JPS5954923U - メタライズ装置 - Google Patents

メタライズ装置

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Publication number
JPS5954923U
JPS5954923U JP15061282U JP15061282U JPS5954923U JP S5954923 U JPS5954923 U JP S5954923U JP 15061282 U JP15061282 U JP 15061282U JP 15061282 U JP15061282 U JP 15061282U JP S5954923 U JPS5954923 U JP S5954923U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
metallization
wafer
vacuum container
container
metallization equipment
Prior art date
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Pending
Application number
JP15061282U
Other languages
English (en)
Inventor
小暮　直志
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
Priority to JP15061282U priority Critical patent/JPS5954923U/ja
Publication of JPS5954923U publication Critical patent/JPS5954923U/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Electrodes Of Semiconductors (AREA)
  • Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の第１の実施例を示す斜視図、第２図は
第１図の支持面を真空容器にセットした構成図、第３図
、第４図は作動説明図、第５図は本考案の第２の実施例
を示す斜視図、第６図は第５図の支持面を真空容器にセ
ットした構成図、第７図、第８図、第９図は作動説明図
である。 １．１′・・・支持面、２・・・回転軸、４・・・真空
容器、６・・・押棒。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 真空容器内でメタライズを行うメタライズ装置において
    、該真空容器内に、被メタライズウェハーを各面上に立
    て掛けて傾斜姿勢に支持させる２つの支持面を互いに角
    度をなして向き合せに配設し、真空容器の外部からの操
    作により各支持面上に表裏反転させてウェハーを支持さ
    せる反転機構を―えたことを特徴とするメタライズ装置
    。
JP15061282U 1982-10-04 1982-10-04 メタライズ装置 Pending JPS5954923U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP15061282U JPS5954923U (ja) 1982-10-04 1982-10-04 メタライズ装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP15061282U JPS5954923U (ja) 1982-10-04 1982-10-04 メタライズ装置

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JPS5954923U true JPS5954923U (ja) 1984-04-10

Family

ID=30333994

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JP15061282U Pending JPS5954923U (ja) 1982-10-04 1982-10-04 メタライズ装置

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JP (1) JPS5954923U (ja)

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