JPS597721Y2 - 電界放出型荷電粒子線発生装置 - Google Patents
電界放出型荷電粒子線発生装置Info
- Publication number
- JPS597721Y2 JPS597721Y2 JP4554382U JP4554382U JPS597721Y2 JP S597721 Y2 JPS597721 Y2 JP S597721Y2 JP 4554382 U JP4554382 U JP 4554382U JP 4554382 U JP4554382 U JP 4554382U JP S597721 Y2 JPS597721 Y2 JP S597721Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- support
- field emission
- attached
- tip
- electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は電界放出型イオン或るいは電子ビーム発生装置
に関する。
に関する。
例えばリバーザに貯えられている液体金属を強電界をか
けて針状先端（チップ）まで引き出し、更に電界蒸発さ
せてイオン化しイオンビームとして取り出すようにした
装置においては、液体金属が消耗するとリザーバごとチ
ップを交換する。
けて針状先端（チップ）まで引き出し、更に電界蒸発さ
せてイオン化しイオンビームとして取り出すようにした
装置においては、液体金属が消耗するとリザーバごとチ
ップを交換する。
この交換はその一端がフランジに取り付けられ他端にチ
ップが取り付けられた支持体をイオン銃頂部に設けられ
たコンフラット７ランジを外して引き抜き、新たなチッ
プを取り付けた後この支持体を前記頂部から挿入するこ
とによって行なわれるが、従来においてはフランジの接
続時にボルトの締め付け具合により支持体の挿入向きが
ずれ、再現性良くチップの先端位置を電極の軸に合わせ
ることができず、その都度面倒な軸合わせを必要として
いた。
ップが取り付けられた支持体をイオン銃頂部に設けられ
たコンフラット７ランジを外して引き抜き、新たなチッ
プを取り付けた後この支持体を前記頂部から挿入するこ
とによって行なわれるが、従来においてはフランジの接
続時にボルトの締め付け具合により支持体の挿入向きが
ずれ、再現性良くチップの先端位置を電極の軸に合わせ
ることができず、その都度面倒な軸合わせを必要として
いた。
本考案はこのような従来の欠点を解決すべくなされたも
ので、フランジを有する蓋体に可撓性部材を介してその
一端が取り付けられた支持体と、該支持体の他端に交換
可能に取り付けられた電界放出型チツプど、該チップ前
面に配置されるよう支持体の他端に取り付けられた引き
出し電極と、該引き出し電極に一体的に取り付けられた
挿入部と、前記フランジを接続した際に前記挿入部が嵌
合される球面或るいは円錐面を有する受け部と、該受け
部に一体的に取り付けられた電極とを具備することを特
徴としており、以下図面に基づき本考案の一実施例を詳
述する。
ので、フランジを有する蓋体に可撓性部材を介してその
一端が取り付けられた支持体と、該支持体の他端に交換
可能に取り付けられた電界放出型チツプど、該チップ前
面に配置されるよう支持体の他端に取り付けられた引き
出し電極と、該引き出し電極に一体的に取り付けられた
挿入部と、前記フランジを接続した際に前記挿入部が嵌
合される球面或るいは円錐面を有する受け部と、該受け
部に一体的に取り付けられた電極とを具備することを特
徴としており、以下図面に基づき本考案の一実施例を詳
述する。
本考案の一実施例を示す図面において、１は支持台であ
り、この支持台１には一体的に接地電極２が取り付けら
れている。
り、この支持台１には一体的に接地電極２が取り付けら
れている。
支持台１の上には絶縁物より戒る筒３が載置されており
、この筒の上には金属製の第１の筒４が載置されている
。
、この筒の上には金属製の第１の筒４が載置されている
。
この第１の筒４には後述するイオンビームを加速するた
めの第２電極５が一体的に取り付けられている。
めの第２電極５が一体的に取り付けられている。
第１の筒４の上には絶縁物より或る筒６を介して第２の
金属製の筒７が載置されており、この筒７上には電極８
が一体的に取り付けられている。
金属製の筒７が載置されており、この筒７上には電極８
が一体的に取り付けられている。
この電極８の上部には該電極８に一体的に球面状の受け
部９が取り付けられている。
部９が取り付けられている。
第２の筒７の上部にはフランジ１０が一体的に取り付け
られている。
られている。
１１はこのフランジ１０にボル｝ １２．１３で締め付
けられるフランジ１４を有する蓋体である。
けられるフランジ１４を有する蓋体である。
この蓋体１１には可撓性部材より或る筒１５の一端が溶
接されており、この筒の他端には絶縁物より或る支持体
１６の一端が取り付けられている。
接されており、この筒の他端には絶縁物より或る支持体
１６の一端が取り付けられている。
この支持体１６の先端には電界放出型チップ１７と液体
金属を貯えるリザーバ１８とが交換可能に取り付けられ
ているが、交換機構については公知であるので、その細
部は省略されている。
金属を貯えるリザーバ１８とが交換可能に取り付けられ
ているが、交換機構については公知であるので、その細
部は省略されている。
支持筒１６には絶縁物より或る筒１９ ａが螺合されて
おり、この筒１９ ａには引き出し電極１９ｂが一体的
に取り付けられており、チップ１７の前面には引き出し
電極１９ ｂが配置される。
おり、この筒１９ ａには引き出し電極１９ｂが一体的
に取り付けられており、チップ１７の前面には引き出し
電極１９ ｂが配置される。
引き出し電極１９ｂの下端は球面に加工されており、前
記受け部９に嵌合される挿入部２０が形或されている。
記受け部９に嵌合される挿入部２０が形或されている。
この球面はチップ１７の先端を中心とする球となってい
る。
る。
尚２１，２２、チツプ１７に高電位を与えると共に加熱
電流を供給するためのリード線であり、２３．２４は支
持部材である。
電流を供給するためのリード線であり、２３．２４は支
持部材である。
このような構或において、チツプ１７の先端と引き出し
電極１９ｂとの間に引き出し電圧を印加すれば、リザー
バ１８内の液体金属はチップ１７の先端に引き出されて
電界蒸発した後、イオン化してイオンビームとして取り
出される。
電極１９ｂとの間に引き出し電圧を印加すれば、リザー
バ１８内の液体金属はチップ１７の先端に引き出されて
電界蒸発した後、イオン化してイオンビームとして取り
出される。
リザーバ１８内の液体金属が消耗すると、フランジ１４
を外して蓋体１１を筒７より引き抜いた後、筒１９ ａ
を回転させて引き出し電極１９ｂを支持体１６から取り
はずし、更に支持部材２３と共にリザーバ１８とチップ
１７を外す。
を外して蓋体１１を筒７より引き抜いた後、筒１９ ａ
を回転させて引き出し電極１９ｂを支持体１６から取り
はずし、更に支持部材２３と共にリザーバ１８とチップ
１７を外す。
次に新しいリザーバ１８とチツプ１７を支持部材２３と
共に支持体１６に取り付けた後、筒１９ａを回転させて
引き出し電極１９ｂを該支持体１６に取り付ける。
共に支持体１６に取り付けた後、筒１９ａを回転させて
引き出し電極１９ｂを該支持体１６に取り付ける。
そこで支持体１６を筒７内に挿入し、フランジ１４をボ
ルト１２．１３で締め付ける。
ルト１２．１３で締め付ける。
斯くして、挿入部２０は受け部９に挿入されて嵌合され
た状態で、フランジ１０と１４との接合が威され、チッ
プ１７、リザーバ１８の交換が戊される。
た状態で、フランジ１０と１４との接合が威され、チッ
プ１７、リザーバ１８の交換が戊される。
上述した本考案の装置においては、ボルト１２，１３等
の締め付け具合が全て均等でないため、支持体１６が筒
７の中心軸に対し，て傾いて挿入されてしまう場合にも
、挿入部２０が受け部９にその球面を接触する如く嵌合
され、且つチツプ１７の先端はこの球面の中心に一致し
ているため、常に電極８の中心軸上に該チップ１７の先
端を位置させることができる。
の締め付け具合が全て均等でないため、支持体１６が筒
７の中心軸に対し，て傾いて挿入されてしまう場合にも
、挿入部２０が受け部９にその球面を接触する如く嵌合
され、且つチツプ１７の先端はこの球面の中心に一致し
ているため、常に電極８の中心軸上に該チップ１７の先
端を位置させることができる。
この場合、支持体１６が傾いて挿入される際に支持体１
６にかかる力は可撓性部材より或る筒１５に吸収される
ため、支持体１６に大きな曲げの力はかからない。
６にかかる力は可撓性部材より或る筒１５に吸収される
ため、支持体１６に大きな曲げの力はかからない。
又、特に上述した実施例においては挿入部と受け部との
接触面が球面であり、且つ挿入部の球面の中心にチップ
先端が位置するようになっているため、光軸に沿う方向
でのチップ先端の位置も交換の前後で常に同じ位置にす
ることができる。
接触面が球面であり、且つ挿入部の球面の中心にチップ
先端が位置するようになっているため、光軸に沿う方向
でのチップ先端の位置も交換の前後で常に同じ位置にす
ることができる。
尚、上述した実施例においては、受け部を球面、挿入部
をこの球面と同一半径の球面にしたが、受け部は円錐面
でも良く、又挿入部は受け部の球面より半径の小さい球
面や、円錐面でも良い。
をこの球面と同一半径の球面にしたが、受け部は円錐面
でも良く、又挿入部は受け部の球面より半径の小さい球
面や、円錐面でも良い。
図面は本考案の一実施例を示すためのものである。
１：支持台、２：接地電極、５：第２電極、８：電極、
９：受け部、１０，１４ ：フランジ、１１：蓋体、１
２，１３ ：ボルト、１５：可撓性部材より戒る筒、１
６：支持体、１７：チツプ、１８：リザーバ、１９ｂ：
引き出し電極、２０：挿入部。
９：受け部、１０，１４ ：フランジ、１１：蓋体、１
２，１３ ：ボルト、１５：可撓性部材より戒る筒、１
６：支持体、１７：チツプ、１８：リザーバ、１９ｂ：
引き出し電極、２０：挿入部。
Claims (1)
- フランジを有する蓋体に可撓性部材を介してその一端が
取り付けられた支持体と、該支持体の他端に交換可能に
取り付けられた電界放出型チップと、該チップ前面に配
置されるよう支持体の他端に取り付けられた引き出し電
極と、該引き出し電極に一体的に取り付けられた挿入部
と、前記フランジを接続した際に前記挿入部が嵌合され
る球面或るいは円錐面を有する受け部と、該受け部に一
体的に取り付けられた電極とを具備する電界放出型荷電
粒子線発生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4554382U JPS597721Y2 (ja) | 1982-03-30 | 1982-03-30 | 電界放出型荷電粒子線発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4554382U JPS597721Y2 (ja) | 1982-03-30 | 1982-03-30 | 電界放出型荷電粒子線発生装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58148864U JPS58148864U (ja) | 1983-10-06 |
| JPS597721Y2 true JPS597721Y2 (ja) | 1984-03-09 |
Family
ID=30056557
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4554382U Expired JPS597721Y2 (ja) | 1982-03-30 | 1982-03-30 | 電界放出型荷電粒子線発生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS597721Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2014102980A (ja) * | 2012-11-20 | 2014-06-05 | Gigaphoton Inc | ターゲット供給装置 |
-
1982
- 1982-03-30 JP JP4554382U patent/JPS597721Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS58148864U (ja) | 1983-10-06 |
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