JPS5985571U - 荷電粒子線装置等の試料ホルダ− - Google Patents
荷電粒子線装置等の試料ホルダ−Info
- Publication number
- JPS5985571U JPS5985571U JP18141482U JP18141482U JPS5985571U JP S5985571 U JPS5985571 U JP S5985571U JP 18141482 U JP18141482 U JP 18141482U JP 18141482 U JP18141482 U JP 18141482U JP S5985571 U JPS5985571 U JP S5985571U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample holder
- particle beam
- charged particle
- sample
- beam devices
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来の欠点を説明するための図、第２図は本考
案の一実施例を示すための図である。 １：イオン源、２：イオンビーム、３：収束レンズ、４
：対物レンズ、５．１２：試料、６：エネルギーフィル
ター、＄ａ、 ５ｂ、 ２２． ２３：開口、７：
質量分析装置、８：検出器、９．１４：熱電子フィラメ
ント、Ａニアノード、１０：本体、１１：試料保持部、
１３：イオン化室、１５ニアノード、１６：折り返し電
極、１７：支持部材、１８：絶縁部材、１９：加熱電源
、２０：電源、２１：イオンエネルギーＷ。
案の一実施例を示すための図である。 １：イオン源、２：イオンビーム、３：収束レンズ、４
：対物レンズ、５．１２：試料、６：エネルギーフィル
ター、＄ａ、 ５ｂ、 ２２． ２３：開口、７：
質量分析装置、８：検出器、９．１４：熱電子フィラメ
ント、Ａニアノード、１０：本体、１１：試料保持部、
１３：イオン化室、１５ニアノード、１６：折り返し電
極、１７：支持部材、１８：絶縁部材、１９：加熱電源
、２０：電源、２１：イオンエネルギーＷ。
Claims (1)
- 分析すべき試料を試料保持部に載置して試料室に挿入す
るための試料ホルダーにおいて、試料保持部の近傍に試
料室内の残留ガスをイオン化するためのイオン化室を一
体的に取り付けてなる荷電粒子線装置等の試料ホルダー
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18141482U JPS5985571U (ja) | 1982-11-30 | 1982-11-30 | 荷電粒子線装置等の試料ホルダ− |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18141482U JPS5985571U (ja) | 1982-11-30 | 1982-11-30 | 荷電粒子線装置等の試料ホルダ− |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5985571U true JPS5985571U (ja) | 1984-06-09 |
Family
ID=30393120
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18141482U Pending JPS5985571U (ja) | 1982-11-30 | 1982-11-30 | 荷電粒子線装置等の試料ホルダ− |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5985571U (ja) |
-
1982
- 1982-11-30 JP JP18141482U patent/JPS5985571U/ja active Pending
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