JPS5980370A - 振動テ−ブル - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、大体において固定基板と、こσ）基板上で液
体静力学的だよび空気静力学的に支持されかつ周期的に
往復動可能な負荷用テーブル板とから成る振動テーブル
に関する。

この種の振動テーブルではテーブル板は、振動加振器と
連動しかつ、たとえは、試験される加工品を直線状に移
動する仁とができ、その除発生するモーメントと場合に
よっては横方向力ともテーブル板によって吸収される。

この場合テーブル板が摺動可能に支持されておりかつ個
々に調整可能な複数の支持個所をもつ液体静力学的ある
いは空気静力学的軸受を使用するか、あるいは２つの支
持面の間にある上滑フィルムで自由に浮遊させるのが普
通である。

この種類の振動テーブルは、カリフォルニア州モンロビ
アにあるキンバル工業会社の力／ログ４８１から想到す
ることかできる。この場合テーブル板を支持するため、
たとえは、テーブル板のコーナの範囲に２いて設けられ
た液体静力学的軸受が使用される。テーブル板の若干の
点に８けるこの軸受装置ではその上にある試験体を乗せ
るテーブル板が、このテーブル板の曲げ固有振動数によ
って限定されて、負荷方向に対し直交して振動を行なう
ことがよ（あることである。

テーブル板がたいてい花こう岩から成る板の上に乗って
いる比較的簡単な振動テーブルも公知である。この振動
テーブルでは揺動モーメントを発生する除にテーブル板
が基板から持ち上げられ、したがって制御不可能な酔歩
運動を行なわせる。したがって花こう岩上に乗るテーブ
ル板は、しばしば余分に液体静力学的軸受を備える。

これまで公知の振動テーブルの実施では大きい費用、モ
ーメント８よび横方向力に対する限定された吸収ならび
にテーブル板と軸受との好ましくない振動挙動と大きい
質幇が欠陥である。

本発明の課題は、これまで公知の欠陥を除去する簡単な
設計の構造８よび操作確実な機能を特徴とする始めに述
べた種類の振動テーブルを提供することにある。

この課題は、本発明によると、テーブル板と基板との間
の支持面において支持媒体によって供給される複数の圧
力ポケットが設けられておりまたテーブル板が平行かつ
枢着的九設けられる多級の結合部材から成る弾性装置を
介して基板と結合されていることによって解決される。

テーブル板と基板との間の全表面がほぼ液体あるいは空
気静力学的軸受として実施されて？りかつテーブル板か
多数の個所で基板に対して弾性装置によって引っ張られ
る本発明による構成のために、往復動可能なテーブル板
に２６ける突き離しと引っ張る力との間で力学的平衡が
達成される。同時にテーブル板と基板との間の圧力媒体
が補的に減衰作用を行ない、このため好ましくない振動
をほとんど防１Ｆできる。

好ましい構成と有利な実施の態様は従ＮＩ２請求範囲に
含まれている。

以下概略図な参照して本発明を説明する。

実施例として示した振動テーブルは、大体に８いて電気
動力学加振器１、矢印方向に往復動可能テーブル板２？
よびテーブル板の下に設けられる固定基板３から成る。

基板３に向かい会って移動可能なテーブル板２は、枢着
して設けられる複数の結合部材をもつ弾件装（ｉ’ｉ　
４を介して基板３と作動結合している。各結合部材は、
この場合引張り棒５であり、この棒が各方面へ移動可能
にテーブル板２と積台され、基板３の開口６を介して通
過案内されかつこの基板に対して支持されている。テー
ブル板２は、予荷重を加えられて（・るそれらの結合部
材または引張り棒によって基板６に対して引っ張られま
たその体止位１汽に３いて基板３の支持面で乗っており
、この支持面ではテーブル板２に向って開放される枚数
の圧力ポケット８があり、それらのポケットは、テーブ
ル板が移動することに対しまた移動している間加圧した
支持媒体が供給される。支持板２の上に詳しく図示しな
い鎖糾で描かれかつ振動試験を行なわねばならぬ試験体
が乗っている。ポンプ９によって支持媒体は共通貯槽か
ら導管装置を経て基板３の圧力ポケット８に供給され、
圧力ポケット８に対する各導管１０では絞り弁１１か設
けられている。

複数の圧力ポケット８のこの支持媒体の圧力が複数の結
合部材のはね予荷重とその上に試験体を乗せているテー
ブル板２の荷重とによる大きさの値に達するならば、試
験体をもつテーブル板２が基板３の支持面から僅か上昇
され、したがってテーブル板２は、その上で浮遊する支
持媒体被膜が形成される。テーブル板２と基板３との間
にあるこの僅かな間隙は、それらの絞り弁１１と直列に
なって？りかつこれらの弁と共に圧力つりあい装置を形
成し、この装置によって圧力ポケットの圧力が荷重また
は間隙の高さにしたかつて調整される。

第２図で示される応力図ではこの振動テーブルの力およ
び圧力関係が示されている。その際ばね力ＦＩ、テーブ
ル板２の自重とテーブル板の上に乗っている試験体とに
よって発生される力Ｆ、＆工、支持媒体の圧力によって
う６生される力Ｆ。

と平衡している。

テーブル板の振動運動の際に質力七作用によって導入力
Ｆ、の力線の上部で水平力Ｆ４が発生ずるならは、傾斜
モーメン）Ｍ＝Ｆ、×ａは、振動テーブルまたは、テー
ブル板の案内部あるいに支持部によって吸収しなければ
ならない。この柚の荷重に対してこれらの力、モーメン
ト％よび圧力ｌｊＪ　係は、第６図で示されている。各
個々の圧力ポケットか軟り弁１１を介して支持媒体を供
給されるから、各圧力ボケッ）［おいても荷重に対応す
る圧力は調整される。時計方向に回転するモーメントＭ
ヶ平衡させるため右側に設けられる］辰即１テーブルの
圧力ポケットでは左側のＪｈｄ・υテーブル部分ＦＡ−
１％Ｆｊ−ｆｆｉよりも高い圧力Ｆ３−ｍｂ　Ｆ３−４
かＷ・”ｊ整される。反時計方向のモーメントの際には
それらの圧力関係は逆になる。

第４８よび第５図に示される引張り棒５は、テーブル板
２に２いてのみならずまた基板３においても第１図と対
照的にゴムばねである複数のはね１３によって支持され
ている。基板３に組み合わされているゴムばねは、２つ
の金属円板１４の間ににさまれて？す、それらの円板の
うち１つが同時に基板３の透孔６の内部で引張り棒Ｂ１
５分を心合わせするため使用されている。

さらにこの場合圧力ポケット８は、槍状溝として示され
ている。

テーブル板２の往後動の際に引張り棒５が揺動運動を行
ない、それらのゴムはね１３は、上部だまひ下部で追加
して若干圧縮される。この場合予張力は若干増加する。

この予張力の増加は、圧力ポケットの支持媒体の価がな
圧力上昇によって補償される。引張り棒５の偏向の除に
この増加した予張力によって両方向にまた水平方向分力
によってテーブル板２は、常に再びその出発位置へ引き
戻される。したがって調整作用が行なわれる。

基板３の透孔６は、偏向の際に傾斜して示された引張り
棒５が孔壁と接触しないような大きさにする必要がある
のは当然理ｆＱ’ｃされる。

第６図は、支持面に亘って均一に分布した複数の開口６
？よびそれらの開口乙の中にある引張り棒５ならびに環
状溝として示される＋Ｍ数の圧力ポケット８をもつ基板
３を示している。この場合複数の透孔６と複数の圧力ポ
ケット８とは、直列に相前後しかつ相互に並びあいなら
びに互いに対称に設けられて？す、この圧力板の縁Ｖ−
に；いて追加の圧力ポケット８′と８“とがあり、それ
らのボクットは長手方向溝あるいはＬ字状溝とし又実施
されている。

横方向に−あるいは垂直軸のまわりの移Ｔ？ｈに逆って
基板６に対してテーブル板２を安定させるために、テー
ブルゴロよび基板の支持面は、両方ともＶ字状に構成す
ることができる（第７図〕。

しかし特に平らな支持面では接舷の肩部なもつテーブル
板２を設けることも同様に可能であり、第８図で示され
るように、テーブル板２は、基板６に対しＴ１部を介し
７て複数のばねによって支持される。

【図面の簡単な説明】

第１図はテーブル板と基板とを縦１す［面にしまたこれ
ら画板を相互に結合しかつ複数のばね部材をもつ弾性装
置を原理上水している振動テーブルの部分側面図、第２
？よび第３図はそれぞれ応力図、第４図は結合部拐とし
て初期位置の引張り棒をもつ撮動テーブルの断片を拡大
尺度にした断面図、第５図は第４図に対応するがしかし
偏向位１１ｔの引張り棒を示す断面図、第６図は基板の
支持面の平面鮪、第７図は互いに対して傾斜して設けた
２つの支持面部分をもつ振動テーブルの横断面図、第８
図はテーブル板が複数の肩部な備えかつ肩部を介して基
板に対し弾性的に支持されている振動テーブルの横断面
図である。 ２−ｍ−テーブル板、 ３−ｍ−基板、 ４−一一弾性装置、 ８．８′、８１−一一圧カポケット。 １　°１ し：じ、・−１−：１ 第４図 第５図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、　大体にゴロいて固定基板と、この基板上で液　　
   ４゜体静力学的Ｊ６よび空気静力学的に支持され力・つ
   周期的に往復動可能な負荷用テーブル板とから成る振動
   テーブルに？いて、テーブル板と基板との間の支持面に
   ゴハ・て支持媒体によって供給される複数の圧カポケラ
   ）（８，８’、８１　）が設けられてだりまたテーブル
   板（２）５、が平行かつ枢着的に設けられる多数の結合
   部材から成る弾性装置（４）を介して基板（５）と結合
   されていることを特徴とする、振動テーブル。 ２、　各結合部材が予荷重を加えられる引張り棒（５）
   であり、この棒が基板（３）の透孔（６）を介して通過
   案内されていることを特徴とする特許請求の範囲第１項
   に記載の振動　＆テーブル。 ６、　引張り棒（５）が片方あるいは両方端［％いて複
   数のはね（７、ｉ３）を介して支持されていることを特
   徴とする特ｉ’ｌ’　ＨＡ求の範囲第１項あるいは第２
   項に記載の振動テーブル。 複数の引張り棒（５）Ｋ用いる複数の透孔（６）と支持
   媒体に用いる複数の圧力ポケット（８）とが基板（３）
   において直列に続きかつ互に相並んで設けられているこ
   とを特徴とする特許請求の範囲第１項ないし第３項の１
   つに記載の振動テーブル。 基板（３）のすべての圧力ポケット（８、ｓ／　、ａｊ
   ｌ　）が導管装置を介して少な（とも１つのポンプ（９
   ）？よび支持媒体に対する共通の貯槽と接続されて？り
   またさらに圧力ポケットに到る各供給導管（１０〕に８
   いて絞り弁（１１）が存在していることを特徴とする特
   許請求の範囲第１項ないし第４項の１つに記載の振動テ
   ーブル。 各圧カポグツ）　（８，８’、８’）ＩＣポンプ（９）
   を組み合わせていることを特徴とする特許請求の範囲第
   １項ないし第５項の１つに記載の振動テーブル。 ２　テーブル板（２）の支持面と基板（６）とが−個あ
   るいは複数の部分から成ることを特徴とする特許請求の
   範囲第１項ないし第６項の１つに記載の振動テーブル。 ａ　一体の支持面が平らであることを特徴とする特許請
   求の範囲第７項に記載の振動テーブル。 ９　支持面が７字状に互いに設けられる少なくとも２つ
   の部分から形成されていることを特徴とする特許請求の
   範囲第７項に記載の振動テーブル（第７図）。