JPS5957514A - 弾性表面波素子 - Google Patents
弾性表面波素子Info
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- JPS5957514A JPS5957514A JP16657282A JP16657282A JPS5957514A JP S5957514 A JPS5957514 A JP S5957514A JP 16657282 A JP16657282 A JP 16657282A JP 16657282 A JP16657282 A JP 16657282A JP S5957514 A JPS5957514 A JP S5957514A
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- Japan
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- sound absorbing
- acoustic wave
- surface acoustic
- substrate
- absorbing material
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- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02818—Means for compensation or elimination of undesirable effects
- H03H9/02866—Means for compensation or elimination of undesirable effects of bulk wave excitation and reflections
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は弾性表面波素子に係り、特に吸音剤の配置構成
に関するものである。
に関するものである。
第１図を参照して弾性表面波素子を説明する。
第１図において、弾性表面波素子（１）は圧電基板（２
）上に、くし歯状電１！１ｉｉ（３０１）、（３０１）
を互いに交差させその交差幅を変えた励振電極（３）と
、この励振ｌ電極（３）から励振された表面波を伝播路
上で受信するくし歯状・電極（４０１）、 （４ｏｔ）
からなる受は・１シ極（４）とを備えている。また、こ
の弾性表面波素子（１）ｌｄ不要な端面反射波を吸収す
るために、励振・ｔｇ、 ｆｉｔｉ （３）及び受信電
極（４）と表面波伝播路上の圧電基板（２）の両端縁（
５１、（６１との間に吸音剤（７１、（８＋が配置さ几
ている。また励振４極（３）上に塗布形成さり、た吸音
剤１８）は、励振電極（３）のくし歯状、代価（３ｏｘ
）、（３ｏｔ）との交差部分上には塗布さｆ′Ｌ”ｃい
ない。
）上に、くし歯状電１！１ｉｉ（３０１）、（３０１）
を互いに交差させその交差幅を変えた励振電極（３）と
、この励振ｌ電極（３）から励振された表面波を伝播路
上で受信するくし歯状・電極（４０１）、 （４ｏｔ）
からなる受は・１シ極（４）とを備えている。また、こ
の弾性表面波素子（１）ｌｄ不要な端面反射波を吸収す
るために、励振・ｔｇ、 ｆｉｔｉ （３）及び受信電
極（４）と表面波伝播路上の圧電基板（２）の両端縁（
５１、（６１との間に吸音剤（７１、（８＋が配置さ几
ている。また励振４極（３）上に塗布形成さり、た吸音
剤１８）は、励振電極（３）のくし歯状、代価（３ｏｘ
）、（３ｏｔ）との交差部分上には塗布さｆ′Ｌ”ｃい
ない。
ところが第１図の（′１イ成の弾性表面波素子（１）は
、圧電基板（２）の端面に於ける表面波の吸収は充分で
あるが、励振電極（３） 、ｖ＞ら表面波と共に発射さ
ｆＬろバルク波が圧・亀基板（２）を伝播して受信電極
（４）に到達し特性を劣化させる入点を翁していた。即
ち、この弾性表面波素子（１）は、バルク波が正常な表
面波を乱すため急峻な遮断特性を有すべきバンドパスフ
ィルタの特性を劣化させる。
、圧電基板（２）の端面に於ける表面波の吸収は充分で
あるが、励振電極（３） 、ｖ＞ら表面波と共に発射さ
ｆＬろバルク波が圧・亀基板（２）を伝播して受信電極
（４）に到達し特性を劣化させる入点を翁していた。即
ち、この弾性表面波素子（１）は、バルク波が正常な表
面波を乱すため急峻な遮断特性を有すべきバンドパスフ
ィルタの特性を劣化させる。
そこで上述のバルク波の影響を小さくするために、第２
図に示すような弾性表面波素子ＯＤでは、励振電極（３
）のくし歯状電極（３０１）、（３０１）との交差幅の
変化した部分を結んだ包絡線即ちエンベロープ叫を境界
とし、表面波の励振に有効に寄与していない成極部分に
吸音剤（１ツを塗布したものが提案されている。
図に示すような弾性表面波素子ＯＤでは、励振電極（３
）のくし歯状電極（３０１）、（３０１）との交差幅の
変化した部分を結んだ包絡線即ちエンベロープ叫を境界
とし、表面波の励振に有効に寄与していない成極部分に
吸音剤（１ツを塗布したものが提案されている。
しかしながら、第３図に示すような弾性表面波素子の励
振電極ｅ１）ば、くし歯状を極（２２１、Ｃ２りとの交
差幅の変化した部分を結んだ包絡線を描くと、領域１２
階、 （２４）、 （２５） 、 （２６） 、 （２
７）に大別される。このうち領域（２勺はメインロープ
と呼ばれ、くし歯状ｉ １４ ｉ；！２） 、 （２２
１の最大交差幅の集合体である。また、他の領域（２階
。
振電極ｅ１）ば、くし歯状を極（２２１、Ｃ２りとの交
差幅の変化した部分を結んだ包絡線を描くと、領域１２
階、 （２４）、 （２５） 、 （２６） 、 （２
７）に大別される。このうち領域（２勺はメインロープ
と呼ばれ、くし歯状ｉ １４ ｉ；！２） 、 （２２
１の最大交差幅の集合体である。また、他の領域（２階
。
（２４１、（２Ｑ 、 （２７）はサイドロープと呼ば
れ、メインローブの他のくし歯状α極（２ｚの交差幅の
集鋒体の名称である。この励振電（Ｗｌｉ ＋２１）の
鴎に、サイドロープが多数形成式れた弾性表面波素子は
、くし歯状電ｆｉｔｍ ｔ２’ａ 。
れ、メインローブの他のくし歯状α極（２ｚの交差幅の
集鋒体の名称である。この励振電（Ｗｌｉ ＋２１）の
鴎に、サイドロープが多数形成式れた弾性表面波素子は
、くし歯状電ｆｉｔｍ ｔ２’ａ 。
（２邊との交差幅の変化した部分を結んだ包絡線の変化
が急激となる。このため、第２図に示した弾性表面波素
子αυの様に、包絡；：襖に沿って吸音剤を正確に塗布
することは製造上非常に困難である。
が急激となる。このため、第２図に示した弾性表面波素
子αυの様に、包絡；：襖に沿って吸音剤を正確に塗布
することは製造上非常に困難である。
本発明は上述の問題点に鑑みてなさね、たもので、弾性
表面波素子の励振゛電極部に設けられる吸音剤の配置構
成を規制することによって、励振１ａ極から表面波と共
に発射されるバルク波を効率よく吸収し且つ製造が容易
な弾性表面波素子を提供するものである。
表面波素子の励振゛電極部に設けられる吸音剤の配置構
成を規制することによって、励振１ａ極から表面波と共
に発射されるバルク波を効率よく吸収し且つ製造が容易
な弾性表面波素子を提供するものである。
本発明は弾性表面波素子の吸音剤は励振電極のメインロ
ーブとサイドロープとを含む表ｍｉ波の伝播路に平行な
基板端部側に突出する部分をそれぞれ結ぶ線分と、励振
電極のメインロープとサイドロープとのうちで伝播路と
平行な基板側端部とも゛りとも近いロープに接する線分
で囲まノしる基板端部側領域に設けられることによって
、励振電極から表面波と共に発射されるバルク波を効率
的に吸収し、且つ吸音剤の形成が容易な弾性表面波素子
である。
ーブとサイドロープとを含む表ｍｉ波の伝播路に平行な
基板端部側に突出する部分をそれぞれ結ぶ線分と、励振
電極のメインロープとサイドロープとのうちで伝播路と
平行な基板側端部とも゛りとも近いロープに接する線分
で囲まノしる基板端部側領域に設けられることによって
、励振電極から表面波と共に発射されるバルク波を効率
的に吸収し、且つ吸音剤の形成が容易な弾性表面波素子
である。
以下に本発明の実施例について詳細に説明する。
同、本発明の弾性表面波素子の基本的な構造は第１図と
同様であるので詳細な説明は省略する。
同様であるので詳細な説明は省略する。
第４図を参照して以下本発明の詳細な説明する。圧電基
板の端辺（ト）には吸音剤（３功が塗布されてＡる。ま
た、弾性表面波素子（３１）の吸音剤Ｇ３壕は、励撮覗
４ｉｆｉｉ Ｃ３）のメインローブ（４３とサイドロー
プ（至）、（４２とを含む表面波（４４）の伝播路に平
行な基板端部０υ側に突出したメインローブ（４り及び
サイドロープＣ３８１。
板の端辺（ト）には吸音剤（３功が塗布されてＡる。ま
た、弾性表面波素子（３１）の吸音剤Ｇ３壕は、励撮覗
４ｉｆｉｉ Ｃ３）のメインローブ（４３とサイドロー
プ（至）、（４２とを含む表面波（４４）の伝播路に平
行な基板端部０υ側に突出したメインローブ（４り及び
サイドロープＣ３８１。
（４２の外周部分をそれぞれ結ぶ線分ｃ３りと、伝播路
と平行な基板側端部（４１ともつとも近いサイドロープ
（ハ）に接する線分Ｇ４）とで囲まれる基板４ ｉｆｉ
［ｌ Ｃ３力、 （４０、（旬側領域に形成されている
。
と平行な基板側端部（４１ともつとも近いサイドロープ
（ハ）に接する線分Ｇ４）とで囲まれる基板４ ｉｆｉ
［ｌ Ｃ３力、 （４０、（旬側領域に形成されている
。
上述の様に、励振ｔ電極（３）側に吸音剤（３階ヲ塗布
することは、エンベロープＣ３１にかなシ接近して吸音
剤を塗布することになる。故に、吸音剤（：］Ｊは、エ
ンベロープ（３１に正確に形成されていなくても実質的
に正常な表面波の伝搬を乱し特性の劣化の原因となるバ
ルク波を吸収しするので、バルク波が圧電基板（２）を
伝播し受信電極（４）に到達することを効果的に防止す
ることができる。
することは、エンベロープＣ３１にかなシ接近して吸音
剤を塗布することになる。故に、吸音剤（：］Ｊは、エ
ンベロープ（３１に正確に形成されていなくても実質的
に正常な表面波の伝搬を乱し特性の劣化の原因となるバ
ルク波を吸収しするので、バルク波が圧電基板（２）を
伝播し受信電極（４）に到達することを効果的に防止す
ることができる。
次に、第５図及び第６図を参照１〜で本発明の弾性表面
波素子Ｇυの励振電極側吸音剤の効果を説明する。
波素子Ｇυの励振電極側吸音剤の効果を説明する。
励振【比極側の吸音剤の配置構成によるバルク波の発生
程度を調べるため、その配置構成を変えて特性を測定し
た。第１の塗布部分は線分（３４）とエンベロープ（Ａ
）と端辺４３７） 、 ！４０ 、 （旬とで囲まれた
部分である。第２の塗布部分は、第４図の吸音剤□□□
を塗布した領域で菟る。第３の塗布部分は、線分（３４
）及ヒ線分（Ｂ） Ｋ 平行＆ ｍ 分子ｃ） ト端辺
（３ｎ 、 （４Ｇ 、 （４１）とで囲まれた部分で
ある。第４の塗布部分は、線分４４４）と線分［Ｃ）に
平行な線分［Ｄ）と端辺０η、 （４１，（４υとで囲
まルた部分である。
程度を調べるため、その配置構成を変えて特性を測定し
た。第１の塗布部分は線分（３４）とエンベロープ（Ａ
）と端辺４３７） 、 ！４０ 、 （旬とで囲まれた
部分である。第２の塗布部分は、第４図の吸音剤□□□
を塗布した領域で菟る。第３の塗布部分は、線分（３４
）及ヒ線分（Ｂ） Ｋ 平行＆ ｍ 分子ｃ） ト端辺
（３ｎ 、 （４Ｇ 、 （４１）とで囲まれた部分で
ある。第４の塗布部分は、線分４４４）と線分［Ｃ）に
平行な線分［Ｄ）と端辺０η、 （４１，（４υとで囲
まルた部分である。
第６図は第５図に示す各吸音剤の配置構成にＬるバルク
波しベル金示す相関図である。なお、吸音剤の塗布部分
を示す第６図の記号は第１の塗布部分をＡ、第２の塗布
部分をＢ１第３の塗布部分−ｔ、−Ｃ，第４の塗布部分
をＤとして示しである。すると、第６図より容易にわか
る様に、ＡとＢとはバルク波の発生はほとんど同じ程度
如少ないが、Ｃ、Ｄは相当大きなバルク波の発生が認め
られる。
波しベル金示す相関図である。なお、吸音剤の塗布部分
を示す第６図の記号は第１の塗布部分をＡ、第２の塗布
部分をＢ１第３の塗布部分−ｔ、−Ｃ，第４の塗布部分
をＤとして示しである。すると、第６図より容易にわか
る様に、ＡとＢとはバルク波の発生はほとんど同じ程度
如少ないが、Ｃ、Ｄは相当大きなバルク波の発生が認め
られる。
換言すれば、エンベロープ（３９と線分（３４）と端辺
（３η。
（３η。
Ｇ４０ 、 （４１）とで囲まれた領域に吸音剤全塗布
したもの即ち第１の塗布部分と、第４図の吸音剤（３（
至）を塗布した領域即ち第２の塗布部分とのバルク波吸
収の効果には差が極めて少なく実質的に同−権度と見ｆ
ｘＬ、でよい。しかしながら、第１の塗布部分に比べて
、第２の塗布部分は曲線状のエンベロープ（ハ）ＩＣ沿
って吸音剤を塗布する必要がなく線分（３ωに沿って吸
音剤を塗布するだけなので、励振ｉＫ ｌ！ｉｉｉ＋３
１側の吸音剤の塗布形成が極めて容易である。
したもの即ち第１の塗布部分と、第４図の吸音剤（３（
至）を塗布した領域即ち第２の塗布部分とのバルク波吸
収の効果には差が極めて少なく実質的に同−権度と見ｆ
ｘＬ、でよい。しかしながら、第１の塗布部分に比べて
、第２の塗布部分は曲線状のエンベロープ（ハ）ＩＣ沿
って吸音剤を塗布する必要がなく線分（３ωに沿って吸
音剤を塗布するだけなので、励振ｉＫ ｌ！ｉｉｉ＋３
１側の吸音剤の塗布形成が極めて容易である。
以上のように本発明の弾性表面波素子によれば、弾性表
面波素子の吸音剤は励振電極のメインロープとサイドロ
ープとを含む表面波の伝播路に平行な基板端部側に突出
する部分をそれぞれ結ぶ線分と、励振電極のメインロー
プとサイドロープとのうちで伝播路と平行な基板側端部
ともつとも近いロープに接する線分で囲まれる基板端部
側領域に設けられることにより、励振電極から表面波と
共に発射されるバルク波を効率的に吸収し、励振電極側
の吸音剤を囲む境界が直線からなるので吸音剤の塗布形
成が極めて容易となる。
面波素子の吸音剤は励振電極のメインロープとサイドロ
ープとを含む表面波の伝播路に平行な基板端部側に突出
する部分をそれぞれ結ぶ線分と、励振電極のメインロー
プとサイドロープとのうちで伝播路と平行な基板側端部
ともつとも近いロープに接する線分で囲まれる基板端部
側領域に設けられることにより、励振電極から表面波と
共に発射されるバルク波を効率的に吸収し、励振電極側
の吸音剤を囲む境界が直線からなるので吸音剤の塗布形
成が極めて容易となる。
第１図は従来の弾性表面波素子を示す平面図、第２図は
励振電極のエンベロープに沿って吸音剤を塗布した従来
の弾性表面波素子を示す平面図、第３図はメインロープ
と複数の丈イドロープを所持する従来の励振［株］極を
示す平面図、第４図は本発明の弾性表１■波素子の実施
例全示す平面図、第５図は本発明の弾性表面波素子の励
振電極側吸音剤の塗布領域を示す平面図、第６図は第５
図の吸音剤塗布領域によるバルク波の吸収を示す図Ｃあ
る。 （１）、Ｑυ、Ｇ１） 弾性表面波素子 （２）
圧電基板（３０１） −（Ｌ歯状成極 ＋３）、１
２υ 励振電極（４）受信′電極 Ｇトエン
ベローブｔ３つ 線分 （至）サイドロ
ープＣ３４）・サイドロープと接する線分 （７３１７） 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 （
ほか１名）第 １ 図 第３図 手続補正書（自発） 特許庁長官 殿 １、 事件の表示 特願昭５７−１．６６５７２号 ２、発明の名称 弾性表面波素子 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 （３０７）東京芝浦電気株式会社 ４、代理人 〒１００ 東京都千代田区内幸町１１−６ ６ 補正の内容 （１）特許請求の範囲を別紙の通り補正−［る。 （２）発明の詳細な説明を以下の辿り補正する。 （１）第４頁第１５行目乃至第４頁第２０行目、Ｅ本発
明は・・・（中略）・・・線分で囲ま旭、る基板端」と
あるを、［本発明は弾性表向波素子の吸音剤は励ｋＩＭ
、極のメインローブとサイドローブとを含む表面波の伝
播路に略平行な基板端部側に突出したメインローブと少
なくとも１つのサイドロープとの外周部分をそれぞれ結
ぶ線分と、励振゛電接のメインローブとサイドロープと
のうちで伝播路と略平行な基板側端部ともつとも近いロ
ーブ（二接する線分とで実質的に囲まｉする基板端」と
削＋Ｅ’ｆる。 （１１）第６頁９Ａ６行目、「・・・防止することがで
きる」とあるな、［・・・防止−ｒることかできる。 なおこの時、線分（３４） 、 （３５）上に完全に沿
い吸音剤（３３）が塗布されておらず、線分（，３４）
。 （３５）に実質的に近似して吸音剤（３３）が塗布され
ていれば良いのはもうまでもない。」と訂４− 正する。 （ｆｉｌ） 第８頁第１行目乃至第８頁第５行目、「
・・・伝播路ｌ二平行な・・・（中略）・・基板端部側
領域に」とあるを、［・・・伝播路に略平行な基板端部
側に突出したメインロープと少なくとも１つのサイトロ
ーブとの外周部分をそれぞれ結ぶ線分と、励振電極のメ
インローブとサイドロープとのうちで伝播路と略平行な
基板側端部ともつとも近いロープに接する線分とで実費
的ｌ二囲ま２１．る基板端部側領域に１と創ＩＥするＯ 以上 ２、特許請求の範囲 圧′屯基板−ヒに、互いに交差するくし歯状電極の父差
幅を変えてメインローブとこのメインローブの両側のサ
イドローブとから形成される励振電極と、この励振電極
から励振された表面波の伝幅路上にあって前記表面波を
受信するくし歯状電極からなる正規型受信電極と、前記
励振′電極から励振さｉするバルク波を吸収する吸音剤
とを有する弾性表面波素子において、的記吸音剤は前記
励振電極のメインローブとサイドローブとを含む表面波
の伝播路に略平行な基板端部側に突出したメインローブ
と少なくとも１つのサイドローブとの外周部分をそ第１
．それ結ぶ線分と、前記励振電極のメインローブとサイ
ドローブとのうちで伝播路と略平行な基板側端部ともつ
とも近いロープに接する線分とで実質的に囲まれる前記
基板端部側領域に設けられたことを特徴とする弾性表面
波素子。
励振電極のエンベロープに沿って吸音剤を塗布した従来
の弾性表面波素子を示す平面図、第３図はメインロープ
と複数の丈イドロープを所持する従来の励振［株］極を
示す平面図、第４図は本発明の弾性表１■波素子の実施
例全示す平面図、第５図は本発明の弾性表面波素子の励
振電極側吸音剤の塗布領域を示す平面図、第６図は第５
図の吸音剤塗布領域によるバルク波の吸収を示す図Ｃあ
る。 （１）、Ｑυ、Ｇ１） 弾性表面波素子 （２）
圧電基板（３０１） −（Ｌ歯状成極 ＋３）、１
２υ 励振電極（４）受信′電極 Ｇトエン
ベローブｔ３つ 線分 （至）サイドロ
ープＣ３４）・サイドロープと接する線分 （７３１７） 代理人 弁理士 則 近 憲 佑 （
ほか１名）第 １ 図 第３図 手続補正書（自発） 特許庁長官 殿 １、 事件の表示 特願昭５７−１．６６５７２号 ２、発明の名称 弾性表面波素子 ３、補正をする者 事件との関係 特許出願人 （３０７）東京芝浦電気株式会社 ４、代理人 〒１００ 東京都千代田区内幸町１１−６ ６ 補正の内容 （１）特許請求の範囲を別紙の通り補正−［る。 （２）発明の詳細な説明を以下の辿り補正する。 （１）第４頁第１５行目乃至第４頁第２０行目、Ｅ本発
明は・・・（中略）・・・線分で囲ま旭、る基板端」と
あるを、［本発明は弾性表向波素子の吸音剤は励ｋＩＭ
、極のメインローブとサイドローブとを含む表面波の伝
播路に略平行な基板端部側に突出したメインローブと少
なくとも１つのサイドロープとの外周部分をそれぞれ結
ぶ線分と、励振゛電接のメインローブとサイドロープと
のうちで伝播路と略平行な基板側端部ともつとも近いロ
ーブ（二接する線分とで実質的に囲まｉする基板端」と
削＋Ｅ’ｆる。 （１１）第６頁９Ａ６行目、「・・・防止することがで
きる」とあるな、［・・・防止−ｒることかできる。 なおこの時、線分（３４） 、 （３５）上に完全に沿
い吸音剤（３３）が塗布されておらず、線分（，３４）
。 （３５）に実質的に近似して吸音剤（３３）が塗布され
ていれば良いのはもうまでもない。」と訂４− 正する。 （ｆｉｌ） 第８頁第１行目乃至第８頁第５行目、「
・・・伝播路ｌ二平行な・・・（中略）・・基板端部側
領域に」とあるを、［・・・伝播路に略平行な基板端部
側に突出したメインロープと少なくとも１つのサイトロ
ーブとの外周部分をそれぞれ結ぶ線分と、励振電極のメ
インローブとサイドロープとのうちで伝播路と略平行な
基板側端部ともつとも近いロープに接する線分とで実費
的ｌ二囲ま２１．る基板端部側領域に１と創ＩＥするＯ 以上 ２、特許請求の範囲 圧′屯基板−ヒに、互いに交差するくし歯状電極の父差
幅を変えてメインローブとこのメインローブの両側のサ
イドローブとから形成される励振電極と、この励振電極
から励振された表面波の伝幅路上にあって前記表面波を
受信するくし歯状電極からなる正規型受信電極と、前記
励振′電極から励振さｉするバルク波を吸収する吸音剤
とを有する弾性表面波素子において、的記吸音剤は前記
励振電極のメインローブとサイドローブとを含む表面波
の伝播路に略平行な基板端部側に突出したメインローブ
と少なくとも１つのサイドローブとの外周部分をそ第１
．それ結ぶ線分と、前記励振電極のメインローブとサイ
ドローブとのうちで伝播路と略平行な基板側端部ともつ
とも近いロープに接する線分とで実質的に囲まれる前記
基板端部側領域に設けられたことを特徴とする弾性表面
波素子。
Claims (1)
- 圧電基板上に、互いに交差するくし歯状・電極の交差幅
を変えてメインローブとこのメインローブの両側のサイ
ドローブとから形成される励振電極と、この励振電極か
ら励振された表面波の伝播路上にあって前記表面波を受
有すもぐし歯状「に極からなる正規型受信電極と、前記
励振電極から励振されるバルク波を吸収する吸音剤とを
有する弾性表面波素子に膠いて、前記吸音剤は前記励振
’＋ｆｌ： Ｉδハのメインローブとナイドローブとを
含む表面波の伝播路に平行な基板端部側に突出する＞６
ｐ分を仁れぞれ結ぶ線分と、前記励振電極のメインロー
ブと前記基板端部側領域に設けられたことを特徴とする
弾性表面波素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16657282A JPS5957514A (ja) | 1982-09-27 | 1982-09-27 | 弾性表面波素子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16657282A JPS5957514A (ja) | 1982-09-27 | 1982-09-27 | 弾性表面波素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5957514A true JPS5957514A (ja) | 1984-04-03 |
Family
ID=15833745
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16657282A Pending JPS5957514A (ja) | 1982-09-27 | 1982-09-27 | 弾性表面波素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5957514A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5412545A (en) * | 1977-06-30 | 1979-01-30 | Toshiba Corp | Absorbing body for elstic surface wave element |
| JPS5533341A (en) * | 1978-08-31 | 1980-03-08 | Toshiba Corp | Elastic surface wave device |
-
1982
- 1982-09-27 JP JP16657282A patent/JPS5957514A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5412545A (en) * | 1977-06-30 | 1979-01-30 | Toshiba Corp | Absorbing body for elstic surface wave element |
| JPS5533341A (en) * | 1978-08-31 | 1980-03-08 | Toshiba Corp | Elastic surface wave device |
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