JPS596835U - 真空封止装置 - Google Patents
真空封止装置Info
- Publication number
- JPS596835U JPS596835U JP1982101431U JP10143182U JPS596835U JP S596835 U JPS596835 U JP S596835U JP 1982101431 U JP1982101431 U JP 1982101431U JP 10143182 U JP10143182 U JP 10143182U JP S596835 U JPS596835 U JP S596835U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- quartz
- sealed
- vacuum sealing
- tube
- vacuum
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は本考案の実施例を示す構成図、第２図は本考案
の石英封管の詳細図である。 ３・・・石英封管、４・・・バーナー、９・・・センサ
ー、１９・・・Ｂ−Ａゲージ。
の石英封管の詳細図である。 ３・・・石英封管、４・・・バーナー、９・・・センサ
ー、１９・・・Ｂ−Ａゲージ。
Claims (1)
- ＬＤ、ＬＥＤの封管拡散前工程で、内部に拡散源となる
ソースと拡散すべき基板とがセットされ真空減圧された
石英封管開口部に中蓋を固着して真空封止する真空封止
装置において、石英封管周囲の同心層同上の定位置に中
蓋固着用バーナーを複数台配置するとともに、バーナー
の燃焼状態監視用及び石英管のリーク監視用センサー機
構を装備したことを特徴とする真空封止装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1982101431U JPS596835U (ja) | 1982-07-05 | 1982-07-05 | 真空封止装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1982101431U JPS596835U (ja) | 1982-07-05 | 1982-07-05 | 真空封止装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS596835U true JPS596835U (ja) | 1984-01-17 |
Family
ID=30239518
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1982101431U Pending JPS596835U (ja) | 1982-07-05 | 1982-07-05 | 真空封止装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS596835U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005302896A (ja) * | 2004-04-08 | 2005-10-27 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 真空封止装置、真空封止方法及び不純物拡散方法 |
-
1982
- 1982-07-05 JP JP1982101431U patent/JPS596835U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005302896A (ja) * | 2004-04-08 | 2005-10-27 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 真空封止装置、真空封止方法及び不純物拡散方法 |
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