JPS5970343U - ソフトランデイング装置 - Google Patents

ソフトランデイング装置

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Publication number
JPS5970343U
JPS5970343U JP16633982U JP16633982U JPS5970343U JP S5970343 U JPS5970343 U JP S5970343U JP 16633982 U JP16633982 U JP 16633982U JP 16633982 U JP16633982 U JP 16633982U JP S5970343 U JPS5970343 U JP S5970343U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
boat
landing device
soft landing
soft
transports
Prior art date
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Pending
Application number
JP16633982U
Other languages
English (en)
Inventor
古門　竜彦
富田　宏平
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Kokusai Denki Electric Inc
Original Assignee
Hitachi Kokusai Electric Inc
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Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Kokusai Electric Inc filed Critical Hitachi Kokusai Electric Inc
Priority to JP16633982U priority Critical patent/JPS5970343U/ja
Publication of JPS5970343U publication Critical patent/JPS5970343U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
装置　　　第１図は本考案を実施したソフトランディン
グ；管　　装置の構成例図、第２図は反応管の断面図ｒ
Ａｉま：付　　±−ト搬送中、Ｂはボート着座時を表わ
す。 ン　　　１・・・・・・過重度検出器、２・・・・・・
支承、３・・・・・・アーる−　ム、３Ａ・・・・・・
アームのボートのせ台、４・・・・・・ニレＬ’　　　
＜−タベース、５・・・・・・送りねじ、６，９・・・
・・・モーる　　夕、７・・・・・・挿入、引出ベース
、８・・・・・・送りねじ、　　　　−ラ　　１０・・
・・・・ベース、１１・・・・・・反応管、１２−・曲
つ↓ハ。　　−

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. ｌ　　　　ウェハ搭載のボートを定位置にある半導体装
    −基板処理用反応管の入口に微性し、または反応より引
    出して定位置に搬送す−るエレベータ機能のソフトラン
    ディング装置に、ソフトランディ゛　グ装置のボート搭
    載用アームの上下方向にかさ力が一定値を超えた場合に
    これを検出し、アー、　　　の上昇および下降を駆動す
    る系の動作を停止す過重度検出器を設けたことを特徴と
    するソフトラディング装置。
JP16633982U 1982-11-02 1982-11-02 ソフトランデイング装置 Pending JPS5970343U (ja)

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Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS54111758A (en) * 1978-02-22 1979-09-01 Hitachi Ltd Heat treatment unit and boat pick up method from heat treatment unit
JPS57170523A (en) * 1981-04-15 1982-10-20 Kokusai Electric Co Ltd Conveying method for wafer boat

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS54111758A (en) * 1978-02-22 1979-09-01 Hitachi Ltd Heat treatment unit and boat pick up method from heat treatment unit
JPS57170523A (en) * 1981-04-15 1982-10-20 Kokusai Electric Co Ltd Conveying method for wafer boat

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