JPS5963505A - 加工物のチツピング量測定装置 - Google Patents
加工物のチツピング量測定装置Info
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- JPS5963505A JPS5963505A JP17391382A JP17391382A JPS5963505A JP S5963505 A JPS5963505 A JP S5963505A JP 17391382 A JP17391382 A JP 17391382A JP 17391382 A JP17391382 A JP 17391382A JP S5963505 A JPS5963505 A JP S5963505A
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- JP
- Japan
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- measured
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- chipping
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、加工物の傷測定装置に係シ、さらに詳しくは
、被加工物を切削等によシ加工した際、その被加工物の
加工稜線部に生じたチッピング（傷）量を光学的に測定
する装置に関するものである。
、被加工物を切削等によシ加工した際、その被加工物の
加工稜線部に生じたチッピング（傷）量を光学的に測定
する装置に関するものである。
硬脆材料を被加工物として切削等によって溝加工すると
、切削工具の切れ具合い、加ニスピード等から被加工物
の稜線にチッピングが生ずることがある。精密加工を要
求される被加工物は多少のチッピングであっても不良品
として除外されることが多いが、従来、その被加工物に
チッピングが生じているか否かの検査は顕＃鏡と座標表
示が可能なＸ−Ｙテーブルの組合せによシ作業者が目視
で検査測定していた。すなわち、第１図に示すように、
切削加工後の被測定物１を図示していないＸ、−Ｙテー
ブルのＹ軸に、その被測定物１の角ａ。
、切削工具の切れ具合い、加ニスピード等から被加工物
の稜線にチッピングが生ずることがある。精密加工を要
求される被加工物は多少のチッピングであっても不良品
として除外されることが多いが、従来、その被加工物に
チッピングが生じているか否かの検査は顕＃鏡と座標表
示が可能なＸ−Ｙテーブルの組合せによシ作業者が目視
で検査測定していた。すなわち、第１図に示すように、
切削加工後の被測定物１を図示していないＸ、−Ｙテー
ブルのＹ軸に、その被測定物１の角ａ。
ｂがなす辺Ｃを位置合せし、顕微鏡でその辺を拡大視し
、Ｘ−ＹテーブルをＸ、Ｙ軸方向に移動することによシ
顕微鏡のカーソルで傷の大きさを測定するというもので
ある。しかしながら、顕微鏡による目視計測は、被測定
物１のエツジに発生したチッピングに、第２図に示すよ
うに、接眼レンズの十字のカーソル線２を当て、第６図
に示すように、゛そのチンピング量りを測定するという
ものであったため、顕微鏡に形成されたカーソル線２が
ΔＣの幅をもつため、測定者の合せ誤差を生じ、信頼性
が低いばかりか、また、被測定物１の切削溝６の深さ方
向に生ずるチッピング量が測定できないという欠点があ
った。
、Ｘ−ＹテーブルをＸ、Ｙ軸方向に移動することによシ
顕微鏡のカーソルで傷の大きさを測定するというもので
ある。しかしながら、顕微鏡による目視計測は、被測定
物１のエツジに発生したチッピングに、第２図に示すよ
うに、接眼レンズの十字のカーソル線２を当て、第６図
に示すように、゛そのチンピング量りを測定するという
ものであったため、顕微鏡に形成されたカーソル線２が
ΔＣの幅をもつため、測定者の合せ誤差を生じ、信頼性
が低いばかりか、また、被測定物１の切削溝６の深さ方
向に生ずるチッピング量が測定できないという欠点があ
った。
本発明は、上記した従来技術の欠点に鑑みなされ、チッ
ピング量の測定誤差が極めて少なく、シかもチッピング
の長さ１幅並びに深さ寸法を高精度に測定することので
きるチッピング量測定装置を提供することに。ある。
ピング量の測定誤差が極めて少なく、シかもチッピング
の長さ１幅並びに深さ寸法を高精度に測定することので
きるチッピング量測定装置を提供することに。ある。
本発明のチッピング量測定装置は、チッピング量を測定
する被測定物の隣接する２面がなす稜線に対して直角方
向に平行光を照射し、その２面よりの反射光の各々を電
気信号に変換する光学系と、被測定物をある設定量だけ
移動するテーブルにより、稜線の長手方向に平行光を間
欠的に相対変位させ、ある停止位置で反射光量を測定し
、次の停止位置での反射光量と比較し、その比較変化量
を長さに変換することで、反射光幅検出手段とを備え、
前記２本の反射光の幅変化でチッピングを検知すると共
に、被測定物を稜線長手方向に間欠送りすることでチッ
ピング量を検出測定するものである。
する被測定物の隣接する２面がなす稜線に対して直角方
向に平行光を照射し、その２面よりの反射光の各々を電
気信号に変換する光学系と、被測定物をある設定量だけ
移動するテーブルにより、稜線の長手方向に平行光を間
欠的に相対変位させ、ある停止位置で反射光量を測定し
、次の停止位置での反射光量と比較し、その比較変化量
を長さに変換することで、反射光幅検出手段とを備え、
前記２本の反射光の幅変化でチッピングを検知すると共
に、被測定物を稜線長手方向に間欠送りすることでチッ
ピング量を検出測定するものである。
以下、第４図〜第８図に従って本発明を詳述する。第４
図は本発明の一実施例を示す自動傷測定装置の外観斜視
図でおる。図中、４は切削加工によって複数本の溝を切
削加工した被測定物でおって、Ｘテーブル５の上面部に
固定した台座６に傾斜角θをなして設置してめる。′７
はＸテーブル５を載置している回転テーブルであり、８
はその回転テーブル７を載置したＹテーブルである。こ
のＹテーブル８はヘッド９に固定してあり、Ｙテーブル
８のスライド板８′をモータ１０の駆動によりＸ軸方向
に移動させると、回転テーブル７とＸテーブル５は移動
する。回転テーブル７は、ノ・ンドル１１を回転操作す
ることによりＸテーブル５と共に回転する。そして、Ｘ
テーブル５のスライド板５′はハンドル１２を回転する
ことによりＸ軸方向に移動するものである。
図は本発明の一実施例を示す自動傷測定装置の外観斜視
図でおる。図中、４は切削加工によって複数本の溝を切
削加工した被測定物でおって、Ｘテーブル５の上面部に
固定した台座６に傾斜角θをなして設置してめる。′７
はＸテーブル５を載置している回転テーブルであり、８
はその回転テーブル７を載置したＹテーブルである。こ
のＹテーブル８はヘッド９に固定してあり、Ｙテーブル
８のスライド板８′をモータ１０の駆動によりＸ軸方向
に移動させると、回転テーブル７とＸテーブル５は移動
する。回転テーブル７は、ノ・ンドル１１を回転操作す
ることによりＸテーブル５と共に回転する。そして、Ｘ
テーブル５のスライド板５′はハンドル１２を回転する
ことによりＸ軸方向に移動するものである。
１３は被測定物４の稜線Ｃに対し直角に平行光を照射し
、その稜線Ｃの周辺部で反射した光を受光する上下動可
能な発光−受光ヘッドであり、その上部には、平行光を
被測定物４の稜線Ｃに正確に照射するにあたり位置確認
をするための接眼レンズ１４が設けである。１５は照射
源なるハロゲンランプ、１７は発光−受光ヘッド１６で
の位置検出結果を表示する座標表示器（ＣＲＴ）、１８
はＹテーブル８のスライド板８′の移動量を指示するリ
ニアスケールである。
、その稜線Ｃの周辺部で反射した光を受光する上下動可
能な発光−受光ヘッドであり、その上部には、平行光を
被測定物４の稜線Ｃに正確に照射するにあたり位置確認
をするための接眼レンズ１４が設けである。１５は照射
源なるハロゲンランプ、１７は発光−受光ヘッド１６で
の位置検出結果を表示する座標表示器（ＣＲＴ）、１８
はＹテーブル８のスライド板８′の移動量を指示するリ
ニアスケールである。
第４図に示す装置によると、接眼レンズ１４で被測定物
４の稜線を拡大視し、それに平行光を照射し、Ｘテーブ
ル５２回転テーブル７を調整して、被測定物４の稜線が
Ｙテーブル８の移動ラインと平行になるように、位置合
せする。しかる後、モータ１０を駆動することにより稜
線の長手方向に平行光を照射し、その反射光を受光して
、その受光状態を座標表示器１７に表示することによっ
て、チッピングがどの位置に、どの位の幅、長さ、深さ
で生じているかがわかる。
４の稜線を拡大視し、それに平行光を照射し、Ｘテーブ
ル５２回転テーブル７を調整して、被測定物４の稜線が
Ｙテーブル８の移動ラインと平行になるように、位置合
せする。しかる後、モータ１０を駆動することにより稜
線の長手方向に平行光を照射し、その反射光を受光して
、その受光状態を座標表示器１７に表示することによっ
て、チッピングがどの位置に、どの位の幅、長さ、深さ
で生じているかがわかる。
第５図は第４図の具体的な回路講成図であって、光学検
出部とＹテーブル駆動系を説明するだめの図である。第
５図に示すように、光学検出部は、傾斜角θに傾けられ
た被測定物４の稜線Ｃに対して直角方向に長い平行光Ｐ
を斜めに照射したとき、その反射光は面４ａ、４ｂにお
いて反射するが、その反射光Ｑｓ 、 Ｑ２を受ける反
射＠ １９ 、２０が設けである。
出部とＹテーブル駆動系を説明するだめの図である。第
５図に示すように、光学検出部は、傾斜角θに傾けられ
た被測定物４の稜線Ｃに対して直角方向に長い平行光Ｐ
を斜めに照射したとき、その反射光は面４ａ、４ｂにお
いて反射するが、その反射光Ｑｓ 、 Ｑ２を受ける反
射＠ １９ 、２０が設けである。
この反射鏡１９．２０により反射された光は光学センサ
２１ 、２２に収光され、その光量は、光学センサイン
ターフェース２３ 、２４により電圧に変換され、’／
ｂ゛コンバータ２５ 、２６とゲート回路２７．２８を
介し、メモリー２９．３０に入力しである。このメモリ
ー２９゜６０よシ読出された出力は演算器３１ 、３２
に入力しである。この演算器３１ 、３２の出力はコン
トロールモジュール３６に入力され、出力モジュール３
４を介してプリンタ３５．ＣＲＴ３６に演算結果を出力
しである。さらに、コントロールモジュール６３からは
、ある設定値毎にＹテーブル８を間欠送りするため、そ
のＹテーブル８に固定されたリニアスケール１８の出力
として得たカウンタ６７の出力と、コントロールモジュ
ール３３からゲート回路３８を介して得た出力（コンパ
レータ６９にプリセットされたイ直）とをコンパレータ
５９において比較し、このコンパレータ３９からの出力
を、モータコントローラ４０ 、 ドライバ４１を介
してＹテーブル送りモータ１ｏに入力されると共に、ゲ
ート回路２７ 、２８のゲート制御信号としである。
２１ 、２２に収光され、その光量は、光学センサイン
ターフェース２３ 、２４により電圧に変換され、’／
ｂ゛コンバータ２５ 、２６とゲート回路２７．２８を
介し、メモリー２９．３０に入力しである。このメモリ
ー２９゜６０よシ読出された出力は演算器３１ 、３２
に入力しである。この演算器３１ 、３２の出力はコン
トロールモジュール３６に入力され、出力モジュール３
４を介してプリンタ３５．ＣＲＴ３６に演算結果を出力
しである。さらに、コントロールモジュール６３からは
、ある設定値毎にＹテーブル８を間欠送りするため、そ
のＹテーブル８に固定されたリニアスケール１８の出力
として得たカウンタ６７の出力と、コントロールモジュ
ール３３からゲート回路３８を介して得た出力（コンパ
レータ６９にプリセットされたイ直）とをコンパレータ
５９において比較し、このコンパレータ３９からの出力
を、モータコントローラ４０ 、 ドライバ４１を介
してＹテーブル送りモータ１ｏに入力されると共に、ゲ
ート回路２７ 、２８のゲート制御信号としである。
第５図の如き構成の回路動作について第６１〜第８図と
共に説明する。第６図は被測定物４の稜線Ｃに対し平行
光Ｐを照射したとき面４ａ 、 ４ｂから得られる反射
光の量を示してあり、Ｗ８が面４ｂの位置ｄ。での全反
射寸法であシ、Ｗｂ がＹテーブル８をΔＬだけ移動し
たとき位置ｄｉでの反射寸法を示しである。このように
、Ｙテーブル８を連続的に移動することにより最大チッ
ピング寸法Δｉを有する面４ｂでのチッピング量が得ら
れることを示しである。これは、面４ａの場合も同様で
ある。
共に説明する。第６図は被測定物４の稜線Ｃに対し平行
光Ｐを照射したとき面４ａ 、 ４ｂから得られる反射
光の量を示してあり、Ｗ８が面４ｂの位置ｄ。での全反
射寸法であシ、Ｗｂ がＹテーブル８をΔＬだけ移動し
たとき位置ｄｉでの反射寸法を示しである。このように
、Ｙテーブル８を連続的に移動することにより最大チッ
ピング寸法Δｉを有する面４ｂでのチッピング量が得ら
れることを示しである。これは、面４ａの場合も同様で
ある。
また、第７図（ａ）はＹテーブルをΔＬ移動した場合の
光学センサ２２の出力波形で、波形ａは位置ｄ。
光学センサ２２の出力波形で、波形ａは位置ｄ。
で、波形すは位置ｄｉで得られるものである。まだ、第
７図（ｂ）は光学インターフェース２４の出力特性を示
したものである。さらに、第８図は各部の出力波形を示
したものである。
７図（ｂ）は光学インターフェース２４の出力特性を示
したものである。さらに、第８図は各部の出力波形を示
したものである。
第５図に示すように、被測定物４の表面４ａと溝３の深
さ方向の面４ｂとのチッピング量を同時測定するため、
被測定物４を傾斜角θで傾け、溝６の稜線Ｃと直角方向
に長い平行光Ｐを照射する。この時、平行光Ｐの反射光
Ｑが隣接した面に遮断されない様に斜めに平行光は照射
されている。この反射光Ｑは左、右の２つの平行光に分
離する。左方向の反射光Ｒは反射鏡１９により、被測定
物４と同じ傾斜角θで傾むけられて固定された受光セン
サ２１に入射する。この光学センサ２１は、光学インタ
ーフェース２６を介し、光量を電圧に変換し、この光学
センサインターフェース２６の出力信号は、％コンバー
タ２５を介してデジタル値に変えた後、ゲート回路２７
を介しメモリー２９に入力される。
さ方向の面４ｂとのチッピング量を同時測定するため、
被測定物４を傾斜角θで傾け、溝６の稜線Ｃと直角方向
に長い平行光Ｐを照射する。この時、平行光Ｐの反射光
Ｑが隣接した面に遮断されない様に斜めに平行光は照射
されている。この反射光Ｑは左、右の２つの平行光に分
離する。左方向の反射光Ｒは反射鏡１９により、被測定
物４と同じ傾斜角θで傾むけられて固定された受光セン
サ２１に入射する。この光学センサ２１は、光学インタ
ーフェース２６を介し、光量を電圧に変換し、この光学
センサインターフェース２６の出力信号は、％コンバー
タ２５を介してデジタル値に変えた後、ゲート回路２７
を介しメモリー２９に入力される。
一方、Ｙテーブル８の位置を検出するリニアスケール１
８のカウンタ６７の出力信号と、Ｙテーブル８の送シ量
をコントロールモジュール６３カラゲート回路６８を介
して出力される信号を、コンパレータ３９に入力し、両
者の値が一致した場合は、モータコントローラ４０．ド
ライバ４１を介し、Ｙテーブル送シのモータ１０を停止
させた後、ゲート回路２７を開き、メモリー２９に入力
する。次に、コントロールモジュール５６から、設定値
をゲート回路゛５８を介し、コンパレータ６９にプリセ
ットする。プリセットされたコンパレータ３９の値と、
リニアスケール１８の出力に設けたカウンタ３７の値が
一致しない場合ハ、モータコントローラ４０．ドライバ
４１を介し、Ｙテーブル送りモータ１０を回転させ、Ｙ
テーブル８をスライド移動させ、コンパレータ６９の値
が一致したら、モータ１０を停止させる。しかる後、ゲ
ート回路２７を開き、〜ｔコンバータ２５の値をメモリ
ー２９の（Ｍ２）に入力する。この後、メモリー２９の
うちメモリー（Ｍｌ）と（Ｍ２）のメモリー内容を演算
器３１に入力し、メモリー内容の演ｊｉｂ（Ｍｔ Ｍ
２）を求メ、コントロールモジュール３３ニ入力スル。
８のカウンタ６７の出力信号と、Ｙテーブル８の送シ量
をコントロールモジュール６３カラゲート回路６８を介
して出力される信号を、コンパレータ３９に入力し、両
者の値が一致した場合は、モータコントローラ４０．ド
ライバ４１を介し、Ｙテーブル送シのモータ１０を停止
させた後、ゲート回路２７を開き、メモリー２９に入力
する。次に、コントロールモジュール５６から、設定値
をゲート回路゛５８を介し、コンパレータ６９にプリセ
ットする。プリセットされたコンパレータ３９の値と、
リニアスケール１８の出力に設けたカウンタ３７の値が
一致しない場合ハ、モータコントローラ４０．ドライバ
４１を介し、Ｙテーブル送りモータ１０を回転させ、Ｙ
テーブル８をスライド移動させ、コンパレータ６９の値
が一致したら、モータ１０を停止させる。しかる後、ゲ
ート回路２７を開き、〜ｔコンバータ２５の値をメモリ
ー２９の（Ｍ２）に入力する。この後、メモリー２９の
うちメモリー（Ｍｌ）と（Ｍ２）のメモリー内容を演算
器３１に入力し、メモリー内容の演ｊｉｂ（Ｍｔ Ｍ
２）を求メ、コントロールモジュール３３ニ入力スル。
これは右方向の反射光Ｓに対しても同様の信号処理を行
い、コントロールモジュール６６に入力する。
い、コントロールモジュール６６に入力する。
ソシて、コントロールモジュール６６には、あらかじめ
演算（ＭＩ Ｍりして得た電圧値と、平行光の幅変化
Δｉの換算式を入力されてあり、出力は平行光の幅変化
、すなわちチッピング量は出力モジュール６４を介して
、プリンタ３５．ＣＲＴ３６に出力される。さらに、各
チッピング量と対応するリニアスケール１８の位置を同
時出力することで、チッピング量は平面で表示できる。
演算（ＭＩ Ｍりして得た電圧値と、平行光の幅変化
Δｉの換算式を入力されてあり、出力は平行光の幅変化
、すなわちチッピング量は出力モジュール６４を介して
、プリンタ３５．ＣＲＴ３６に出力される。さらに、各
チッピング量と対応するリニアスケール１８の位置を同
時出力することで、チッピング量は平面で表示できる。
これによるチッピング量の検出精度は、平行光を幅１μ
ｍ１長さ３０μｍとすることで、はとんどの硬脆材の稜
線に生ずるチッピングを１μｍ ＴｉＲの精度で測定で
きる。
ｍ１長さ３０μｍとすることで、はとんどの硬脆材の稜
線に生ずるチッピングを１μｍ ＴｉＲの精度で測定で
きる。
上述の実施例からも明らかなように本発明によれば、被
測定物の稜線に対し、直角方向に平行光を照射し、その
反射光量を検出して電気信号に変換し、被測定物を稜線
方向に送り、稜線方向に平行光を間欠的に相対変位させ
、ある停止位置で前記反射光量を測定し、次の停止位置
での反射光量と比較し、その変化量を長さに変換するこ
とでチッピングの大きさを２次元で光学的に自動測定す
るようにしたものであるから、被測定物の稜線に生ずる
チッピング量は正確に測定でき、しかも測定に要する時
間は短時間で済む。
測定物の稜線に対し、直角方向に平行光を照射し、その
反射光量を検出して電気信号に変換し、被測定物を稜線
方向に送り、稜線方向に平行光を間欠的に相対変位させ
、ある停止位置で前記反射光量を測定し、次の停止位置
での反射光量と比較し、その変化量を長さに変換するこ
とでチッピングの大きさを２次元で光学的に自動測定す
るようにしたものであるから、被測定物の稜線に生ずる
チッピング量は正確に測定でき、しかも測定に要する時
間は短時間で済む。
第１図は切削加工後の被測定物のチッピング量を示す部
分斜視図、第２図、第６図は第１図のＡ部拡大図、第４
図は本発明の一実施例を示す被測定物のチッピング量自
動測定装置の外観斜視図、第５図は第４図の具体的な回
路構成を示す図、第６図〜第８図は被測定物のチッピン
グ検出動作を説明するための図である。 ４・・・被測定物、５・・・Ｘテーブル、６・・・台座
、７・・・回転テーブル、８・・・Ｙテーブル、９・・
・ヘッド、１０・・・モータ、１１．１２・・・ハンド
ル、１６・・・発光−受光ヘッド、１４・・・接眼レン
ズ、１５・・・ハロゲンランプ、１７・・・座標表示器
、１８・・・リニアスケール、１９．２０・・・反射鏡
、２１．２２・・・受光センサ、２３．２４・・・光学
センサーインターフェース、２５．２６・・・〜巾コン
バータ、２７ 、２８ 、３８・・・ゲート回路、２９
、３０・・・メモリー、３１゜３２・・・演算器、３
３・・・コントロールモジュール、３４・・・出力モジ
ュール、６５・・・プリンタ、６６・・・ＣＲＴ、３７
・・・カラ／り、６９・・・コンパレータ、４０・・・
モータコントローラ、４１・・・ドライバ。 代理人 弁理士 秋 本 正 実 第１図 第２図 第３図 第４図 第５図 第６図 ａ 第７図 （ａ）
分斜視図、第２図、第６図は第１図のＡ部拡大図、第４
図は本発明の一実施例を示す被測定物のチッピング量自
動測定装置の外観斜視図、第５図は第４図の具体的な回
路構成を示す図、第６図〜第８図は被測定物のチッピン
グ検出動作を説明するための図である。 ４・・・被測定物、５・・・Ｘテーブル、６・・・台座
、７・・・回転テーブル、８・・・Ｙテーブル、９・・
・ヘッド、１０・・・モータ、１１．１２・・・ハンド
ル、１６・・・発光−受光ヘッド、１４・・・接眼レン
ズ、１５・・・ハロゲンランプ、１７・・・座標表示器
、１８・・・リニアスケール、１９．２０・・・反射鏡
、２１．２２・・・受光センサ、２３．２４・・・光学
センサーインターフェース、２５．２６・・・〜巾コン
バータ、２７ 、２８ 、３８・・・ゲート回路、２９
、３０・・・メモリー、３１゜３２・・・演算器、３
３・・・コントロールモジュール、３４・・・出力モジ
ュール、６５・・・プリンタ、６６・・・ＣＲＴ、３７
・・・カラ／り、６９・・・コンパレータ、４０・・・
モータコントローラ、４１・・・ドライバ。 代理人 弁理士 秋 本 正 実 第１図 第２図 第３図 第４図 第５図 第６図 ａ 第７図 （ａ）
Claims (1)
- 被測定物の隣接する２つの面が形成する稜線に対して直
角方向に平行光を照射し、該兼線を形成する被測定物の
２面からの反射光を受光する発光−受光手段と、被測定
物を載置し、該被測定物の平面的位置合せをするテーブ
ルを有すると共に、該被測定物を載置したテーブルを稜
線方向に移動できるようにした被測定物移動機得と、前
記稜線を形成する２つの面各々から得られる光量を電気
信号に変換し、該電気信号から前記反射光の幅変化を測
定できるようにした光幅検出手段とを備え、被測定物の
稜線部のチッピング量を、発光−受光°手段で得た反射
光で検知すると共に、被測定物を稜線の長手方向に間欠
送りすることで測定することを特徴とする加工物のチッ
ピング量測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17391382A JPS5963505A (ja) | 1982-10-05 | 1982-10-05 | 加工物のチツピング量測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17391382A JPS5963505A (ja) | 1982-10-05 | 1982-10-05 | 加工物のチツピング量測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5963505A true JPS5963505A (ja) | 1984-04-11 |
Family
ID=15969394
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17391382A Pending JPS5963505A (ja) | 1982-10-05 | 1982-10-05 | 加工物のチツピング量測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5963505A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002333309A (ja) * | 2001-05-09 | 2002-11-22 | Disco Abrasive Syst Ltd | チッピング測定装置及び方法 |
| JP2019158389A (ja) * | 2018-03-08 | 2019-09-19 | 株式会社ディスコ | チッピング測定方法及びチッピング測定装置 |
-
1982
- 1982-10-05 JP JP17391382A patent/JPS5963505A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002333309A (ja) * | 2001-05-09 | 2002-11-22 | Disco Abrasive Syst Ltd | チッピング測定装置及び方法 |
| JP2019158389A (ja) * | 2018-03-08 | 2019-09-19 | 株式会社ディスコ | チッピング測定方法及びチッピング測定装置 |
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