JPS5963959U - 帯電防止型２次粒子分析装置 - Google Patents
帯電防止型２次粒子分析装置Info
- Publication number
- JPS5963959U JPS5963959U JP16006582U JP16006582U JPS5963959U JP S5963959 U JPS5963959 U JP S5963959U JP 16006582 U JP16006582 U JP 16006582U JP 16006582 U JP16006582 U JP 16006582U JP S5963959 U JPS5963959 U JP S5963959U
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- JP
- Japan
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- particle analyzer
- secondary particle
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- antistatic
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
図は本考案の一実施例の構成図である。図において、
１・・・・・・イオンガン、２・−・・・・１次イオン
の軌道、３・・・・・・導電性試料ホルダ、４・・・・
・・被分析試料、５・・・・・・電気的接続線、６・・
・・・・熱電子発生部、７・・・・・・紳縁部、訃・・
・・・加熱部、９・・・・・・２次イオン引出し部、１
０・・・・・・２次イオンの軌道、１１・・・・・・偏
向磁石、１２・・・・・・２次イオン検出器、である。 ／
の軌道、３・・・・・・導電性試料ホルダ、４・・・・
・・被分析試料、５・・・・・・電気的接続線、６・・
・・・・熱電子発生部、７・・・・・・紳縁部、訃・・
・・・加熱部、９・・・・・・２次イオン引出し部、１
０・・・・・・２次イオンの軌道、１１・・・・・・偏
向磁石、１２・・・・・・２次イオン検出器、である。 ／
Claims (1)
- 接地されていない試料に対しイオン等の荷電粒子を加速
衝突せしめその試料から発生する２次粒子を分析する２
次粒子分析装置においそ、前記試料を支持する試料ホル
ダと電気的に接続され同電位にした熱電子発生部と、こ
の熱電子発生部と電気的に絶縁された加熱部とを備えた
ことを特徴とする帯電防止型２次粒子分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16006582U JPS5963959U (ja) | 1982-10-22 | 1982-10-22 | 帯電防止型２次粒子分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16006582U JPS5963959U (ja) | 1982-10-22 | 1982-10-22 | 帯電防止型２次粒子分析装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5963959U true JPS5963959U (ja) | 1984-04-27 |
Family
ID=30352176
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16006582U Pending JPS5963959U (ja) | 1982-10-22 | 1982-10-22 | 帯電防止型２次粒子分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5963959U (ja) |
-
1982
- 1982-10-22 JP JP16006582U patent/JPS5963959U/ja active Pending
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