JPS5962323A - 積層式精密フイルタユニツト - Google Patents
積層式精密フイルタユニツトInfo
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- JPS5962323A JPS5962323A JP57172961A JP17296182A JPS5962323A JP S5962323 A JPS5962323 A JP S5962323A JP 57172961 A JP57172961 A JP 57172961A JP 17296182 A JP17296182 A JP 17296182A JP S5962323 A JPS5962323 A JP S5962323A
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- Japan
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- filter unit
- tetrafluoroethylene
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Landscapes
- Filtering Materials (AREA)
- Filtration Of Liquid (AREA)
- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は積層式精密フィルタユニットに関−１−ル。
積ｆＦ’ｒ 式精密フィルタのフィルタエレメントは、
はぼ板状で中央に貫通孔を具え、その周囲に多数の開口
を設けた網目部を具えた２枚初支持板を重ね合わせて支
持体とし、この表面をＩｌｌ 状Ｐ 材て被ってフィル
タユニットとしたものを適宜の段数に積層し、中央の貫
通孔の一端を閉塞したものである。第１図に示すように
従来のフィルタユニット１は中央に貫通孔３．３′その
周囲に多数の開口を有する網目部４．４′を有する２枚
のステンレス製の支持板２．２′を重ね合わせ、合わせ
面に設けた溝５．５′で前記網目を 部卿４ 、４’開口と貫通孔３．３′とを連通させ、こ
の網目部４．４′を四弗化エチレン（ＰＴＦＥ）製の多
孔質薄膜炉材６．６′で被ったものである。精密−適用
のフィルタユニ・７トにおいては支持板の合わゼ目が適
材外に露出していると洩わが生じて不具合であり、かつ
金属と炉材との溶着ができないので炉材６．６′は支持
板２．２′の外周より外方にはろ出させ袋状にその周縁
部７を溶着しているが、四弗化エチレン（ＰＴＦＥ ’
）同志の熱溶着が困難なので、炉材６．６′の間に四弗
化エチレン共重合体（ＦＥＰ、 ＰＦＡまたはＥＴＦＥ
）て成る溶着材８を挾んて加熱圧着している。このよう
なフィルタユニット１は、積層する際パツキン１０ヲ挾
んで締めつけらねるが、パツキン材のクリープや締め付
、けゆるみ等により、精密沖過に適する程度のシール性
を維持てきない。このことから、沖過前の汚染側と、沖
過後の清浄側の区画を、パツキン締付は等の機械的方法
にょらず、ずへて溶着によってンールし区画したフィル
タエレメントが望まれている。しかも、そのｔ液は例え
ばＬＳＩ やＩＣの生産に用いる洗滌液や１ｌｉ１１１
刻用酸液なとに使用する目的の場合が多いので、金属や
溶剤なとをρ液中に含まないことが必要である。従って
、溶剤や接着剤等を用いて溶福したものは不適当であり
、フィルタエレメントのネイ料には酸や溶剤その他の薬
品１こ安定な四弗什エチレンおよびその共重合体に限ら
ざるをえない状態であり、溶剤等を用いずに上記材料を
成形し、溶着してフィルタエレメントを構成させねばな
らない。しかし四弗化エチレン（ＰＴＦＦ、）は溶融成
形不可能とされており、かつ溶剤による溶着も不可能で
ある。
はぼ板状で中央に貫通孔を具え、その周囲に多数の開口
を設けた網目部を具えた２枚初支持板を重ね合わせて支
持体とし、この表面をＩｌｌ 状Ｐ 材て被ってフィル
タユニットとしたものを適宜の段数に積層し、中央の貫
通孔の一端を閉塞したものである。第１図に示すように
従来のフィルタユニット１は中央に貫通孔３．３′その
周囲に多数の開口を有する網目部４．４′を有する２枚
のステンレス製の支持板２．２′を重ね合わせ、合わせ
面に設けた溝５．５′で前記網目を 部卿４ 、４’開口と貫通孔３．３′とを連通させ、こ
の網目部４．４′を四弗化エチレン（ＰＴＦＥ）製の多
孔質薄膜炉材６．６′で被ったものである。精密−適用
のフィルタユニ・７トにおいては支持板の合わゼ目が適
材外に露出していると洩わが生じて不具合であり、かつ
金属と炉材との溶着ができないので炉材６．６′は支持
板２．２′の外周より外方にはろ出させ袋状にその周縁
部７を溶着しているが、四弗化エチレン（ＰＴＦＥ ’
）同志の熱溶着が困難なので、炉材６．６′の間に四弗
化エチレン共重合体（ＦＥＰ、 ＰＦＡまたはＥＴＦＥ
）て成る溶着材８を挾んて加熱圧着している。このよう
なフィルタユニット１は、積層する際パツキン１０ヲ挾
んで締めつけらねるが、パツキン材のクリープや締め付
、けゆるみ等により、精密沖過に適する程度のシール性
を維持てきない。このことから、沖過前の汚染側と、沖
過後の清浄側の区画を、パツキン締付は等の機械的方法
にょらず、ずへて溶着によってンールし区画したフィル
タエレメントが望まれている。しかも、そのｔ液は例え
ばＬＳＩ やＩＣの生産に用いる洗滌液や１ｌｉ１１１
刻用酸液なとに使用する目的の場合が多いので、金属や
溶剤なとをρ液中に含まないことが必要である。従って
、溶剤や接着剤等を用いて溶福したものは不適当であり
、フィルタエレメントのネイ料には酸や溶剤その他の薬
品１こ安定な四弗什エチレンおよびその共重合体に限ら
ざるをえない状態であり、溶剤等を用いずに上記材料を
成形し、溶着してフィルタエレメントを構成させねばな
らない。しかし四弗化エチレン（ＰＴＦＦ、）は溶融成
形不可能とされており、かつ溶剤による溶着も不可能で
ある。
この発明１：Ｊ前記のような問題点を解決して、前記の
使用目的に適した沖過を行うためのフィまたはＥＴＦＥ
て作成し、多孔質の四弗化エチレン膜ｐＨを直接前記支
持板に熱溶着したフィルタユニノ）・を提イ１！−する
ものである。
使用目的に適した沖過を行うためのフィまたはＥＴＦＥ
て作成し、多孔質の四弗化エチレン膜ｐＨを直接前記支
持板に熱溶着したフィルタユニノ）・を提イ１！−する
ものである。
この発明を実施例により説明すれば、第２図において積
層式精密フィルタユニ、ト２０は四弗化エチレンノＩ：
重合体（ＦＥＰ、 ＰＦＡまたはＥＴＦＥ）て成る２枚
の支持板２１．２１′を重ね合わゼで支持体２２トシ、
その表面に四弗化エチレン（ＰＴＦＥ ） 材の多孔質
環状膜ρ材２３．２３′を溶着したものである。
層式精密フィルタユニ、ト２０は四弗化エチレンノＩ：
重合体（ＦＥＰ、 ＰＦＡまたはＥＴＦＥ）て成る２枚
の支持板２１．２１′を重ね合わゼで支持体２２トシ、
その表面に四弗化エチレン（ＰＴＦＥ ） 材の多孔質
環状膜ρ材２３．２３′を溶着したものである。
支持＄１７２１．２１′は盾ね合わせられる背面から表
面側に突出したボス部２４．２４′を有しその中央部は
ＴＮＴ Ａ 孔２！’ｉ、２５’７□（穿設サワテイル
。ホス部２４．２４′）周囲に円板状に網目部２６．２
６′か設けらね、多数の開口２７．２７′が網目状に穿
設されている。
面側に突出したボス部２４．２４′を有しその中央部は
ＴＮＴ Ａ 孔２！’ｉ、２５’７□（穿設サワテイル
。ホス部２４．２４′）周囲に円板状に網目部２６．２
６′か設けらね、多数の開口２７．２７′が網目状に穿
設されている。
支持板の背面の重ね合わせ面には溝２８．２８′か設け
られ、こねにより開口２７．２７′とせ通孔２５．２５
′は連通している。網目部２６．２６′の外方は外枠部
２つ、２９′となり、支持板２１′の外枠部２９′は支
持板２１の外枠部２９の内側に嵌合し、その表面か同一
平面をなすように組み合わされる。支持板２３．２３′
は溶融成形により所望の形状のものが得られる。
られ、こねにより開口２７．２７′とせ通孔２５．２５
′は連通している。網目部２６．２６′の外方は外枠部
２つ、２９′となり、支持板２１′の外枠部２９′は支
持板２１の外枠部２９の内側に嵌合し、その表面か同一
平面をなすように組み合わされる。支持板２３．２３′
は溶融成形により所望の形状のものが得られる。
環状の炉材２３は網目部２６の内方ｊこ内側周縁が、外
枠部２９に外側周縁か熱溶着さＡ］る。また沖材２３′
は網目部２６′の内方に内側周縁が熱溶着さね、外側周
縁は支持体２１′の外枠２９゛を被って支持板２１の４
枠２９に熱溶着される。仁の熱溶着は支持体が四弗什エ
チレン共重合体ＣＦＥＰ、 Ｐ：ＦＡまたはＦＴＦＥ）
であるから炉腹と支持体を直接接触さ（１て圧着加熱す
ると、前記の支持体材料か流動性を持ち、多孔質炉腹の
組織に侵入してからみあい投描効果により結合して溶着
されるものである。
枠部２９に外側周縁か熱溶着さＡ］る。また沖材２３′
は網目部２６′の内方に内側周縁が熱溶着さね、外側周
縁は支持体２１′の外枠２９゛を被って支持板２１の４
枠２９に熱溶着される。仁の熱溶着は支持体が四弗什エ
チレン共重合体ＣＦＥＰ、 Ｐ：ＦＡまたはＦＴＦＥ）
であるから炉腹と支持体を直接接触さ（１て圧着加熱す
ると、前記の支持体材料か流動性を持ち、多孔質炉腹の
組織に侵入してからみあい投描効果により結合して溶着
されるものである。
上記のような積層式精密フィルタユニットは所要の設計
Ｉ＝け積層し、突合するボス部端面を ）熱・溶着シー
ルし、連通した貫通孔の一端苓・閉鎖し７てフィルタユ
ニットとして使用され、炉腹外面から入ってｔ過された
Ｊ５液（又は気体）（マ網目部開口、支持板背面の内部
通路、中央のｍ通孔を経て所要１Ｍ所に導びかれろ。
Ｉ＝け積層し、突合するボス部端面を ）熱・溶着シー
ルし、連通した貫通孔の一端苓・閉鎖し７てフィルタユ
ニットとして使用され、炉腹外面から入ってｔ過された
Ｊ５液（又は気体）（マ網目部開口、支持板背面の内部
通路、中央のｍ通孔を経て所要１Ｍ所に導びかれろ。
この発明にかかる前記のような積層式精密フィルタユニ
ットは、四弗化エチレンおよびその共重合体のゐから成
り、金属や溶剤を含む接着剤等を使用しないので耐薬品
性、耐酸性等にきわ５＋・てづくわていて前記の使用目
的に適うものてルリ、しかも支持板を溶り中成形するこ
とにより支（ｊｊ板の合わせ目を支持板表面に溶着した
炉材の内側にずろことかでき、ρ材の外周縁に支持板を
袋伏に被って溶着したり、内周縁にパツキン押えしろを
とったりする無駄ｆｊ材料を節約できるうえ、沖材と支
持体を溶着用の部材を挾まず直接溶着することかてきる
のてシール部はずへて溶着とすることかでき、しかも生
産工程か能率的である。
ットは、四弗化エチレンおよびその共重合体のゐから成
り、金属や溶剤を含む接着剤等を使用しないので耐薬品
性、耐酸性等にきわ５＋・てづくわていて前記の使用目
的に適うものてルリ、しかも支持板を溶り中成形するこ
とにより支（ｊｊ板の合わせ目を支持板表面に溶着した
炉材の内側にずろことかでき、ρ材の外周縁に支持板を
袋伏に被って溶着したり、内周縁にパツキン押えしろを
とったりする無駄ｆｊ材料を節約できるうえ、沖材と支
持体を溶着用の部材を挾まず直接溶着することかてきる
のてシール部はずへて溶着とすることかでき、しかも生
産工程か能率的である。
第１図ｉｌｌ従来の積層式精密フィルタユニットの断面
図。 第２図は本発明の積層式精密フィルタユニ・ントの断面
図である。
図。 第２図は本発明の積層式精密フィルタユニ・ントの断面
図である。
Claims (1)
- 四弗化エチレンの共重合体であるＦＥＰ 、 ＰＦＡま
たはＥＴＦＥて成るほぼ板状の支持板を重ね合わせた支
持体の表面に四弗化エチレン（ＰＴＦＥ ）で成る多孔
質薄膜炉材を熱溶着した積層式精密フィルタユニット。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57172961A JPS5962323A (ja) | 1982-09-30 | 1982-09-30 | 積層式精密フイルタユニツト |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57172961A JPS5962323A (ja) | 1982-09-30 | 1982-09-30 | 積層式精密フイルタユニツト |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5962323A true JPS5962323A (ja) | 1984-04-09 |
| JPH0372324B2 JPH0372324B2 (ja) | 1991-11-18 |
Family
ID=15951564
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57172961A Granted JPS5962323A (ja) | 1982-09-30 | 1982-09-30 | 積層式精密フイルタユニツト |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5962323A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6125607A (ja) * | 1984-07-13 | 1986-02-04 | Sanki Eng Co Ltd | 膜使用の分離装置 |
| JPS62501614A (ja) * | 1985-01-28 | 1987-07-02 | ケンメルメイヤ− ヴエルナ− ハ−． | セグメント構造を備えるフィルタ−装置 |
| US4826519A (en) * | 1985-08-28 | 1989-05-02 | Kurashiki Boseki Kabushiki Kaisha | Multilayer filter element |
| JPH01163504U (ja) * | 1988-05-02 | 1989-11-15 | ||
| US5114508A (en) * | 1984-12-24 | 1992-05-19 | Tokuya Miyagi | Filter element and its production |
| DK178140B1 (en) * | 2014-02-03 | 2015-06-22 | Sani Membranes Aps | Filter plate assembly |
| US11813576B2 (en) | 2018-03-08 | 2023-11-14 | Sani Membranes Aps | Filter-plate assembly with external flow areas and attached membranes |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56129016A (en) * | 1979-11-05 | 1981-10-08 | Rimipoa Corp | Filter cartridge and method of manufacturing said filter cartridge and its forming element |
| JPS57110310A (en) * | 1980-12-26 | 1982-07-09 | Tsuchiya Mfg Co Ltd | Filter element unit |
-
1982
- 1982-09-30 JP JP57172961A patent/JPS5962323A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56129016A (en) * | 1979-11-05 | 1981-10-08 | Rimipoa Corp | Filter cartridge and method of manufacturing said filter cartridge and its forming element |
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| JPS62501614A (ja) * | 1985-01-28 | 1987-07-02 | ケンメルメイヤ− ヴエルナ− ハ−． | セグメント構造を備えるフィルタ−装置 |
| US4826519A (en) * | 1985-08-28 | 1989-05-02 | Kurashiki Boseki Kabushiki Kaisha | Multilayer filter element |
| JPH01163504U (ja) * | 1988-05-02 | 1989-11-15 | ||
| DK178140B1 (en) * | 2014-02-03 | 2015-06-22 | Sani Membranes Aps | Filter plate assembly |
| US11813576B2 (en) | 2018-03-08 | 2023-11-14 | Sani Membranes Aps | Filter-plate assembly with external flow areas and attached membranes |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0372324B2 (ja) | 1991-11-18 |
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