JPS5977330A - グロスリ−ク試験装置 - Google Patents
グロスリ−ク試験装置Info
- Publication number
- JPS5977330A JPS5977330A JP18855682A JP18855682A JPS5977330A JP S5977330 A JPS5977330 A JP S5977330A JP 18855682 A JP18855682 A JP 18855682A JP 18855682 A JP18855682 A JP 18855682A JP S5977330 A JPS5977330 A JP S5977330A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tested
- article
- test
- absence
- bubbles
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
- G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
- G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
- G01M3/06—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point by observing bubbles in a liquid pool
- G01M3/10—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point by observing bubbles in a liquid pool for containers, e.g. radiators
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、半導体装ｆｉｌ（中空パッケージ）の気密
性を試験するためのグロスリーク試験装置に関するもの
である。
性を試験するためのグロスリーク試験装置に関するもの
である。
従来、この種の試験装置としては、第１図に示すものが
あった。
あった。
この図において、１は試験槽、２は不活性液体（フッ素
系）、３は前記不活性液体２を加熱し、対流を発生させ
るためのヒータ、４は半導体デバイス等の被試験品、５
は気密性不良のために発生した気泡を示す。６は液■で
ある。
系）、３は前記不活性液体２を加熱し、対流を発生させ
るためのヒータ、４は半導体デバイス等の被試験品、５
は気密性不良のために発生した気泡を示す。６は液■で
ある。
試験に際しては、あらかじめ加熱された不活性液体２中
へ、被試験品４を浸漬し、この被試験品４からの気泡５
０発生の有無を調べる方法が、グロスリーク試験方法で
ある。
へ、被試験品４を浸漬し、この被試験品４からの気泡５
０発生の有無を調べる方法が、グロスリーク試験方法で
ある。
上記した従来の装置では、不活性液体２中で、被試験品
４は静止状態であり、封止が不完全なものでも、かろう
じて接着され又いるものは気泡５０発生はなく、良品と
判断されるなど封止不完全品を完全に除去できない欠点
があった。
４は静止状態であり、封止が不完全なものでも、かろう
じて接着され又いるものは気泡５０発生はなく、良品と
判断されるなど封止不完全品を完全に除去できない欠点
があった。
この発明は、上記のような従来のものの欠点を除去する
ために、不活性液体中で、超音波振動を被試験品に与え
、接着不充分なものでも完全に検出できるグロスリーク
試験装置を提供することな目的としている。以下この発
明を図面に基づいて説明する。
ために、不活性液体中で、超音波振動を被試験品に与え
、接着不充分なものでも完全に検出できるグロスリーク
試験装置を提供することな目的としている。以下この発
明を図面に基づいて説明する。
第２図はこの発明の一実施例を示１断面略図である。
第２図において、１〜６は第１図と同じものを示し、Ｔ
は前記被試験品４に超音波振動を加える超音波発生用の
振動体である。振動体Ｔとしては≧２０ ＫＨ１のもの
を用いる。
は前記被試験品４に超音波振動を加える超音波発生用の
振動体である。振動体Ｔとしては≧２０ ＫＨ１のもの
を用いる。
次に動作について説明する。第２図において、あらかじ
め加熱された不活性液体２中へ、被試験品４を浸漬させ
、この後で、振動体Ｔから超音波振動を被試験品４に加
えながら、被試験品４からの気泡５の有無を検出する。
め加熱された不活性液体２中へ、被試験品４を浸漬させ
、この後で、振動体Ｔから超音波振動を被試験品４に加
えながら、被試験品４からの気泡５の有無を検出する。
このように超音波振動を与えると、封止不完全品も確実
に不良品とし℃検出することができる。
に不良品とし℃検出することができる。
以上説明したよう罠、この発明は、不活性液体中で、被
試験品に超音波振動を加えるようにしたので、従来見落
していた封止不完全品をも完全に検出できる効果がある
。
試験品に超音波振動を加えるようにしたので、従来見落
していた封止不完全品をも完全に検出できる効果がある
。
第１図は従来の半導体装置のグロスリーク試験装置を示
す断面略図、第２図はこの発明の一実施例を示す断面略
図である。 図中、１は試験槽、２は不活性液体、３は加熱用ヒータ
、４は被試験品、５は気泡、６は液面、７は振動体であ
る。 代理人 葛 野 信 −（外１名） 第１図 第２図
す断面略図、第２図はこの発明の一実施例を示す断面略
図である。 図中、１は試験槽、２は不活性液体、３は加熱用ヒータ
、４は被試験品、５は気泡、６は液面、７は振動体であ
る。 代理人 葛 野 信 −（外１名） 第１図 第２図
Claims (1)
- 加熱した不活性液体中に、被試験品を浸漬し気泡の発生
の有無から気密性試験を行なう装置において、超音波振
動を前記被試験品に加える振動体を設けたことを特徴と
するグロスリーク試験装ｆＩＬｅ
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18855682A JPS5977330A (ja) | 1982-10-25 | 1982-10-25 | グロスリ−ク試験装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18855682A JPS5977330A (ja) | 1982-10-25 | 1982-10-25 | グロスリ−ク試験装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5977330A true JPS5977330A (ja) | 1984-05-02 |
Family
ID=16225755
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18855682A Pending JPS5977330A (ja) | 1982-10-25 | 1982-10-25 | グロスリ−ク試験装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5977330A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0952439A1 (en) * | 1998-04-21 | 1999-10-27 | The Procter & Gamble Company | An improved water bath test for aerosols |
| JP2004245752A (ja) * | 2003-02-17 | 2004-09-02 | Murata Mfg Co Ltd | 封止試験方法およびその装置 |
-
1982
- 1982-10-25 JP JP18855682A patent/JPS5977330A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0952439A1 (en) * | 1998-04-21 | 1999-10-27 | The Procter & Gamble Company | An improved water bath test for aerosols |
| JP2004245752A (ja) * | 2003-02-17 | 2004-09-02 | Murata Mfg Co Ltd | 封止試験方法およびその装置 |
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