JPS5968200U - 真空排気装置 - Google Patents
真空排気装置Info
- Publication number
- JPS5968200U JPS5968200U JP16503782U JP16503782U JPS5968200U JP S5968200 U JPS5968200 U JP S5968200U JP 16503782 U JP16503782 U JP 16503782U JP 16503782 U JP16503782 U JP 16503782U JP S5968200 U JPS5968200 U JP S5968200U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- signal
- vacuum
- signals
- switch
- thermoswitch
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
図面は真空容器と本考案の真空排気装置の全体を示す構
成図である。 １・・・真空容器、２・・・真空排気装置、３・・田−
タリポンプ、４・・・油拡散ポンプ、４ａ・・・ヒータ
、５・・・ゲートバルブ、６・・・冷却パイプ、７・・
・真空センサ、８・・・回転スイッチ、９・・・サーモ
スイッチ、１０・・・フロースイッチ、１４・・・受信
部、１６・・・第１出力部、１８・・・第２出力部、２
０・・・第３出力部、２２・・・第４出力部。
成図である。 １・・・真空容器、２・・・真空排気装置、３・・田−
タリポンプ、４・・・油拡散ポンプ、４ａ・・・ヒータ
、５・・・ゲートバルブ、６・・・冷却パイプ、７・・
・真空センサ、８・・・回転スイッチ、９・・・サーモ
スイッチ、１０・・・フロースイッチ、１４・・・受信
部、１６・・・第１出力部、１８・・・第２出力部、２
０・・・第３出力部、２２・・・第４出力部。
Claims (1)
- 真空容器内を真空引きするロータリポンプならびに油拡
散ポンプと、これら両ポンプと前記真空容器とを連通、
閉塞するゲートバルブとを備えたものにおいて、前記真
空容器内の真空度を検出して所定の真空度よりも高いと
きにはＯＮ信号を、低いときにはＯＦＦ信号をそれぞれ
出力する真空センサと、前記ロータリポンプの稼動、停
止によりそれぞれＯＮ信号とＯＦＦ信号を出力する回転
スイッチと、前記油拡散ポンプ内の油の温度を検出して
所定温度以上のときにはＯＮ信号を、所定温度以下のと
きにはＯＦＦ信号をそれぞれ出力するサーモスイッチト
、冷却パイプ内の冷却水の流動停止によりそれぞれＯＮ
信号とＯＦＦ信号を出力するフロースイッチと、前記真
空計センサ、回転スイッチ、サーモスイッチおよびフロ
ースイッチからの各出力信号を受信する受信部と、この
受信部で受信した信号のうち前記回転スイッチとフロー
スイッチの信号が共にＯＮ信号で真空センサとサーモス
イッチの信号がＯＦＦ信号のときに前記ゲートバルブを
開放する第１出力部と、前記真空センサ、回転スイッチ
およびフロースイッチの信号がそれぞれＯＮ信号で、サ
ーモスイッチの信号がＯＦＦ信号のときには前記ゲート
バルブを閉塞するとともに、前記油拡散ポンプに設けら
れた油加 ゛前用のヒータに通電する第２出力部と、
真空センサ、回転スイッチ、サーモスイッチおよびフロ
ースイッチの信号が全てＯＮ信号のときには前記ゲート
バルブを開放するとともに前記油拡散ポンプのヒータに
通電する第３出力部と、前記回転スイッチとフロースイ
ッチの少なくとも一方がＯＦＦ信号のときには前記ゲー
トバルブを閉鎖する第４出力部とを設けたことを特徴と
する真空排気装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16503782U JPS5968200U (ja) | 1982-10-30 | 1982-10-30 | 真空排気装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16503782U JPS5968200U (ja) | 1982-10-30 | 1982-10-30 | 真空排気装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5968200U true JPS5968200U (ja) | 1984-05-09 |
| JPS647280Y2 JPS647280Y2 (ja) | 1989-02-27 |
Family
ID=30361664
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16503782U Granted JPS5968200U (ja) | 1982-10-30 | 1982-10-30 | 真空排気装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5968200U (ja) |
-
1982
- 1982-10-30 JP JP16503782U patent/JPS5968200U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS647280Y2 (ja) | 1989-02-27 |
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