JPS5964794A - メツキ装置 - Google Patents

メツキ装置

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JPS5964794A
JPS5964794A JP17279582A JP17279582A JPS5964794A JP S5964794 A JPS5964794 A JP S5964794A JP 17279582 A JP17279582 A JP 17279582A JP 17279582 A JP17279582 A JP 17279582A JP S5964794 A JPS5964794 A JP S5964794A
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JP
Japan
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plating
plated
transfer
base frame
chuck
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JP17279582A
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Inventor
Kenji Yamamoto
健治 山本
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EEJA Ltd
Original Assignee
Electroplating Engineers of Japan Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明tよ、短冊状のメッキ物、特にI CIJ−ドフ
レームの如きメッキ物、を一方で取上げて他方へ移tl
i!するのに好摘な移載装置を、本メッキ装置の入側及
び出側に各々備乏−たメッキ装置′に関する。
ICリードフレームその仙の短冊状のメッキ物をメッキ
処理する場合、メッキ効率を高めるため初数枚のメッキ
物を同時にメッキ処理する必吸がある。そしてメッキ処
理のスピードはローティング、前処理、本メッキ処理、
後処理、アンローディング等のライン全体の処理スピー
ドに応じ設定される。しかし従速この種の装置はいく神
類かのものが析案され且つ実i+i化されているけれど
もそのライン全体の処理スピードは比較的遅いものであ
った。そこでこの出願人ilJ:′a数枚の短冊状のメ
ッキ物を予め台車に整列・載置しておき、この台車をい
わけランクとして扱い台車ごとメッキ物を移送(7ては
自jjlr的に多数のメッキ物を効率よくメッキ処理す
る装置を先に41−案した〔特開fll’J15 (i
 −99127号参照〕。この提案したメッキ装置によ
れば従来のメッキ装置に比べ相当処理スピー)71.;
向上するものの、台車を介しメッキ物を移送するため処
理スピードをそれ以上高速化するのがy11シいもので
あった。このため台車に代えて送りローラ!IYを用い
ることが検討されたが、ライン上の送りローラ1ffよ
りメッキ物を取上げてメッキ装置」二へ効率よく目、つ
確実に移載する装置が開発されぬ限り、たとえ送りロー
ラ群のスピードやメッキ装置のスピードアップを行なっ
ても意図する処理スピードの向上が見込めないというこ
とがわかった。
そしてメッキ装置として噴射タイプのメッキ装置6″を
用いる場合、スパージャ−上方には抑圧板が位置しスパ
ージャ−のマスク板子に載置されたメッキ物に対し下降
・上昇を繰返すことになり、メッキ処理スピードを向上
させるにはこの抑圧板の上下動距離を少なくする必要が
ありそしてまだ少なくした場合にはマスク板と抑圧板間
のスペースが小さくなりその分小さなスペース内で送り
ローラ群より取上はブζメソギ物をマスク板上へ移載す
るのが困6・Il′になるという問題点がある。
本出願人Q:j、Ju上のような状況に着目して、開・
閉自在なチャックを用いて短冊状のメッキ′1ウハを、
送りローラ群上より取上げ、上方に少ないスペースしか
ないメッキ!4置のスパージャ−上−短時間に移送し且
つ確実に所定位1?¥へ降1・Wit’ Fできる装置
を先に扶案1〜だが、本発明は、更に装置?1“全体と
しての処理スピードを向上させるように本メツキ装置の
入・出画側に、複数枚のメッキ物を左右及び移載方向で
各々複数列同時に整列さぜプI」移載する移載装置を備
えせしめたメッキ装置i’4を提供せんとすることをそ
の目的としている。
具体的には、本発明に係るメッキ装置回1本メッキ装置
の入(ill及び出側に、この人・出側方向に漬って短
」(11状のメッキ物奢移載するメッキ物の移載装置を
夫々備えたメッキ装置であって、上記両移載装置は、メ
ッキ物の移載方向の左右両側上方に設けた駆動手段と、
これら両駆勅手段へ吊下げて左右間で架設し且つ全体を
前後動自在とした水平状のベースフレームと、このベー
スフレームに設けた左右方向でスライド自在atり藪本
のスライドバーの下側に、左右方向及び移載方向で各々
+VJ、:J、列ηV伺けた水平状態のメッキ物挟持用
のチャックとを夫々有し、このチャックを介して複数4
シのメッキ物を〕、右及び移載方向で各々杓数列同時に
整列状態を絹ト1しで移載するものである。
J?J下、本発明の詳イ(11を、その−す雄側を示す
図1rr1に基づいて酸1明する。
このメツへ−装置6t1は、主に本メツキ装置2とこの
本メッキ装fi<+’ 2のメ仙■及び出側0に夫々備
え/、−短冊状のメッキ物3の移載装置4a 、 4b
 C第1図参照1とから措成ネれている。
本メツキ装置i’1′2は、図示の例では噴射タイプの
部分メッキ装置1(1とし7てあり、メッキ液噴射用の
ノズル(図示せず)に相応さゼた位置へメッキ液噴射開
孔5を設0た上蓋5a付きのスパージャ−6と、メッキ
物コ3を十記メッキ液噴射開孔5付きの上蓋5aへ押+
1けるためにスパージャ−6の上方に設けた抑圧板7と
、及び抑圧板7を駆動する圧力シリンダ−8とを備えて
いる。ここで、図示の例のメッキ物3 i、i: I 
Cリードフレームとしてあり、スパージャ−6の上蓋5
aには、1枚のICリードフレームにおけるスポット状
のメッキ対象部分に相応する数〔図示の例では4ケ所〕
を1ブロツクとしてメッキ液噴射開孔5が開口さ11、
且つメッキ物3の移載方向(矢7M’ A方向)で2列
、との移載方向(へ方向)の左右両側(″矢視I3方向
)で複数列〔図示の例では7列〕設けられでいる〔第1
図参照1゜図中9は合成樹脂製の線状体で、スパージャ
−6上で噴射メッキを施さtまたメッキ物3を」二型5
aより引剥すために、スパージャ−6上で左右両側(矢
視B方向)に渡して張設されている。壕だ図中10は位
置決めピンで、メッキ液噴射開(15の1ブロツク毎に
所定本数(図示の例1、各6本)立設されておυ、スパ
ージャ−6上ヘメノギ物3を移載した際のメッキ物3側
のメッキ対象部分とスパージャ−6側のメッキ液噴射開
孔5との位16″決めが確実に行ガえるようKiってい
る。
入側■、出側Oに各々設けた移載装ftt 4a + 
4bは各4回−の構成を有するものとしてあり以下では
、NIi明の便宜上人側■の移載装置1つ4aについて
述べることとし、他の移載装f>S’+“4bについて
(71図中間−拘H−をフおずに市どめる。この移載装
置4a I:l、メッキ’lを+3の移11・■方向(
矢ネW、 A方向)の左右両1111 (矢祁1B方向
)子実に左イー1一対で設けた駆動手段としてのTI;
 カシリンダ−11と、水平状のベースフレーム12と
、このベースフレーム12の両側に設けたカムプレート
]:(と、同じくベースフレーム12に設けたスジイド
バー14ど、スライドバー14の下(tillに設け/
こチャック15とから主に才?り成される。圧力シリン
ダ−11は、短冊状のメッキ物3の移載方向(矢視入方
向)の左右両イill+ (矢イi、+ 13方向)の
上方に1一対1対向してrIyけるもので、図示の例で
は空圧にて作1i11する[スライドシリンダー」が採
用されている。この「スライドシリンダー」を採用した
圧力シリンダ−11は左右一対の夫々が矢視入方向で伸
縮自イ[とさ!1ている。なお図示の例では左右の圧力
シリンダ−11が同一形状、構造のものなので、以下の
nつ1明ではその内の1本についてのみ説明するものと
する。
圧力シリンダ−11の可動部17の下側にはホルダー1
8が固定さtll ホルダー18には前後一対のガイド
バー19が遊挿されており、ガイドバー19の」−備に
設けたストッパー20が規制するストロークの退さ分こ
のガイドバー19はホルダー18に支t、’rされた状
態において上下動n]能とされている。ガイドバー19
の下端には水平状のベースフレーノ、12が取イ・1け
てあり、このベースフレーム12は両川カシリンダー1
1間に、圧力シリンダ−11に接届;のボルダ−18を
介して、吊下げ架設された状態をh”−するもので、そ
の両側へ予め設けたカムプレーl・13を介シ、。
吊下げ架設された状態のま丑上下動且つ水平・前後動自
在とされるものである。カムプレート13に1、先端に
各々ローラ21a 、 2]4)を取伺け/?2股形状
のもので、ベースフレー1112の側部に1投りた軸受
22にて支ト11されている。カムプレート13、具体
的にはそのローラ21a、 214.i):、メッキ物
3の移載方向(矢視入方向)の左右両側(矢わ113方
向)に配された上下及び水平カム面形成用のガイド2;
(に係合されるものでを)す、このガイド23けその前
後に垂直カム面24a、24bとそして両重直カム面2
4a、 24bを接続している水51′ノlム面25と
をイ、jj、えている1、両垂泊カム面24a 、 2
4bはベースフレーノ・12の下降及び上昇を規制し又
水平カム面25けベースフレーム12の水平・前vjI
Ii11を規制するものである。尚、上記の如ぐ移載装
置4a 、 4bU夫々に2本のガイド23を左右両側
(矢視B方向)に備えているが、II’+ (1110
の移載装置¥f4bに配されたガイド23の間隔11−
人π111■の移載装置4aに配されたガイド23の間
隔よりも幅広になっており、両移載装w4a。
41)が移動の際に干渉せぬように寿っている(第31
シI参11(リ 。
ベースフレーノ・12は前述したようにその左右両側が
ガイドバー19及びホルダー18を介し圧力シリンダ−
11のnJ動部17に吊下げられていて左右間で架設さ
れた状態にあシ常時水平状態を維持した捷ま上下動11
つ前後動するものであって、全体が略方形状を有しそこ
には複数本のスライドパー14が水平ir+i士で左右
方向(矢視B方向)にスライド自在にして設けである。
第4図で示す如く、このベースフレーム司2には移載方
向(矢視入方向)で2列及び左右方向(矢視B方向)で
7列の合計14枚のメッキ物3を整列状態のま1把持可
能とすべく14セツトのチャック15が設けである。ス
ライドパー14とチャック15との関係を第4図中の一
部〔矢視7部〕を拡大図示する第5図並びに第6図を参
照して説、明する。スライドパー14は第6図に示す例
で偶数列、奇数列と分けられており、偶社列のスライド
パー14.と奇数列のスライドパー141)とを独立的
にスライドせしめるだめ各々圧力シリンダ−26a 、
 26bが備えてあり、連結バー27a。
27bを介し偶数列の蝮数のスライドパー14a同士そ
して奇数列の杓をQのスライドパー14b同士を同時に
スライドさせるようにしている。スライド方向は、左右
方向(矢視B方向)に’)j’;いて、離反方向のスラ
イドが後述するチー)・ツク15同士の[開−1、又接
近する方向のスライドが「閉1の状態を4するものであ
る。
スライドパー 14a、 14bの下面側にはメッキ物
3を左右両側より挟持するグーヤノク15が左右方向で
対をηすようにして複V取付けである(第5191及び
第7図参照)。左右方向で一対のチャノク15a: 1
5b+ 1.5c: 15d、は左右方向(矢視B方向
)に於いて第5ト1及び第7図で示す形状を有し、メッ
キ物3の左右両(11,lを受入れる凹所28が夫々の
下方部位に形成しである1、そしてチャック15は移載
方向(矢視入方向)に於いて第5図及び第8図で示す形
状を有し前後で一対のチャック15a:150 、15
1) ”、 15dを1セントとし、各チャック15B
 + 15b y 1.5C、15dが各々広幅の逆U
字形状のものとされでいる。尚前後一対のチャック15
a: 15c 、 15b : 15dがこのように広
幅の逆U字形状を備えるのは、メッキ物3を搬送する送
りローラ29との干渉を避け、下降の際に、チャック1
5B、 15c : 15b 、15dのメッキ物3受
入れ用の凹所28形成部位30が送りローラ29同士の
間に抵抗なく進入できるようにするだめのものである。
そして左右方向(矢視B方向)におけるチャック15の
取付は位1i’?及び数6.ネガ藪整列状態のまま送ら
れてくるメッキ物3の整列位1v及び整列数に対応せし
められるもので、具体的には第2図で示すように送シロ
ーラ29の凹部31、すなわち短冊状のメッキ物3を載
置せしめる部位、の位置及び数〔図示の例では7枚のメ
ッキ物3〕に対応せしめられている。
左右のチャック15a、 1.5(! : 15b、 
15d間で且つ前後のチャック1.5a、 1.5b:
 1.5c、 15a間内に短冊状のメッキ物3を確実
に挟持するプ(め、メッキ物30前後を規制するダンパ
32a 、 321)が前後のチャック15a、15b
=15c、15aK組合ぜて設けである。前方ダンパ3
2aは固定式とされ、後方ダンパ32bは回転式とされ
ている。これら両ダンパ32a、 32bは左右方向に
於ける′fM数のチャック15の夫々に組合せて設けて
あり、ぞして複数の後方ダンパ32bを同時に開閉させ
るため、各μm力ダンパ32bの基端を固定しだ回動バ
ー33、との回動バー330側端に取付けたキツカーグ
レート34及びキツカーロール35、キツカープレート
34の回jjb ヲ促すだめベースフレーム12〔具体
的にはチャック15〕の下降位置でキツカーロール35
と干渉する位置に配置された突起36、ぞしてキツカー
グレート34を回動復帰せしめるリターンスプリング3
7等が設けである〔第7、第8図参照〕、。
寸だ、回動バーおけベースフレーム12の下面側に挿通
した連結軸3Bにて位置決めされ、両ダンパ32、 、
32))の間隔lをメッキ物3の長さに相応させイII
るようになっている。即ち、ベースフレーム12へ固定
し/こ移動目盛り付きのシャフト39へ固定用金具40
を挿通し、この固定用金具4oに上記連結軸38の一端
を増刊けると共に、回動バーおへ嵌合させたC111受
41へ連結軸38の他端を取付けることにより、固定用
金具4oをシャフト39に沿−〕て移動させれf=]’
、回動シャフト33のイil&を移載方向(矢視A方向
)で変えられるようにしである。尚、固定用金具40の
シャフト39挿通部分は第7図に示す如くすり割溝状と
1〜てあシ、ネジ42の締付は方によって固定用金Ji
、 40の位置が固定できるようになっている。才だベ
ースフレーム12の下面側には回動バー33の移71r
h月4に切欠き部16が設けらゎている〔第8図参11
(t 〕、、 本メツキ装置1t2の入側11即ち前処理装置43の出
側、にし1.メッキ物3を搬送し7てくる6本の送りロ
ーラ荀が:1ツけらノ′1ているが、この送りローラ2
9と本メツキ装置2の入側■との間及び本メツキ装置2
から3本目と4本目の送り口〜う29との間には夫々ス
トッパ44 、45が設けられている。そして本メッキ
装Wiz側のストッパ44は固定式であるが、前処理装
置43側のストッパ45は上下動自在なものとなってい
る。即ち移載装置4aによって同時に本メツキ装置2へ
移載される2列のメッキ物3のうち、第1列目の7枚の
メッキ物3が本メツキ装置2側のストッパ44に当接す
るどころ壕で搬送されると前処理装置43側のストッパ
45が」1方へ突出して第2列目の7枚のメッキ物3を
当接させで停止せしめ、2列のメッキ物3を移載方向(
矢視A方向)で整列させるようにしである。図中46は
センサを備えだカウンターで、前処理装置430出(1
11の適宜位置に設けて、そこを通過するメッキ物3の
枚数を計数1/、ストッパ45の」1下動用の信号や移
載装置4aの移動信号等を発信するように外っている。
尚、本メツキ装置2の出側0に配された後処理装置47
に設けた送りローラ29も前処理装置43と同数となっ
ており、移載装置4bが移載してくみ移載方向(矢摺A
方向)で2列、左右方向(矢1F、 B方向)で7列の
メッキ物3を同時に後処理装置47へ搬送できるように
しである。
尚、以上の薄明に於いては、移載方向(矢視A方向)で
2列、そして左右方向(矢視B方向)で7列のメッキ物
3を同時に移載するものとしているが、勿論2列、7列
に限定されるものでなくそれ以上のメッキ物3の同時移
載も問題なく行なえるものである。即ち、スパージャ−
6のメッキ液噴射開孔5の数と配列に合わせて前・後側
処理装置43 、47の送りローラ29とベースフレー
ム12のチャック15の敷、ベースフレーム12の大き
さ等を変えればよい。
次に作用を説明する。尚、以下の説明に於いてメッキ物
3は移載方向(矢視A方向)で2列、又左右方向(矢親
、B方向)で7列、合計14枚が整列された状態のま1
開時に同じ処理を受けるものであり、説りjの便宜、J
=、、r14枚のメッキ物1を単に「複数のメッキ物3
」として説明することとする。
今、前処理装置43にて短冊状のメッキ物3に前処理が
M[+されると、複数整列し7た状態において各メッキ
物3は前処理装置Mi、43の出側に在る送りローラ2
9の凹部31上に位置することと女り、移載装置4aの
取上げを待つことになる。メッキ物3は前処理装置43
の送ジロー229上に搬出されて整列する際、カウンタ
ー46内のセンサにより搬送中に検知されており、この
検知信号が図示せぬ雷1気的制御手段に伝えられ、この
電気的制御手段から駆動信号を受けることにより圧力シ
リンダ−11は矢視A方向において前処理装置43方向
へその可動部17を移動させ〔後方移動〕、ベースフレ
ーム・12も同様に移動せしめられる。この時、カムプ
レート13の2つのローラ21a、 214)はガイド
nの水平カム面25に係合しておりベースフレーム12
は水平状態のまま移動(後方移動)させられる。この水
平カム面25は垂直カム面24a 、 24bと接続し
ているため上記2つのローラ21a、21bの内、一方
のローラ21、が垂直カム面24bに係合することにな
シ、それに伴ない2股状のカムプレート13は回転し、
結果としてペースフレーム12全体が下降することにな
る。この時、チャック15は上記送υローラ29ノ土方
に移動して速でお9、ベースフレーム12の下降と共に
左右、前後の各チャック15B + 15b+15c 
+ 15dは送りローラ29と干渉せぬ位置においてそ
の先端の凹所28をメッキ物3の左右側方位置に臨まぜ
ることにガる。尚、この時のベースフレーム12ひいて
ケよチャック15の下限位働″はガイトノく−19のス
トローク量によって規制されている。次に圧力シリンダ
−26a、26bが駆動し連結ツク−27a 、 27
bを介して偶数列のスライドノC−14a及び奇数列の
スラ隼ドパ−141)同士を左右方向(矢視B方向)に
おいて接近する方向へ移動せしめ、偶数列・奇数列の各
スライドパー141 、 I4bの下面側に突設させた
左右一対のチャック15a 、 15゜: 151) 
、 15dが接近し合いメッキ物3の左右両側全挟持す
ることに々る。この時、ベースフレーム12の下降に伴
ないキツカーロール35が突起36と当接することによ
りキツカープレート34がリターンスプリング37に逆
らって回転し回動バー33を介して複数の後方ダンパ3
2bが同時に回動し、いわば全部の後方ダンパ32bが
1開」となっている。次に圧力シリンダ−11が先とは
逆方向にその可動部17を移動させれば同じくベースフ
レーム12も矢ネ)?A力方向おいて移動(前方移動)
するが、カムプレート13のローラ21aが垂直カム面
24aより水平カム面25へと係合するととによりベー
スフレーム12は一度上列し次いで水平状態のまオ前方
へ移動することになる。したがって複数整列したメッキ
物3dその整列状態のま捷複数同時に各チャック15に
て挟持されて送りローラ29上より取上げられることに
なる。そしてベースフレーム12の上昇と共にリターン
スプリング37にてキツカープレート34が回転腹背「
シ、回動バー33を介して複数の後方ダンパ321)が
回転復帰し、その結果各メッキ物3け左右両側がチャッ
ク15a、 15b、 150 、15dにて挟持され
且つ前後が固定状の*′11方ダン/り32aと回転復
帰していわば「閉」状態になった後方ダンパ324)に
て支持されることになる。このような状態の11全体が
前方へ移動すると11)びツJムプレート13はそのロ
ーラ21bが垂直カム面24bと係合することによって
回転しつつベースフレーム12全体を下降へ4トる。こ
の時の下限位置は先と同じくガイドバー19のストロー
ク量によって規制されている。ベースフレーム12のこ
の下降位置は丁度本メッキ装置°2のスパージャ−6の
上方位置に相応し、この位112tにおいて再び圧力シ
リンダ−26a 、 26bを働かせ偶数列及び奇数列
のスライドバー14a。
14bを左右方向で月つ左右一対のチャック15a。
15c: 151) 、 15dを開かく方向にスライ
ドせしめ、複数のメッキ物3を整列状態のままスパージ
ャ−6の」二面に降ろすものである。そして再び上記の
操作を繰り返すためにベースフレーム12は前処理装置
43方向へ移動1〜てゆき、それと共に圧力シリンダ−
8にて抑圧板7が下降せしめられ複数整列状態のメッキ
物3をスパージャ−6の上面に押しつけ部分噴射メッキ
処理に備える。
スパージャ−6上へ移載されたメッキ物3は、具体的に
は線状体9上へと降ろされ、位置決めピン10によって
l 器5aに形成されたメッキ液噴射開孔5と対応する
位置へ正確に位置決めされる。このように複数整列した
状態のメッキ物3に対して」1記の如く抑圧板7が下降
せt2められ、メッキ物3に対するメツJ液の噴射が行
なわれる。
メッキ処理が完了し、抑圧板7が圧力シリンダ−8によ
って上列すると、メッキ物3C1線状体9の復元力によ
って上蓋5aから離れ、移載装fi’i’ 4bによる
後処理装置47への移載に備える。
移載装置4bは、図示せぬ電気的制御手段からの駆動信
号により矢視入方向において移1′tlJ(後方移動)
してスパージャ−6土へ至り、以降移載装置4aが前処
理装置43の送りローラ19上よりメッキ物3を取上げ
てスパージャ−6上へ移載したと同様の作用にてメッキ
物3を後処理装置ie、t 47の送りローラ19へと
移載する。従ってとの移載装ff<4bの作用について
は説明を省略する。
以上説明して来たように、本発明に係るメッキ装置は、
メッキ物挟持用のチャンクを移載方向、及び左右方向で
複数ベースフレームごと、小さなサイズのそれでいて確
実な軌跡を描いて上下動及び水平前後動することができ
る移載装置に設け、この移載装fflを本メッキ装置の
入・出画側に備えるように17にので、全体の運動の高
速化と円滑化とが達成され、従来に比べて移載方向、及
び左右力向で複数列ぞしで整列[7だままの大量のメッ
キ物を短かい時間で処理することができると共に、駆動
源として(:1、メッキ物の移載方向の左右両側上方へ
配した一対の圧力シリンダーのみにてベースフレームの
移動を司さどり、ベースフレームの下降はカム面を介し
ての自重により又上昇は同じくカッ・面を介してのロー
ラ付の2股状のカムプレー1・により行なうこととした
ため駆動装置の構造の簡略化とそれに伴なう全体装置の
縮小化を達成することができるという効果がある。尚、
ベースフレームに設けたスライドバーの偶数列、奇数列
の選択を調整し左右のチャックの組合せを変えれば異な
る幅サイズのメッキ物をも挟持でき、またダンパの一力
を移載方向で位置可変とすれば長さの異なるメッキ物に
備えることもできるという効果が期待できる。
【図面の簡単な説明】
第1図は、本発明に係るメッキ装置の一実施例を示す側
面図、 第2図は、第1図中の矢視IT力方向り見たメッキ装置
の部分側面図、 第3図tま、メッキ装置と前・拶・処理装置6との押接
状態を示す概略平面図、 第4図は、ベースフレームにおけるチャックの配設状態
を示す概略平面図、 第5図は、チャックによるメッキ物の挟持状態を示す斜
視図、 第6図は、第4図中の矢視Vi部を拡大してベースフレ
ーム、スライドバー等を示す部分平面図、第7図は、第
4図の矢視■1方向よりふ1□たチャックの拡大側面図
、そして 第8図は、第7図の矢視■■力方向り見たチャックの拡
大側面図である。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 本メッキ装置6の入側及び出側に、この人・出側方向に
    洛って短冊状のメッキ物を移載するメッキ物の移載装置
    を夫々備えたメッキ装置であって、 」二記両移載装置は、メッキ物の移載方向の左右両側上
    方に設けた駆動手段と、これら両駆動手段へ吊]・げて
    左右間で架設し且つ全体を前後動自在とした水平状のベ
    ースフレームと、このベースフレームに設けた左右方向
    でスライド自在な沙数本のスライドバーの下側に、左右
    方向及び移載方向で各々複数列取付けた水平状態のメ・
    ・キ物挟持用のチャックとを夫々有し、とのチ・)・ツ
    クを介して蝮数枚のメッキ物を左右及び移載方向で各々
    複数列同時に整列状態を維持して移載するものである。 メッキ装置。
JP17279582A 1982-09-30 1982-09-30 メツキ装置 Pending JPS5964794A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01255684A (ja) * 1988-04-01 1989-10-12 Nec Corp 半導体ウェハーの製造装置

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS489818U (ja) * 1971-06-14 1973-02-03

Patent Citations (1)

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