JPS5965537U - 半導体ペレツトのマウント装置 - Google Patents

半導体ペレツトのマウント装置

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JPS5965537U
JPS5965537U JP16129982U JP16129982U JPS5965537U JP S5965537 U JPS5965537 U JP S5965537U JP 16129982 U JP16129982 U JP 16129982U JP 16129982 U JP16129982 U JP 16129982U JP S5965537 U JPS5965537 U JP S5965537U
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JP
Japan
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pellets
semiconductor pellet
mounting equipment
semiconductor
pellet mounting
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JP16129982U
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小原　雅俊
荻原　全夫
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NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来のペレットマウント装置のＸＹテーブルの
スキャン（移動）方法を示す図、第２図は本考案による
小領域スキャンの方法を示す図、第３図は本考案の一実
施例のブロック図である。 １・・・半導体ウェハー、６．　７．　８．　９・・・
疑似的ストロークリミット、１０・・・ペレット検出部
、１１・・・ウェハー搭載台、１２・・・ＸＹテーブル
、１３・・・ＸＹテーブル制御部。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 水平面内で直交する２軸方向に移動するＸＹテーブルと
    、該ＸＹテーブル上に装着され、ペレットに分離した半
    導体ウェハーを搭載するウェハー搭載台と、該ウェハー
    搭載台上のペレットの有無及びその位置を検出するペレ
    ット検出部と、特性のそろったペレットをマウン１する
    ため半導体ウェハー面を分割した小領域内でＸＹテーブ
    ルの進行方向を制御するＸＹテーブル制御部とを備えた
    ことを特徴とする半導体ペレットのマウント装置。
JP16129982U 1982-10-25 1982-10-25 半導体ペレツトのマウント装置 Granted JPS5965537U (ja)

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JP16129982U JPS5965537U (ja) 1982-10-25 1982-10-25 半導体ペレツトのマウント装置

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Publication Number Publication Date
JPS5965537U true JPS5965537U (ja) 1984-05-01
JPH029554Y2 JPH029554Y2 (ja) 1990-03-09

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ID=30354526

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JP16129982U Granted JPS5965537U (ja) 1982-10-25 1982-10-25 半導体ペレツトのマウント装置

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61292933A (ja) * 1985-06-20 1986-12-23 Rohm Co Ltd ペレツトピツクアツプ方法および装置
JPH02174132A (ja) * 1988-12-26 1990-07-05 Toshiba Corp 半導体ペレットのダイボンディング方法

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57138338U (ja) * 1981-02-24 1982-08-30

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS57138338U (ja) * 1981-02-24 1982-08-30

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS61292933A (ja) * 1985-06-20 1986-12-23 Rohm Co Ltd ペレツトピツクアツプ方法および装置
JPH02174132A (ja) * 1988-12-26 1990-07-05 Toshiba Corp 半導体ペレットのダイボンディング方法

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JPH029554Y2 (ja) 1990-03-09

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