JPS5958435A - 電子写真用感光体の製造方法 - Google Patents

電子写真用感光体の製造方法

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JPS5958435A
JPS5958435A JP17031082A JP17031082A JPS5958435A JP S5958435 A JPS5958435 A JP S5958435A JP 17031082 A JP17031082 A JP 17031082A JP 17031082 A JP17031082 A JP 17031082A JP S5958435 A JPS5958435 A JP S5958435A
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JP
Japan
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film
drum
photoreceptor
amorphous silicon
silicon film
Prior art date
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Pending
Application number
JP17031082A
Other languages
English (en)
Inventor
Masao Obara
小原　正生
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Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Publication date
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  • Chemical & Material Sciences (AREA)
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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明はアモルファスシリコン膜を感光体層とする電子
写真用感光体の製造方法に関する。
〔発明の技術的背景とその問題点〕
アモルファスシリコン（ａ　−Ｓ　ｉ　）　’Ｘ電子写
真に応用しようとする機運は今日急速に高まＩＪつつあ
る。現在、グロー放電法による２　　Ｆ３＋の形成技術
ｅまかなりの域に達し小さな基設（上においては充分な
る電子写真特性を有するａ　　Ｓｔ感光体層を形成する
ことが出来る様にはなった。
しかしこれは基板温度を２５０℃前後に列−（１シした
最適なる堆積条件の下でのことであって、９冬際にはＡ
ｌドラム上に堆積する場合にはし）＜つかの問題がある
。その一つは、Ｎｌ　　の軟１ヒ点〃１１５０℃〜２０
０℃位であるので、基板ン話度を２５０℃位に上げると
人！　ドラムが堆積中にひずんだり、又８ｉとＭ　の熱
膨張係数７５；−桁ｅマどちがうことなどからａ−８ｉ
膜にクラック７５；生じひどい場合にははがｎたりする
ことである。
そのためこｆｌまでは基板温度をＦげてａ　　８１を堆
積しゆっくり降温してクラックを防く゛などの対策がと
ら几ているが、この場合にはａ−８ｉの光感度が充分に
とｎず又特性の・ぐうつき力；大きく、生産性歩留りが
悪くなるといった問題があった。
更に従来、ＡＡ’　　ドラムは表面を鏡面仕上げしたも
のを用いこｎに直接ａ　−Ｓ　ｆをＭｌｉｍシティたが
、この方法ではＡｌｌ　−８ｉ間の接触が不安定でドラ
ムごとに特性がパラついてしまうという問題もあった。
〔発明の目的〕
本発明は上に述べた従来技術の問題点乞克服し、特性が
良好なａ−８ｉ感光体層を夛貿り良く効率的に作製し得
る方法を提供しようとするものである。
〔発明の概要〕
本発明の電子写真用感光体の製造方法は、鏡面仕上げし
た人！基板の表面をＭ　又Ｖｉ、ＡＡ−８１膜で覆い、
基板温１ｆｆｉを上げてａ　−Ｓ　ｉ膜乞形成したとき
に、この金属膜によりａ　−Ｓ　ｌとＡ６　　の熱膨張
係数の違いからくる両者の間の熱ひずみを吸収するよう
にしたものである。
〔発明の効果〕
本発明によ２’Ｌばａ−ＳｉとＡＡ基板の間に入ｌ又は
Ａ７−８ｉ膜を設けることにより、ａ−８ｉを堆積する
際に基板温度を上げることができ、従って特性の良好な
ａ−８１感光体を歩留り良く作ることができる。またａ
　−Ｓｉ膜の基板との接触特性を良好なものとして高性
能の電子写真感光体を得ることが出来る。
〔発明の実施例〕
以下本発明の実施例について述べる。基板としては表面
を鏡面研磨したべｌ　ドラムを用いた。
優 まずこのＡＡ’　ドラムを有機郷剤にて脱脂処理した後
模式図に示すようなグロー放電堆１５’ｔ　５々置１中
にセットし、真空中で２００℃までＡＡ’　　ドラム２
をその内側に配置したヒーター３にて昇温する。この後
ガス導入管４並びにガス導入マニホールド５を通じてＡ
ｊ？’（ＣＨｓ）ｓ　Ｙ　Ｉ　Ｔｏｒｒ程度導入すると
共に、ＲＦ電源６から１３．５６　ＭＨｚ　。
１００ＷのＲＦ電力を印加してグラズマをにてＡｌ　ド
ラム２の表面にＡ／膜”ｋＥＢ蒸看て２μ程堆積させる
。この後Ａｌ（ＣＨ３）、を充分排気した後、ＳｉＨ，
とＯｌの混含気体を同様に導入し、５０ＷのＲＦ電力で
ＡＪ　　ドラム２の上にａ−８ｉ：Ｈ：０膜を１５μ堆
積して電子写真用ドラムを作った。
こうして得らｎたＡｌ　　ドラム上のａ−８ｉ膜は、ク
ラックもなく感光体として良好な特性を有していた。又
、５ｉ−Ａ／の間の接触特性もドラムごとにばらつくこ
とがなくａ−８ｉ感光体ドラムを効率的に歩留よく製造
することが出来た。
上記実施例では、Ａｌ　　ドラム梨の１膜層とａ−Ｓｔ
とを同一の堆積装置内で連続的に形成したが、　ＡＡｉ
層を予め別の装置で加熱原石あるいは電子ビーム蒸着等
によって形成しておいても良い。
父上記実施例ではＡ／　　ドラム上にＡＡ’膜を設ける
例を述べたが、Ａｌ膜に代って例えばＡｌ−５ｔ膜等を
用いても同様の効果を示す＠
【図面の簡単な説明】
図は本発明の一実施例にイ吏用した堆積装置を模式的に
示す図である。 １・・・グロ・−放電堆積装置、２・・・ｉ　　ドラム
、３・・・ヒータ、４・・・ガス導入管、５・・・マニ
ホ−）Ｌｔド、６・・・ＲＦ電源。

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）　　ＡＩｌ基板上に感光体層としてアモルファス
    シリコン膜を形成するに際し、前記入ｊ　基板」二にＡ
    ｌ　又はＡＡ！−８ｔ膜を堆積した後、アモルファスシ
    リコン膜を形成することを特徴とする電子写真用感光体
    の製造方法。
  2. （２）　　前記アモルファスシリコン膜の形成はグロー
    放電堆積装ｊ麿により行なうものでるり、同装置内でア
    モルファスシリコン膜の形成に先だってグロー放題分解
    によりＡＩ！又はＡｌ−８ｌ膜を形成することを特徴と
    する特許請求の幀囲箒１．ＬＡ記載の電子写真用感光体
    の製造方法。
JP17031082A 1982-09-29 1982-09-29 電子写真用感光体の製造方法 Pending JPS5958435A (ja)

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Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6126056A (ja) * 1984-07-17 1986-02-05 Stanley Electric Co Ltd アモルフアスシリコン感光体
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US4689284A (en) * 1983-05-18 1987-08-25 Kyocera Corporation Electrophotographic sensitive member
JPS62258464A (ja) * 1986-04-08 1987-11-10 Canon Inc 光受容部材
JPS62258465A (ja) * 1986-04-08 1987-11-10 Canon Inc 光受容部材

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