JPS597732Y2 - 分析電子顕微鏡 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は電子線照射により試料から発生するＸ線を検出
し、試料のＸ線分析を可能になした分析電子顕微鏡の改
良に関する。

近時、普通透過電子顕微鏡に走査像観察手段を組み込み
、更に試料近傍に非分散型Ｘ線分光器を設けて試料上の
任意点の元素分析を可能にする所謂分析電子顕微鏡が開
発され、実用に供されている。

前記非分散型分光器の検出手段としては検出感度がよく
、微弱なＸ線も検出する性能を有する半導体検出器が広
く用いられている。

しかして斯かる半導体検出器を試料近傍に設置した状態
において、加熱状態の試料透過像を観察するために試料
を高温に加熱すると、その輻射熱（赤外線）により半導
体検出器が加熱されたり或いは可視光が直接半導体検出
器に入射する為、性能の劣化や損傷を招く。

そこで従来装置においては試料を加熱するたびに、半導
体検出器を鏡体外に取り外している。

かがる作業にあたってはその都度鏡体内の真空を破らな
ければならないため、取扱いが非常係面倒であると共に
観察に時間かがかる欠点を有していた。

本考案は斯様な欠点を解決することのできる装置を提供
するもので、以下図面に基づき詳説する。

第１図は本考案の一実施例を示す構或略図、第２図は第
１図のＡ−Ａ拡大断面図であり、１は対物レンズの磁極
片である。

該磁極片は上磁極２ａと下磁極２ｂとを非磁性体製のス
ペーサ−３によって一体化したものである。

４は該非磁極片の内側におかれた試料ホルダーで、該試
料ホルダーは電子線光軸Ｚと直交する方向がら挿入され
ており、又光軸と交叉する部分に試料５が装着される。

又該試料ホルダーには試料５を加熱するための加熱コイ
ル６が組込んであり、該加熱コイルの両端はマイクロス
イッチＳを介して加熱電源７に接続される。

８は鏡体側壁（対物レンズの外側ヨーク）９を気密を保
って移動可能に貫通した検出器保持体で、一端（真空側
）には電子線照射により試料５から発生する特性Ｘ線を
検出するための半導体検出器１０が保持されている。

又該検出器保持体の他端（大気側）には図示しないが前
記半導体検出器を冷却するための冷却槽が一体に設けて
ある。

１１は前記試料５と半導体検出器１０との間におがれた
遮蔽体で、この遮蔽体は試料５を加熱した際に生ずる輻
射熱や可視光が半導体検出器１０へ到達するのを阻止す
るためのものである。

該遮蔽体は第２図から判る様に案内体１２に形或した長
溝１３内に移動可能に嵌合した滑体１４に固定されてい
る。

前記案内体１２は長溝１３の長手方向が前記検出器保持
体８の移動方向と略直交するように鏡体に固定されてい
る、前記滑体１４と検出器保持体８とは絶縁製のロツド
１５により連結されており、又該ロツドと滑体及び検出
器保持体との夫々の接続にあたってはピン１６ ａ，
１６ ｂ等が使用され、互いに回転可能に構威されてい
る。

尚前記スペーサ−３には数個の開口１７ａ，１７ｂ・・
・・・・が設けてある。

而して、今半導体検出器１０が第１図中実線で示す位置
、つまり半導体検出器が試料５から離れているときには
遮蔽体１１が半導体検出器１０の前方におかれる。

又このどき検出器保持体８に設けた絶縁物の突出部１８
がマイクロスイッチＳと係合し、このマイクロスイッチ
は閉じている。

従ってこの状態において加熱電源７からの加熱電流を加
熱コイル６に供給することができるため、試料の加熱状
態における透過像観察が可能となり、しかもそときに発
生する輻射熱や可視光は遮蔽体１１により遮断されるた
め、半導体検出器１０への熱の影響を阻止することがで
きる。

次に検出器保持体８を試料側に移動して同図中一点鎖線
ａで示す位置まで移動させるとロツド１５が滑体１４を
上方に押し上げるために、遮蔽体１１が上方に移動され
、半導体検出器１０が試料５に接近してのかれる。

この状態においては試料から発生する特性Ｘ線が半導体
検出器１０により検出され、分析される。

又このとき検出器保持体８の突出部１８はマイクロスイ
ッチＳからはずれるためマイクロスイッチは開放し、従
って誤操作により試料５を加熱することが防止できる。

尚前述の実施例においては検出器保持体８を第１図で示
す実線と一点鎖線とで示す２個所の位置で固定するため
の手段（図示せず）が設けてあることは言うまでもない
。

以上の如く構或することにより本考案は従来の様に半導
体検出器を鏡体外に取り出すことなく試料の加熱状態に
おける透過像を観察することができ、実用性大なる効果
を有する。

更に又、本考案に基づく装置においては、遮蔽体による
半導体検出器の遮蔽と加熱コイルへの加熱電波の供給が
連動するようになっているため、不注意による遮蔽体で
゛遮蔽することなく、試料を加熱してしまい、検出器を
損傷してしまうような事態を防ぎ得る。

尚、前述の説明は本考案の例示であり、実施にあたって
は幾多の変形が考えられる。

例えば上述の実施例では遮蔽体の移動は検出器保持体の
移動と連動させたが、独立して移動させるように構威し
てもよい。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例を示す構或略図、第２図は第
１図のＡ−Ａ拡大断面図である。 図において、１は対物レンズの磁極片、２ａは上磁極、
２ｂは下磁極、３はスペーサ− ４は試料ホルダー、５
は試料、６は加熱コイル、７は加熱電源、８は検出器保
持体、９は鏡体、１０は半導体検出器、１１は遮蔽体、
１２は案内体、１３は長溝、１４は滑体、１５はロツド
、１６ ａ及び１６ｂはピン、Ｓはマイクロスイッチで
ある。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 対物レンズを構或する磁極片内に設置された試料を加熱
   するための加熱手段と、該加熱手段に加熱電流を供給す
   るための加熱電源と、該試料に電子線を照射することに
   より発生するＸ線を検出するための非分散型検出手段と
   を具備する装置において、該非分散型検出手段を試料近
   傍の第１の位置と試料から離れた第２の位置間で移動さ
   せるための手段と、該非分散型検出手段が第２の位置へ
   の移動に連動して前記加熱電源を稼働させるための手段
   と、該非分散型検出手段が第２の位置への移動に連動し
   て該非分散型検出手段を試料側から遮蔽するための手段
   を具備することを特徴とする分析電子顕微鏡。