JPS5963463A - 極低温冷凍装置 - Google Patents
極低温冷凍装置Info
- Publication number
- JPS5963463A JPS5963463A JP17320682A JP17320682A JPS5963463A JP S5963463 A JPS5963463 A JP S5963463A JP 17320682 A JP17320682 A JP 17320682A JP 17320682 A JP17320682 A JP 17320682A JP S5963463 A JPS5963463 A JP S5963463A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- refrigerant
- cryopanel
- cooled
- gas
- cryogenic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は極低温冷凍装置に係り、特に複数の被冷却部材
(例えば、クライオパネル)を長大な極低温冷媒移送配
管を使用して冷却するものに好適な極低温冷凍装置に関
するものである。
(例えば、クライオパネル)を長大な極低温冷媒移送配
管を使用して冷却するものに好適な極低温冷凍装置に関
するものである。
クライオパネルは、極低温に冷却された金属面に気体を
凝縮固化させることによって排気する一種の真空排気ポ
ンプであり、クリーンな真空が得られ、かつ、大きな排
気速度が得られるという特徴がある。
凝縮固化させることによって排気する一種の真空排気ポ
ンプであり、クリーンな真空が得られ、かつ、大きな排
気速度が得られるという特徴がある。
特に、核融合実験装置のプラズマ加熱装置である中性粒
子入射装置用の排気ポンプとしては、被排気ガスが水素
で、大きな排気速度が必要とされるので、一般にクライ
オパネルが使用されている。
子入射装置用の排気ポンプとしては、被排気ガスが水素
で、大きな排気速度が必要とされるので、一般にクライ
オパネルが使用されている。
クライオパネルは、それの排気原理から一定量の気体を
排気すると、クライオパネル面に気体が凝縮固化するの
で、この凝縮固化したものをパネル面を加熱することに
よって除去して再生する必要がある。
排気すると、クライオパネル面に気体が凝縮固化するの
で、この凝縮固化したものをパネル面を加熱することに
よって除去して再生する必要がある。
第1図は複数の中性粒子入射装置のクライオパネルを冷
却するヘリウム冷凍装置の−flを示す系統図である。
却するヘリウム冷凍装置の−flを示す系統図である。
中性粒子入射装置のクライオパネルは、高真空を得るた
めに大気圧以下に減圧された液体ヘリウムによって冷却
するようにする。第1図において、lは減圧ポンプ、2
は圧縮機で、圧縮機2で圧縮された高圧ヘリウムガスは
、へりつム冷凍槻3に導かれ、第1熱交換器4aで冷却
され、一部のガスは等工/トロピー膨張によって寒冷を
発生させる第1膨張タービン5aに導かれ、温度降下し
た後、第3熱父換器4cでさらに冷却され、その後、第
2膨張ターピノ5bに導かれ、等エフl−ロビー膨張に
よって再び温度降下し、戻りガスに合流する。第1熱交
換1t4aで冷却された残りのガスは、第2熱交換器4
1〕、第3熱交換器4c、第4熱交換器4d、第5熱交
換器4eで順次冷却され、逆転温度以下となりJT;T
6でほぼ大気圧まで断熱膨張し、一部のガスが液化して
気液分離器71こ導かれる。液化しなかった極低温ガス
は、気液分離器7から熱交換器4e〜421こ順次導か
れ、高圧ガスと熱交換すること薔こよって寒冷回収され
た後、圧縮機2の吸入側に戻る。液化ガスは冷媒移送管
内管8aを通り、各中性粒子入射装置真空容器201〜
20゜に供給される。冷媒移送管内管8aは侵入熱を減
少させるために冷媒移送管外管9aによって真空保冷さ
れている。冷媒移送管内管8b、外管91)fこついて
も同様である。
めに大気圧以下に減圧された液体ヘリウムによって冷却
するようにする。第1図において、lは減圧ポンプ、2
は圧縮機で、圧縮機2で圧縮された高圧ヘリウムガスは
、へりつム冷凍槻3に導かれ、第1熱交換器4aで冷却
され、一部のガスは等工/トロピー膨張によって寒冷を
発生させる第1膨張タービン5aに導かれ、温度降下し
た後、第3熱父換器4cでさらに冷却され、その後、第
2膨張ターピノ5bに導かれ、等エフl−ロビー膨張に
よって再び温度降下し、戻りガスに合流する。第1熱交
換1t4aで冷却された残りのガスは、第2熱交換器4
1〕、第3熱交換器4c、第4熱交換器4d、第5熱交
換器4eで順次冷却され、逆転温度以下となりJT;T
6でほぼ大気圧まで断熱膨張し、一部のガスが液化して
気液分離器71こ導かれる。液化しなかった極低温ガス
は、気液分離器7から熱交換器4e〜421こ順次導か
れ、高圧ガスと熱交換すること薔こよって寒冷回収され
た後、圧縮機2の吸入側に戻る。液化ガスは冷媒移送管
内管8aを通り、各中性粒子入射装置真空容器201〜
20゜に供給される。冷媒移送管内管8aは侵入熱を減
少させるために冷媒移送管外管9aによって真空保冷さ
れている。冷媒移送管内管8b、外管91)fこついて
も同様である。
このように真空保冷された特殊な冷媒移送管を極低温冷
媒移送配管と称する。中性粒子入射装置真空容器ハ〜2
Onに導かれた液化ガス (冷媒と称する。)は、それ
ぞれ減圧弁211〜2]oで所定の圧力まで減圧された
後、クライオパネル221〜Z2. Iこ導かれ、クラ
イオパネル221〜22nを冷却し、それぞれクライオ
パネル気液分#器231〜23.にI入り気液分離され
る。クライオパネル気液分離器n1〜z311は、液位
と連動する減圧弁21.〜21nによって負荷に対応し
た冷媒供給制御を行うととも番こ、中性粒子入射時のパ
ネル負荷番二対する寒冷の7(7・ファとして作用する
。クライオパネル気液分離器231〜刀。で分離された
極低温ガスは、それぞれ戻り冷媒移送管内管8bを通り
、ヘリウム冷凍機31こ戻り、熱交換器4e〜48′に
て順次寒冷回収さtした後、減圧ポツプ1に戻り、はぼ
大気圧壕で引圧された後、圧縮機2の吸入側に戻る。
媒移送配管と称する。中性粒子入射装置真空容器ハ〜2
Onに導かれた液化ガス (冷媒と称する。)は、それ
ぞれ減圧弁211〜2]oで所定の圧力まで減圧された
後、クライオパネル221〜Z2. Iこ導かれ、クラ
イオパネル221〜22nを冷却し、それぞれクライオ
パネル気液分#器231〜23.にI入り気液分離され
る。クライオパネル気液分離器n1〜z311は、液位
と連動する減圧弁21.〜21nによって負荷に対応し
た冷媒供給制御を行うととも番こ、中性粒子入射時のパ
ネル負荷番二対する寒冷の7(7・ファとして作用する
。クライオパネル気液分離器231〜刀。で分離された
極低温ガスは、それぞれ戻り冷媒移送管内管8bを通り
、ヘリウム冷凍機31こ戻り、熱交換器4e〜48′に
て順次寒冷回収さtした後、減圧ポツプ1に戻り、はぼ
大気圧壕で引圧された後、圧縮機2の吸入側に戻る。
ところで、従来のこの種クライオノ々ネル用極低温冷凍
装置では、クライオノでネル221〜n0の再生時に、
減圧弁21、〜21.を全閉とし、クライオパネル などに入る熱負荷によってクライオパネル221〜盗、
クライオパネル気液分離器′231〜Z3.などに保持
されていた液体冷媒が蒸発し、クライオパネルZ2.−
22.が温度上昇するのを待つ方式となっていた。この
ため、再生に長時間を要するとともに、冷媒が流れなく
なったときにクライオパネルn。
装置では、クライオノでネル221〜n0の再生時に、
減圧弁21、〜21.を全閉とし、クライオパネル などに入る熱負荷によってクライオパネル221〜盗、
クライオパネル気液分離器′231〜Z3.などに保持
されていた液体冷媒が蒸発し、クライオパネルZ2.−
22.が温度上昇するのを待つ方式となっていた。この
ため、再生に長時間を要するとともに、冷媒が流れなく
なったときにクライオパネルn。
〜η。以外にも侵入熱によって温度上列する部分が多く
なり、再生後の予冷に長時間を要するという欠点があっ
た。
なり、再生後の予冷に長時間を要するという欠点があっ
た。
本発明1.を上Melこ鑑みてなされたもので、その目
的とするところは、クライオパネルなとの被冷却部材の
表面の再生を短時間に効率曲番こ行うことができる極低
温冷凍装置な提供することにゐる。
的とするところは、クライオパネルなとの被冷却部材の
表面の再生を短時間に効率曲番こ行うことができる極低
温冷凍装置な提供することにゐる。
本発明の特徴は、極低温冷凍装置1t(の被冷却部制と
の間に設けた冷媒を供給する極低温冷媒移送管の上記被
冷却部拐入口側に上記被冷却部拐の再生時に」−記冷媒
を加熱して加熱用ガスとして−F記被冷却部拐に供給す
るためのヒータを設けた構成とした点にある。
の間に設けた冷媒を供給する極低温冷媒移送管の上記被
冷却部拐入口側に上記被冷却部拐の再生時に」−記冷媒
を加熱して加熱用ガスとして−F記被冷却部拐に供給す
るためのヒータを設けた構成とした点にある。
以下本発明を第2図(こ示した実施例を用いて詳細に説
明する。
明する。
第2図は本発明の極低温冷凍装置の−・実施例を示す要
部系統図であり、極低温冷凍装置の全体構成は第1図と
同様であり、ここで(j説明台省略する。第2図におい
て、20は中性粒子入射装置真空容器、2]I!減圧弁
、22(Jクライオパイ・ル523はクライオパネル気
液分離器、24は極低温冷IIv移送配管で市る。第1
図のヘリウム冷凍機3か6極低温冷媒移送配管Uを通っ
て供給される冷媒(i、減圧ヲ「21で所定圧カーまひ
減圧さ〕し、フライ4゛パネルnを冷却し、その後クラ
イオパネル気液分+Nlt !!g 23に導、かれる
5、なお、′ノライオパ;r・ル′、!2は、ノin′
帛、熱負荷を減少させるため、液体窒素で冷却されたン
Jブロノ茄とソールド数26とひ囲んひあイ1゜ところ
で、本発明Cおいては5極低温冷媒移送配管冴のクライ
オパネルnの冷媒人ra (l tごヒータ27を設け
である。クライオパネルnを冷媒で冷却するときはヒー
タnをオフとしておくが、クライオパネルηの表面に凝
縮固化したものを除去してクライオパネルρを再生する
ときは、ヒータnをオンとし、減圧弁21にて減圧され
た冷媒をヒータ27にてクライオパネル乙の再生に必要
な温度1で加熱して加熱用ガスとしてクライオパネル2
2に供給し、クライオパネルnを加温再生する。
部系統図であり、極低温冷凍装置の全体構成は第1図と
同様であり、ここで(j説明台省略する。第2図におい
て、20は中性粒子入射装置真空容器、2]I!減圧弁
、22(Jクライオパイ・ル523はクライオパネル気
液分離器、24は極低温冷IIv移送配管で市る。第1
図のヘリウム冷凍機3か6極低温冷媒移送配管Uを通っ
て供給される冷媒(i、減圧ヲ「21で所定圧カーまひ
減圧さ〕し、フライ4゛パネルnを冷却し、その後クラ
イオパネル気液分+Nlt !!g 23に導、かれる
5、なお、′ノライオパ;r・ル′、!2は、ノin′
帛、熱負荷を減少させるため、液体窒素で冷却されたン
Jブロノ茄とソールド数26とひ囲んひあイ1゜ところ
で、本発明Cおいては5極低温冷媒移送配管冴のクライ
オパネルnの冷媒人ra (l tごヒータ27を設け
である。クライオパネルnを冷媒で冷却するときはヒー
タnをオフとしておくが、クライオパネルηの表面に凝
縮固化したものを除去してクライオパネルρを再生する
ときは、ヒータnをオンとし、減圧弁21にて減圧され
た冷媒をヒータ27にてクライオパネル乙の再生に必要
な温度1で加熱して加熱用ガスとしてクライオパネル2
2に供給し、クライオパネルnを加温再生する。
上記した本発明の実施例によれば、ヒータかのエネルギ
ーによって短時間にクライオバネA−ηの再生を行うこ
とができ、捷だ、ヒータ27への印加電圧の制御によっ
て必要最少限の温度上昇にとどめることができ、さらに
、ヒータ27をクライオパネルρの冷媒入1」側に近接
させて設置すれば、冷媒を流した状態で再生することが
でき、列理する区間を狭い範囲に限定することができる
ので、再生後の予冷を短時間で行うことが可能となり、
冷凍装置のエネルギー効率を太幅仁向上することができ
る。特に長大な極低温冷媒移送配管列を用いて多数のク
ライオパネル22を冷却する極低温冷凍装置では、定常
運転中のクライオパネルnに1rjする影響を最少にし
て、各クライオパネル乙の再生を行うことができるとい
う利点がある。
ーによって短時間にクライオバネA−ηの再生を行うこ
とができ、捷だ、ヒータ27への印加電圧の制御によっ
て必要最少限の温度上昇にとどめることができ、さらに
、ヒータ27をクライオパネルρの冷媒入1」側に近接
させて設置すれば、冷媒を流した状態で再生することが
でき、列理する区間を狭い範囲に限定することができる
ので、再生後の予冷を短時間で行うことが可能となり、
冷凍装置のエネルギー効率を太幅仁向上することができ
る。特に長大な極低温冷媒移送配管列を用いて多数のク
ライオパネル22を冷却する極低温冷凍装置では、定常
運転中のクライオパネルnに1rjする影響を最少にし
て、各クライオパネル乙の再生を行うことができるとい
う利点がある。
以上説明したように、本発明によれば、クライオパネル
などの被冷却部拐の表面の再生を短時間に効率的に行う
ことができ、かつ、列理区間を狭い範囲に限定できるの
で、エネルギー効率を太幅1こ向上できるという効果カ
メある。
などの被冷却部拐の表面の再生を短時間に効率的に行う
ことができ、かつ、列理区間を狭い範囲に限定できるの
で、エネルギー効率を太幅1こ向上できるという効果カ
メある。
第1図は中性粒子入射装置のクライオパネルを冷却する
ヘリウム冷、凍装置の一例を示す系統図、第2図は本発
明の極低温冷凍装置Nの一実施例を示す要部系統図であ
る。 l・・・減圧ポンプ、2 圧縮機、3 ・・\リウム
冷凍機、21・・減圧弁〜n ・ クライオパネル、友
・・ 極低温冷媒移送配管、27 ヒータ代理人
弁理士 薄 1)利/?シ
ヘリウム冷、凍装置の一例を示す系統図、第2図は本発
明の極低温冷凍装置Nの一実施例を示す要部系統図であ
る。 l・・・減圧ポンプ、2 圧縮機、3 ・・\リウム
冷凍機、21・・減圧弁〜n ・ クライオパネル、友
・・ 極低温冷媒移送配管、27 ヒータ代理人
弁理士 薄 1)利/?シ
Claims (1)
- 1、圧縮機で圧縮された高圧冷媒ガスを冷凍機に導いて
冷却して液化させ、この液化冷媒を極低温冷媒移送管を
経て被冷却部材に供給して該被冷却部材を冷却する極低
温冷凍装置において、前記極低温冷媒移送管の前記被冷
却部材の冷媒入口側に前記被冷却部材の再生時に前記冷
媒を加熱して加熱用ガスとして前記被冷却部拐に供給す
るためのヒータを設けた構成としたことを特徴とする極
低温冷凍* ++! −
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17320682A JPS5963463A (ja) | 1982-10-04 | 1982-10-04 | 極低温冷凍装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17320682A JPS5963463A (ja) | 1982-10-04 | 1982-10-04 | 極低温冷凍装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5963463A true JPS5963463A (ja) | 1984-04-11 |
| JPH0147711B2 JPH0147711B2 (ja) | 1989-10-16 |
Family
ID=15956076
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17320682A Granted JPS5963463A (ja) | 1982-10-04 | 1982-10-04 | 極低温冷凍装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5963463A (ja) |
-
1982
- 1982-10-04 JP JP17320682A patent/JPS5963463A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0147711B2 (ja) | 1989-10-16 |
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