JPS5977445A - 自動調整光源 - Google Patents
自動調整光源Info
- Publication number
- JPS5977445A JPS5977445A JP57187842A JP18784282A JPS5977445A JP S5977445 A JPS5977445 A JP S5977445A JP 57187842 A JP57187842 A JP 57187842A JP 18784282 A JP18784282 A JP 18784282A JP S5977445 A JPS5977445 A JP S5977445A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light source
- output
- illuminance
- light
- circuit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03B—APPARATUS OR ARRANGEMENTS FOR TAKING PHOTOGRAPHS OR FOR PROJECTING OR VIEWING THEM; APPARATUS OR ARRANGEMENTS EMPLOYING ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ACCESSORIES THEREFOR
- G03B27/00—Photographic printing apparatus
- G03B27/72—Controlling or varying light intensity, spectral composition, or exposure time in photographic printing apparatus
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Control Of Exposure In Printing And Copying (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明は、例えば写真製版や半導体装置の製造工程に
おける照明系に最適な自動調整光源に関する。
おける照明系に最適な自動調整光源に関する。
従来、写真製版（写真引伸し機、縮小カメラ。
製版カメラ等）や半導体製造装置における照明系（フォ
トリピータ、コンタクトプリンタ、ウェハースチッパ、
マスクアライナ等）においてハ、光源の光をコンデンサ
ーによって集光し照明面を照射している。この時、照明
面の照度を所定の値に設定するとともに、照度むらをな
くすため、光源に手動調整機構を設けており、照明面に
照度計を載置して各点の照度分布を測定しながら、上記
手動調整機構によって作業者が光源をｘ、ｙ、ｚ各軸方
向に移動させて光源を最適な位置に移動調整している。
トリピータ、コンタクトプリンタ、ウェハースチッパ、
マスクアライナ等）においてハ、光源の光をコンデンサ
ーによって集光し照明面を照射している。この時、照明
面の照度を所定の値に設定するとともに、照度むらをな
くすため、光源に手動調整機構を設けており、照明面に
照度計を載置して各点の照度分布を測定しながら、上記
手動調整機構によって作業者が光源をｘ、ｙ、ｚ各軸方
向に移動させて光源を最適な位置に移動調整している。
しかし、上述した光源位置の手動調整は技術的に卸しい
ため作業者の熟練が必要であり、特に光源のランプ交換
時に多くの時間がかかる。
ため作業者の熟練が必要であり、特に光源のランプ交換
時に多くの時間がかかる。
また、長時間使用すると光源の発光強度が変化するため
、定期的に照度や照度むらの変動を検査し再調整する必
要があり、操作が煩雑な欠点がある。
、定期的に照度や照度むらの変動を検査し再調整する必
要があり、操作が煩雑な欠点がある。
このような照度変化や照明むらは、例えばフォ） ＩＪ
ビータにおいてはパターンの配線幅を変化させることに
なり、特に高集積化された半導体装置では配線不良や内
部回路の誤動作の原因となる。
ビータにおいてはパターンの配線幅を変化させることに
なり、特に高集積化された半導体装置では配線不良や内
部回路の誤動作の原因となる。
この発明は上記のような事情に鑑みてなされたもので、
その目的とするところは、照明面の照明強度と照明分布
の調整が自動的に行なえる自動調整光源を提供すること
である。
その目的とするところは、照明面の照明強度と照明分布
の調整が自動的に行なえる自動調整光源を提供すること
である。
すなわち、この発明においては、光源の光をコンデンサ
によって集光しハーフミラ−を介して照明面を照射する
とともに、上記ハーフミラ−によって反射された光を複
数のフォトセンサに供給する。そして、上記各フォトセ
ンサの出力を照明制御回路に供給し、この照明制御回路
によって照度および照明むらを検出１〜で光源に設けた
ｘ、ｙ、ｚ各軸方向移動用の駆動モータを制御すること
により、照度均一性が最良でかつ最大照度を自動的に得
られるように構成［７たものである。
によって集光しハーフミラ−を介して照明面を照射する
とともに、上記ハーフミラ−によって反射された光を複
数のフォトセンサに供給する。そして、上記各フォトセ
ンサの出力を照明制御回路に供給し、この照明制御回路
によって照度および照明むらを検出１〜で光源に設けた
ｘ、ｙ、ｚ各軸方向移動用の駆動モータを制御すること
により、照度均一性が最良でかつ最大照度を自動的に得
られるように構成［７たものである。
以下、この発明の一実施例について図面を参照して説明
する。第１図はその構成を示すもので、光源用電源１１
から供給される創′源常圧によりて光源１２から発せら
れた光は、コンデンサー１３によって集光されハーフミ
ラ−１４全介して照明面１５に照射される。」二記ノ１
−フミラー１４で反射された光は複数のフォトセンサ１
６．１６．・・・が配設された照度、照明むら検出用の
測定面１７に供給され、上記フォトセンサ１６，１６．
・・・九らは照明面１５の各点の照度分布゛に対応した
電気信号が得られる。各フォトセンサ１６，１６．・・
・の出力は照明制御回路１８に供給され、この照明制御
回路１８によって照度および照明むらが検知される。そ
して、照明制御回路１８によって移動機構を１駆動する
。すなわち、ｘ、ｙ、ｚ各軸モータドライバ１９１
ｒ １９２ 、１９３に制御信号ｓｘ、ｓｙ、ｓｚを
供給し、このモータＰライハ１９１ ｒ １９ｔ ＃
１９ｓによってｘ、ｙ、ｚ各軸モータ２ （’１
＊ ２ （７２、２（７３を駆動して光源１２の位置制
御を行ない光源１２の位置を照度および照明むらが最良
になるように調整する。
する。第１図はその構成を示すもので、光源用電源１１
から供給される創′源常圧によりて光源１２から発せら
れた光は、コンデンサー１３によって集光されハーフミ
ラ−１４全介して照明面１５に照射される。」二記ノ１
−フミラー１４で反射された光は複数のフォトセンサ１
６．１６．・・・が配設された照度、照明むら検出用の
測定面１７に供給され、上記フォトセンサ１６，１６．
・・・九らは照明面１５の各点の照度分布゛に対応した
電気信号が得られる。各フォトセンサ１６，１６．・・
・の出力は照明制御回路１８に供給され、この照明制御
回路１８によって照度および照明むらが検知される。そ
して、照明制御回路１８によって移動機構を１駆動する
。すなわち、ｘ、ｙ、ｚ各軸モータドライバ１９１
ｒ １９２ 、１９３に制御信号ｓｘ、ｓｙ、ｓｚを
供給し、このモータＰライハ１９１ ｒ １９ｔ ＃
１９ｓによってｘ、ｙ、ｚ各軸モータ２ （’１
＊ ２ （７２、２（７３を駆動して光源１２の位置制
御を行ない光源１２の位置を照度および照明むらが最良
になるように調整する。
第２図は、上記第１図の回路における照明制御回路の具
体的ガ構成例を示すもので、測定面１７に配設されたフ
ォトセンサ１６，１６．・・・によって照明面１５の照
度分布に対応した電気信号に変換された信号Ｓ ｔ −
８９を、増幅器Ａ１〜Ａ９で増幅し、この増幅器Ａ、−
Ａ、の出力電圧ｖ１〜ｖ９を信号切換回路２１に供給す
る。
体的ガ構成例を示すもので、測定面１７に配設されたフ
ォトセンサ１６，１６．・・・によって照明面１５の照
度分布に対応した電気信号に変換された信号Ｓ ｔ −
８９を、増幅器Ａ１〜Ａ９で増幅し、この増幅器Ａ、−
Ａ、の出力電圧ｖ１〜ｖ９を信号切換回路２１に供給す
る。
この信号切換回路２１ば、増幅器Ａ１〜Ａ９の５−
出力信号Ｖ＋−Ｖ＊’（ｒ順次Ａ／Ｄ変換回路２２に供
給してアナログ／ディジタル変換する。上記Ａ／Ｄ変換
回路２２のディジタル出力を演算回路２３に供給して処
理を行なった後、信号切換回路２１の出力を切換えて次
のデータを取シ込む。
給してアナログ／ディジタル変換する。上記Ａ／Ｄ変換
回路２２のディジタル出力を演算回路２３に供給して処
理を行なった後、信号切換回路２１の出力を切換えて次
のデータを取シ込む。
そして、全てのデータを処理した後演算回路２３では、
「Ｖ１＋Ｖ２→−Ｖ３ ＋Ｖ４ ＋ Ｖ５ ＋ｖ６＋Ｖ
７＋ｖ８＋ｖ９ 」が最大テカツ「Ｖｌ−ｖ、＝ｖ３＝
ｖ４＝ｖ５＝ｖ６＝ｖ７＝ｖ、＝Ｖｅ Ｊとなるよう
にＸ、Ｙ、Ｚ！ｌ＠モータドライバ１９．．１９２ ．
１９３に制御信号ＳＸ。
「Ｖ１＋Ｖ２→−Ｖ３ ＋Ｖ４ ＋ Ｖ５ ＋ｖ６＋Ｖ
７＋ｖ８＋ｖ９ 」が最大テカツ「Ｖｌ−ｖ、＝ｖ３＝
ｖ４＝ｖ５＝ｖ６＝ｖ７＝ｖ、＝Ｖｅ Ｊとなるよう
にＸ、Ｙ、Ｚ！ｌ＠モータドライバ１９．．１９２ ．
１９３に制御信号ＳＸ。
ｓｙ、ｓｚｌ供給してＸ、Ｙ、Ｚ軸−Ｔ：−夕２（ｈ−
２０２，２０３を制御し光源１２の位置を移動する。
２０２，２０３を制御し光源１２の位置を移動する。
このような構成によれば、光源ランプの交換時にも調整
が自動的に迅速かつ高精度に行なえる。また、照明面の
照度が均一でかつ最大照度になるように常に光源位置全
制御できるため、光源の発熱による周辺部品の熱膨張や
機械的な振動に起因する照度や照明ばらつきの変動等も
６− １成域できる。
が自動的に迅速かつ高精度に行なえる。また、照明面の
照度が均一でかつ最大照度になるように常に光源位置全
制御できるため、光源の発熱による周辺部品の熱膨張や
機械的な振動に起因する照度や照明ばらつきの変動等も
６− １成域できる。
以上勝４明したようにこの発明によれば、照明面の照明
強度と照度分布の調整が自動的に行なえる自動調整光源
が得られる。
強度と照度分布の調整が自動的に行なえる自動調整光源
が得られる。
図面はこの発明の一実施例を示すもので、第１図は概略
構成図、第２図は上記第１図における照明制御回路の具
体的な構成例を示す図である。 １２・・・光源、１３・・・コンデンサー、１５・・・
照明面、１６・・・フォトセンサ、１８・・・照明制御
回路、ＡＩ〜Ａ９・・・増幅器、２ノ・・・信号切換回
路、２２・・・Ａ／Ｄ変換回路、２３・・・演算回路。 出願人代理人 弁理士 鈴 江 武 彦７−
構成図、第２図は上記第１図における照明制御回路の具
体的な構成例を示す図である。 １２・・・光源、１３・・・コンデンサー、１５・・・
照明面、１６・・・フォトセンサ、１８・・・照明制御
回路、ＡＩ〜Ａ９・・・増幅器、２ノ・・・信号切換回
路、２２・・・Ａ／Ｄ変換回路、２３・・・演算回路。 出願人代理人 弁理士 鈴 江 武 彦７−
Claims (2)
- （１）光源と、この光源のｔを集光して照明面を照射す
るコンデンサーと、上記照明面の照度分布を検出する複
数の７オトセンサと、上記各７オトセンサの出力が供給
され照明面の照度分布と光の強度との最適値を求める照
明制御回路と、上記照明制御回路の出力に応じて光源の
位置全移動する移動機構とを具備すること全特徴とする
自動調整光源。 - （２）上記照明制御回路は、複数の７オトセンサの出力
を各々増幅する増幅器と、この増幅器の出力を選択する
信号切換回路と、上記信号切換回路から出力された増幅
器の出力をアナログ／ディジタル変換するＡ／Ｄ変換回
路と、このＡ／Ｄ変換回路の出力が供給されフォトセン
サの検出値に応じて移動機構を制御する演算回路とを具
備することを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の自
動調整光源。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57187842A JPS5977445A (ja) | 1982-10-26 | 1982-10-26 | 自動調整光源 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57187842A JPS5977445A (ja) | 1982-10-26 | 1982-10-26 | 自動調整光源 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5977445A true JPS5977445A (ja) | 1984-05-02 |
Family
ID=16213179
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57187842A Pending JPS5977445A (ja) | 1982-10-26 | 1982-10-26 | 自動調整光源 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5977445A (ja) |
-
1982
- 1982-10-26 JP JP57187842A patent/JPS5977445A/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3181050B2 (ja) | 投影露光方法およびその装置 | |
| US5067811A (en) | Illuminance distribution measuring system | |
| JPH1092722A (ja) | 露光装置 | |
| JPS5983165A (ja) | 照明光源装置 | |
| JPS6080835A (ja) | 写真撮影装置及び露光条件測定方法 | |
| JPS60145764A (ja) | 画像走査記録方法 | |
| US4694186A (en) | System for photoelectric detection | |
| JPH07220989A (ja) | 露光装置及びこれを用いたデバイス製造方法 | |
| US4516852A (en) | Method and apparatus for measuring intensity variation in a light source | |
| JPS5977445A (ja) | 自動調整光源 | |
| JPH1073865A (ja) | 光源用電源装置 | |
| JPH03211812A (ja) | 露光装置 | |
| JP3573631B2 (ja) | 顕微鏡用測光装置 | |
| JPS62283629A (ja) | 露光装置 | |
| JPS6252929A (ja) | 照明光学装置 | |
| JP3008591B2 (ja) | 露光装置及びそれを用いた回路製造方法 | |
| EP0072443A2 (en) | Method and apparatus for measuring the illumination uniformity in a ring field projection system | |
| JPH0652699B2 (ja) | 露光装置 | |
| JPS62150107A (ja) | 測定装置 | |
| JP3114347B2 (ja) | 一次元ｃｃｄ撮像装置 | |
| JPH10284400A (ja) | 露光装置 | |
| JPH11260689A (ja) | 均一光学系、パターン検査装置及びパターン検査方法 | |
| JPS6167223A (ja) | 信号検出装置 | |
| JPH098383A (ja) | レーザーパワー測定装置 | |
| KR970030324A (ko) | 프로브 빔 주사방식에 의한 웨이퍼 자동촛점장치(Probe beam scan type wafer auto focus system) |