JPS5976877A - エツチング液の回収方法 - Google Patents
エツチング液の回収方法Info
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23F—NON-MECHANICAL REMOVAL OF METALLIC MATERIAL FROM SURFACE; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL; MULTI-STEP PROCESSES FOR SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INVOLVING AT LEAST ONE PROCESS PROVIDED FOR IN CLASS C23 AND AT LEAST ONE PROCESS COVERED BY SUBCLASS C21D OR C22F OR CLASS C25
- C23F1/00—Etching metallic material by chemical means
- C23F1/46—Regeneration of etching compositions
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
含む（ Ｃｏ，Ｎｉ，Ｏｕ，Ｍｎ，Ｚｎ，？ｂ．Ｂｎ等
の重金属イオンが７種以上含有していてもよい）水溶液
から、ＦｅＯＪ．、含有エツチング液を回収する方法に
関する。
の重金属イオンが７種以上含有していてもよい）水溶液
から、ＦｅＯＪ．、含有エツチング液を回収する方法に
関する。
従来から例えば電子回路のエツチング液としてＦ ｅ”
”濃度コＩＩＩ−．２ｔＯｇ／ｌｌ， ｏＪ 濃度Ｊ
ｋＯ〜ｑ ｏ ｏ ｌ ／ ｌのＩＦ ｅ Ｏ Ｊ，が
利用さレテイルカ、ソノ廃液はＦｅ’＋濃度がｌσ０〜
／．２θｌ／ｌ程度に増加したシ、ｏｕ！＋ａ度： ／
０ 〜ｊ ０ ９／ｌ 又１ｄ ｌｊ！”濃度：ｌθ
〜コ．ｔ ｌ！／ｌ に増加して排出されているが、現
在それを中和処理しているのが実状である。しかし中和
に要するアルカリ土類金属むことや、含有するＮｉ、Ｃ
ｏ、Ｚｎ ｆｌの有価金属を回収できない等の欠点があ
る。
”濃度コＩＩＩ−．２ｔＯｇ／ｌｌ， ｏＪ 濃度Ｊ
ｋＯ〜ｑ ｏ ｏ ｌ ／ ｌのＩＦ ｅ Ｏ Ｊ，が
利用さレテイルカ、ソノ廃液はＦｅ’＋濃度がｌσ０〜
／．２θｌ／ｌ程度に増加したシ、ｏｕ！＋ａ度： ／
０ 〜ｊ ０ ９／ｌ 又１ｄ ｌｊ！”濃度：ｌθ
〜コ．ｔ ｌ！／ｌ に増加して排出されているが、現
在それを中和処理しているのが実状である。しかし中和
に要するアルカリ土類金属むことや、含有するＮｉ、Ｃ
ｏ、Ｚｎ ｆｌの有価金属を回収できない等の欠点があ
る。
本発明は従来法の欠点を克服するためになされたもので
以下の工程からなるものである。
以下の工程からなるものである。
まず、エツチングに使用されたＦｅ’＋イオン濃度が増
加したり、Ｏｕ、Ｎｉ、 イオン等の重金属イオン濃
度が増加した廃液を公知な酸化法であるａｌ、ガス酸化
や電解酸化法あるいは薬品酸化によりＦｅ イオンに
変換後に、中性燐酸エステル群及びアルキルアミンの群
よシなる群から７種又は一種以上が選択され石油系炭化
水素で希釈された有機溶媒（Ａ）を接触させて、次式に
示すように該廃液中のＦｅイオンを鉄塩化物錯体として
有機相へ抽出する第１工程。
加したり、Ｏｕ、Ｎｉ、 イオン等の重金属イオン濃
度が増加した廃液を公知な酸化法であるａｌ、ガス酸化
や電解酸化法あるいは薬品酸化によりＦｅ イオンに
変換後に、中性燐酸エステル群及びアルキルアミンの群
よシなる群から７種又は一種以上が選択され石油系炭化
水素で希釈された有機溶媒（Ａ）を接触させて、次式に
示すように該廃液中のＦｅイオンを鉄塩化物錯体として
有機相へ抽出する第１工程。
Ｆｅ０Ｊ、 ＋ ＨＯＪ ＋ ｘＴＢＰ ： ＨＦｅＯ
Ｊ、＊、ｚＴＢＰｅ＊＊ （ｉ）（Ａｑ） （Ａｑ
） （Ｏｒｇ） （Ｏｒｇ）ＦｅＯＪ、 ＋
ＨＯＪ−＋ ＦＣ，Ｎ −＋Ｒ８ＨＨ＊Ｆｅ０Ｊ、
、 ＄６４ ＋２１← （Ａｑ） （Ａｑ） （Ｏｒｇ） （Ｏ
ｒｇ）（式中、ＴＢＰはトリブチルホスフェート、Ａｑ
は水相、０・ｒｇは有機相をそれぞれ表わし、以第１工
程からの抽残液は遊Ｐ！ｆＡ１ａＪ−濃度が低下してい
るので、カルボン酸の群より１種又は、２種以上が選択
され石油系炭化水素で希釈された有機溶＃ （Ｂ）を接
触させることにより、次式に示すように抽残液中のＦｅ
イオンを抽出する第一工程。
Ｊ、＊、ｚＴＢＰｅ＊＊ （ｉ）（Ａｑ） （Ａｑ
） （Ｏｒｇ） （Ｏｒｇ）ＦｅＯＪ、 ＋
ＨＯＪ−＋ ＦＣ，Ｎ −＋Ｒ８ＨＨ＊Ｆｅ０Ｊ、
、 ＄６４ ＋２１← （Ａｑ） （Ａｑ） （Ｏｒｇ） （Ｏ
ｒｇ）（式中、ＴＢＰはトリブチルホスフェート、Ａｑ
は水相、０・ｒｇは有機相をそれぞれ表わし、以第１工
程からの抽残液は遊Ｐ！ｆＡ１ａＪ−濃度が低下してい
るので、カルボン酸の群より１種又は、２種以上が選択
され石油系炭化水素で希釈された有機溶＃ （Ｂ）を接
触させることにより、次式に示すように抽残液中のＦｅ
イオンを抽出する第一工程。
Ｆｅ３＋＋ 、７Ｒ，Ｉ（ｄ ”ｓ” ” Ｊ” ”
” （３１（Ａ ｑ） （’；）ｒω ｐｒω
（Δψ出工程の中間でＯａ”＋やＮａ＋を添加すること
がある他、次の（４）及び（５）式に示すように予め有
機溶媒（Ｂ）をＣｏ型、Ｎｉ型、Ｃｏ型等の金属型に変
換したものとして利用することで、Ｈ＋ イオン濃度増
加による抽出反応を律速する因子を防いでもよい。
” （３１（Ａ ｑ） （’；）ｒω ｐｒω
（Δψ出工程の中間でＯａ”＋やＮａ＋を添加すること
がある他、次の（４）及び（５）式に示すように予め有
機溶媒（Ｂ）をＣｏ型、Ｎｉ型、Ｃｏ型等の金属型に変
換したものとして利用することで、Ｈ＋ イオン濃度増
加による抽出反応を律速する因子を防いでもよい。
（Ａｑ） （Ｏｒｍ ＊ｒｍ （Ａｑ
）変換できる金属型とは’Ｆｅ イオ／よりも抽出分
配比の小さい金属イオン総てを含す。
）変換できる金属型とは’Ｆｅ イオ／よりも抽出分
配比の小さい金属イオン総てを含す。
次に、第１工程からの鉄塩化物錯体を抽出含有する有機
溶媒（Ａ）に水を接触させることにより、次の（６）及
び（７）式に示すように、鉄塩化物錯体を水相に剥離す
ると共に、有機溶媒（Ａ）を再生する第３工程。
溶媒（Ａ）に水を接触させることにより、次の（６）及
び（７）式に示すように、鉄塩化物錯体を水相に剥離す
ると共に、有機溶媒（Ａ）を再生する第３工程。
ＨＦｅＯＪ、 −，２ＴＢＰ ＋ Ｈ，Ｏ−＋ 、？Ｔ
ＢＰ ＋ Ｆｅ０Ｊ、＋ＨＯＪ−−（６）。
ＢＰ ＋ Ｆｅ０Ｊ、＋ＨＯＪ−−（６）。
←
（Ｏｒ ｇ） （Ａ ｑ） （ｏ ｒ
ｇ） （Ａ ｑ）Ｒ，ＮＨ−ＦｅＯＪ、＋４０
−＋ Ｒ，Ｎ＋Ｆｅ０Ｊ、＋ＨＯノーー（７）← （Ｏｒｇ） （Ａｑ） （［）ｒｍ （Ａ
ｑ）再生された有機溶媒（Ａ）は、再び鉄塩化物錯体を
抽出するために第１工程へ循環される。回収された？ｅ
ＯＪ、 ＋ＨＯＪ、水溶液は、エツチング液として利用
するにはＦｅ イオンが不足しているので、次の第グ
工程へ導きｙｏ イオンの供給を受ける。
ｇ） （Ａ ｑ）Ｒ，ＮＨ−ＦｅＯＪ、＋４０
−＋ Ｒ，Ｎ＋Ｆｅ０Ｊ、＋ＨＯノーー（７）← （Ｏｒｇ） （Ａｑ） （［）ｒｍ （Ａ
ｑ）再生された有機溶媒（Ａ）は、再び鉄塩化物錯体を
抽出するために第１工程へ循環される。回収された？ｅ
ＯＪ、 ＋ＨＯＪ、水溶液は、エツチング液として利用
するにはＦｅ イオンが不足しているので、次の第グ
工程へ導きｙｏ イオンの供給を受ける。
第一工程で得られたＦｅ イオンを抽出含有する有機
溶媒（Ｂ）に、第３工程で剥離して得られ六鉄塩化物錯
体を含む水溶液（ＦｅＯＪ、 ＋ＨＯＪ含有液）を接触
させることにより、有機溶媒（Ｂ）中のＦｅイオンを水
相に移行してＦ ｅ Ｃ！ ！、の高濃度液を得ると共
に、有機溶媒（Ｅ）を再生する第り工程。
溶媒（Ｂ）に、第３工程で剥離して得られ六鉄塩化物錯
体を含む水溶液（ＦｅＯＪ、 ＋ＨＯＪ含有液）を接触
させることにより、有機溶媒（Ｂ）中のＦｅイオンを水
相に移行してＦ ｅ Ｃ！ ！、の高濃度液を得ると共
に、有機溶媒（Ｅ）を再生する第り工程。
Ｒ，ｌＦｅ＋、？ （ＦｅＯＪ’、、 ＋ＨＯＪ） ｄ
””’２””ｓ（Ｏｒｍ （Ａｑ）
（０−ｎ （ＡＱ）再生した有様溶媒（Ｂ）は、Ｆθ
３＋イオンを抽出するために第一工程へ循環する。
””’２””ｓ（Ｏｒｍ （Ａｑ）
（０−ｎ （ＡＱ）再生した有様溶媒（Ｂ）は、Ｆθ
３＋イオンを抽出するために第一工程へ循環する。
本発明は上記第１工程ないし第弘工程の組み合せにより
、エツチング用として再使用できるｙ ｅ ａ Ｊ３含
有液を回収する、経済性ある廃水処理方法を提供するも
のである。また、本発明方法はエツチング液のみならず
本質的にＦｅ イオンとＯＪ−イオンを含有する水溶
液からＦｅＣ１，液を回収するものであれば他の用途に
も適用可能である。本発明で使用する抽出剤のうち中性
燐酸エステルは下舵の（Ａ）〜（Ｄ）に示す化合物であ
る；（式中Ｒは一般にり〜ｌｌＩ個の炭素原子を含むア
ルキル基である）。
、エツチング用として再使用できるｙ ｅ ａ Ｊ３含
有液を回収する、経済性ある廃水処理方法を提供するも
のである。また、本発明方法はエツチング液のみならず
本質的にＦｅ イオンとＯＪ−イオンを含有する水溶
液からＦｅＣ１，液を回収するものであれば他の用途に
も適用可能である。本発明で使用する抽出剤のうち中性
燐酸エステルは下舵の（Ａ）〜（Ｄ）に示す化合物であ
る；（式中Ｒは一般にり〜ｌｌＩ個の炭素原子を含むア
ルキル基である）。
ｖｔ、流側で示すＴＢＦ（）リプチルホスフェート）は
上記（Ａ）の群にハし、アルキル基は０４Ｈ９である。
上記（Ａ）の群にハし、アルキル基は０４Ｈ９である。
本発明で使用するカルボン酸は下記の（Ａ）及び（Ｂ）
の群に示す化合物である： （Ａ） （Ｂ） （式中Ｒは一般にダ〜ｉｇ個の炭素原子を含むアルキル
基である）。
の群に示す化合物である： （Ａ） （Ｂ） （式中Ｒは一般にダ〜ｉｇ個の炭素原子を含むアルキル
基である）。
実施例に示すパーザティック−ｔｏ（Ｖ−／θで表示）
はシェル化学■の商品名で上記（Ａ）の群に属し、アル
キル基の炭素数が９〜／１個のものをいう。
はシェル化学■の商品名で上記（Ａ）の群に属し、アル
キル基の炭素数が９〜／１個のものをいう。
次に本発明で使用する第１級ないし第３級アルキルアミ
ンは次の群より選択される：ＲＮＨ，で表わされる第１
級アミン Ｒは一般にダ〜、２ダ個の炭素原子を含むアルキル基で
、その代表的力ものとして次に示すものがよく用いられ
る： ＯＨ，ＯｐＨ，） 、 ＯＨ，Ｏ（ＣｊＨ，Ｊ、 Ｃ８
，Ｏ（ＯＨ，）２０ＴＴ、 Ｏ（ＯＨ５）、 ＯＨ，Ｃ
（ＯＨ，）、 ＮＨ。
ンは次の群より選択される：ＲＮＨ，で表わされる第１
級アミン Ｒは一般にダ〜、２ダ個の炭素原子を含むアルキル基で
、その代表的力ものとして次に示すものがよく用いられ
る： ＯＨ，ＯｐＨ，） 、 ＯＨ，Ｏ（ＣｊＨ，Ｊ、 Ｃ８
，Ｏ（ＯＨ，）２０ＴＴ、 Ｏ（ＯＨ５）、 ＯＨ，Ｃ
（ＯＨ，）、 ＮＨ。
Ｒ，ＩＩ（で表わされる笛、２ＩｆＪ＆アミンＲけ一般
にり〜、２４１個の炭素原子を有するアルキル基でその
代表的なものとして、次に示すものが用いられる： Ｒ２Ｈで表わされるＷＪ３Ｐ、アミン Ｒは一般にり〜、２．２個の炭素原子を有するアルキル
基で代表的な本のを示す： （ＯＨ３０Ｈ，ＯＨ，０１（、ＯＨ，Ｏ）！、Ｏ）１．
ＯＨ，）、−Ｎ本発明で使用する希釈剤は芳香族系炭化
水素、脂肪族系炭化水素が使用される。またこれらの混
合物も当然使用されケロシンの如き雑多な炭化水素の混
合品もよく使用される。
にり〜、２４１個の炭素原子を有するアルキル基でその
代表的なものとして、次に示すものが用いられる： Ｒ２Ｈで表わされるＷＪ３Ｐ、アミン Ｒは一般にり〜、２．２個の炭素原子を有するアルキル
基で代表的な本のを示す： （ＯＨ３０Ｈ，ＯＨ，０１（、ＯＨ，Ｏ）！、Ｏ）１．
ＯＨ，）、−Ｎ本発明で使用する希釈剤は芳香族系炭化
水素、脂肪族系炭化水素が使用される。またこれらの混
合物も当然使用されケロシンの如き雑多な炭化水素の混
合品もよく使用される。
有機溶媒中の抽出剤一度は一〜？θ％（容積）である。
必要に応じて改質剤として８〜３４４個の炭素原子を含
む高級アルコールを添加してもよい。抽出剤濃度は対象
とする水溶液中のＦｅイオン濃度、全塩素イオン濃度（
Ｔ・０１−濃度）、共存する重金属イオンやアニオンの
濃度、性状によって決定される。
む高級アルコールを添加してもよい。抽出剤濃度は対象
とする水溶液中のＦｅイオン濃度、全塩素イオン濃度（
Ｔ・０１−濃度）、共存する重金属イオンやアニオンの
濃度、性状によって決定される。
本発明で原料となる主としてＦｅ イオンと０１ イ
オンを含有する水溶液は、必ずしもエツチング廃酸だけ
でなく、任意の水溶液が使用でき、ＯＪ−イオンが不足
している場合別途に添加したものをも含むものである。
オンを含有する水溶液は、必ずしもエツチング廃酸だけ
でなく、任意の水溶液が使用でき、ＯＪ−イオンが不足
している場合別途に添加したものをも含むものである。
本発明で原料溶液に含有するＦｅ’＋イオンを酸化する
方法として、例えば公知の方法であるｏｆ、ガスの吹き
こみによる酸化法、鳥０．の如き薬品添加酸化法及び電
解酸化法の如き電気化学的方法を採用することができる
。いずれも対象液のＦｅ’＋イオンとＦｅ３＋ イオン
との濃度比、共存するアニオンの種類等によって酸化方
法が決定される。なお、仁の酸化工程は鉄塩化物錯体抽
出工程の前工程又は後工程のいずれで行なつ−てもよい
。
方法として、例えば公知の方法であるｏｆ、ガスの吹き
こみによる酸化法、鳥０．の如き薬品添加酸化法及び電
解酸化法の如き電気化学的方法を採用することができる
。いずれも対象液のＦｅ’＋イオンとＦｅ３＋ イオン
との濃度比、共存するアニオンの種類等によって酸化方
法が決定される。なお、仁の酸化工程は鉄塩化物錯体抽
出工程の前工程又は後工程のいずれで行なつ−てもよい
。
以下に本発明の詳細を添付図に基き具体的に説明するが
、本発明はこれに限定されるものではない。
、本発明はこれに限定されるものではない。
第１図は主としてＦｅ イオンとＣＪ−イオンを含有
する任意の水溶液からエツチングに再使用できる高濃度
Ｆ ｅ Ｏ入含有液を回収する７０−シートを示す。
する任意の水溶液からエツチングに再使用できる高濃度
Ｆ ｅ Ｏ入含有液を回収する７０−シートを示す。
第１工程ではＦｅ イオンとＣＩ−イオンを含有す、
ろ水溶液ｌをＨＦ ｅ ＯＪ、の抽出工程コヘ導き、有
機溶媒（Ａ）３と接触させることにより該水溶液中のＦ
ｅ イオンを塩化物錯体として抽出する。
ろ水溶液ｌをＨＦ ｅ ＯＪ、の抽出工程コヘ導き、有
機溶媒（Ａ）３と接触させることにより該水溶液中のＦ
ｅ イオンを塩化物錯体として抽出する。
次に第コニ程ては該水溶液中のＨ＋イオン濃度が低下し
た液に例えば０１．ガス、Ｈ，０１ＨＮＯ。
た液に例えば０１．ガス、Ｈ，０１ＨＮＯ。
の添加あるいは電気化学的な手法により酸化工程７で含
有Ｆｅ！＋イオンをＦθ３＋イオンに変換した後Ｆ ｅ
ｍ＋イオン抽出工程ｔに導き、有機溶媒（Ｂ）と接触さ
せ水溶液中のＦｅ”＋イオンを抽出する。第Ｊ工程では
、第１工程を出た鉄塩化物錯体を抽出含有する有機溶媒
（Ａ）を剥離工程ｌへ導き、水と接触させることにより
Ｆｅ０ｊ、＋ＨＯＪ 水溶液ルと有機溶媒（Ａ）を再
生する。第ダニ程ではｔｒ ｅ３＋イオンを抽出含有す
る有機溶媒（Ｂ）をＦｅｓ＋イオン剥離工程ｌθに導き
、第３工程より回収したＦｅ０Ｊ、 ＋ ＨＯＪ−溶液
６と接触させることにより、有機相よりＦｅ イオン
を水相に移行せしめて遊離酸含有量の少い高濃度Ｆ ｅ
Ｏｊ、エツチング液／／を回収する。
有Ｆｅ！＋イオンをＦθ３＋イオンに変換した後Ｆ ｅ
ｍ＋イオン抽出工程ｔに導き、有機溶媒（Ｂ）と接触さ
せ水溶液中のＦｅ”＋イオンを抽出する。第Ｊ工程では
、第１工程を出た鉄塩化物錯体を抽出含有する有機溶媒
（Ａ）を剥離工程ｌへ導き、水と接触させることにより
Ｆｅ０ｊ、＋ＨＯＪ 水溶液ルと有機溶媒（Ａ）を再
生する。第ダニ程ではｔｒ ｅ３＋イオンを抽出含有す
る有機溶媒（Ｂ）をＦｅｓ＋イオン剥離工程ｌθに導き
、第３工程より回収したＦｅ０Ｊ、 ＋ ＨＯＪ−溶液
６と接触させることにより、有機相よりＦｅ イオン
を水相に移行せしめて遊離酸含有量の少い高濃度Ｆ ｅ
Ｏｊ、エツチング液／／を回収する。
第一図は第１図と同様な処理方法であるが、鉄塩化物錯
体の抽出前の酸化工程７にてＣ４ガスや酸化剤の添加又
は電解酸化法を施すと同時に処理原料とする７日−シー
トである。主として、Ｆｅ イオンとＣＪ−イオンを
含有する水溶液ｌ中のＦｅ”＋イオンをＦｅ イオノ
に変換するものである。酸化工程り以降の処理方法は第
１図の７０−シートと同様である。
体の抽出前の酸化工程７にてＣ４ガスや酸化剤の添加又
は電解酸化法を施すと同時に処理原料とする７日−シー
トである。主として、Ｆｅ イオンとＣＪ−イオンを
含有する水溶液ｌ中のＦｅ”＋イオンをＦｅ イオノ
に変換するものである。酸化工程り以降の処理方法は第
１図の７０−シートと同様である。
第３図は第１図及び第一図と処理方法は同様であるが、
第１工程で抽出した塩化物錯体と同時に抽出される恐れ
のあるＺｎ０Ｊ、”” 、 Ｈ，ＭＯＯ，あるいはＨＮ
Ｏ，等を選択的にスクラビングするためにＦｅｅｌ、
＋ ＨＯｊ含有水溶液を用いる工程（洗浄工程／、２）
を１４２図の処理方法に加えたフロー第グ図は主として
Ｆｅ”＋イオンと０１イオンを一含有する水溶液より鉄
塩化物錯体を有機溶媒（Ａ）により抽出する抽出平衡曲
線を示す。図中、＋分はｉ！ｆ％’ＴＢ’Ｐ含有、−門
−１は３チＴＢＰ ＋ ／θ％’ｌ’０Ａ（）リオクチ
ルアミン）をそれぞれ含有する有機溶媒によるものであ
る。
第１工程で抽出した塩化物錯体と同時に抽出される恐れ
のあるＺｎ０Ｊ、”” 、 Ｈ，ＭＯＯ，あるいはＨＮ
Ｏ，等を選択的にスクラビングするためにＦｅｅｌ、
＋ ＨＯｊ含有水溶液を用いる工程（洗浄工程／、２）
を１４２図の処理方法に加えたフロー第グ図は主として
Ｆｅ”＋イオンと０１イオンを一含有する水溶液より鉄
塩化物錯体を有機溶媒（Ａ）により抽出する抽出平衡曲
線を示す。図中、＋分はｉ！ｆ％’ＴＢ’Ｐ含有、−門
−１は３チＴＢＰ ＋ ／θ％’ｌ’０Ａ（）リオクチ
ルアミン）をそれぞれ含有する有機溶媒によるものであ
る。
第左図はＪＯｑｂＶ−／Ｑをｑｏ％ｎ−パラフィンで希
釈した有機溶媒（Ｂ）を使用してＦｅ３＋イオンを抽出
した時の抽出平衡曲線を示す。図中、（←）はＨ＋型、
）−一一はＯａ 型又はＮｉ型にそれぞれ有機溶ｉ （
Ｂ）を変換した場合を示す。
釈した有機溶媒（Ｂ）を使用してＦｅ３＋イオンを抽出
した時の抽出平衡曲線を示す。図中、（←）はＨ＋型、
）−一一はＯａ 型又はＮｉ型にそれぞれ有機溶ｉ （
Ｂ）を変換した場合を示す。
以下に実施例に基き本発明を具体的に説明する。
実施例 ／
実験にはエツチングに使用され、Ｆｅ イオンやＮｉ
、 Ｏｕ 等の重金属イオン濃度の増加した次の組
成の廃酸を使用した。
、 Ｏｕ 等の重金属イオン濃度の増加した次の組
成の廃酸を使用した。
ｙθ” Ｆｅ″＋ Ｔ−０１−Ｎｉ Ｏｒ
Ｍｎｔｓｏｇ／ｌ １２ｏ１／／ｌ ｐｏｏ９／
ｌ ｘｓ、くし’７ ｓｇＡ ａｊＩＡ廃酸にＣ
Ｊ！ガスを次色こみＦｅ イオ／を酸化した後抽出実験
を行なった。
Ｍｎｔｓｏｇ／ｌ １２ｏ１／／ｌ ｐｏｏ９／
ｌ ｘｓ、くし’７ ｓｇＡ ａｊＩＡ廃酸にＣ
Ｊ！ガスを次色こみＦｅ イオ／を酸化した後抽出実験
を行なった。
有機相 水 相 有機溶媒の
Ｆｅ” Ｔ−ＯＪ−Ｆｅ” Ｔ−０／一種 類／ ｋ
％ ＴＢＰ ＋ ｇ ！ｒ ｑ６ ｎ−パラフィンの
有機溶媒（Ａ）に抽出された鉄塩化物錯体の水による剥
離実験の剥離平衡曲線を第６図に示す。
％ ＴＢＰ ＋ ｇ ！ｒ ｑ６ ｎ−パラフィンの
有機溶媒（Ａ）に抽出された鉄塩化物錯体の水による剥
離実験の剥離平衡曲線を第６図に示す。
実施例 コ
実験にはＦ’ｅ ｔｏｑ、ｌＩｇ／ｌ、 Ｔ−０／−
，２ｏｚ、ｑｇ／ｌｐＨｌ以下のものを使用した。有機
溶媒（Ｂ）は３０チＶ−１０４７０％イソパラフィンを
使用し、Ｏａ 型、Ｎｉ 型、Ｈ＋型及びこれらの混合
型で実験した。
，２ｏｚ、ｑｇ／ｌｐＨｌ以下のものを使用した。有機
溶媒（Ｂ）は３０チＶ−１０４７０％イソパラフィンを
使用し、Ｏａ 型、Ｎｉ 型、Ｈ＋型及びこれらの混合
型で実験した。
抽出後の水相 有 機 相
Ｈ増 ／θ７．グｇ／ｌ Ｏ，タ λθＶｉ−−Ｈ＋
／ｌ］ｔｇ ｇＡ、９Ｅ／ｌｌＯ，ｇｋ 、２Ｌｓｊｉ
／ｌ −（０，００／９／１ｉｌｓｆａ５／ＡＦｅ
含有有機溶媒（ｉ３）を実施例／で得られた有機溶媒（
Ａ）の剥離液（／３％ＴＢＰ ＋ ｇ ｋ％ｎ −ハラ
フィン）により接触実鯰し、得られた剥離平衡曲線を第
７図に示す。図中、Ｃ）−（イ）はＦｅ３］Ｉ／ ／
ｏｙ７１！、 Ｔ、ａｉ−Ｊ ｔ ａ９／Ｌ ＩＩＩ」
はＦｅ３＋濃度／３θｌ／／ｌ 、 Ｔ司−’−、？
、２ Ａ ｊｊ／ｌの場合をそれぞれ示す。
／ｌ］ｔｇ ｇＡ、９Ｅ／ｌｌＯ，ｇｋ 、２Ｌｓｊｉ
／ｌ −（０，００／９／１ｉｌｓｆａ５／ＡＦｅ
含有有機溶媒（ｉ３）を実施例／で得られた有機溶媒（
Ａ）の剥離液（／３％ＴＢＰ ＋ ｇ ｋ％ｎ −ハラ
フィン）により接触実鯰し、得られた剥離平衡曲線を第
７図に示す。図中、Ｃ）−（イ）はＦｅ３］Ｉ／ ／
ｏｙ７１！、 Ｔ、ａｉ−Ｊ ｔ ａ９／Ｌ ＩＩＩ」
はＦｅ３＋濃度／３θｌ／／ｌ 、 Ｔ司−’−、？
、２ Ａ ｊｊ／ｌの場合をそれぞれ示す。
実施例 ３
実施例１で使用したエツチング廃酸にＨＮＯ。
濃度７ｋｇ／ｌになるように６ｇ％ＨＮＯ，を添加、更
に液温を７０℃まで昇温してＦｅ’＋イオンに変換後、
有機溶媒（Ａ）による抽出実験を行なった。
に液温を７０℃まで昇温してＦｅ’＋イオンに変換後、
有機溶媒（Ａ）による抽出実験を行なった。
抽出後の水相 有機相
（
（３）ＩＩＡ；Ｊｆ！／ｌ ７’１．ｇＥｌ／１１３
．）−３ｊｊ／ｌ ｔ、ｇｌ／ｌ ｑ、ｏ９／ｌ
３ｇ５ｆ／／１１ ｉｓ％ｒｒｓｐ／ 左％ ＴＢＰ
十ざまチイソパラフインの有機相のＨＮＯ３をＦｅ
／１０ｇ／ｌ、Ｔ−ＯＪ−，３０／ｇ／ｌ（Ｄ液と接触
させて選択的にスクラビング［７た結果を第３図に示す
。
．）−３ｊｊ／ｌ ｔ、ｇｌ／ｌ ｑ、ｏ９／ｌ
３ｇ５ｆ／／１１ ｉｓ％ｒｒｓｐ／ 左％ ＴＢＰ
十ざまチイソパラフインの有機相のＨＮＯ３をＦｅ
／１０ｇ／ｌ、Ｔ−ＯＪ−，３０／ｇ／ｌ（Ｄ液と接触
させて選択的にスクラビング［７た結果を第３図に示す
。
第３図からＦｅ２＋イオンの酸化Ｋ ＨＮＯ，を使用し
ても回収液中にはＨ’ＮＯ，を含有しないことが判る０
ても回収液中にはＨ’ＮＯ，を含有しないことが判る０
第１図はＦｅ イオンと０１ イオンを含有する任意
の水溶液から高濃度Ｆ ｅ ＯＪ、含有液を回収するフ
ローシート図、第２図は第１図の酸化工程を鉄塩化物錯
体抽出の前で行なうフローシート図、第３図は第２図に
洗浄工程を加えたフローシート図、第７図は鉄塩化物錯
体の抽出平衡曲線、第３図はＦｅ の抽出平衡曲線、第
６図は実施例／に基づ（ＨＦｅＯＪ−４の剥離平衡曲線
、第７図は実施例−に基づ（Ｆｅ 剥離平衡曲線、第
３図は実施例３に基づ（ＨＮＯ，スクラビング平衡曲線
を示す図である。図中、 ／・・Ｆｅ イオン、ＣＩ−イオン含有液、ユ・・）
ＨＦｅＯＪ、 抽出工程、３・・有機溶媒仏）、グ・
・ＨＦｅＯＪ、剥離工程、３・・水、Ａ ６ ＊ Ｆｅ
０Ｊ、 ＋ＥＯ）−水溶液、７・・酸化工程、ｇ・・Ｆ
ｅ 抽出工程、？・・有機溶媒（Ｂ）、ＩＯ・・Ｆｅ
剥離工程、／ｌ・・回収エツチング液、７．２・・
洗浄工程。 第１図 共Ｐｒ金属回収工程 第２図 ｔ＝＊ＵＸ−上桂 第３図 へ倍釜興凹脇上不至 第４図 水相中のＦｅ ／脹度 （９７月 第５図 水相中のＦｅ ５農度 （ｑ／ｆｌ） （ ヒ み に 有機相中のＦ８３勺農度 （ｑ／旦）
の水溶液から高濃度Ｆ ｅ ＯＪ、含有液を回収するフ
ローシート図、第２図は第１図の酸化工程を鉄塩化物錯
体抽出の前で行なうフローシート図、第３図は第２図に
洗浄工程を加えたフローシート図、第７図は鉄塩化物錯
体の抽出平衡曲線、第３図はＦｅ の抽出平衡曲線、第
６図は実施例／に基づ（ＨＦｅＯＪ−４の剥離平衡曲線
、第７図は実施例−に基づ（Ｆｅ 剥離平衡曲線、第
３図は実施例３に基づ（ＨＮＯ，スクラビング平衡曲線
を示す図である。図中、 ／・・Ｆｅ イオン、ＣＩ−イオン含有液、ユ・・）
ＨＦｅＯＪ、 抽出工程、３・・有機溶媒仏）、グ・
・ＨＦｅＯＪ、剥離工程、３・・水、Ａ ６ ＊ Ｆｅ
０Ｊ、 ＋ＥＯ）−水溶液、７・・酸化工程、ｇ・・Ｆ
ｅ 抽出工程、？・・有機溶媒（Ｂ）、ＩＯ・・Ｆｅ
剥離工程、／ｌ・・回収エツチング液、７．２・・
洗浄工程。 第１図 共Ｐｒ金属回収工程 第２図 ｔ＝＊ＵＸ−上桂 第３図 へ倍釜興凹脇上不至 第４図 水相中のＦｅ ／脹度 （９７月 第５図 水相中のＦｅ ５農度 （ｑ／ｆｌ） （ ヒ み に 有機相中のＦ８３勺農度 （ｑ／旦）
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 本質的にＦｅイオンと０１イオンを含有する水溶液よｉ
）、Ｆｅｅｌ、エツチング液を回収す、る方法において
、 （Ａ） 中性燐酸エステルの群及びアルキルアミンの
群の各群からなる群よシ１種又Ｆｉ、２ ｆ−Ｉ以上が
選択され石油系炭化水素で希釈された有機溶媒（Ａ）を
、上記水溶液と接触させて鉄塩化物錯体を抽出する第一
工程、 （Ｂ） 第一工程からの抽残液にカルボン酸の群よ９
７種又は一種以上が選択され石油系炭化水素で希釈され
た有機溶媒（Ｂ）を接触させて、該抽残液中の鉄イオン
を抽出する第一工程、（０） 第１工程からの有機溶
媒（Ａ）に水を接触させて該有機溶媒（Ａ）中の鉄塩化
物錯体を水相に移行せしめ、有機溶媒（Ａ）を再生する
第３工程、（Ｄ） 第一工程からの有機溶媒（Ｂ）に
第３工程で得られた鉄塩化物錯体を含む水溶液を接触さ
せることＫよシ、有機溶媒（Ｂ）中のＦｅイオンを水相
に移行すると共に有機溶媒（Ｂ）を再生する第ダニ稈、 からなることを特−とするエツチング液の回収方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18667382A JPS604269B2 (ja) | 1982-10-26 | 1982-10-26 | エツチング液の回収方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18667382A JPS604269B2 (ja) | 1982-10-26 | 1982-10-26 | エツチング液の回収方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5976877A true JPS5976877A (ja) | 1984-05-02 |
| JPS604269B2 JPS604269B2 (ja) | 1985-02-02 |
Family
ID=16192652
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18667382A Expired JPS604269B2 (ja) | 1982-10-26 | 1982-10-26 | エツチング液の回収方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS604269B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0675077A3 (en) * | 1994-03-30 | 1996-01-24 | Elkem As | Process for recovering chlorides from silicon metals or ferrosilicon alloys which have reacted with chlorinating agents. |
-
1982
- 1982-10-26 JP JP18667382A patent/JPS604269B2/ja not_active Expired
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0675077A3 (en) * | 1994-03-30 | 1996-01-24 | Elkem As | Process for recovering chlorides from silicon metals or ferrosilicon alloys which have reacted with chlorinating agents. |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS604269B2 (ja) | 1985-02-02 |
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