JPS5977695A - コンテイギユアスデイスク・バブル素子 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はバブル素子に関し、特にバブル検知用磁性パタ
ーンの構造に関する。

従来、バブル素子にはバブル保持層の上に軟磁性体パタ
ーンを互いに間隙を設けて面内磁場回転によりバブルを
転送させる方式が採用されてきた。

しかし、前記のパターンの間隙は、バブル密度の低下、
バブルの高速度転送に対する障害そしてパターン微細加
工の限界という点で好ましくなかった０ これに対し、米国特許第３８２８．３２９号明細−に無
間隙のパターンを用いてバブルを転送させる素子が提示
され、ｒ近急速に一発が進められてきた。

そこではパターンはイオン注入法で形成されている。そ
の素子は転送パターンが円を運らねた形状であったこと
から、その後に開発された形状のものも含めてコンティ
ギエアス・ディスク（以下ＣＤの略称する）素子と言わ
れている。

現在、Ｃｉ）素子は大容知−化が進められているが、特
に大おのバブルデータを効率よく検出することが要求さ
れている。このＣＤ素子のバブル検出は第１図に示すよ
うに従来、ヘアピン状導体パターン１２等を用いてバブ
ルを伸長し、磁気抵抗効果を有する磁性体パターン１３
によジそのバブル磁界を検知することが行なわれている
が、この原形及び類似例は、ベル・クステム・テクニカ
ル・ジャーナ／ｌ／　（Ｂｅｌｌ　Ｓｙｓ、Ｔｅｃｈ、
Ｊ、）第５９巻（１９８０年）第２２９頁に記載されて
いるものである。第１図において、このバブル素子はイ
オン注入によ勺形成されたパターン１１に沿ってバブル
１０を転送した後、導体パターン１２の磁界によって伸
長して、パーマロイ薄膜の磁性体パターン１３により、
磁気抵抗効果を利用してそのバブルを検出するように構
成されている。なお、第１図の非イオン注入領域１４は
伸長バブル磁界の検知ｋＷ易にするために設けられてい
る。このように構成された検出器は、バブル検出出力を
増加するために導体パターン及び磁性体パターンの長さ
１５をよフ長くすることが必要である。しかし、バブル
伸長速度は磁性体パターンの材料により限定されるため
、バブルを長く伸ばすはどバブルの伸長時間が増加し、
すなわち、導体電流をより長時間流さなけれはならない
ので、遅くなった。甘た、この検出器は導体パターンが
長くなると導体抵抗値も増加するので、検出器の消費電
力やデユーティの面で検出器の長さに制約を生じる。こ
のため、従来の検出器は磁性体パターン長１５が、９０
〜１００μｍにとどまっていたが、この場合でもデユー
ティが高い欠点があシ、また、バブル伸長の長さを短か
くしデユーティを下げた場合、バブル検出出力が不足す
る欠点があった。

本発明の目的は、これらの従来ＣＤ素子ノ（プル検出器
の欠点を除去すると共に改善したバブル検出用の磁性体
パターンを備えたバブル素子を提供することである。

本発明によれば、バブル保持層に設けられたイオン注入
領域のパターンに沿って転送された）（プルを検出する
ためのバブル伸長用のヘアピン状導体パターンと磁気抵
抗効果を有する磁性体パターントラ設けたＣＤ素子にお
いて、前記磁性体）（ターンが前記ヘアピン状導体パタ
ーンの内部に配され、かつ開放著しくは閉鎖端近傍で折
返した構造を有することを特徴とするコンテイギユアス
ディスク・バブル素子が得られる。

本発明による検出器では、従来と同じ長さのバブル伸長
用導体パターンを用いた場合、従来の約２倍の検出出力
が得られまた、従来の約％の長さのバブル伸長用導体パ
ターンを用いた場合、従来とほぼ同じ検出出力が得られ
る。しかも、この検出器はバブル伸長用導体パターンの
抵抗値及び消費電力が従来の約％、伸長時間及びデー−
ティが従来の約％になシ温度上昇への寄与を理想値で従
来の約％にできる等の効果がある。

次に本発明の実施例について図面を参照して詳細に説明
する。

第２図は本発明の一実施例であるＣＤ素子のバブル検出
器を示す。第２図において、この実施例はバブル１０ｆ
、バブル保持層でおるイオン注入した転送路パターン１
１に沿って転送した後、非イオン注入領域のパターン１
４に沿って設けられたバブル伸長用のヘアピン状導体パ
ターン１２によって伸長し、磁性体パターン２１により
検出するように構成されている。磁性体パターン２１は
ヘアピン状導体パターン１２の閉鎖端１２ａの近傍で折
返され、ツ（導体パターン１２に沿って引伸した構造で
ある。この磁性体パターン２１は、たとえば折返後の長
さ１５が約１００μｍ、ライン幅１．５μｍ、スペース
幅１，５７４ｍ、膜厚約５０ＯＡ（７）パーマロイ薄膜
パターンである。この−実施例は１μｍバブル膜につい
てのバブル検出出力値が約１５ｍＶで従来値より約１．
５倍の増加した出力が得られた。

なお、この一実施例においては磁性体パターン２１が折
返される部分がヘアピン状導体パターン１２の開放端１
２ｂの近傍でろっても同様な効果が得られる。

この一実施例においては、導体パターン及び磁性体パタ
ーン全それぞれ短かくしたとえは長さ１５を約６０μｍ
にした場合にバブル検出出力１麻が、従来値とほぼ等し
い値が得られる。しかも、この一実施例は従来に比べ導
体抵抗が約０．６倍に筐たバブル伸長時間も約０．６倍
に減少し、消費電力及びデユーティの減少で発熱への寄
与も従来よシ大きく改善された。

第３図は本発明の他の実施例であるバブル素子を示す。

第３図において、この他の実施例はバブルｌＯが転送路
パターン１１に沿って転送された後、両端がヘアピン状
になっていて、中央でバブルを伸長するバブル伸長用の
導体パターン３１によってバブルを双方向に伸長し、磁
性体パターン２１で検出するように構成されている。こ
のバブル素子は磁性体パターン２１の検出部分の長さ１
５が従来と同じく約１００μｍで、磁性体パターン２１
の幅や膜厚が実施例１と同じである場合に、バブル検出
出力が従来値の約１．５倍でしかも、バブル伸長時間が
従来の約０．６倍であフ、抵抗値も従来と？１は同じで
あったがデユーティも低く、かつ出力特性の良好な素子
が得られた。

本発明は以上説明したように従来のＣＤ素子よシもバブ
ル検出出力の大きなバブル素子が得られ、またバブル伸
長を短かくして低消費電力低発熱化を図った場合でも所
定の検出出力が得られ、大量のバブルデータの読出しに
適したバブル素子を提供することが出来、バブル素子の
大容量化を達成できるという効果がある〇

【図面の簡単な説明】

第１図は従来のＣＤ素子バブル検出器を示す図、第２図
は本発明の一実施例を示す図、第３図は本発明の他の実
施例を示す図である。 １０・・・・・・バブル、１１・・・・・・転送路パタ
ーン、１２．３１・旧・・導体パターン％　１２ａ・旧
・・閉鎖端、１２ｂ・・・・・・開放端、１３．２１・
・・・・・磁性体パターン、１４・・・・・・非イオン
注入領域、１５・・・・・・磁性体パターン長。 第１　図 第２図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. バブル保持層に設けられたイオン注入佃域のパターンに
   沿って転送されたバブルを検出するためのバブル伸長用
   のヘアピン状噂体パターンと、磁気抵抗効果を有する磁
   性体パターンとを設けたコンテイギユアスディスク・バ
   ブル素子において、前記磁性体パターンが前記ヘアピン
   状４１体パターンの開放蓋くは閉鎖端近傍で折返された
   構造を有していることを特徴とするコンティギエアス・
   ディスクバブル素子。