
上にあって、対向した弾性可撓部16゜16面士を結ぶ
回動軸線と同じく弾性可撓部18,18同士を結ぶ回動
軸線とは共に光線変向ミラー6の反射面8上にあって、
互に交わり、その交差角は直角が好ましい。そうして、
弾性可撓部18の両側において突片部17には、ミラー
ホルダ取付用のねじ孔19,19が螺設されている。
ばねジンバル4のA面は、A面・01面をもつ耳部9の
ボルト孔に挿入されたボルトをもってコーナブロック本
体lに固着される。又、ミラーホルダ5のフランジ部は
、突片部17のF面上に載り、ねじ孔19.19に螺入
するボルトで固着される。
ボルト孔に挿入されたボルトをもってコーナブロック本
体lに固着される。又、ミラーホルダ5のフランジ部は
、突片部17のF面上に載り、ねじ孔19.19に螺入
するボルトで固着される。
ミラーホルダ5のフランジ部には、調整ねじ孔20が環
体凸部11の中央(弾性可撓部16の位置に相当する)
に対応する位置、2箇所に螺設され、それらには夫々調
整ねじ21が螺入されており、調整ねじ21の先端は、
環体凸部11のE面に衝接する。
体凸部11の中央(弾性可撓部16の位置に相当する)
に対応する位置、2箇所に螺設され、それらには夫々調
整ねじ21が螺入されており、調整ねじ21の先端は、
環体凸部11のE面に衝接する。
弾性可撓部の変形として、環体部10及び取付耳部9と
一体構造とせずに、第4図に示すような短寸ピアノ線の
中央部を両側から削いで偏平可撓部23とした弾性可撓
部材22の両端を環体凸部11と取付耳部9とに夫々埋
込み固着して弾性可撓部とすることもできる。このよう
な短寸ピアノ線を利用すると製作も容易となる。
一体構造とせずに、第4図に示すような短寸ピアノ線の
中央部を両側から削いで偏平可撓部23とした弾性可撓
部材22の両端を環体凸部11と取付耳部9とに夫々埋
込み固着して弾性可撓部とすることもできる。このよう
な短寸ピアノ線を利用すると製作も容易となる。
上記の光線変向ミラーの方向調整装置の操作・作用につ
いて説明する。
いて説明する。
光路案内装置等の光路変向部分に取付けられたコーナブ
ロックにおいて、反射光線の方向を調整するとき、光線
変向ミラー5の向きを変更調整するのであるが、ばねジ
ンバル4の耳部12.12の調整ねじ15.15の一方
を緩め、他方を締込むと、一対の弾性可撓部16.16
は撓み、それらを結ぶ軸線回りのいずれかの方向にミラ
ーホルダ5即ち光線変向ミラー6は回動して傾く。又、
ミラーホルダ5のフランジ部の2本の調整ねじ21のう
ち、一方の調整ねじ21を緩め、他側のを締込むと、一
対の弾性可撓部18,18は撓み、それらを結ぶ軸線回
りのいずれかの方向にミラーホルダ5即ち光線変向ミラ
ー6は回動して傾く。
ロックにおいて、反射光線の方向を調整するとき、光線
変向ミラー5の向きを変更調整するのであるが、ばねジ
ンバル4の耳部12.12の調整ねじ15.15の一方
を緩め、他方を締込むと、一対の弾性可撓部16.16
は撓み、それらを結ぶ軸線回りのいずれかの方向にミラ
ーホルダ5即ち光線変向ミラー6は回動して傾く。又、
ミラーホルダ5のフランジ部の2本の調整ねじ21のう
ち、一方の調整ねじ21を緩め、他側のを締込むと、一
対の弾性可撓部18,18は撓み、それらを結ぶ軸線回
りのいずれかの方向にミラーホルダ5即ち光線変向ミラ
ー6は回動して傾く。
そうして、夫々対となっている弾性可撓部16゜16を
結ぶ回動軸線と弾性可撓部18,18を結ぶ回動軸線と
は共に光線変向ミラー6の反射面8上にあって、互に直
交しているので、光線変向ミラー6の反射面8は、その
中心位置を変えずに、全方向に任意の角度に傾きを変更
され得る。
結ぶ回動軸線と弾性可撓部18,18を結ぶ回動軸線と
は共に光線変向ミラー6の反射面8上にあって、互に直
交しているので、光線変向ミラー6の反射面8は、その
中心位置を変えずに、全方向に任意の角度に傾きを変更
され得る。
[発明の効果]
光線変向ミラーの方向調整装置におけるミラーの取付支
承手段に、従来の技術のように、三点支承や球面座を利
用したのに較べて、この発明においては、ばねジンバル
を利用しているので、光線変向ミラーの方向調整に際し
て、三点支承のようにミラー反射面中心の位置は狂わず
、球面座のように精度のための加工の困難も小型化の困
難もなく、且つ、摺@摩擦のための微調整の困難という
こともない。
承手段に、従来の技術のように、三点支承や球面座を利
用したのに較べて、この発明においては、ばねジンバル
を利用しているので、光線変向ミラーの方向調整に際し
て、三点支承のようにミラー反射面中心の位置は狂わず
、球面座のように精度のための加工の困難も小型化の困
難もなく、且つ、摺@摩擦のための微調整の困難という
こともない。
この発明による光線変向ミラーの方向調整装置は、レー
ザ加工機をはじめ各種光学機器にも広く適用できるもの
である。
ザ加工機をはじめ各種光学機器にも広く適用できるもの
である。
第1図は、この発明の実施例の光線変向ミラーの方向調
整装置を備えたコーナブロックの断面図、第2図は、第
1図の■−■線における断面図、第3図は、この発明の
実施例の光線変向ミラーの方向調整装置のばねジンバル
の斜視図、第4図は、はねジンバルの弾性可撓部材の斜
視図である。 l:コーナブロック本体 2.3:光線案内孔 4:ばねジンバル5:ミラー
ホルダ 6:光線変向ミラー7:冷却用フィンブロ
ック 8:反射面 9:取付耳部 10:環体部 11:環体凸部12:耳部
13:環体凹部14.20 :調整ねじ孔
15.21 :調整ねし16.18 :弾性可撓部
17:突片部■9:ねじ孔 22:弾性
可撓部材23:偏平可撓部
整装置を備えたコーナブロックの断面図、第2図は、第
1図の■−■線における断面図、第3図は、この発明の
実施例の光線変向ミラーの方向調整装置のばねジンバル
の斜視図、第4図は、はねジンバルの弾性可撓部材の斜
視図である。 l:コーナブロック本体 2.3:光線案内孔 4:ばねジンバル5:ミラー
ホルダ 6:光線変向ミラー7:冷却用フィンブロ
ック 8:反射面 9:取付耳部 10:環体部 11:環体凸部12:耳部
13:環体凹部14.20 :調整ねじ孔
15.21 :調整ねし16.18 :弾性可撓部
17:突片部■9:ねじ孔 22:弾性
可撓部材23:偏平可撓部
Claims (1)
- 光路案内装置の光線変向用コーナブロックにおける光線
変向ミラーの方向調整装置であって、光線変向ミラーの
反射面上にあって互に交差する回動軸線を成す回動支点
が弾性可撓部で構成された回動支承部と、弾性可撓部の
撓み状態の保持手段とを具備したばねジンバルを介して
光線変向ミラーがコーナブロック本体に取付けられてい
ることを特徴とする光線変向ミラーの方向調整装置
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61272815A JPS63127218A (ja) | 1986-11-18 | 1986-11-18 | 光線変向ミラ−の方向調整装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61272815A JPS63127218A (ja) | 1986-11-18 | 1986-11-18 | 光線変向ミラ−の方向調整装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63127218A true JPS63127218A (ja) | 1988-05-31 |
Family
ID=17519137
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61272815A Pending JPS63127218A (ja) | 1986-11-18 | 1986-11-18 | 光線変向ミラ−の方向調整装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63127218A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0270212A (ja) * | 1988-09-06 | 1990-03-09 | Sumitomo Electric Ind Ltd | サブダクト |
| CN103018896A (zh) * | 2012-12-19 | 2013-04-03 | 哈尔滨工业大学 | 一种三点式高精度大口径电动反射镜架 |
| TWI549393B (zh) * | 2015-12-21 | 2016-09-11 | 鑫基塑膠企業股份有限公司 | 穿線器及線材 |
| DE102024126074A1 (de) * | 2024-09-11 | 2026-03-12 | TRUMPF Lasersystems for Semiconductor Manufacturing SE | Passiv gekühltes Spiegelmodul |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5733444A (en) * | 1980-08-05 | 1982-02-23 | Mitsubishi Electric Corp | Semiconductor laser beam source device of optical information recorder and reproducer |
| JPS5840716B2 (ja) * | 1977-08-15 | 1983-09-07 | 株式会社日立製作所 | 核融合装置用ポ−ト |
| JPS6051526B2 (ja) * | 1980-12-05 | 1985-11-14 | 川崎重工業株式会社 | 転炉設備の炉体上部鉄皮の取替え工法 |
| JPS6136714A (ja) * | 1984-07-30 | 1986-02-21 | Mitsubishi Electric Corp | 多関節反射鏡式マニピユレ−タ |
-
1986
- 1986-11-18 JP JP61272815A patent/JPS63127218A/ja active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5840716B2 (ja) * | 1977-08-15 | 1983-09-07 | 株式会社日立製作所 | 核融合装置用ポ−ト |
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Cited By (4)
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| CN103018896A (zh) * | 2012-12-19 | 2013-04-03 | 哈尔滨工业大学 | 一种三点式高精度大口径电动反射镜架 |
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| DE102024126074A1 (de) * | 2024-09-11 | 2026-03-12 | TRUMPF Lasersystems for Semiconductor Manufacturing SE | Passiv gekühltes Spiegelmodul |
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