JPS6267832A - 基板搬送方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明はウェハカセットからウェハをイオン打込み装置
に装着かつその逆の回収も行うオートローダに関する。

〔発明の背景〕

従来のオートローダは、第２図に示すようにモ〜り３に
よりボールねじ４の上下動作とベルト５の動きでウェハ
カセット１からウェハ２を順次取り出し、その後モータ
３及びボールねじ４によってウェハ２がイオン打込み装
ｆｉｔ６に装着されるというものである。また以上の逆
のウェハをウェハカセットに回収する動作も行う。

本オートローダでは、ウェハ搬送上にカバーはしである
がボールねじ４があり、ウェハ上に異物落下の可能性が
あるという欠点があった。

また、本オートローダは非常に大型でオートローダが故
障した場合、オートローダが障害となり、作業者の手動
での作業も困難となる。

なお、イオン打込み装置及びウェハのオートローダは電
子材料別冊１９８４年版「超ＬＳＩ製造・試験装置」昭
和５８年１１月１５日工業調査会発行頁８１〜８６に紹
介されている。

〔発明の目的〕

本発明の一つの目的は、ウェハ上への異物付着を低減す
る事である。

本発明の他の目的はオートローダをコンパクト化し、オ
ートローダが故障しても１作業者の手動での作業の障害
とならずにイオン打込み装置を稼動する事ができるよう
にすることにある。

〔発明の概要〕

本発明の一実施例によればウェハ２を最上位置とするウ
ェハを搬送する駆動系が提供されウェハ上への異物落下
が低減された。

（発明の実施例〕 第１図に本発明によるオートローダ７の側面図を示す。

まず、オートローダ７にウェハ２の入ったウェハカセッ
ト１を載せる。その後、ウェハカセット１から順次ウェ
ハ２がウェハリフター９のところに運ばれ、上昇し、こ
の位置で、ウェハ搬送部８にウェハ２の受は渡しが行わ
れる。

この後、ウェハ搬送部８によってウェハ２がイオン打込
み装置６に装着される。

ウェハ２の回収は上記と逆の動作を行う。

〔発明の効果〕

１、ウェハ上部に駆動部がないため、ウェハ表面上への
異物落下の低減がはかれ１歩留が向上する。

２、コンパクト化が図られ、オートローダが故障した場
合にも作業者が、イオン打込み装置を停止する事なく、
作業ができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明によるイオン打込み装置用オートローダ
、第２図は従来のイオン打込み装置用オートローダを示
す側面図である。 １・・・ウェハカセット、２・・・ウェハ、３・・・モ
ータ、４・・・ボールねじ、５・・・ベルト、６・・・
イオン打込み装置、７・・・オートローダ、８・・・ウ
ェハ搬送部、９・・・ウェハリフター。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. ウェハカセット上下降機能とウェハを最上位置にするウ
   ェハ搬送部とを組合せたことを特徴とするイオン打込み
   装置用オートローダ。