JPS5969988A - 炭酸ガスレ−ザ発振器 - Google Patents
炭酸ガスレ−ザ発振器Info
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- JPS5969988A JPS5969988A JP57180669A JP18066982A JPS5969988A JP S5969988 A JPS5969988 A JP S5969988A JP 57180669 A JP57180669 A JP 57180669A JP 18066982 A JP18066982 A JP 18066982A JP S5969988 A JPS5969988 A JP S5969988A
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- Japan
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- laser beam
- gas
- extraction device
- laser
- channel
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- Granted
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/036—Means for obtaining or maintaining the desired gas pressure within the tube, e.g. by gettering, replenishing; Means for circulating the gas, e.g. for equalising the pressure within the tube
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Lasers (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は炭酸ガスレーザ発振器に係り、特に正分岐共焦
点形共振器とレーザビームを伝送するレーザビーム取り
出し装置を備えた３軸直交形、長時間ガス封じ切りタイ
プの炭酸ガスレーザ発振器に関するものである。
点形共振器とレーザビームを伝送するレーザビーム取り
出し装置を備えた３軸直交形、長時間ガス封じ切りタイ
プの炭酸ガスレーザ発振器に関するものである。
従来この種の炭酸ガスレーザ発振器として第１図に示す
ものがあった。第１図（Ａ）及び（Ｂ）は従来の炭酸ガ
スレーザ発振器と、そのレーザビーム取り出し装置の内
部構成を示す正面図、及びその一部の内部構成を示す部
分平面図である。第１図（Ａ）及び（Ｂ）において、ｌ
は正分岐共焦点形共振器、３はレーザビームを外部に取
り出すレーザビーム取り出し装置１．２ａ、、２ｂ、２
Ｃはレーザビーム取り出し装置３内に設けられたビーム
を伝送するミラ一群、ｔはガス流入装置、Ｓはガス流出
装置、乙はガス循環用ブロアであり、図中、矢印はガス
の流れ方向を示し、点線部分はレーザビームの通路を示
すものであるっ 次に、上記第１図ＦＡ）及び（Ｂ）の動作について説明
する。レーザビームは正分岐共焦点形共振器／により発
振され、レーザビーム取り出し装置３内に設けられたミ
ラ一群２ａ、２ｂ、“２Ｃを経由して矢印Ｏで示す方向
へ大気中に取り出される。この際、レーザビームはガス
雰囲気中な伝送されるため、周囲のガスと衝突しガスの
温度を上昇させる。
ものがあった。第１図（Ａ）及び（Ｂ）は従来の炭酸ガ
スレーザ発振器と、そのレーザビーム取り出し装置の内
部構成を示す正面図、及びその一部の内部構成を示す部
分平面図である。第１図（Ａ）及び（Ｂ）において、ｌ
は正分岐共焦点形共振器、３はレーザビームを外部に取
り出すレーザビーム取り出し装置１．２ａ、、２ｂ、２
Ｃはレーザビーム取り出し装置３内に設けられたビーム
を伝送するミラ一群、ｔはガス流入装置、Ｓはガス流出
装置、乙はガス循環用ブロアであり、図中、矢印はガス
の流れ方向を示し、点線部分はレーザビームの通路を示
すものであるっ 次に、上記第１図ＦＡ）及び（Ｂ）の動作について説明
する。レーザビームは正分岐共焦点形共振器／により発
振され、レーザビーム取り出し装置３内に設けられたミ
ラ一群２ａ、２ｂ、“２Ｃを経由して矢印Ｏで示す方向
へ大気中に取り出される。この際、レーザビームはガス
雰囲気中な伝送されるため、周囲のガスと衝突しガスの
温度を上昇させる。
この温度上昇したガス中を連続してレーザビームが通過
するとガスは次第に高温ガスとなり、この高温ガスはレ
ーザビームの吸収率を高めるため、大気中に取り出され
るレーザビームの出力を低下させる。このため、レーザ
ビーム取り出し装置３内のガスを循環冷却させるように
、ガス循環用ブロア乙の吐出側よりガス流入’Ａｉｆ４
’を引き出してレーザビーム取り出し装置３へ接続し、
また、レーザビーム取り出し装置３よりガス流出装置Ｓ
を引き出してガス循環用ブロア乙の吸入側に接続配置す
ることによりガス流通路（ガスフロー）を作り、これに
より、レーザビーム取り出し装置３内のガス温度を下げ
るようにしてレーザビームの吸収による損失を防１」二
するようにしていた。
するとガスは次第に高温ガスとなり、この高温ガスはレ
ーザビームの吸収率を高めるため、大気中に取り出され
るレーザビームの出力を低下させる。このため、レーザ
ビーム取り出し装置３内のガスを循環冷却させるように
、ガス循環用ブロア乙の吐出側よりガス流入’Ａｉｆ４
’を引き出してレーザビーム取り出し装置３へ接続し、
また、レーザビーム取り出し装置３よりガス流出装置Ｓ
を引き出してガス循環用ブロア乙の吸入側に接続配置す
ることによりガス流通路（ガスフロー）を作り、これに
より、レーザビーム取り出し装置３内のガス温度を下げ
るようにしてレーザビームの吸収による損失を防１」二
するようにしていた。
従来の炭酸ガスレーザ発振器のレーザビーム取り出し装
置３は以上のように構成されているので、ガス流入装置
ｌよりレーザビーム取り出し装置３へ流入したガスは、
このレーザビーム取り出し装ｆ＃ ３を経由してガス流
出装置Ｓに至るまでにおいて、ガスの流れが不安定とな
り、この結果レーザビームの通路部分を有効的に冷却す
ることができない欠点があった。
置３は以上のように構成されているので、ガス流入装置
ｌよりレーザビーム取り出し装置３へ流入したガスは、
このレーザビーム取り出し装ｆ＃ ３を経由してガス流
出装置Ｓに至るまでにおいて、ガスの流れが不安定とな
り、この結果レーザビームの通路部分を有効的に冷却す
ることができない欠点があった。
本発明は上記のような従来のものの欠点を除去するため
になされたもので、発振されたレーザビームを伝送し、
外部に取り出しするレーザビーム取り出し装置を備えた
レーザ発振器において、前記レーザビーム取り出し装置
のレーザビーム通路に均一なガス流通路を形成すべく、
開口部な設けたレーザビーム吸収防止装置を前記レーザ
ビーム取り出し装置に具備してなる構成を有し、レーザ
ビーム暗路のガス温度分布を均一、かつ安定化してレー
ザビームの損失な少なくするようにした炭酸ガスレーザ
発振器を提供することを目的としている。
になされたもので、発振されたレーザビームを伝送し、
外部に取り出しするレーザビーム取り出し装置を備えた
レーザ発振器において、前記レーザビーム取り出し装置
のレーザビーム通路に均一なガス流通路を形成すべく、
開口部な設けたレーザビーム吸収防止装置を前記レーザ
ビーム取り出し装置に具備してなる構成を有し、レーザ
ビーム暗路のガス温度分布を均一、かつ安定化してレー
ザビームの損失な少なくするようにした炭酸ガスレーザ
発振器を提供することを目的としている。
以下、本発明の一実施例を図について説明する。
第２図（Ａ）及びＦＢ）は本発明の一実施例であるレー
ザビーム吸収防止装置を取り付けた炭酸ガスレーザ発振
器の内部構成を示す正面図、及びその一部の内部構成を
示す部分平面図で、第１図（Ａ）及び（Ｂ）と同一部分
には同一符号な用いて表示してあり、その詳細な説明は
省略する。第２図（Ａ）及びＣＢ）において、２／はレ
ーザビーム吸収防止装置で、レーザビーム取り出し装置
３内のレーザビームの通路部分の上部近辺に設けられ、
かつ−面に小口径の孔又はスリットなどを多数穿設した
１４１１０部フ２を持つ構造の装置から成り、また、こ
のレーザビーム吸収防止装置、ユ／はガス流入装置ｌｌ
に接続されている。
ザビーム吸収防止装置を取り付けた炭酸ガスレーザ発振
器の内部構成を示す正面図、及びその一部の内部構成を
示す部分平面図で、第１図（Ａ）及び（Ｂ）と同一部分
には同一符号な用いて表示してあり、その詳細な説明は
省略する。第２図（Ａ）及びＣＢ）において、２／はレ
ーザビーム吸収防止装置で、レーザビーム取り出し装置
３内のレーザビームの通路部分の上部近辺に設けられ、
かつ−面に小口径の孔又はスリットなどを多数穿設した
１４１１０部フ２を持つ構造の装置から成り、また、こ
のレーザビーム吸収防止装置、ユ／はガス流入装置ｌｌ
に接続されている。
その他の各部構成は、北記第１図（Ａ）及び（Ｂ）に示
すものと同じ構成部品によって形成されている。
すものと同じ構成部品によって形成されている。
次に、上記第２図（Ａ）及び（Ｂ）の動作について説明
する。第１図ＦＡ）及び（Ｂ）で述べたように、レーザ
ビームは正分岐共焦点形共振器／により発振され、レー
ザビーム取り出し装置３内に設けられたミラ一群、２ａ
、、２ｂ、２ｃを経由して矢印０で示す方向へ大気中に
取り出される。ところで、本発明の装置では、ガス流入
装置グを経由してレーザビーム吸収防止装置：）、／
ＶＣ導入された冷却用のガスを、レーザビーム取り出し
装置３内のレーザビームの通路部分の上部に位置するレ
ーザビーム吸収防止装置、２／に多数穿設された開口Ｈ
ＵＢ 、７．２よりシャワー状に吹き出させることによ
り、レーザビーム取り出し装（１ｔ３内のガス流１由路
を安定化させるように構成してあり、これにより、レー
ザビームの通路部分の冷却を効率よく行なうことができ
るようになり、レーザビームの損失を従来装置のものに
比べて十分に少な（することが可能となったものである
Ｏ なお、旧記実施例ではレーザビーム吸収防止装置２／に
多数穿設された開口部ｎを、レーザビームの通路部分の
上部に位置させてガスな吹き出す構造のものについて説
明したが、レーザビームの通路部分の両側面又は下部よ
りガスを吹き出す構造のものとしても良く、上記実施例
と同様の効果を奏する。
する。第１図ＦＡ）及び（Ｂ）で述べたように、レーザ
ビームは正分岐共焦点形共振器／により発振され、レー
ザビーム取り出し装置３内に設けられたミラ一群、２ａ
、、２ｂ、２ｃを経由して矢印０で示す方向へ大気中に
取り出される。ところで、本発明の装置では、ガス流入
装置グを経由してレーザビーム吸収防止装置：）、／
ＶＣ導入された冷却用のガスを、レーザビーム取り出し
装置３内のレーザビームの通路部分の上部に位置するレ
ーザビーム吸収防止装置、２／に多数穿設された開口Ｈ
ＵＢ 、７．２よりシャワー状に吹き出させることによ
り、レーザビーム取り出し装（１ｔ３内のガス流１由路
を安定化させるように構成してあり、これにより、レー
ザビームの通路部分の冷却を効率よく行なうことができ
るようになり、レーザビームの損失を従来装置のものに
比べて十分に少な（することが可能となったものである
Ｏ なお、旧記実施例ではレーザビーム吸収防止装置２／に
多数穿設された開口部ｎを、レーザビームの通路部分の
上部に位置させてガスな吹き出す構造のものについて説
明したが、レーザビームの通路部分の両側面又は下部よ
りガスを吹き出す構造のものとしても良く、上記実施例
と同様の効果を奏する。
以北のように、本発明に係る炭酸ガスレーザ発１辰器に
よれば、レーザビーム取り出し装ｆｔのレーザビーム直
路に均一なガス流通路を形成すべく、開口１９１６を設
けたレーザビーム吸収防止装置を前記レーザビーム取り
出し装置に具備してなる１ｈ成としたので、この種のｆ
疋来装置のものに比べてレーザビーム取り出し装置内の
ガス温度分布を均一、かつ安定化してレーザビームのガ
スによる吸収損失を著しく軽減させ得ると共に、外部え
取り出すレーザビームに対し一層の出力アップが得られ
るという優れた効果な奏するものである。
よれば、レーザビーム取り出し装ｆｔのレーザビーム直
路に均一なガス流通路を形成すべく、開口１９１６を設
けたレーザビーム吸収防止装置を前記レーザビーム取り
出し装置に具備してなる１ｈ成としたので、この種のｆ
疋来装置のものに比べてレーザビーム取り出し装置内の
ガス温度分布を均一、かつ安定化してレーザビームのガ
スによる吸収損失を著しく軽減させ得ると共に、外部え
取り出すレーザビームに対し一層の出力アップが得られ
るという優れた効果な奏するものである。
第１図（Ａ）及び（Ｂ）は従来の炭酸ガスレーザ発振器
と、そのレーザビーム取り出し装置の内部構成を示す正
面図、及びその一部の内部構成を示す部分平面図、第２
図（ＡＩ及び（Ｂ）は本発明の一実施例であるレーザビ
ーム吸収防止装置を取り付けた炭酸ガスレーザ発振器の
内部構成を示す正面図、及びその一部の内部構成を示す
部分平面図である。 ｌ・・・正分岐共焦点形共振器、２ａ、 、２ｂ、
２ｃ・・・ミラーイ１￥、、３・・・レーザビーム１
収り出し装置ｉ、ψ・・・ガス流入装置、Ｓ・・ガス流
出装置、乙・・・ガス循環用ブロア、２／・・・レーザ
ビーム吸収防ＩＬ装を市、ノ２・・・開口部。 なお、図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す〇
と、そのレーザビーム取り出し装置の内部構成を示す正
面図、及びその一部の内部構成を示す部分平面図、第２
図（ＡＩ及び（Ｂ）は本発明の一実施例であるレーザビ
ーム吸収防止装置を取り付けた炭酸ガスレーザ発振器の
内部構成を示す正面図、及びその一部の内部構成を示す
部分平面図である。 ｌ・・・正分岐共焦点形共振器、２ａ、 、２ｂ、
２ｃ・・・ミラーイ１￥、、３・・・レーザビーム１
収り出し装置ｉ、ψ・・・ガス流入装置、Ｓ・・ガス流
出装置、乙・・・ガス循環用ブロア、２／・・・レーザ
ビーム吸収防ＩＬ装を市、ノ２・・・開口部。 なお、図中、同一符号は同一、又は相当部分を示す〇
Claims (1)
- 発振されたレーザビームな伝送し、外部に取り出しする
レーザビーム取り出し装置な備えたレーザ発鳴器におい
て、前記レーザビーム取り出し装置のレーザビーム通路
に均一なガス流通路を形成すべく、開口部を設けたレー
ザビーム吸収防止装置を前記゛レーザビーム取り出し装
置に具備してなる構成としたことを特徴とする炭酸ガス
レーザ発振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57180669A JPS5969988A (ja) | 1982-10-15 | 1982-10-15 | 炭酸ガスレ−ザ発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57180669A JPS5969988A (ja) | 1982-10-15 | 1982-10-15 | 炭酸ガスレ−ザ発振器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5969988A true JPS5969988A (ja) | 1984-04-20 |
| JPH0121636B2 JPH0121636B2 (ja) | 1989-04-21 |
Family
ID=16087233
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57180669A Granted JPS5969988A (ja) | 1982-10-15 | 1982-10-15 | 炭酸ガスレ−ザ発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5969988A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0215895A (ja) * | 1988-07-04 | 1990-01-19 | Toshiba Corp | ガスレーザ装置の伝送路 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5314941A (en) * | 1976-07-27 | 1978-02-10 | Mitsubishi Electric Corp | Air conditioning of room |
| JPS57133690A (en) * | 1981-02-12 | 1982-08-18 | Nec Corp | Gas laser device |
-
1982
- 1982-10-15 JP JP57180669A patent/JPS5969988A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5314941A (en) * | 1976-07-27 | 1978-02-10 | Mitsubishi Electric Corp | Air conditioning of room |
| JPS57133690A (en) * | 1981-02-12 | 1982-08-18 | Nec Corp | Gas laser device |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0215895A (ja) * | 1988-07-04 | 1990-01-19 | Toshiba Corp | ガスレーザ装置の伝送路 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0121636B2 (ja) | 1989-04-21 |
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