JPS5961535U - ウエ−ハ搬送装置 - Google Patents

ウエ−ハ搬送装置

Info

Publication number
JPS5961535U
JPS5961535U JP1982156509U JP15650982U JPS5961535U JP S5961535 U JPS5961535 U JP S5961535U JP 1982156509 U JP1982156509 U JP 1982156509U JP 15650982 U JP15650982 U JP 15650982U JP S5961535 U JPS5961535 U JP S5961535U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
holding claws
wafer
transfer device
moving
wafer transfer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP1982156509U
Other languages
English (en)
Other versions
JPS6221012Y2 (ja
Inventor
古門　竜彦
茂 武田
鈴木　増雄
尾野　正治
黒河　治重
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kokusai Denki Electric Inc
Original Assignee
Hitachi Kokusai Electric Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Kokusai Electric Inc filed Critical Hitachi Kokusai Electric Inc
Priority to JP1982156509U priority Critical patent/JPS5961535U/ja
Publication of JPS5961535U publication Critical patent/JPS5961535U/ja
Application granted granted Critical
Publication of JPS6221012Y2 publication Critical patent/JPS6221012Y2/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の一実施例を示す斜視図、第２図は第１
図の■−■線矢視断面図である。 ｌａ、ｌｂ・・・・・・移動台、２・・・・・・ガイド
部、３ａ。 ３ｂ・・・・・・軸、４ａ、　　４ｂ・・・・・・軸受
、５ａ、　　６ｂ・・・・・・アーム、３ａ、　　３ｂ
・・・・・・ウェーハ保持用爪、９・・・・・・軸回動
機構、１０・・・・・・ウェーハ、１１・・・・・・移
動機構、１２・・・・・・反応室内サセプタ、１３・・
・・・・切欠穴。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 移動台と、移動台に平行に支承され、互に反対方向に回
    動せしめられる二軸と、これらの軸の先端部にそれぞれ
    固定したアームと、これらのアームにそれぞれ２個づつ
    固定されたウェーハ保持用爪と、これらのウエーノ）保
    持用爪にウエーノ八をすくい上げて保持したり、ウェー
    ハ保持用爪に保持したウェーハを離脱するべく上記各軸
    を互に反対方向に同一角度回動するための軸回動機構と
    、前記移動台を移動するための移動機構とよりなるウェ
    ーハ搬送装置。
JP1982156509U 1982-10-15 1982-10-15 ウエ−ハ搬送装置 Granted JPS5961535U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1982156509U JPS5961535U (ja) 1982-10-15 1982-10-15 ウエ−ハ搬送装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1982156509U JPS5961535U (ja) 1982-10-15 1982-10-15 ウエ−ハ搬送装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS5961535U true JPS5961535U (ja) 1984-04-23
JPS6221012Y2 JPS6221012Y2 (ja) 1987-05-28

Family

ID=30345319

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1982156509U Granted JPS5961535U (ja) 1982-10-15 1982-10-15 ウエ−ハ搬送装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS5961535U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03101247A (ja) * 1988-11-30 1991-04-26 Tokyo Electron Ltd 処理装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH03101247A (ja) * 1988-11-30 1991-04-26 Tokyo Electron Ltd 処理装置

Also Published As

Publication number Publication date
JPS6221012Y2 (ja) 1987-05-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS60159435U (ja) 基板保持具
JPS5815353U (ja) 半導体製造用ウエハ−等の搬送装置
JPS59151684U (ja) 転送装置
JP2535628Y2 (ja) ウエハー吸着装置
JPS5877454U (ja) 試料保持装置
JPS5947865U (ja) 超音波探傷装置
JPS5815654U (ja) 真空蒸着装置
JPS60160927U (ja) 造管設備における内張りロ−ル交換装置
JPS59137811U (ja) リンクア−ムの連結構造
JPS608334U (ja) 型枠保持治具
JPS6042544U (ja) 穴明加工用回転体取付装置
JPS58145587U (ja) 歯車の軸受装置
JPS58184289U (ja) ロボツト用ハンド装置
JPH0412647U (ja)
JPS6121337U (ja) 回転式物品受け台
JPS5936241U (ja) 半導体製造装置
JPS6075988U (ja) ゼロフオ−スコネクタ
JPS5954923U (ja) メタライズ装置
JPS5966593U (ja) ロボツト装置
JPS59136236U (ja) 治具におけるワ−ク支持具の位置切換装置
JPS6295843A (ja) 試料保持機構
JPS5829838U (ja) クランプ装置
JPS5881179U (ja) キヤンバ調整装置
JPS6016535U (ja) 気相成長装置
JPS6116044U (ja) 回転式物品受け