JPS5956743U - ウエハ搬送装置 - Google Patents
ウエハ搬送装置Info
- Publication number
- JPS5956743U JPS5956743U JP15213082U JP15213082U JPS5956743U JP S5956743 U JPS5956743 U JP S5956743U JP 15213082 U JP15213082 U JP 15213082U JP 15213082 U JP15213082 U JP 15213082U JP S5956743 U JPS5956743 U JP S5956743U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- transfer device
- wafer transfer
- shafts
- drive device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は、従来のウェハ搬送装置の斜視構成図１、第２
図は、本考案によるウェハ搬送装置の一実施例を示す斜
視構成図である。 ２０ａ、２０ｂ・・・・・・軸、２１・・・・・・駆動
装置、２２・・・・・・ベルト。
図は、本考案によるウェハ搬送装置の一実施例を示す斜
視構成図である。 ２０ａ、２０ｂ・・・・・・軸、２１・・・・・・駆動
装置、２２・・・・・・ベルト。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ ウェハの搬送方向の両側に回動可能に配設された軸
と、該軸の一方に連接された駆動装置と、該駆動装置で
前記軸の一方に巻取り可能、かつ、自身の復元力で前記
軸の他方に巻戻し可能なアウトガス量が少ない耐熱材料
で形成されたベルトとで構成したことを特徴とするウェ
ハ搬送装置。 ２ 前記ベルトを、コンスタントバネで形成した実用新
案登録請求の範囲第１項記載のウェハ搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15213082U JPS5956743U (ja) | 1982-10-08 | 1982-10-08 | ウエハ搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15213082U JPS5956743U (ja) | 1982-10-08 | 1982-10-08 | ウエハ搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5956743U true JPS5956743U (ja) | 1984-04-13 |
Family
ID=30336930
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15213082U Pending JPS5956743U (ja) | 1982-10-08 | 1982-10-08 | ウエハ搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5956743U (ja) |
-
1982
- 1982-10-08 JP JP15213082U patent/JPS5956743U/ja active Pending
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