JPS5830216A - 弾性波装置 - Google Patents
弾性波装置Info
- Publication number
- JPS5830216A JPS5830216A JP12780181A JP12780181A JPS5830216A JP S5830216 A JPS5830216 A JP S5830216A JP 12780181 A JP12780181 A JP 12780181A JP 12780181 A JP12780181 A JP 12780181A JP S5830216 A JPS5830216 A JP S5830216A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- acoustic wave
- elastic wave
- propagation path
- lambda
- end part
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02818—Means for compensation or elimination of undesirable effects
- H03H9/02842—Means for compensation or elimination of undesirable effects of reflections
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic elements; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02614—Treatment of substrates, e.g. curved, spherical, cylindrical substrates ensuring closed round-about circuits for the acoustical waves
- H03H9/02622—Treatment of substrates, e.g. curved, spherical, cylindrical substrates ensuring closed round-about circuits for the acoustical waves of the surface, including back surface
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は弾性波装置に関するものであシ、更に詳しくは
基板端面からの反射を抑圧し１、周波数＊ａの嵐好な弾
性波装置に関するものである。
基板端面からの反射を抑圧し１、周波数＊ａの嵐好な弾
性波装置に関するものである。
弾性波装置としては、弾性境界波装置と弾性表面波装置
があシ、前者は鮪１図（α） （ｂ） Ｋ示す様に、圧
電性基板１上にすだれ状電極２．５を設け、ｊ！にその
上に圧電性基板１と弾性定数もしくは密度の異なる薄ｌ
［４ｔ−形成したものである。そして、この構造によっ
て圧電性基板２と薄ｌ［４との境界１ｉｉ５にほとんど
全てのエネルギを集中させることにょ）、圧電性を有す
るストンリー波に類似する波を発生させ、これをフィル
タや遅延線等の各種電子デバイスに応用したものである
。
があシ、前者は鮪１図（α） （ｂ） Ｋ示す様に、圧
電性基板１上にすだれ状電極２．５を設け、ｊ！にその
上に圧電性基板１と弾性定数もしくは密度の異なる薄ｌ
［４ｔ−形成したものである。そして、この構造によっ
て圧電性基板２と薄ｌ［４との境界１ｉｉ５にほとんど
全てのエネルギを集中させることにょ）、圧電性を有す
るストンリー波に類似する波を発生させ、これをフィル
タや遅延線等の各種電子デバイスに応用したものである
。
しかし、この様な弾性境界波装置では、第２図に示す様
に入力用すだれ状電極２で励起され九弾性波が境界面５
に沿って矢印Ａ、Ｂで示す様に左右両方向に伝搬し、そ
の一部は主信号として出力用すだれ状電極３で受信され
る。しかし、その他にも圧電性基板１の端面、即ち境界
面５の端部６．７で反射された弾性波Ａ’、Ｂ’も出力
用すだれ状電極３で受信される。この弾性波Ａ’ 、
Ｂ’に基づいて出力用すだれ状電極３で発生される電気
信号は、主信号よシも遅相し良信号となるため、周波数
特性上リップルとなって現われるという不都合が生じる
。
に入力用すだれ状電極２で励起され九弾性波が境界面５
に沿って矢印Ａ、Ｂで示す様に左右両方向に伝搬し、そ
の一部は主信号として出力用すだれ状電極３で受信され
る。しかし、その他にも圧電性基板１の端面、即ち境界
面５の端部６．７で反射された弾性波Ａ’、Ｂ’も出力
用すだれ状電極３で受信される。この弾性波Ａ’ 、
Ｂ’に基づいて出力用すだれ状電極３で発生される電気
信号は、主信号よシも遅相し良信号となるため、周波数
特性上リップルとなって現われるという不都合が生じる
。
上記と類似の現象は弾性波表面装置でも生じる。そして
、この圧電性基板端面からの反射波を抑圧する手段とし
て、圧電性基板端面近傍の基板表回上に弾性表面波の吸
収材ｔ−塗布する方法が一般に用いられている。
、この圧電性基板端面からの反射波を抑圧する手段とし
て、圧電性基板端面近傍の基板表回上に弾性表面波の吸
収材ｔ−塗布する方法が一般に用いられている。
しかし、弾性境界波装置においては、前述のごとく、圧
電性基板１と薄膜４との境界面５にそのほとんど全ての
エネルギを集中させ、装置表面のエネルギは？１ ？’
！’零に等しいため、弾性表面波装置の場合と同様に、
圧電性基板端６．７の近傍の薄１［４の表面に弾性波吸
収材を塗布しても、目的とする弾性波の反射波の抑圧に
はほとんど寄与しない。従って、弾性境界波装置ｔ−実
用化する上で、上記した基板端面からの反射弾性波を有
効に抑制することが大きな問題になってｂる。また、弾
性表面波装置においても、反射波をよシ有効に抑制する
手段の開発が期待されていた。
電性基板１と薄膜４との境界面５にそのほとんど全ての
エネルギを集中させ、装置表面のエネルギは？１ ？’
！’零に等しいため、弾性表面波装置の場合と同様に、
圧電性基板端６．７の近傍の薄１［４の表面に弾性波吸
収材を塗布しても、目的とする弾性波の反射波の抑圧に
はほとんど寄与しない。従って、弾性境界波装置ｔ−実
用化する上で、上記した基板端面からの反射弾性波を有
効に抑制することが大きな問題になってｂる。また、弾
性表面波装置においても、反射波をよシ有効に抑制する
手段の開発が期待されていた。
本発明は、かかる従来の弾性波装置の欠点に鑑みなされ
たもので、従来の不具合を改善し、良好な周波数特性を
有する弾性波装置を提供することｔ目的としている。
たもので、従来の不具合を改善し、良好な周波数特性を
有する弾性波装置を提供することｔ目的としている。
本発明の弾性波装置は、電気信号を弾性波に変換するＩ
ｓｌのすたれ状電極と、＃弾性波を再び電気偵号に変侠
する第２のすだれ状電極と、該弾性波の伝搬路とを備え
てなシ、かつ伝搬路端部の位置が、λ７４ Ｘ＃ （Ｎ
＝ １ｊ、５・・・、λは弾性波の波長）の幅たけ少
くとも１段ずれて形成され、ずれて形成された伝搬路端
部の全長が全体のヲであることを特徴としている。
ｓｌのすたれ状電極と、＃弾性波を再び電気偵号に変侠
する第２のすだれ状電極と、該弾性波の伝搬路とを備え
てなシ、かつ伝搬路端部の位置が、λ７４ Ｘ＃ （Ｎ
＝ １ｊ、５・・・、λは弾性波の波長）の幅たけ少
くとも１段ずれて形成され、ずれて形成された伝搬路端
部の全長が全体のヲであることを特徴としている。
弾性波を反射させる伝搬路端部が半分ずつ互いにλ／４
ｘ Ｎだけずれていると、各々の端部からの反射波が
位相的に互いに打消すようになり、出力用の謝２のすた
れ状電極には反射信号が現われず、主信号だけの良好な
周波数特性を得ることが可能になる。
ｘ Ｎだけずれていると、各々の端部からの反射波が
位相的に互いに打消すようになり、出力用の謝２のすた
れ状電極には反射信号が現われず、主信号だけの良好な
周波数特性を得ることが可能になる。
以下添付の図面に示す実施例によって、更に詳細に本発
明について説明する。
明について説明する。
第３図は本発明の実施例を示すもので、テレビジ璽ン受
儂機の中間周波数段に用いるフィルタを本発明の弾性境
界波装置で形成したものである。圧電性基板１としては
１２８°回転Ｙ軸カットのオニプ酸リチウムを用い、弾
性境界波の伝搬方間はＸ軸とした。すだれ状電極２．３
としては、中心周波数５７ＭＨｚ 、電極対数１５対、
電極幅８脚の二重電極と、電極交差幅と電極間隔を変化
させた重み付き電極とを用い、いずれの電極も０５μ寓
のフルＺニクム蒸着膜をフォトエツチングすることによ
シ圧電性基板１上に形成した。
儂機の中間周波数段に用いるフィルタを本発明の弾性境
界波装置で形成したものである。圧電性基板１としては
１２８°回転Ｙ軸カットのオニプ酸リチウムを用い、弾
性境界波の伝搬方間はＸ軸とした。すだれ状電極２．３
としては、中心周波数５７ＭＨｚ 、電極対数１５対、
電極幅８脚の二重電極と、電極交差幅と電極間隔を変化
させた重み付き電極とを用い、いずれの電極も０５μ寓
のフルＺニクム蒸着膜をフォトエツチングすることによ
シ圧電性基板１上に形成した。
ま九、薄膜４としては、二酸化シリコンｔ−ＣＶＤ法に
よｐ基板上に３０μ簿形成し、フォトエツチングによシ
鮪３図に示すごとく、境界面端面８．９のそれぞれにつ
めて半分づつ端面位置がλ／４（λ＝６４μ菖）だけず
れる様に、境界面端面８’、 ９’を加工した。
よｐ基板上に３０μ簿形成し、フォトエツチングによシ
鮪３図に示すごとく、境界面端面８．９のそれぞれにつ
めて半分づつ端面位置がλ／４（λ＝６４μ菖）だけず
れる様に、境界面端面８’、 ９’を加工した。
第４図は、第３図に示す実施例の周波数特性を示す図で
ある。図示する様に１従来の弾性境界波装置で生じてい
たリップル１０は、本発明によれば曲！１１１に示され
る様にほとんど抑制され、この時の反射信号レベルは主
信号に対して一３５ｔＬＢ以下になっ九〇 また、他の実施例として、境界面端部８，８’。
ある。図示する様に１従来の弾性境界波装置で生じてい
たリップル１０は、本発明によれば曲！１１１に示され
る様にほとんど抑制され、この時の反射信号レベルは主
信号に対して一３５ｔＬＢ以下になっ九〇 また、他の実施例として、境界面端部８，８’。
９．９′のそれぞれの位置のずれｔλμの奇数倍とした
シ、境界面端部８，９ｆ５個以上の部分に分け、前記の
技術的思想に則って分割しても全く同様の効果が得られ
るもので弗る。
シ、境界面端部８，９ｆ５個以上の部分に分け、前記の
技術的思想に則って分割しても全く同様の効果が得られ
るもので弗る。
更に、第３図に示す実施例において、基板１と薄膜４０
組合せとしては、少くとも一方の物質が圧電性を有すれ
ば、前記した弾性境界波を励起することができ、この場
合にも本発明は同様の端面反射抑制効果を有するもので
ある。
組合せとしては、少くとも一方の物質が圧電性を有すれ
ば、前記した弾性境界波を励起することができ、この場
合にも本発明は同様の端面反射抑制効果を有するもので
ある。
尚、以上の実施例は弾性境界波装置に関するものであっ
たが、弾性境界波のかわルに弾性表面波を励受信する弾
性表面波装置においても、全く同様（応用でき、反射弾
性表面波を抑制することが可能になる。
たが、弾性境界波のかわルに弾性表面波を励受信する弾
性表面波装置においても、全く同様（応用でき、反射弾
性表面波を抑制することが可能になる。
以上の説明から明らかな様に１本発明によれば、弾性波
の端面反射信号が著しく抑制され、良好な周波数特性を
有する弾性波装置ｔ−提供することが可能となる。
の端面反射信号が著しく抑制され、良好な周波数特性を
有する弾性波装置ｔ−提供することが可能となる。
第１図（α）は従来の弾性境界波装置を示す平面図、第
１図（Ａ）は従来の弾性境界波装置を示す側面断面図、
＃＃２図は従来の弾性境界波装置の弾性境界波の端面反
射の状ａｔ−示す説明図、第３図は本発明の一実施例を
示す平面図、絡４図はＷ、３図に示した実施例の周波数
特性を示す図である。 １・・・圧電性基板 ２．３・・・すだれ状電極４
・・・薄膜 ５・・・境界面６、７．８．８
’ 、 ９．９’・・・境界面端部代理人弁埠士 薄
１）利 幸 第 １ 冴ｑ （６Ｌ） 第２図 第５ 図 第４０ ” ５４− ５６ ＃６θ ｂｚ
」波本バＦＩＨｚ）
１図（Ａ）は従来の弾性境界波装置を示す側面断面図、
＃＃２図は従来の弾性境界波装置の弾性境界波の端面反
射の状ａｔ−示す説明図、第３図は本発明の一実施例を
示す平面図、絡４図はＷ、３図に示した実施例の周波数
特性を示す図である。 １・・・圧電性基板 ２．３・・・すだれ状電極４
・・・薄膜 ５・・・境界面６、７．８．８
’ 、 ９．９’・・・境界面端部代理人弁埠士 薄
１）利 幸 第 １ 冴ｑ （６Ｌ） 第２図 第５ 図 第４０ ” ５４− ５６ ＃６θ ｂｚ
」波本バＦＩＨｚ）
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （１） 電気信号を弾性波に変換する第１のすだれ状
電極と、該弾性波管再び電気信号に変換する第２のすだ
れ状電極と、該弾性波が伝搬する伝搬路とを備えてな〕
、かつ該弾性波の伝搬路端部の位置が、λ７４ Ｘ Ｎ
（Ｎ＝＝ １．５．５・・・。 λは弾性波の波長）の輻だけ少くとも一段ずれて形成さ
れ、ずれて形成されている伝搬路端部の全長が全体のｉ
でめることを特徴とする弾性波装置。 （２） 上記弾性波が、弾性境界波であることｔ−特徴
とする特許請求の範囲第（１）項記載の弾性波装置。 （６） 上記弾性波が弾性表面波であることｔ−％黴と
する特許請求の範囲１１１Ｅ （１１項記載の弾性波装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12780181A JPS5830216A (ja) | 1981-08-17 | 1981-08-17 | 弾性波装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12780181A JPS5830216A (ja) | 1981-08-17 | 1981-08-17 | 弾性波装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5830216A true JPS5830216A (ja) | 1983-02-22 |
Family
ID=14969008
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12780181A Pending JPS5830216A (ja) | 1981-08-17 | 1981-08-17 | 弾性波装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5830216A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005036743A1 (ja) * | 2003-10-10 | 2005-04-21 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 弾性境界波装置 |
| WO2005036744A1 (ja) * | 2003-10-10 | 2005-04-21 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 弾性境界波装置 |
| US7737603B2 (en) | 2003-12-16 | 2010-06-15 | Murata Manufacturiing Co., Ltd. | Boundary acoustic wave device |
-
1981
- 1981-08-17 JP JP12780181A patent/JPS5830216A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005036743A1 (ja) * | 2003-10-10 | 2005-04-21 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 弾性境界波装置 |
| WO2005036744A1 (ja) * | 2003-10-10 | 2005-04-21 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | 弾性境界波装置 |
| US7737603B2 (en) | 2003-12-16 | 2010-06-15 | Murata Manufacturiing Co., Ltd. | Boundary acoustic wave device |
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