JPS5965202A - 測定装置 - Google Patents
測定装置Info
- Publication number
- JPS5965202A JPS5965202A JP17703082A JP17703082A JPS5965202A JP S5965202 A JPS5965202 A JP S5965202A JP 17703082 A JP17703082 A JP 17703082A JP 17703082 A JP17703082 A JP 17703082A JP S5965202 A JPS5965202 A JP S5965202A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- measured
- piano wire
- measuring device
- measuring
- distance
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明はピアノ線などの基準体を用いて被測定物の被
測定面の状態を測定する測定装置に関するものである。
測定面の状態を測定する測定装置に関するものである。
従来１重液のある形状の大きい被測定物の。
特に、水平向に対する垂直Ｉｉの倒れを測定する方法と
して、オ１図に示すインサイドマイクロメータとピアノ
線を用いて測定する方法がある。
して、オ１図に示すインサイドマイクロメータとピアノ
線を用いて測定する方法がある。
図におｈて、１１）は被測定物、（ｌａ）Ｉ／ｉ被測定
面。
面。
（２１は基準定盤、 （２ａ）は基準面、（３１はこの
基準定盤（２１０基準面（２ａ）に対して垂直に垂らさ
れたピアノ線、（４）は測定器のインサイドマイクロメ
ータ、（５）はピアノ線（３１に一定の張力を与える電
離である。
基準定盤（２１０基準面（２ａ）に対して垂直に垂らさ
れたピアノ線、（４）は測定器のインサイドマイクロメ
ータ、（５）はピアノ線（３１に一定の張力を与える電
離である。
次に動作について説明する。まず、−被測定物＋１１の
頂部より、被測定向（１ａ）からある適切な距離隔たっ
た位置に、基準面（２ａ）に対し垂直にピアノ線（３）
をｉ錘１５１によって一定の張力を与えて垂れ下ろす。
頂部より、被測定向（１ａ）からある適切な距離隔たっ
た位置に、基準面（２ａ）に対し垂直にピアノ線（３）
をｉ錘１５１によって一定の張力を与えて垂れ下ろす。
こうした状態で、被測定面（ｌａｌ上の適切な間隔をも
った任意の位置で、被測定面（ｌａ）とピアノ線１３）
の間隔をインサイドマイクロメータ（４）にて測定し、
各測定値の差を比較することによυ、被測定面（ｌａ）
の真直度、あるいは倒れを測定している。
った任意の位置で、被測定面（ｌａ）とピアノ線１３）
の間隔をインサイドマイクロメータ（４）にて測定し、
各測定値の差を比較することによυ、被測定面（ｌａ）
の真直度、あるいは倒れを測定している。
しかしながら上述した従来の測定方法では。
被測定面（ｌａ）の連続した変化を検出するには多大の
時間を要し、また、インサイドマイクロメ−一タ（４）
の一端とピアノ線（３）の接触の強さを一定にするには
熟練を嬰するなど、熟練者でないと正罫な測定ができな
いという欠点があった。
時間を要し、また、インサイドマイクロメ−一タ（４）
の一端とピアノ線（３）の接触の強さを一定にするには
熟練を嬰するなど、熟練者でないと正罫な測定ができな
いという欠点があった。
この発明は上記のような従来のものの欠点に鑑みてなさ
れたものであり、上記欠点を解消した測定装置を堤供す
ることを目的としている。
れたものであり、上記欠点を解消した測定装置を堤供す
ることを目的としている。
以下、この発明の一実施例を第２図に基づいて説明する
。図において、１１）は被測定物、（ｌａ）は被測定面
、（３）はピアノ線、（５）は重鐘、１Ｂ）Ｉｄピアノ
線（３）との相対間隔によってインビータ”ンスが変る
機能をもつ迎］定検出コイル、（７）はこの測定検出コ
イル（６）がピアノ線（３）とある定められた距離Ａに
あるとき、電気的平衡を形成するブリッジ回路、（８）
は電気信号比較回路、（９）はサーボアンプ、 （１０
）はサーボモータ、 （Ｉ＋）はこのサーボモータ（ｌ
Ｏ）に直結された歯車、（１力はこの歯車（１１）と噛
み合うラックであり、測定検出コイル（６）と後述する
差−ｊ変圧器可助ロッド圓に直結している。
。図において、１１）は被測定物、（ｌａ）は被測定面
、（３）はピアノ線、（５）は重鐘、１Ｂ）Ｉｄピアノ
線（３）との相対間隔によってインビータ”ンスが変る
機能をもつ迎］定検出コイル、（７）はこの測定検出コ
イル（６）がピアノ線（３）とある定められた距離Ａに
あるとき、電気的平衡を形成するブリッジ回路、（８）
は電気信号比較回路、（９）はサーボアンプ、 （１０
）はサーボモータ、 （Ｉ＋）はこのサーボモータ（ｌ
Ｏ）に直結された歯車、（１力はこの歯車（１１）と噛
み合うラックであり、測定検出コイル（６）と後述する
差−ｊ変圧器可助ロッド圓に直結している。
（１３１は差助ｙ圧赫コイル、■は差動変圧器可動ロッ
ドであり、これら（６）ないし０４）により検出器が構
成され、被測定面（ｌａ）上を移動する。（１０は差動
、ヂ圧器コイル（至）に接続された表示および記録装置
である。
ドであり、これら（６）ないし０４）により検出器が構
成され、被測定面（ｌａ）上を移動する。（１０は差動
、ヂ圧器コイル（至）に接続された表示および記録装置
である。
次に動作について説明する。今、任意の位置にて測定検
出コイル（６）とピアノ線（３）との距１１１ｍＡを定
め、この位置にてサーボモータ（１０）が停止するよう
に電気信号比較回路（８）の基準電圧を調節する。この
状態にて、被測定面（ｌａ）上を装置を走らすと常に測
定検出コイル（６）とピアノ線（３）との距離Ａを保つ
べくサーボモータ（１０）が働き。
出コイル（６）とピアノ線（３）との距１１１ｍＡを定
め、この位置にてサーボモータ（１０）が停止するよう
に電気信号比較回路（８）の基準電圧を調節する。この
状態にて、被測定面（ｌａ）上を装置を走らすと常に測
定検出コイル（６）とピアノ線（３）との距離Ａを保つ
べくサーボモータ（１０）が働き。
それに従って一車（１１）とラック（１りにより差動及
圧器可動ロッドＨが動き、その動き量が表示および記録
”Ａ ｉｌ （１５）にて記録され、被測定面（ｌａ）
の真直度あるいは倒れ量が示される。
圧器可動ロッドＨが動き、その動き量が表示および記録
”Ａ ｉｌ （１５）にて記録され、被測定面（ｌａ）
の真直度あるいは倒れ量が示される。
以上のようにこの発明によれに、ピアノ線などの基準体
に検出器が触れることなく且つ連続的に被測定物の被測
定面の状態を測定することができ、熟練者でなくても容
易に正確に測定できる効果が得られる。
に検出器が触れることなく且つ連続的に被測定物の被測
定面の状態を測定することができ、熟練者でなくても容
易に正確に測定できる効果が得られる。
第１図は従来の測定方法を示す斜視図、第２図はこの発
明の一実施例による測定装置を示すブロック図である。 図において、１１１は被測定物、 （ｌａ）は被測定面
、（３）はピアノ線、＋６）Ｉ″ｉ測定検出コイル、（
７）はブリッジ回ｈＭ 、 （８１は比較回路、（９）
はサーボアンプ、 （１０１は廿−ポモータ＋ （”）
は歯車、−（１２１はランク。 ＋１３１は差動メ圧器コイル、（Ｉ４は差助変圧器可薊
ロッドである。 同１図中同一符号は同−又は（目当部分ケ示す。 代理人 葛 野 信 − 第１図
明の一実施例による測定装置を示すブロック図である。 図において、１１１は被測定物、 （ｌａ）は被測定面
、（３）はピアノ線、＋６）Ｉ″ｉ測定検出コイル、（
７）はブリッジ回ｈＭ 、 （８１は比較回路、（９）
はサーボアンプ、 （１０１は廿−ポモータ＋ （”）
は歯車、−（１２１はランク。 ＋１３１は差動メ圧器コイル、（Ｉ４は差助変圧器可薊
ロッドである。 同１図中同一符号は同−又は（目当部分ケ示す。 代理人 葛 野 信 − 第１図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （１１ピアノ線などの基準体を用いて被測定物の被測定
向の状態を測定するものにおいて、上記被測定面上を移
動すると共に上記基準体と所定の距離をもって配設され
、上記距離の変動に連動して動作する差動機構を有する
検出器金離え、上記差動機構の動き量によシ上記被測定
物の被測定向の状態を測定するようにしたことを特徴と
する測定装置。 （２１基準体はピアノ線であることを特徴とする特許請
求の範囲オ１項記載の測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17703082A JPS5965202A (ja) | 1982-10-06 | 1982-10-06 | 測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17703082A JPS5965202A (ja) | 1982-10-06 | 1982-10-06 | 測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5965202A true JPS5965202A (ja) | 1984-04-13 |
Family
ID=16023914
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17703082A Pending JPS5965202A (ja) | 1982-10-06 | 1982-10-06 | 測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5965202A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106078189A (zh) * | 2016-06-29 | 2016-11-09 | 中国冶集团有限公司 | 一种用于立式活套轨道的找正装置及找正方法 |
| CN110763129A (zh) * | 2019-10-15 | 2020-02-07 | 武汉奥亿特科技有限公司 | 一种检测芯片衬底厚度的台阶仪 |
-
1982
- 1982-10-06 JP JP17703082A patent/JPS5965202A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106078189A (zh) * | 2016-06-29 | 2016-11-09 | 中国冶集团有限公司 | 一种用于立式活套轨道的找正装置及找正方法 |
| CN110763129A (zh) * | 2019-10-15 | 2020-02-07 | 武汉奥亿特科技有限公司 | 一种检测芯片衬底厚度的台阶仪 |
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