JPS5976165A - リニアパルスモ−タ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、固定部と可動部とを備えてなるリニアパルス
モータに関わり、更に詳細には永久磁石による磁束が固
定部を介してなす磁気ループと、励磁電流による。磁束
が固定部を介してなす磁気ループとが互に直交すること
を特徴とするリニアパルスモータに関するもので、さら
に前記固定部に対して可動部をリニアキージョンベアリ
ングを介して移動自在に支承するリニアパルスモー′夕
に関するものである。

従来リニアパルスモータは正確な位置決めが可能であり
、エアーギャップを介して移動するために摩擦抵抗がな
く停止位置を自己保持りる機能を持っているなど多くの
利点を備えているが、磁気干渉のあるものや構造が複雑
となる欠点もあった。

また特にリニアパルスモータとしては可動部と固定部と
の歯の間隙を可能な限り小さく一定に保つ機構が複雑と
なる問題があったのである。

本発明は上記の問題を解消づ゛べくなされたもので以下
に図面にもとづいて、好適実施例を詳細に説明する。

第１図、第２図は本発明の１実施例であって、総括的に
示ずリニアパルスモータ１は、直線状に一延伸した固定
部３と移動自在な可動部５とに別れ、可動部５は固定部
３の下面中央に設けた・レール゛部材７と循環移動する
ベアリングボールを内蔵するスライダー９の係合からな
るリニアモーションベアリング１１を介して前後方向に
移動自在である。

固定部３は−Ｌ面に左右２列の固定子歯列１３Ｌ。

１３Ｒを備えており、可動部５は固定部３を環状にとり
まく枠体１５によって上記した固定子歯列１３Ｌ、１３
Ｒと対応する上方に前接左右４本の極歯ＩＡ、２Ｂ、３
Ａ、４Ｂを備えている。

上記した・４本の極歯は第３図に示したように、極歯１
Ａと３Ａとが上方で連結された一体構造の電磁石の磁芯
となっていて、上面、が永久磁石１７の例えばＮ極と接
しており、同様に極歯２Ｂと４Ｂとは永久磁石１９のＳ
極と接している。永久磁石１７と１９との上面には導磁
性の高い珪素鋼板などからなるヨーク２１で連接して組
み立てであるから、第３図の左右方向から極歯を見ると
、極歯１Ａと３Ａとが永久磁石１７．１９による同極性
を示ず（Ｎ極）馬蹄形磁石の１極をなし、極歯２Ｂと４
Ｂとは同極性（Ｓ極）を示す他の１極をなしている。従
って４つの極歯と固定子歯１３Ｌ。

１３Ｒとの間には、第３図に破線２３で示したような永
久磁石による閉磁路（ループ）が常時形、成されている
。

また第４図、第５図に示しＩＣように４本の極歯を前後
方向から見た場合の極歯１Ａと３Ａの一対と極歯２Ｂと
４Ｂの一対とは個々に馬蹄形の電磁石を形成していて、
それぞれが励磁コイル２５を備えている。

上記励磁コイル２５は多対の両脚に異性極を発生するよ
うに直列に巻かれていて、第４図の（１）のように直流
を流せば、１Ａ極歯は永久磁石による゛磁力と励磁電流
に−よる磁力との金側磁力となり、３Ａ極歯は両磁力の
相殺によって磁力が零に近いものになる。

同様に第４図の（２）では３Ａ極歯に合計磁力を発生し
１Ａ極歯は殆ど零磁力となり、第５図の〈１）では４Ｂ
極歯が合計磁力を発生し２Ｂ極歯はほどんど零磁力とな
り、第５図の（２）では２Ｂ極歯に合旧磁力が発生する
のに対して、４Ｂ極歯では零磁力に近いものになる。

即ち４つの極歯１Ａ、２Ｂ、３Ａ、４Ｂは励磁電流を流
すか流さないか、また流す方向の如何によって、個々に
殆ど磁力を持たない状態と、永久磁石だけによる磁力を
持つ状態と、合計磁力を持つ状態との３つの状態に制御
することができるのである。

第３図に示したように左右の固定子歯列１３Ｌ。

１３Ｒは微小位置決めを得るために複数の小歯２７に分
割されており、対応する極歯ＩＡ、２１３゜３Ａ、４Ｂ
も同じピッチの同寸同形の小歯２９に分割さ、れていて
、一定のエアーギャップを保持して対向している。

第３図の例ではヌ４向して突出している極歯の小歯２９
は５本あるが固定子歯列の小歯２７とは位四関係が５本
の何れも同じであるから、以下の説明では例えば中央の
１小歯２９だけについて述べる。

第６図は左固定子歯列１３ｍと右固定子歯列１３Ｒの小
歯２７が半ピツチずれていて、（白い部分が究極、ハツ
チングを施した部分が溝部）同時に前後の極歯の小歯２
９が（ｎ＋１／４．）ビッヂずれて設けられていること
を示している（図はｎ＝１−で書、ル）である）。

従って第７図に示したＣのように極歯１Ａの小歯２９が
左固定子歯列１３　Ｌの小歯２７と対応す。

る位置を占めている時は、極歯２Ｂの小歯２９は１／４
ピツチおくれだ位置にある。

極歯３Ａの小歯２９は極歯１Ａの小歯２９に対して右側
固定子歯列１３Ｒとは半ピツチづれた小歯２７の溝の位
置を占め、極歯４Ｂの小歯２９は極歯３Ａの一小歯２９
に対して（ｉ＋１／不）ピッチおくれだ位置を占めてい
るから、右側固定子歯列１３Ｒの溝の中央から突極の中
央の位置を占めている。

第７図のＣの状態に停止している状態は１Ａ極励磁電流
を流してあって極歯１Ａの小歯２９は全下端面の永久磁
石と電磁石６治計の磁力で固定側の小歯゛２７と引き合
っていおり、極歯２Ｂ、４．８の小歯、２９は下端面面
積の半分で、永、電磁石の磁力だけで固定側の小歯２７
と引きあっており、３Ａの小歯はその下端面の前後端で
相殺磁力によって隣接する固定側の小歯２７と引き合っ
ている。

ごの場合Ｃの土石に示した極歯１Ａ励磁時の磁力が働い
ていて極歯１Ａの磁力吸引が最大であってＣの状態を維
持する作用が働いて平衡を保っている。

各極歯の左側に上下方向の矢印で示したのは、永久磁石
による磁束の方向を示したものである。

令弟５図の（２）のように励磁電流を流すとすると、第
７図のＣとＤの間に白貫き矢印で示したような磁力が追
加される。

即ち極歯２Ｂは合計磁力となり極歯４Ｂは相殺された零
磁力に近い磁着力になる。

かくて永久磁石だけの磁着力の極歯１Ａに打ちかつて可
動部５が左方向に１／４ピツチ移動しＤの状態になる（
図では可動部５側を移動させずに、固定部３側が位置を
変えたように図示しである）。

Ｄの状態からＥの状態にまで１／４ピツチ゛歩進させる
のには極歯３Ａを励磁する。以下１／４ピッチ歩進ごと
に極歯４Ｂ、１Ａを順次励磁すると初めのＣの状態まで
”１ピツチの可動部移動が完了する。

以上説明したのは１相励磁制御と呼ばれ、小歯２７．２
９の１／４ピツチづつの歩進が得られる。

第８図に示したのは極歯の小歯２９と固定子歯列の小歯
２７の関係位置゛は第７図と全く同じで、第７図のＣと
第８図のＧとは全く同じ状態を示し、同様に第７図のＤ
と第８図の１５第７図の［と第８図のに、第７図のＦと
第８図のＭとは全く同じ状態である。

令弟８図のＧと１の励磁状態の中間に極歯１Δと２Ｂと
に同時に合計磁力を発生させるど、図に示したように極
歯３Ａと極歯４Ｂとは相殺磁力どなるから極歯１Ａと２
Ｂだけの磁気吸引力が作用する。

この場合、極歯１Ａは左側固定子歯列１３Ｌの小歯２７
とエアーギャップを介して全究極面積が対向しているか
ら可動部５の移動方向に対する磁力は全くないのに対し
、極歯２Ｂは小歯２９の半分の面積が左側一定子歯列１
３Ｌと対向していて可動部５を移動方向に移動する方向
の磁気吸引作用を課有している。従って可動部５は第８
図゛で左方向に移動し、極歯１Ａは右側固定子歯列１３
Ｒの小歯２７とずれを生じて右方向に反力を発生するに
至る。

かくて第８図のＨに示した、ように極歯１Ａの小１１１
４１２９と極歯２Ｂの小歯２９とが固定子歯列の小歯２
７との間に３／４の対向面積を占め′る位置まで移動し
て停止して始めて両極歯の移動方向の吸引磁力が平衡す
ることになる。

第８図の１＋の状態がこの平衡状態で、Ｇの状態から小
歯ピッチで一表現すると１／８ピツチの移動と位置決め
が行なわれたのである。

Ｊ、Ｌ、　Ｎの状態もＨの状態と全く同じ理由であるか
ら説明を省略するが、１相励磁の間に２相励磁を挿入す
ることでＭ７図の１相励磁の半分の歩道距離で可動部５
を移動位置決めが可能で、１゜２相励磁制御力式と呼ば
れる制御法である。

以上詳記した本発明の実施例装置としてのリニアパルス
モータは、比較的簡単な構造で永久磁力による磁力と励
磁磁力との合尉と相殺を制御し、小歯ピッチの１／４と
１／８の可動部移動位置決めが可能であり、また可動部
が正確なエアーギルツブを維持しながら極めて低い転が
り摩擦抵抗で移動するから２相励磁の場合の磁力平衡位
置での位置決めを精確にした効果を得たのである。

なお、本発明は前述の実施例のみに限定されるものでは
なく、適、宜の設計的変更を行なうことにより、その他
の態様により実施し１ワるものである。

例えば前記実施例にお【プる固定部と可動部とを逆にす
ることも可能である。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明装置の実施例正面図、 第２図は同側面図、 第３図は°極歯と閉磁路を示ず説明図、第４図＜１＞　
、（２）は磁力の合計と相殺を示す説明図、第５図（＋
）　、（２）は第４図と同じ他の２極歯に関する説明図
、 第６図は極歯の小歯と固定子小歯とのピッチずれを示す
説明図、 第７図は１相励磁方式制御の説明図、 第８図は１，２相励磁方式制御の説明図である。 図面の主要な部分を表わす符号の説明 １・・・リニアパルスモータ ３・・・Ｐ走部　　　　　　５・・・可動部１１・・・
リニアモーションベアリング１７・・・永久磁石　　　
　１９・・・永久磁石２５・・・励磁コイル　　　　１
Ａ・・・極歯２Ｂ・・・極歯　　　　　　３Ａ・・・極
歯／ＩＢ・・・極歯 特許出願人　　株式会社　ア　マ　ダ 第１図 Ｉ 九　　　　　　石 第２図　　　　　、 右　　　　　　−喰 （１）　　　　　　　第４図 第５図 （１） 手続ネ山正書（方式） 昭和５８年３月７７日 特許庁長官　　若　杉　　和　夫　　殿１、事（’ｌの
表示　　　昭和５７年特願昭第１８４７１０号２、発明
の名称　　　リニアパルスモータ代表者　　天　１）　
勇 ニュー虎ノ門ビル８階 電話　東京（５０４）　３０７５・３０７６・３０７７
番６、補正の対象 （１）願　書 （２〉明細書 ７、補正の内容 （１）　　願書の浄書 （２）明細書の浄書 ８、添付書類の目録 （１）願　　書　　　　　　　　　　　　　　　１通（
２）明細書　　　　　　　　　　　　　　　１通手続ン
市正書く自発） 昭和５９年１月２０日 精工′［庁長官　若杉　和犬　殿 １、＄１′１の表示　　特願昭第５７−１８４７１０号
２、発明の名称 リニアパルスモータ ３、補正をづる者 ！Ｊｉイ′１どの関係　特誇出願人 付所（ｈｌ；所）　神奈川県伊勢原市石田２００番地氏
名（名称）　株式会社　ア　マ　ダ 代表者　天１）満明 ４、代理人 住　所　　　　〒１０５東京都港区虎ノ門１丁目２番３
号・虎ノ門第二ビル５階 く発送日　　　昭和　　年　　月　　日）６、補正の対
象 （１）　　明細書の特許請求の範囲の欄、（２）　　明
細書の発明の詳細な説明の欄、（３）　　明細書の図面
の簡単な説明の欄、（４）　　　図　　面 ７、補正の内容 （１）　　別紙のとおり、明１１１１ｍを全文油止りる
。 （補正の対象に記載した事項以外は内容に変更なし） （２）　　図面において、第３図を別紙のとＪ３り補；
Ｆりる。 ８、添付書類の目録 （１）　　　明　　細　　書　　　　　　　　　　　　
　　　　　　　　　１　通（２）　　補正図面（第３図
）　　　　　　　　１通以　　」 明　　　　細　　　　書 １、発明の名称 リニアパルスモータ ２、特許請求の範囲 （１）多数の小歯（２７〉を等ピッチに設けた複数の歯
列（１３Ｌ、１３Ｒ）を並行に備えてなる歯列保持体（
３）を設け、上記歯列保持体（３）に対して相対的に移
動自在な極歯支持体（５）に、複数の永久磁石（１７，
１９＞に接続した複数の極歯（１Ａ、２８．３Ａ、４Ｂ
）を一体向に設けると共に、各極歯（ＩＡ、２Ｂ、３Ａ
、４Ｂ）を前記各歯列（１３Ｌ：’１３″Ｒ）に対向し
て設け、前記永久磁石（１７，１９）による磁束と直交
する磁束を形成するための励磁コイルを前記各極歯（Ｉ
Ａ、２Ｂ、３’Ａ、４Ｂ＞に備なえてなることを特徴と
するリニアパルスモータ。 （２）多数の小歯（２７）を等ピッチに設けた複数の歯
列（１３Ｌ、１３Ｒ）を並行に備えてなる歯列保持体（
３）を設け、−し記歯列保持体（３）に対して相対的に
移動自在な極歯支持体（５）に、複数の永久磁石（１’
７．１９）に接続した複数の極歯（ＩＡ、２Ｂ、３Ａ、
４Ｂ＞を一体向に設（プると共に各極歯（・ＩＡ、２Ｂ
、３Ａ、４Ｂ＞を前記各歯列（１３Ｌ、１３Ｒ）に対向
して設け、前記永久磁石（１７，１９）による磁束と直
交づ−る磁束を形成すための励磁コイルを前記各４！歯
（１Ａ、２Ｂ、３Ａ、４Ｂ＞に備えてなり、前記歯列保
持体（３）と極歯支持体（５）との摺動部に、リニアモ
ーションベアリングを介在してなることを特徴とするリ
ニアパルスモータ。 ３、発明の詳細な説明 本発明は固定部と可動部とを備えてなるリニアパルスモ
ータに係わり、更に詳細には、永久磁石による磁束がな
す磁気ループと、励磁コイルへの励磁電流による磁束が
なす磁気ルー、プとが互に直交するリニアパルスモータ
に関するものである。 従来、リニアパルスモータは正確な位置決めが可能であ
り、また永久磁石を用いる形式のＰＭ形のパルスモータ
においては、停止位置を自己保持する機能を持っている
などの利点を罐λているが、従来においては、永久磁石
による磁束と励磁電流による磁束とが磁気干渉する虞れ
があるものや構造が複雑になる欠点もあった。また特に
リニアパルスモータとしては可動部と固定部との歯の間
隙を可能な限り小さく一定に保つ機構が複雑となる問題
があった。 本発明は上記のごとき従来の問題に鑑みてなされたもの
で、゛以下図面にもとづいて、その実施例を詳細に説明
する。 第１図、第２図はリニアパルスモータの１実施例であっ
て、総括的に示すリニアパルスモータ１は、直線状に延
伸した固定部３と移動自在な可動部５とより成るもので
あり、可動部５は固定部３の適宜位置、本実施例におい
ては下面中央に設けたレール部材７と循環移動する多数
のベアリン、グボールを内蔵するスライダー９の係合が
うなるリニアモーションベアリング１１を介して前後方
向に移動自在に構成しである。 固定部３は、並行に設けた歯列を°保持する歯列′保持
体をなすものであって、その上面に、左右２列の固定子
歯列１３Ｌ、１３Ｒを備えている。可動部５は、後述す
る複数の永久磁石に接続した複数の極歯を支持する極歯
支持体をなすものであって一１本実施例においては、固
定部３を環状にとりまく枠体１５によって形成してあり
、前記固定子歯列１３１．１３Ｒと対応する前後左右の
４本の極歯ＩＡ、２８．３Ａ、４Ｂを備えている。 複数の極歯１Ａ、２Ｂ、３Ａ、４Ｂは、第３図に示した
ように、前側の極１ｉＦ１１Ａと３Ａとが上方で連結さ
れた一体構造の電磁石の磁芯となっていて、上面が永久
磁石１７の例えばＮ極と接しており、同様に後側の極歯
２Ｂと４Ｂとは永久磁石１９のＳ極と接している。永久
磁石１７と１９との上面は透磁性の高い珪素鋼板などか
らなるヨーク２１で連接して組み立ｔであるから、第３
図において、固定歯列１３Ｌ、１３Ｒの長手方向に対し
直交する水平方向から極歯部分を見ると、全体的には逆
Ｕ字状の馬蹄形をなし、前側の極歯１Ａと３Ａとが永久
磁石１７．１９による同極性を示ず馬蹄形磁石の１極（
Ｎ極）をなし、後側の極歯２Ｂど４Ｂとは同極性を示す
他の１極（Ｓ極）をなしている。従って複数の極歯ＩＡ
、２８．３Ａ。 ４Ｂと固定子歯列１３１．１３Ｒとの間には、第３図に
破線２３で示したような永久磁石にょる閉磁路（ループ
）が常時形成されている。 また第４図、第５図に示したように、複数の極歯ＩＡ、
２Ｂ、３Ａ、４Ｂを前後方向（固定子列１３Ｌ、１３Ｒ
の長手方向）から見た場合の極歯１Ａと３Ａの一対と極
歯２Ｂと４Ｂの一対とは個々に馬蹄形の電磁石を形成し
ていて、第３図に破線２４で示ツような磁路を形成する
ように、それぞれが励磁コイル２５を備えている。上記
励磁コイル２５は８対の両極歯ＩＡ、３Ａ；２Ｂ、４Ｂ
に異性極を発生するように直列に巻かれてぃて、第４図
の（１）に示すように励磁コイル２５に、直流を流せば
、極歯１Ａにおいては前記永久磁石１７゜１９による磁
力と励磁電流による磁力とによって磁力が増強され、極
歯３Ａにおいては両磁力の相殺によって磁力が零に近い
ものになる。 同様に第４図の（２）では、極歯３Ａにおいては磁力が
増強され、極歯１Ａにおいてはほとんど零に近いものと
なる。第５図の（１〉では、極歯４Ｂにおいては磁力が
増強され、極歯２Ｂにおいてはほとんど零に近いものと
なり、第５図のく２）では、極歯２Ｂにおいては磁力が
増強され、極歯４Ｂにおいては零に近いものになる。 即ち複数の極歯１Ａ、２８．３Ａ、４Ｂは励磁コイル２
５に励磁電流を流すか流さないか、また流す方向の如何
によって、個々に殆ど磁力が相殺されて、零に近い状態
と、永久磁石による磁力のみの状態と、磁力が増強され
た状態に制御することができるのである。 第３図に示したように、可動部５の位置決め精度を向上
するために、左右の固定子歯列１３「。 １３Ｒには多数の小歯２７が微小等ピッチに設けてあり
、左右の固定子゛歯列１３１　１３Ｒの小歯２７は判ピ
ッチだけ位相をずらしである。固定子歯列１３Ｌ、１３
Ｒと対応する各極歯ＩＡ、２Ｂ。 ３’Ａ、４Ｂにも同じピッチで複数の小歯２９が形成し
てあり、一定のエアーポヤップを保持して対向しである
。 第３図の例では対向して突出している各極歯の小歯２９
は５本あるが、固定子歯列１３Ｌ、１３Ｒの小歯２７と
は位置関係が５本の何れも同じであるから、以下の説明
では適宜の１つの小歯２９だけについて述べる。 第６図は、説明を分り易くするために、固定歯列１３Ｌ
、１３Ｒの側方に極歯ＩＡ、２Ｂ、３Ａ。 ４Ｂを配置した平面説明図で、左固定子歯列１３しと右
固定子歯列１３Ｒの小歯２７が半ピツチずれていて、（
白い部分が突極、ハツチングを施した部分が溝部）同時
に前後の各極歯１Δ、２Ｂ。 ３Ａ、４Ｂの小歯２９が（ｎ＋　（１／４））ピッチず
れて設けられていることを示しているく図はｎ＝１で書
いである）。 従って、小歯２７と各極歯ＩＡ、２Ｂ、３Ａ。 ４Ｂの関係を側方から見た態様で第７図に示したＣのよ
うに、極歯１Ａの小歯２９が左固定子歯列１３Ｌの小歯
２７と対応する位置を占めているときは、極歯２Ｂの小
歯２９は１／４ピツチおくれた位置にある。 極歯３Ａの小歯２９は、右側固定子歯列’１３Ｒの小歯
２７とは半ピツチづれて小歯２７の溝に対応する位置を
占め、極歯４Ｂの小歯２９は極歯３Ａの小歯２９に対し
Ｔ　（ｎ＋　（１／４））ピッチおくれだ位置を占めて
いるから、右側固定子歯列１３Ｒの溝の中央部から突極
の中央部までの位置に対応している。 以後の説明の理解を容易にザるために、第７図において
各極歯１Ａ、２Ｂ、３Ａ、４Ｂの左側に上下方向の矢印
で示したのは、永久磁石による磁束の方向を示したもの
である。 第７図のＣの状態に停止している状態は、極歯１Ａにお
いて永久磁石による磁力と励磁コイルによる磁力とが増
強されるように、励磁コイル２５に励磁電流を流してあ
って、極歯１Ａの小＠２９は全下端面の範囲で固定側の
小歯２７と強力に引き合っており、極歯２Ｂ、４Ｂの小
歯２９は下端面面積の半分で、永久磁石の磁力だけで固
定側の小歯２７と引きあっており、極歯３Δの小歯はそ
の下端面の前後端で相殺された磁力によって隣接する固
定側の小歯２．７と引き合っている。この場合、極歯１
Ａの励磁時の磁力が大きく働いていて、極歯１Ａの磁力
吸引が最大であって、Ｃの状態を維持する作用が働いて
平衡を保っている。 今、励磁電流の流れを切換えて第５図の（２）のように
励磁コイル２５に励磁電流を流すと、励磁コイル２５に
よる磁束は、第７図のＣとＤの間に白貫き矢印で示した
方向の磁束に変化する。即ち極歯２Ｂにおいては磁力が
増強されることとなり、極歯４Ｂにおいては磁力が相殺
されて零に近い状態になる。 かくて永久磁石による磁力だけの極歯１Ａに打ちかつて
可動部５が左方向に１／４ピツチ移動して、第７図りに
示す状態になる（図では可動部５側を移動させずに、固
定部３側が位置を変えたように図示しである）、、第７
図りの状態から第７図Ｅの状態にまで１／４ピツチ歩進
させるのには、極歯３Ａにおいて磁力が増強されるよう
に励磁コイル２５に励磁電流を通電する。以下１／４ピ
ッチ歩進ごとに極歯４Ｂ、１Ａにおいて磁力が増′強さ
れるように順次励磁すると、初めの第７図Ｃの状態まで
、可動部の１ピツチの移動が完了づ−る。 以上説明したの（よ１相励磁制御と呼ばれ、小歯２７．
２９の１／４ピツチづつの歩進が得られる。 第８図に示したのは極歯の小歯２９と固定子歯列の小歯
２７の関係位置は第７図と全く同じで、第７図のＣと第
８図のＧとは全く同じ状態を示し、同様にＭ７図のＤと
第８図のＩ、第７図のＥと第８図のに、第７図のＦと第
８図のＭとは全く同じ状態である。 令弟８図のＧとＩの励磁状態の中間に極歯１Ａと２Ｂと
において磁力が増強されるように各励磁コイル２５を励
磁すると、図に示したように極歯３Ａと極歯４Ｂとにお
いては磁力が相殺されるから、極歯１Ａと２Ｂだけの磁
気吸引力が作用する。 この場合、極歯１Ａは左側固定子歯列１．３１の小歯２
７とエアーギャップを介して全突極面積が対向している
から可動部５の移動方向に対する磁力は全くないのに対
し、極歯２Ｂは小歯２９の半分の面積が左側固定子歯列
１３Ｌと対向していて、可動部５を移動方向に移動する
方向の磁気吸引作用を保有している。従って可動部５は
第８図で左方向に移動し、極歯１Ａは右側固定子歯列１
３Ｒの小歯２７とずれを生じて右方向に反力音発生する
に至る。 かくて第８図の１」に示したように極歯１Ａの小歯２９
と極歯２Ｂの小歯２９とが固定子歯列の小歯２７との間
に３／４の対向面積を占める位置まで移動し停止して、
始めて両極歯の移動方向の吸引磁力が平衡することにな
る。 第一８図のＨの状態がこの平衡状態で、Ｇの状態から小
歯ピッチで表現すると１／８ピツチの移動と位置決めが
行なわれるのである。 Ｊ、Ｌ、Ｎの状態もＨの状態と全く同じ理由であるから
説明を省略する゛が、１相励磁の間に２相励磁を挿入す
ることで第７図の１相励磁の半分の歩進距離で可動部５
の移動位置決めが可能で、１゜２相励磁制御方式と呼ば
れる制御法である。 以上のごとき実施例の説明よりる理解されるように、要
するに本発明の要旨は、多数の小歯を等ピッチに設けた
複数の歯列を並行に備えてなる歯列保持体を設け、上記
歯列保持体３に対して相対的に移動自在な極歯支持体５
に、複数の永久磁すに接続した複数の極歯を一体的に設
けると共に、各極歯を前記各歯列に対向して設け、前記
永久磁石による磁束と直交する磁束を形成覆るための励
磁コイルを前記各極歯ＩＡ、２Ｂ、３Ａ、４１３にそな
えてなるものであるから、−永久磁石による磁束と励磁
コイルによる磁束とが゛リニアモータの進行方向に対し
て平行な従来型に比較して磁気干渉を受は難く、効率が
より向上するものである。また、本発明′によれば、歯
列保持体と極歯支持体との摺動部にリニアモーションベ
アリングを介在してなるものであるから、相互間の摩擦
が少ないと共に、歯列保持体の歯列における多数の小歯
と極歯支持体の極歯との間隔を精度のよい微小間隙に保
持できるものである。 なお、本発明は前述の実施例のみに限定されるものでは
なく、適宜の設計的変更４行なうことにより、その伯の
態様により実施し得るものである。 例えば前記実施例における固定部と可動部とを逆にづる
ことも可能である。 ４、図面の簡単な説明 第１図はリニアパルスモータの実施例を示り−１面図、 第２図は同側面図、 第３図は極歯と閉磁路を示す説明図、 第４図（＋＞　、（２）は磁力の増強と相殺を示す説明
図、第５図（＋）　、（２）は第４図と同じ他の２極歯
に関する説明図、 第６図は極歯の小歯と固定子小歯とのピッチずれを示】
説明図、 第７図は１相励磁方式制御の説明図、 第８図は１１．２相励磁方式制御の説明図である。 図面の主要な部分を表わす符号の説明 １・・・リニアパルスモータ ３・・・固定部　　　　　　５・・・可動部１１・・・
リニアモーションベアリング１７・・・永久磁石　　　
　１９・・・永久磁石２５・・・励磁コイル　　　　−
１Ａ・・・極歯２Ｂ・・・極歯　　　　　　３Ａ・・・
極歯４Ｂ・・・極歯

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）　　多数の小歯を備えた複数列を平行に設け、こ
   の列に対して相対的に移動自在の複数の極歯を各列の長
   手方向に離隔して設けると共に各列に回って設り、前記
   各極歯により形成される磁路が、永久磁石による磁束と
   励磁電流による磁束とが直交づる閉磁路を形成すること
   を特徴とするリニアパルスモータ。 り２）　　固定部と可動部とを備えてなるリニアパルス
   モータ□□□ モータにして、前記固定部に対して可動部をリニアモー
   ションベアリングを介して移動自在に支承してなること
   を特徴とするリニアパルスモータ。