JPS5970344U - 半導体ウエハの搬送用キヤリア - Google Patents
半導体ウエハの搬送用キヤリアInfo
- Publication number
- JPS5970344U JPS5970344U JP16672382U JP16672382U JPS5970344U JP S5970344 U JPS5970344 U JP S5970344U JP 16672382 U JP16672382 U JP 16672382U JP 16672382 U JP16672382 U JP 16672382U JP S5970344 U JPS5970344 U JP S5970344U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor wafers
- carrier
- main body
- transporting semiconductor
- transporting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
図面は本考案の半導体ウェハの搬送用キャリアの一実施
例を示す斜視図である。 １・・・本体、２・・・半導体ウェハ、３・・・側壁、
４・・・嵌挿用溝、５・・・オーバーハング、６・・・
切欠、１１・・・位置表示用マーク。
例を示す斜視図である。 １・・・本体、２・・・半導体ウェハ、３・・・側壁、
４・・・嵌挿用溝、５・・・オーバーハング、６・・・
切欠、１１・・・位置表示用マーク。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 本体１の両側壁３内面に、数条の半導体ウェハ嵌挿
用溝４を形成した半導体ウェハの搬送用キャリアにおい
て、両側壁３の上部にオーバーハング５を振り出し、こ
のオーバーハング５に適宜の数の切欠き６を設けるとと
もに、上記本体１の外面にパターン認識用の位置表示用
マーク１１を取付けたことを特徴とする半導体ウェハの
搬送用キャリア。 ２ 本体１が、プラスチックにより一体的に成形されて
なる実用新案登録請求の範囲第１項記載の半導体ウェハ
搬送用キャリア。 ３ パターン認識用の位置表示用マーク１１が、本体１
の成形時に、本体１と異る色のプラスチックにより一体
的に形成されてなる実用新案登録請求の範囲第２項記載
の半導体ウェハの吸着保持装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16672382U JPS5970344U (ja) | 1982-11-02 | 1982-11-02 | 半導体ウエハの搬送用キヤリア |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16672382U JPS5970344U (ja) | 1982-11-02 | 1982-11-02 | 半導体ウエハの搬送用キヤリア |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5970344U true JPS5970344U (ja) | 1984-05-12 |
Family
ID=30364936
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16672382U Pending JPS5970344U (ja) | 1982-11-02 | 1982-11-02 | 半導体ウエハの搬送用キヤリア |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5970344U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63229810A (ja) * | 1987-03-19 | 1988-09-26 | Tokyo Electron Ltd | ウエハカセツト |
| JPS63234540A (ja) * | 1987-03-24 | 1988-09-29 | Tokyo Electron Ltd | 半導体素子収納装置 |
-
1982
- 1982-11-02 JP JP16672382U patent/JPS5970344U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63229810A (ja) * | 1987-03-19 | 1988-09-26 | Tokyo Electron Ltd | ウエハカセツト |
| JPS63234540A (ja) * | 1987-03-24 | 1988-09-29 | Tokyo Electron Ltd | 半導体素子収納装置 |
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