JPS5954904A - 容量型ひずみゲ−ジ - Google Patents
容量型ひずみゲ−ジInfo
- Publication number
- JPS5954904A JPS5954904A JP16489382A JP16489382A JPS5954904A JP S5954904 A JPS5954904 A JP S5954904A JP 16489382 A JP16489382 A JP 16489382A JP 16489382 A JP16489382 A JP 16489382A JP S5954904 A JPS5954904 A JP S5954904A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- strain gauge
- capacitive strain
- electrode
- wire
- capacitive
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明はひずみゲージに係り、特に、高温、腐食環境下
の大きいひずみを測定するに好適な容量型ひずみゲージ
に関する。
の大きいひずみを測定するに好適な容量型ひずみゲージ
に関する。
従来の容量型ひずみゲージは第１図のように２枚の半径
の異なる弓形板に固定された平板の電極の電気容量を検
出する方法となっておシ、電極間には：空間育成けなけ
ればならない。したがって、□ 空間が必要セ菖ること及び導電性あ環境一体茹で使用す
ることはセきなかった。ｊた、’ｉｉ媒採の温度変化に
よ諷靜電ｉ量への影響が非常−大きく、ひずみの測定精
度を著しく低下させていた。
の異なる弓形板に固定された平板の電極の電気容量を検
出する方法となっておシ、電極間には：空間育成けなけ
ればならない。したがって、□ 空間が必要セ菖ること及び導電性あ環境一体茹で使用す
ることはセきなかった。ｊた、’ｉｉ媒採の温度変化に
よ諷靜電ｉ量への影響が非常−大きく、ひずみの測定精
度を著しく低下させていた。
ピ発明の目的５
本発明の目的はひずみゲージを取シま〈環−媒体の変化
に対して受ける影響が少なく、かつ、設置痴容易なひず
みゲージを提供するにある。
に対して受ける影響が少なく、かつ、設置痴容易なひず
みゲージを提供するにある。
〔発明の概要〕 一本発
明の要”点は□セラミックスを介して細い管に埋込まれ
た金−線が管も伸縮に良く追従すること金利用し、細□
い線状の電極をセラミックスを介して細い管に密封し、
そ糺を被測定物□に貼付けて、環境媒体の電気的影響を
さけ、かつ、補償−ｉを設けて温度の：影響から省ぬが
れるにお暮。
明の要”点は□セラミックスを介して細い管に埋込まれ
た金−線が管も伸縮に良く追従すること金利用し、細□
い線状の電極をセラミックスを介して細い管に密封し、
そ糺を被測定物□に貼付けて、環境媒体の電気的影響を
さけ、かつ、補償−ｉを設けて温度の：影響から省ぬが
れるにお暮。
〔発明の実□施例）”” ” ” ’以下・
本発明０−実施例を第２図・第３．図及び・・、、、。
本発明０−実施例を第２図・第３．図及び・・、、、。
第４図によシ説明する。 ′
並行へ二対の耐熱ｉ属からなる電極ＩＡ′び２゛ □−
□は線間面積を大きくすやため、ベローズ状に曲げられ
、取付は板６に近い位置の被覆管５内部にセ１１ ラミックスフで汚−ルドされる。はぼ、同じ形状の他の
一対の電極３及び４が電極１及び２の近傍に直交する方
向に同様に被覆管６内にセラミックスでモールドされる
。電極線１． 、＆、び４の一一ハ、シールド線９及び
１１に接続し、電極線２ｉび３゛０一端は同じ′コ′ド
ー１０に接臀され６・被覆管５は取付は板９竺固定され
慢取付は板９は被。
□は線間面積を大きくすやため、ベローズ状に曲げられ
、取付は板６に近い位置の被覆管５内部にセ１１ ラミックスフで汚−ルドされる。はぼ、同じ形状の他の
一対の電極３及び４が電極１及び２の近傍に直交する方
向に同様に被覆管６内にセラミックスでモールドされる
。電極線１． 、＆、び４の一一ハ、シールド線９及び
１１に接続し、電極線２ｉび３゛０一端は同じ′コ′ド
ー１０に接臀され６・被覆管５は取付は板９竺固定され
慢取付は板９は被。
測定物８咳その周囲を（例えばスヂット溶接等で）貼付
けられる。今、被測定物８に第２図の水平方向に力が作
用し、かつ、高温ふん囲気中に・置か、れた場合を考え
る。取付は板６及び被覆管５は固定部を介して、また管
内部のセラミックス７は被覆管５を介してそれぞれ水平
方向に伸び、同時に、それと直交方向に収縮する。これ
にともないセラミックスにモールドされた電極線１と２
との間隔μ大き、くなシ、電極線３と４の間隔は小さく
なる。
けられる。今、被測定物８に第２図の水平方向に力が作
用し、かつ、高温ふん囲気中に・置か、れた場合を考え
る。取付は板６及び被覆管５は固定部を介して、また管
内部のセラミックス７は被覆管５を介してそれぞれ水平
方向に伸び、同時に、それと直交方向に収縮する。これ
にともないセラミックスにモールドされた電極線１と２
との間隔μ大き、くなシ、電極線３と４の間隔は小さく
なる。
：′寓
電極線１と２及び電極線３と４の間の静電容量の−，１
・・１：、ｌ″ｉ′□一覧□ ・・初期値をそれぞれＣ
１ｌ及びＣ３４とし、外力による・・変化量をΔＣｔＴ
ｔ及び、、ＪＣＪ’い温度変化による変化−量をΔＣ１
Ｔｔ及びΔＣ３”４とすれ□ばミ第５′■Ｖｃ＝す回路
によシΔＣＩＰ！を測定することができ、水平方向の外
力による伸びを測定することができる。すなわち、初期
のＣｔｔ及び０Ｍ４″ｆ、はぼ同じに設定しておけば ΔＣ＋ｔ：ΔＣＩＰ！十ΔＣＩＴ！ ΔＣ３４＝ΔＣ３Ｐ４＋ΔＣ’ ａ′ｒ４．：、ここで
・ΔＣ／４＝−シΔＣ’＠’ｔ、（νはポアソン比）・
Δ、Ｃ，，％’−＝ Δ Ｃ１丁。
・・１：、ｌ″ｉ′□一覧□ ・・初期値をそれぞれＣ
１ｌ及びＣ３４とし、外力による・・変化量をΔＣｔＴ
ｔ及び、、ＪＣＪ’い温度変化による変化−量をΔＣ１
Ｔｔ及びΔＣ３”４とすれ□ばミ第５′■Ｖｃ＝す回路
によシΔＣＩＰ！を測定することができ、水平方向の外
力による伸びを測定することができる。すなわち、初期
のＣｔｔ及び０Ｍ４″ｆ、はぼ同じに設定しておけば ΔＣ＋ｔ：ΔＣＩＰ！十ΔＣＩＴ！ ΔＣ３４＝ΔＣ３Ｐ４＋ΔＣ’ ａ′ｒ４．：、ここで
・ΔＣ／４＝−シΔＣ’＠’ｔ、（νはポアソン比）・
Δ、Ｃ，，％’−＝ Δ Ｃ１丁。
一方、電極線間と静電容量の間に次の関係があるから
すな？ち、被測定物のひずみ６をプリイジの不平衡電圧
として測定することができ、る。また、素線には従来の
抵粋線型と異なシ１．電気抵抗特性を確保する必要がな
く、良導体？金属、例えば、白金などの延性の大きいも
のを使用できるので、構造物が破壊する以前に断線する
ことはない。
として測定することができ、る。また、素線には従来の
抵粋線型と異なシ１．電気抵抗特性を確保する必要がな
く、良導体？金属、例えば、白金などの延性の大きいも
のを使用できるので、構造物が破壊する以前に断線する
ことはない。
第６図は電極線の異なる型状のニ例で櫛形を組合せた形
状となっている。これによれば櫛の歯を結ぶ部分の寸法
を大きくすることができ、るので、さらに、耐久性のあ
るゲージを作やことができる。
状となっている。これによれば櫛の歯を結ぶ部分の寸法
を大きくすることができ、るので、さらに、耐久性のあ
るゲージを作やことができる。
第７図は平板から打抜きによ＃）製作する。電極線の一
例で、本方法によれ醪、安定また一定形状の電極線が得
られるので特性の一定したひずみゲージヲ製作すること
ができる。、 。
例で、本方法によれ醪、安定また一定形状の電極線が得
られるので特性の一定したひずみゲージヲ製作すること
ができる。、 。
本実施例によれば外部環境媒体の、影響を受けない。大
きな変形に対しても破壊しない高温ひずみを測定できる
。
きな変形に対しても破壊しない高温ひずみを測定できる
。
〔発明の効果〕 ・
本発明によれば測定空間の小さい高温環境中にもひずみ
を測定することができる。
を測定することができる。
第１図は従来の容量型高温ひずみゲージの側面図、第２
図は本発明の容量型高温ひずみゲージの半面図、第３甲
は第２図のＩＩＩ−ＩＩ［矢視断面図、第４図は第３図
の電極線の部分拡大図、第５図は本発明の一実施例の電
気回路図、・第６図及び第７図は本発明の他の実施例９
電極形状の平面図でおる。 １．２・・・圭電極線対、３，４・・−逆電極線対、・
５・・・被覆管、６・・・取付は板、７・・・セラミッ
クス、８・・・被測定物、９．１０．１１・・・シール
ド線。 第５国 第４−図 １９−
図は本発明の容量型高温ひずみゲージの半面図、第３甲
は第２図のＩＩＩ−ＩＩ［矢視断面図、第４図は第３図
の電極線の部分拡大図、第５図は本発明の一実施例の電
気回路図、・第６図及び第７図は本発明の他の実施例９
電極形状の平面図でおる。 １．２・・・圭電極線対、３，４・・−逆電極線対、・
５・・・被覆管、６・・・取付は板、７・・・セラミッ
クス、８・・・被測定物、９．１０．１１・・・シール
ド線。 第５国 第４−図 １９−
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、被測定物の表面に貼付は被測定物の伸縮量を静電容
量の変化量として検出す木容量型ひずみゲージにおいて
、 ・ 前記、被測定物とほぼ等距離で平行に設置される線状の
電極対を設けたことを特徴とする容量型ひずみゲージ。 □ ・２、特許請求の範囲第１
項の記載において、同じ伸縮量に対して、静電容量の変
化量の異なる２対の電極を接近して設けたことを特徴と
する容量型ひずみゲージ。 ′ □
・
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16489382A JPS5954904A (ja) | 1982-09-24 | 1982-09-24 | 容量型ひずみゲ−ジ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16489382A JPS5954904A (ja) | 1982-09-24 | 1982-09-24 | 容量型ひずみゲ−ジ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5954904A true JPS5954904A (ja) | 1984-03-29 |
| JPH0226723B2 JPH0226723B2 (ja) | 1990-06-12 |
Family
ID=15801872
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16489382A Granted JPS5954904A (ja) | 1982-09-24 | 1982-09-24 | 容量型ひずみゲ−ジ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5954904A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03160338A (ja) * | 1989-11-17 | 1991-07-10 | Hitachi Ltd | 貼付型電気容量ひずみゲージ |
| WO2001004593A1 (en) * | 1999-07-09 | 2001-01-18 | Tokin Corporation | Capacitive strain sensor and method for using the same |
| JP2009020006A (ja) * | 2007-07-12 | 2009-01-29 | Tokai Rubber Ind Ltd | 静電容量型センサ |
| CN107014283A (zh) * | 2015-11-20 | 2017-08-04 | 通用电气公司 | 用于监测构件应变的系统和方法 |
-
1982
- 1982-09-24 JP JP16489382A patent/JPS5954904A/ja active Granted
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03160338A (ja) * | 1989-11-17 | 1991-07-10 | Hitachi Ltd | 貼付型電気容量ひずみゲージ |
| WO2001004593A1 (en) * | 1999-07-09 | 2001-01-18 | Tokin Corporation | Capacitive strain sensor and method for using the same |
| US6532824B1 (en) | 1999-07-09 | 2003-03-18 | Tokin Corporation | Capacitive strain sensor and method for using the same |
| JP2009020006A (ja) * | 2007-07-12 | 2009-01-29 | Tokai Rubber Ind Ltd | 静電容量型センサ |
| US8451011B2 (en) | 2007-07-12 | 2013-05-28 | Tokai Rubber Industries, Ltd. | Electrostatic capacity-type sensor |
| CN107014283A (zh) * | 2015-11-20 | 2017-08-04 | 通用电气公司 | 用于监测构件应变的系统和方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0226723B2 (ja) | 1990-06-12 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TWI663386B (zh) | 壓力感測器及顯示裝置 | |
| JPS5954904A (ja) | 容量型ひずみゲ−ジ | |
| JPH10504387A (ja) | 力又は伸びセンサ | |
| CN1831539A (zh) | 水银电容式加速度传感器 | |
| CN117686737B (zh) | 加速度传感器 | |
| JP2514067Y2 (ja) | セラミック製トランスデュ−サ | |
| JP2523772B2 (ja) | クリップ型容量ひずみゲ―ジ | |
| RU2391641C1 (ru) | Датчик давления тензорезистивного типа с тонкопленочной нано- и микроэлектромеханической системой | |
| JP3330831B2 (ja) | 歪検出センサ | |
| US4458292A (en) | Multiple capacitor transducer | |
| CN214666900U (zh) | 触碰传感装置 | |
| JPS6212458B2 (ja) | ||
| KR102036536B1 (ko) | 4개의 저항체로 2개의 독립된 풀휘트스톤브리지를 형성하는 반도체 압력센서 | |
| JPH02126103A (ja) | 容量型ひずみゲージ | |
| JP2022176611A (ja) | 隔膜真空計 | |
| CN223597045U (zh) | 一种混合应变片 | |
| JP3275117B2 (ja) | 高温ひずみゲージのみかけひずみ補償回路 | |
| SU1744530A1 (ru) | Датчик давлени | |
| SU433694A3 (ja) | ||
| JP2749158B2 (ja) | 貼付型電気容量ひずみゲージ | |
| KR20020022621A (ko) | 벤딩 모멘트 센서 | |
| TWI259274B (en) | Dual-capacitor sensor | |
| JPH07244069A (ja) | 加速度センサ | |
| JPS585202Y2 (ja) | 変位計の静電プロ−ブ | |
| JPS58132898A (ja) | 測温機能付変換器を用いた温度測定方法 |