JPS5977329A - 自動グロスリ−ク試験装置 - Google Patents
自動グロスリ−ク試験装置Info
- Publication number
- JPS5977329A JPS5977329A JP18855382A JP18855382A JPS5977329A JP S5977329 A JPS5977329 A JP S5977329A JP 18855382 A JP18855382 A JP 18855382A JP 18855382 A JP18855382 A JP 18855382A JP S5977329 A JPS5977329 A JP S5977329A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ultrasonic wave
- tested
- bubbles
- ultrasonic
- test
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
- G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
- G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
- G01M3/06—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point by observing bubbles in a liquid pool
- G01M3/10—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point by observing bubbles in a liquid pool for containers, e.g. radiators
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、半導体中空パッケージの気密性試験の自動
評価装置に関するものである。
評価装置に関するものである。
従来、この種の装置としては、第１図に示すものがあっ
た。
た。
この図において、１は試験槽、２は不活性液体（フッ素
系）、３は前記不活性液体２を加熱するヒータ、４は半
導体デバイス等の被試験品、５は不良品から発生した気
泡な示し、６は液■である。
系）、３は前記不活性液体２を加熱するヒータ、４は半
導体デバイス等の被試験品、５は不良品から発生した気
泡な示し、６は液■である。
試験に際しては、被試験品４を多数個用意しく図示の例
では２個）、これらなあらかじめ加熱された不活性液体
２に浸漬し、気泡５０晃生の有無を目視により検査し、
被試験品４の気密性の良否を判定する。
では２個）、これらなあらかじめ加熱された不活性液体
２に浸漬し、気泡５０晃生の有無を目視により検査し、
被試験品４の気密性の良否を判定する。
上記した従来の装置では、多数個の被試験品４を同時に
不活性液体２中に浸漬し各被試験品４からの気泡の発生
具合を人間の目で観察して、判定していたため、試験時
間および精度が悪く、時には、誤判定するなどの欠点が
あった。
不活性液体２中に浸漬し各被試験品４からの気泡の発生
具合を人間の目で観察して、判定していたため、試験時
間および精度が悪く、時には、誤判定するなどの欠点が
あった。
この発明は、上記のような欠点を除去するために、目視
検査による気泡の発生有無を調べる方法から、各被試験
品毎に、超音波源および強度計を設けて、気泡を通過す
る超音波の屈折１反射特性を利用して検出感度な＾め、
さら忙、同時に多数個の被試験品を正確に判定できるよ
うＫした自動グロスリーク試験装置を提供することを目
的としている。以下この発明について説明する。
検査による気泡の発生有無を調べる方法から、各被試験
品毎に、超音波源および強度計を設けて、気泡を通過す
る超音波の屈折１反射特性を利用して検出感度な＾め、
さら忙、同時に多数個の被試験品を正確に判定できるよ
うＫした自動グロスリーク試験装置を提供することを目
的としている。以下この発明について説明する。
第２図はこの発明の一実施例の概略構成を示す断面図、
第３図は第２図の実に４例のＸ−Ｘ＃＋による断面図で
ある。
第３図は第２図の実に４例のＸ−Ｘ＃＋による断面図で
ある。
第２図、第３図において、１〜６は第１図に示および反
射波を示し、９は前記気泡５による屈折波を表わす。１
０は超音波源、１１は超音波強度測定用素子で、被試験
品４から発生する気泡５０通路を横切った超音波を入射
させ、その強度を測定する。１２は各デバイスことで、
気泡５の有無を知らせるモニタパネルである。そして、
超音波源１０と超音波強度測定用素子１１とは、組にな
って各被試験品４ごとに設けられる。
射波を示し、９は前記気泡５による屈折波を表わす。１
０は超音波源、１１は超音波強度測定用素子で、被試験
品４から発生する気泡５０通路を横切った超音波を入射
させ、その強度を測定する。１２は各デバイスことで、
気泡５の有無を知らせるモニタパネルである。そして、
超音波源１０と超音波強度測定用素子１１とは、組にな
って各被試験品４ごとに設けられる。
次に動作について説明する。まず多数個の被試験品４を
同時に、あらかじめ熱せられた不活性液を超音波強度測
定用素子１１により測定することによって、各々の被試
験品４の位置から発生する気泡５を正確に、短時間で検
出し、モニタ／（ネル１２に表示する。この場合、気泡
５があると超音波は屈折１反射されるので、気泡５がな
いときにくらべ、超音波強度測定用素子１１に入射する
超音波が弱くなるので、気泡５０発生の有無を自動的に
検知することができる。
同時に、あらかじめ熱せられた不活性液を超音波強度測
定用素子１１により測定することによって、各々の被試
験品４の位置から発生する気泡５を正確に、短時間で検
出し、モニタ／（ネル１２に表示する。この場合、気泡
５があると超音波は屈折１反射されるので、気泡５がな
いときにくらべ、超音波強度測定用素子１１に入射する
超音波が弱くなるので、気泡５０発生の有無を自動的に
検知することができる。
以上説明したように、この発明は、従来の目視検査によ
るグロスリーク不良としての気泡検出な超音波源および
超音波強度測定用素子を設けて、気泡を通過する超音波
の屈折９反射行性を利用して、商い検出感度で気泡を自
動検出するよ５ＶＣしたので、同時に多数個の被試験品
な正確に、短時間で判定できる効果がある。
るグロスリーク不良としての気泡検出な超音波源および
超音波強度測定用素子を設けて、気泡を通過する超音波
の屈折９反射行性を利用して、商い検出感度で気泡を自
動検出するよ５ＶＣしたので、同時に多数個の被試験品
な正確に、短時間で判定できる効果がある。
第１図は従来の半導体装置のグロスリーク試験装置を示
す断面略図、第２図はこの発明の一実施例の概略構成を
示す断面図、第３図は第２図のＸ−Ｘ線による断面図で
ある。 図中、１は試験槽、２は不活性液体、３は加熱屈折波、
１０は超音波源、１１は超音波強度測定用素子、１２は
多数個のモニタパネルである。なお、図中の同一符号は
同一または相当部分を示す。 代理人 誌 野 信 −（外１名）
す断面略図、第２図はこの発明の一実施例の概略構成を
示す断面図、第３図は第２図のＸ−Ｘ線による断面図で
ある。 図中、１は試験槽、２は不活性液体、３は加熱屈折波、
１０は超音波源、１１は超音波強度測定用素子、１２は
多数個のモニタパネルである。なお、図中の同一符号は
同一または相当部分を示す。 代理人 誌 野 信 −（外１名）
Claims (1)
- 加熱した不活性液体中に、複数個の被試験品を没消し気
泡の発生の有無から気密性試験を行なう装置において、
超音波源と、この超音波源からの超音波を前記被試験品
から発生する気泡の通路を横切って入射させる超音波強
度測定用素子とを、前記被試験品ごとに設けたことを特
徴とする自動グロスリーク試験装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18855382A JPS5977329A (ja) | 1982-10-25 | 1982-10-25 | 自動グロスリ−ク試験装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18855382A JPS5977329A (ja) | 1982-10-25 | 1982-10-25 | 自動グロスリ−ク試験装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5977329A true JPS5977329A (ja) | 1984-05-02 |
Family
ID=16225707
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18855382A Pending JPS5977329A (ja) | 1982-10-25 | 1982-10-25 | 自動グロスリ−ク試験装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5977329A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5070724A (en) * | 1990-07-24 | 1991-12-10 | Wubs Technologie B.V. | Method for checking the tightness of a casing, and device for carrying out said method |
| JP2007047056A (ja) * | 2005-08-11 | 2007-02-22 | Nakamichi Tekko Kk | 超音波式漏れ位置検出装置 |
| US11326975B2 (en) * | 2020-03-05 | 2022-05-10 | Mas Automation Corp. | Method of sensing leaking gas |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4920121U (ja) * | 1972-05-19 | 1974-02-20 | ||
| JPS57137836A (en) * | 1981-02-20 | 1982-08-25 | Hitachi Ltd | Leakage detector |
-
1982
- 1982-10-25 JP JP18855382A patent/JPS5977329A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4920121U (ja) * | 1972-05-19 | 1974-02-20 | ||
| JPS57137836A (en) * | 1981-02-20 | 1982-08-25 | Hitachi Ltd | Leakage detector |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5070724A (en) * | 1990-07-24 | 1991-12-10 | Wubs Technologie B.V. | Method for checking the tightness of a casing, and device for carrying out said method |
| JP2007047056A (ja) * | 2005-08-11 | 2007-02-22 | Nakamichi Tekko Kk | 超音波式漏れ位置検出装置 |
| US11326975B2 (en) * | 2020-03-05 | 2022-05-10 | Mas Automation Corp. | Method of sensing leaking gas |
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