JPS5981771A

JPS5981771A - 位置検出装置

Info

Publication number: JPS5981771A
Application number: JP58156262A
Authority: JP
Inventors: Michihiro Mese; 目瀬　道弘; Seiji Kashioka; 誠治柏岡; Masakazu Ejiri; 江尻　正員; Takafumi Miyatake; 孝文宮武; Isamu Yamazaki; 勇山崎; Toshimitsu Hamada; 浜田　利満
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1983-08-29
Filing date: 1983-08-29
Publication date: 1984-05-11

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】本発明はＩＣ１ＬＳＩなどの半導体集積回路の組立工程
におけるワイヤホンディングの位置測定の自声ＩＪ化に
［夕１する。

従来　ＩＣ，ＬＳＩなどの半導体製品の組立工程におけ
るベレットのダイボンディング工程において、ベレット
はかなり寸法が太きいものであり。

リードフレームと称する治具上にベレットを熱圧着する
場合、ぞの位置決め精度は±１００μ以上であるため、
その位置ずれ量は作業名の目視により測定していたが、
この目視作業はパターンがきわめて集積化しているため
１作業名に精神的苦痛ウー力えていた。また、このよう
な精密作業においては、わずかの測定ミスガ製品の歩留
り低下につながってくるため、信頼性の高い自動位置測
定装置を必要としてきた。

本発明の目的は、このようなワイヤボンディングを行な
うための目視作業を自動化し、高信頼度。

高精展かつ高速度の自動位置測定装置を提供することで
ある。

（以下余白）第１図は、ワイヤボンディングのなされる前の、たとえ
ばＬＳＩペレットのような半導体部品を示す、同図中、
１はＬＳＩペレット（以下ペレットと略記する）、２は
タブと称されるベレットの台座ＷＩＳ分、３−０．３−
１．・・・・・・（一部は図示せず）はペレット１内の
ポンプイングツ（ラド（以下、〕（ツドと略記する）、
　４−０．４−１．等はリードフレームの一部である外
部電極で、ノクツド３−０゜３−１は同図には簡単のた
め３−０．３−１の２個しか記載してないが、外部電極
４−０．４−１と同数だけ・実際には２０〜４０個程度
設けてあシ、ワイヤボンディングによりそれぞれ対応す
るパッドと外部電極とを金線やアルミ線で互いに接続す
る。

ここで問題となるのは、ペレット位置すなわち直角座標
で表わした場合の座標（Ｘ、Ｙ）と、ペレット方向すな
わち角度（θ）のばらつきである。

この場合・ばらつきの大きさ、すなわちΔＸおよびΔＹ
は±ｉｏｏ〜１５０μ、Δθば３０′程度であり、自］
）υ的にワイヤボンディングを行なうには、各パッドの
位置を±１０μ程度で検出する必要がある。

本発明では、たとえば第２図に示すように、パッドが存
在するベレット１の周辺部に少なくとも二つの視野像５
−０．５−１を設定し、その中のパッド３−０．３−１
を１本発明と同一出願人により既に出願された°特定パ
ターンの認識方法”（特１厘昭５１−１４０３１号）に
よシ検出する。

上記視野像の数としては、ペレットの回転ずれΔθを検
出するために複数個必要であるが、説明をｆ７ｉｊ単に
するため・餌宜上２個としておく。なお視野像の大きさ
としては、ベレットの位置ずれΔＸ。

ΔＹおよび回１伝ずれΔθ等をカバーできるよう６００
μ程度のものとする。また視野像の位置は可変で１種々
の大きさのベレットに対してもパッド検出を行なえるよ
うに２本発明の装置では・それぞれの視野像の位置を任
意に指定できるようにする。

第３図は本発明による位置検出装置δの基本ｔＧ成を示
す。同図中、６はリードフレームと称する金属板で、前
第１図に示したように、そのタブ２の部分にベレット１
が一部ピッチで圧着されている。

７はフレーム送り機構で、図示の破線の矢印の方向にリ
ードフレーム６を間欠的に送り、光学系の直下にベレツ
）ｌｆｆ−個づつ供給する。また８はペレット照明用光
源、ｌＪ：半透明鏡、１０はペレット１の拡大像を得る
ための対物レンズ、１１は像分割用の反射鏡であり、ペ
レット１からの拡大像を少なくとも二つの部分像に分割
する。同図は二つの部分像に分割する場合を示し、これ
によって図示の１２−０．１２−１の位置にペレット１
の一部の拡大された実像が得られる。

１３−０．１３−１はリレーレンズ、１４−０゜１４−
１は光学像を走査して時間的なアナログ映像信号に変換
するための光電変換装置で、−例とＬ−ｒビジコン等の
ＴＶ右カメラどを用いる。１５−０．１５−１は上記の
ＴＶカメラ移動用の載物台で、光電変換装置１４−０．
１４−１の受光面に平行な平面内で光電変換装置を移動
することにより・ペレット１の品種を変更した場合、ペ
レットに応じて視野の位置を調節するためのものである
０１６−０．１６−１は光１Ｆ？、変換装置ハ：１５−０
゜１５−１からのアナログ映像信号、　１　’７　（４
映像処理装置で、アナログ映住信号１６−０．１６−１
の２値化、パッド検出処理等を行なう。２１は計ｎ様の
ようなｔｌｊ’Ｊ御装置行で、パッド検出処理に必要な
データ処理映像処理回路の市ＩＪ御等を信号１８゜２０
およびインターフェイス１９を介して行なう。

２２はフレーム送りイ１．゛を構７及び載物台１５−０
゜１５−１の１駆Ｓ功回路、２３は１嘔動回路２２を制
御するための回路で、信号２４．インターフェイス１９
および信号２０を介して計算、騰に接Ｘ’５＋＋されて
いる。

２５は自動ワイヤボンダで、映像処理装置１７で求めた
パッドの位置をもとに、計算機２１ですべてのパッドの
位置が求められ、この自動ワイヤボンダ２５で各パッド
と外部電極とを金門線で自動的に接続する。この場合、
パッドの位置を検出する速度と自※ｈワ・ｆヤボノデイ
ングを行なう速度とが整合しないときには自動ワイヤボ
ンダ２５にカセットテープのようなバッファを付加して
入力信号を一時記憶させ、検出ステーション２６と自動
ワイヤボンダ２５とをオフライン的に結合させるような
システムも考えられる。

またパッド位置検出速度がフレーム送シ速度に比べて十
分速い場合には、第４図に示すように。

１台の映像処理装置および計算機で複数台の検出ステー
ション２６をＩ１１］御するようにできる。本発明で（
ｄ、１台の映像処理装置および計算機で少なくとも４台
の検出ステーションをまかなうようなシステムを提供す
る。

次に、本発明による映像処理の概要を示す。第５図にお
いて、３０は本発明の光学系におけるＴＶ左カメラの光
電製換器から得られるペレットの部分拡大像のアナログ
映像を示す。同図中、正方形の部分３１はアルミニウム
のパッド、３２は上記３１の延長で内部配線への引出部
、３３は前工程における検査用プローバの傷跡である。

ペレットは品種によって種々の大きさのものがあるが、
いずれもパッドの正方形の部分３１の大きさは共通で、
はぼ１２０μ口である。この場合・引出部３２としては
ＬＳＩの品種やペレット内の視野の位ばにより、上下左
右いずれの側にも出ている可能性がある。また、プロー
バの傷跡３３の大きさはほぼ一定しているが、パッド内
での位置は不定である。なおバット３１の周辺部３４は
酸化シリコンのコーティング部、３５はペレットの縁の
シリコン部、３６はペレット外部の金−シリコン共晶部
である。

前記第３図に示したような落射照明の場合・パッドのよ
うなアルミ部が最も明るく、次いでシリコン部３５．酸
化シリコン部３４の順に暗くなる。

金−シリコン共晶部３６は、光学系の光軸方向に傾斜が
あるため図示のようにペレット近辺が最も暗く、ペレッ
トから離れるにつれて除々に明るくなる。また、プロー
バの傷跡３３はくほんでいるため暗くなる。

第６図は第５図のアナログ映像３０を、アルミ部の明る
さと酸化シリコン部の明るさとの中間の明るさをしきい
値として２値化した場合の２値化映像である。図示のよ
うに、パッド４１．引出部４２、シリコン部４５および
金−シリコン共晶部４６のペレットから遠い部分４６−
１は白になり・ブローバのイち跡４３．酸化シリコン部
４４および金−共品部４６のペレットに近い部分４６−
Ｏは黒（ハツチング部分）になる。このように、アナロ
グ映像信号′ｆ：２値化できれば、比較的簡単な映像処
理装置を実現できるため１本発明では処理対象を２値化
映像とする。

また・本発明では映像の電気的処理をさらに容易にする
ため、２１直化映像をたとえば第７図のようにＸ方向に
３２０絵素、Ｙ方向に２４０絵素にサンプリングする。

なお同図のＸ方向６４絵素。

Ｙ方向２０絵素の部分は帰腺区間であり、その中のＸ方
向３２絵素、Ｙ方向１２絵素の帯状の部分にｔＴＶカメ
ラの外部同期信号のパルスが出る部分である。なお、１
″８＋示の分割された各格子点のＸ。

Ｙ両方向に１絵素毎、２絵素毎、・・・・・・に映像の
サンプリングを行なうことを・以降では”モード１”。

“モード２°、・・・・・・と呼ぶことにする。第７図
において、・印はモード１のサンプリング、■印はモー
ド４のサンプリング子それぞれ示している。

ところで、バッド演出のための本発明の基本的な映像処
理は、（１）２値化用しきい値側算（２）マクロ処理（３）方向チェック（４）　　ミクロ処理の四つから成り立っており、その他の処理として・（５
）各視野中のパッド相互位置の判定（６）すべてのパッ
ド位置の計算などの処理がある。

このうち・（１）は前記のように、アルミ部と酸化シリ
コン部の各映像信号レベルの中間の値をしきい値として
求めるための処理である。（２）はバンドの大体の位置
を検出するためのものである。（３）は（２）で（λ出
したパッドが、はたして所定の方向に引出部が出ている
かどうかを調べるためのものである。さらに（４）の処
理は、（２）で検出したパッドの位置を高精度に検出す
るためのものである。

これら（１）〜（４）の処理は本発明の映像処理回路を
１吏用し、各処理に必要なデータ処理のみを計算機プロ
グラムで行ない、これに対しく５）、（６）はすべて計
算機プログラムで処理するようにする。また、本発明で
はペレットを間欠的に移動し、ペレットが停止している
期間中に上記のような映像処理を行なう。したがって、
その期間中、各ＴＶカメラからは同一の映像信号が繰り
返し得られる。

以下、上記の（１）〜（４）の各映像処理の状態を概説
する。

まず・（１）の２値化用しきい短針Ｈの状態を第８図に
示す。同図中−ｆｏ（す、ｆ（ｔ）はＴＶカメラから得
られるアナログ映像信号であり、元来ｆｏ（りであった
ものがドリフトによシｆ　（ｔ）に変化したものとする
。

前述のようにペレットは停止しているため、図示のよう
な短時間の期間中、ｆ（りは同一の信号が繰り返［７人
力されるはは周期的な信号（周期的１５７　ｍ　ｓ　）
と考えてよい。なお同図中・ｔＯｎｔ□、　ｔｌ　、　
ｔ、はそれぞれペレットの極端に明るい部分、アルミ部
、酸化シリコン部、極端に暗い部分に対応した信号レベ
ルである。このうち極端に明るい部分とは、落射照明の
場合、アルミ部。

金−シリコン共晶部などに存在する正反射の部分で、極
端に暗い部分とは、金−シリコン共晶部のペレット近辺
の陰の部分である。

２値化の目的からは、このような信号レベルは無視した
い。そこで・ｔＢ、１ｗのように無視すべき信号レベル
限界を設定し、ｔＢ−１Ｗの範囲のあるしきい値θｎ−
１を設定して・この範囲内のｏｎ−１以上およびｏｎ−
１以下の各映像平均レベルΔ（ｗｒｎ−ｔ）　オヨヒΔ
ｆ　！＋　”−”ｆ：求メ、各平均レベルから新たなし
きい値θｎを次のように決める。

すなわちｈｎ＝１．２．・・・・・・Ｎに対して。

θｎ＝θｎ−、＋ｒ（βΔｆｗ”−”−（１−β）Δｆ
　Ｂ　（ｎ−１））・・・・・・　（２）・・・・・・　（３）ただし、０〈β〈１．γ〉１ココに、β、１−βは２１ｗ（ｎ−ｔ）、Δｆｎ”−”
Ｋ対する荷重、γは式（１）の右辺第２項のしきい値修
正量の過不足を補う係数であり、ｔｗｎ−１はθｎ−１
≦ｆ（ｔ）≦ｔｗｆ＋　　”５ｎ−１はθ。−３≧ｆ（
ｔ）≧Ａｍをそれぞれ満足する時間区間である。また、
ペレットの映像では・Ｎ≧３でｔｌ　とｔｌをβ：（１
−β）に分割するようなしきい値を定めることができる
・ｎの単位としては、ＴＶカメラの場合１通常１フィー
ルド時間（キ１６７ｍＳ　）である。なお図示のＴに相
当する時間帯以外の信号をマスクするようにすれば、さ
らに精度よく２値化のしきい値を求めることができる。

このように、ある時間帯の信号のみを処理の対象とする
場合、その時間帯以降では”エリアゲート処〕」°ヲ行
なうことにする。すなわち、Ｔのような時間帯は画面上
のある長方形領域に対応するため・その長方形の左上隅
位置とＸ、Ｙ方向の大きさを指定し、その内部の信号の
みを処理する。

また・上記のしきい短針算処理は１両面のサンプリング
は粗くても差支えないので、本発明では。

たとえばモード４程度のサンプリングで行なうようにす
る。

以上のようにすることによシ、たとえアナログ映像信号
がドリフトしても安定にしきい値をそのドリフトに追従
させることができ・信頼性の高い２値化信号をイ（Ｉる
ことができる。

第９図は、上記の２値化用しきい短針算処理回路を動作
させるための計算機のソフトウェアの処理の状態を示す
。図示のように、まず５０でしきい値計算回路の処理に
必要なデータを与えた後。

５工でしきい値計算回路を起動する。それ以降。

計算（歳としては５２のように処理終了の待ち状態に入
るが・その間、計算機ヲただ待たせておくのではなく・
別個の作業を行なうようにすれば、処理時間を大幅に短
縮することができる。

なお５３はしきい匝計算回路からの処理終了の割込み要
求であり、映像走査点が５０で与えたエリアゲートの外
へ完全に出たとき（すなわち・第８１・？１の時間帯Ｔ
を通った直後）に発生し、計算機は次の５４の処理へ移
ることができる。５５はしきい短針算の反復回数を判定
する処理であり５ｎ〈Ｎの場合のｎを更新して再び５０
の処理１繰り返し、ｎ＝Ｈの場合、しきい値は求まった
として次の５６の処理へ移る。

上記のように、計算機が必要なデータを処理回路に与え
て起動させてのち、終了割込みを待ちながら別作業を行
なうよう力処理方法は、本発明の（１）〜（４）の映像
処理に共通の基本的形態である。これにより計算機の処
理時間を最大限に活用することができ、それに伴い高速
処理が可能となるから、第４図に示したような複数台の
検出ステーションを１台の計算機、映像処理回路でまか
なうようなシステムを実現できる。

次に、（２）項のマクロ処理の状態を説明する。

本発明のマクロ処理に関係する回路としては・（ａ）　
　ノイズ除去回路（ｂ）群パターンマツチング回路の二つがある。（ａ）は量子化した２値化映像中のノイ
ズや量子化誤差を処理するためのもので、（ｂ）はパッ
ドの大略の位ｆｉｆｆｔ検出するものである。ここで、
（ａ）、（ｂ）いずれも検出精度は問題とならないから
、禾発明では、たとえばモード４程度のサンプリングで
処理するようにする。ただし・映像ノイズが少ない場合
には、（ａ）の処理を省略しても差しつかえない。

２ｇ１０図、第１１図に（ａ）の回路によるノイズ除去
の処理の状態を示す。この場合、パッドの２値化映像を
モード４程度でサンプリングすると第１０図のようなパ
ターンが得られるが、一般に７０−０．７０−１．７０
−２のようなパターン境界部の量子化誤差や、７１−０
．７１−１のように微小なノイズが発生する。ところが
ベレットのパターンに着目すると、プローバの傷跡４３
や引出部４２などの例外を除けば、はとんどＸ、　Ｙい
ずれかの方向に平行な成分から成り立っている。

したがって、たとえば量子化映像中の各点に対して第ｉ
　ｏ　ｒ、ｇ＋の７２のようなＸ、Ｙ方向に平行な成分
しかもたない十字状の領域（Ｘ、Ｙ方向ともｉ絵累から
なる）全考え、その中にｉ　−１絵素以上白絵素が含腫
れておれば白とし、ｉ　−１絵素未満ならば愚とするよ
うな変換を行なえば、第１１図のようなパターンが得ら
れる。ただし、同図はｉ＝５の例である。

この変換を行なえば、第１０図におけるパッド４１、引
出し部４２およびプローバの傷跡４３等は第１１図に示
す６１．６２および６３のようになって、パターン中の
量子化誤差や、微小なノイズは除去することができる。

しかしｉｆ：、あまシ大きくすると、ノイズがパッド近
辺に存在する場合などにパッドの形状を大幅に変えてし
、まうことがあるため、ＬＳＩペレットの場合、ｉ＝５
程度が妥当と考えられる。したがって、比較的大きなノ
イズや量子化誤差については若干小さくすることはでき
ても・完全に除去することは困難である・次に、第１２
図にυ）回路による群パターンマツチング処理の状態を
示す。同図のように、Ｘ、　Ｙ方向とも、たとえば５絵
素の幅の四つの正方形の領域（標準パターン）７３−０
．７３−１．７３−２．７３−３を、相互の相対位置を
保存したまま一体としたパターン７３を用いてノイズ除
去後の映像面上を走査させ、各領域での対象パターンと
、図示のような白黒の標準パターンとの一致を判定する
。

同図のように・マスクパターンを設けるのは・ノイズ除
去では除去しきれなかった大きな量子化誤差や、ペレッ
トの回転ずれによるパッドの傾きの影響を少なくするた
めである。このようにして四つの領域のうち三つ以上の
領域でパターンの一致が取れ、しかも指定したエリアゲ
ート内であれば、その点をパッドとして抽出する。たと
えば・図示のように右下隅にプローバの傷跡６３がある
パッド６１に対しては、領域７３−０．７３−１゜７３
−２の各中心がＡ点、Ｂ点、０点のような特徴を通過し
たとき、それぞれの白黒標準パターンに一致するから、
そのタイミングで°パターン検出１の信号を出すことが
できる。この場合、Ａ〜０点はそれぞれ複紋個存在する
ものであるが、同図ではｃ７Ｕ単のため、各１点ずつを
示す６いま・各領域の白黒標準パターンを８（ｕ、Ｖ）
、マスクパターン’ｋＭ（ｕ、Ｖ）、量子化映像面上の
ある点（Ｘ、Ｙ）とそれぞれに対応する領域Ｕ内での対
象パターンをＩ　（ｘ＋ｕ、Ｙ＋ｖ　）とおくと・点（
Ｘ、Ｙ）でパターンが一致するかどうかは次の舖Ｊ４関
式Ｊ　（Ｘ、Ｙ）が成り立つかどうかを調べればよい。

・・・・・・　（４）ここに、［有］は排他的論理和、Ａは論理積、Σ（ｕ、
ｖｌｅｕは１」戸域Ｕにおける全絵素情報の論理和・−は論理否
定を表わす。

各領域１川のＸ、Ｙ方向の距離は・パッドの大きさすな
わち検出系の倍率で決まり、領域の大きさ紮５絨素Ｘ５
絵素にした場合・Ｋ　ｘ　＝　Ｋ　ｙ　＝　３（絵素）
程度がス鳴当である。

しかし、上記のマスクパターンだけでは完全には除去で
きない大きな１量子化誤差やパッドの傾きなどのほかに
、実際にはさらにＴＶカメラの偏向ひずみや光学系のひ
ずみなどがある。よって本発明では・これらの影響を＃
Ｉ案して、第１３図のように領域間の距離をＸ方向にＫ
ｘ±１（絵素）、Ｋｙ±１（絵素）の幅を持たせ、各距
離の組合せが（Ｋｘ＋　Ｋｙ　）　＋　（ＫＸ　　１　
＋　Ｋｙ　１　）　ｓ　（ＫＸ　＋１　、　ＩＣｒ＋　
１　）の三つを満足する群パターンマッチンクの判定を
同時に行なうようにする。

以上のように、パターン７３内の領域間の距離に変動許
容幅を持たせることにより、すべてのパッドを多少多め
に抽出する。すなわち・たとえば第１２図の抽出点Ａ、
Ｂ、Ｃの近傍の点、たとえばＡ’　、Ｂ’　、Ｃ’のよ
うな点も抽出される・したがって群パターンマツチング
回路では、抽出されたパッドの位置とその抽出され方、
すなわち。

いずれの領域間距離で四つの領域のうち、どの領　　　
”城でアツチングが取れたが（この処Ｊｌマツチングモ
ードの判定と呼ぶ）をバッファメモリ内に一時格納して
おき・計算機プログラムで近接するパッドの結合（バイ
ンド）を行なう。したがって・計算機プログラムの動作
としては第１４図のようになる。同図のように・しきい
短針算処理と同様に、処理終了の待ち状態時に群パター
ンマツチング回路がパッド抽出動作を行ない、処理終了
割込要求７７によりこの待ち状態が解除できる状態にな
り、次の処理７８へ進むことができる。

次に、（３）項の方向チェックの処理の状態を纂１５図
に示す。この処理は、図示のように（２）のマクロ処理
により抽出されたパッドの特徴点（同図の例ではＡ点、
Ｂ点、０点）の外側にｄ（耘素）だけ離れた四つの方向
に長手方向と短手方向がそれぞれａ（絵素）とｂ（絵素
）の長さの長刀形８０−０．８０−１．８０−２．８０
−３を想定し、各長方形内の白の面ｒｔｔ−計数するも
のである。

そして、所定の方向（同図の例では右方向）の長方形内
の白面積が所定のしきい値ＳＧ以上、他の３方向の長方
形内の白面積が所定のしきい値Ｓｏ′以下であるか否か
を判定する。このような判定により、（２）の群パター
ンマツチング処理でたとえ誤ってパッドを検出したとし
てもリジェクトし、所定のパッドのみを確実に抽出する
ことができる。

本発明では上記の方向チェックの処理のうち、四つの長
方形内の白面積を計数する処理は専用装置で行ない、他
の処理は計算機プログラムで行なうようにする。凍た上
記のようか方向チェックの処理において、処理を高速化
するために白面積カウンタｆｃｒ７　ｄ　１１？ｊ用意
し・並列動作させるのが望ましい。本発明では、たとえ
ば白面積カウンタ４個をまとめて゛白面積カウンタ群”
とし、第１６図に示すようなエリアゲートおよび白面積
カウント用の長方形を指定する。

すなわち、一般にＳ＊点全すべての白面積カウント用の
長方形の図形より上（Ｙｌ坐標小）にとり・このＳ＊点
を基準に各長方形の左上隅の点ＳＯ〜Ｓ３の座標と、Ｘ
、Ｙ方向の長さくａｏ、ｂｏ）〜（ａｓ　、ｂｓ　）を
与える。この場合、Ｓｏの座標は（Ｘｓ　、Ｙｓ　）−
Ｓｏの座標は（Ｘｓ　＋　Ｘ　８ｏ　。

Ｙｓ　＋　ｙｓｏ　）　−Ｓｔの座標は（Ｘｓ　＋　Ｘ
１ｌｌ　＋　Ｙｓ＋　ｙｇｔ　ｌ　ｓ　８２の座標は（
ＸＢ　＋　Ｘｌ＋２　、　Ｙｓ　＋ｙ８２）・Ｓ３の座
標ｕ　ＣＸｇ　＋Ｘｓａ　、　Ｙ日子ｙ８３）である。

このようにすることにより、すべての長方形のうち、映
像走査が最後の点Ｅを白面積カウンタ群で自動的に求め
・図示の破線の内部をエリアゲートになるようにする。

これにより、映像走査点がＥ点ヲ鼎過した後、再びこの
白面積カウンタ群全動作させることができ、同一画面内
の複数個の白面積カウンタ群の処理をリアルタイム（す
なわち同一フィールド内）で行なえるオリ点がある。

第１７図は、このような白面積カウンタ群りによる方向
チェックのプログラムの動作を示す。

次に、（４）項のミクロ処理の状態を第１８図に示す。

この処理は１図示のように（２）のマクロ処理で抽出さ
れたパッドの各特徴点（同図で？′ｉＡ点、Ｂ点、Ｃ点
）の付近Ｋｅ（絵素）の距離だけ離れた位１社に長手、
尻手方向がｆ（絵素）１ｇ（絵素）の良さの長方形を想
足し、各長方形内の白面Ｍを計数する。各％徴点におけ
る長方形の敢は、たとえばＡ点、０点のような直角コー
ナ部ではそれぞれ２個（ただし互いに直交する）、Ｂ点
のような稜線部では１１１１．ｌであり、長手方向に必
ず白黒パターンが変化するようにｆの大きさを取る必要
がある。このようにして想定した各長方形内の白面積は
・マクロ処理により抽出された特徴点の位置に依存した
値をとる。逆にいえば、各長方形の白面積からたとえば
ＡＯ点、ＢＯ点＋ＣＯ点のように・各特徴点Ａ点、Ｂ点
、Ｃ点の位置を簡単な計算により補正することができる
・以上のミクロ処理は、（３）項の方向チェックと同様に
白面績カウンタ群Ｍを使用することができ・ただ想定す
る長方形の位置と大きさを変えればよい。また・（２）
項のマクロ処理の群パターンマツチング回路では、四つ
の領域のうち三つ以上で一致がとれれば、その点をパッ
ドとして抽出するが。

ミクロ処理では、そのマツチングのとれた特徴点（同図
ではＡ点、Ｂ点、０点）に応じて各長方形を設けるよう
にする。

第１９図にミクロ処理に対するプログラムの動作を示す
。同図において、白面積カウンタ群Ｍはたとえば４１同
の白面積カウンタを一括したもので。

前記の白面積カウンタＤと同一のものでも、別個のもの
でも構わない。同一のものとした場合、装置規僕は小さ
くなるが・方向チェック処理全行なった後、ミクロ処理
を行なうような順次処理とならざるを得ないため、処理
時間がかかる。一方。

別間のものにした場合、装置規模は多少大きくなるが同
時処理が可能であり、処理時間はかからない。

本９６施１クリでは白面積カウンタ群り、Ｍを互いに別
回路とし、高速処理全行なうようにする。また・同図の
９２．９６の処理とも白面望カウンタ群Ｍ全共有するが
・これは上側の特徴点から下側の特徴点へ映像走査が移
行する間に充分時間的余裕があるため、同一フィールド
時間内でミクロ処理を゛完了することができ、白面積カ
ウンタ群Ｍの有効活用を図るからである。

第２０図に、上記（１）〜（４）の四つの処理の多重動
作の例ゲ示す。ただし、同図は検出ステーション１台、
ＴＶカメラ２台、２値化用しきい短針算回路１台１群パ
ターンマツチング回路１台および白面（貞カウンタ群（
各４個づつの白面積カウンタ）２台の場合である。ここ
で、各処理を示す図形中に記入された数値ｊ−にのうち
、ｊは検出動作試行回ｄ、にはＴＶカメラ俯号（０，１
）による処理であること全示し、また各処理間の矢印は
それぞれ処理回路の処理終了割込みによる起動全意味す
る。また、（１）のしきい短針算処理すなわちｚ値化処
理のフィールド間の矢印はしきい短針算のくり返し動作
を表わし・この場合、各刀メラからのアナログ映１象信
号からしきい値全決定するために・３フイールドづつ貸
されることヲ欽味する。さらに（４）のミクロ処理途中
における矢印は、白面積カウンタ群の再起ＩＭｌ＋　ｋ
意味する。なお（２）のマクロ処理を最初から起動した
のは次の理由による。

（＋）ＬＳＩペレットの場合、ペレットの反射率のばら
つきは少ないため、実際上２値化のしきい値は突然変化
することはない。

（ｉｔ　）　Ｌ、たがって、前ペレットの２１直化に適
用したしきい旭は、現在調べているペレットにも適用で
きる可能性が高い０（ｉｉｌｌＬかも２値化処［は合計６フイールドかかる
ため％現在調べているペレットに対するしきい堕の計、
ｓ、ヲ待つと遅くなる。

ところが、（１）の２１１１化処理の目的は、映像信号
の利得や直流レベルのドリフトによる。非常にゆっくり
とした変化に追従するしきい値を求めることであるため
・この処理にも起動をかける必要がある。したがって、
映像処理装置としては（１）のしきい胆Ｍｔ　杯回路と
２　ｌｉｔ化回路とを別個の回路に切り１・Ｉｌｊ、　
Ｌ　−２ｍｊ化回路のしきい値はしきい恒量算回ｈ゛、
６とは独立に与えられるようにする。また、（２）のマ
クロ処理終了後、（３）の方向チェック処理と（４）の
ミクロ処ＩＪｊに同時に起１助がかけられるのは・マク
ロ処理によりパッドの位置が大まかに与えられるので、
方向チェックとミクロ処理ともにこの位置のＩ＋７報が
あれば十分で、所定の長方形を複数個発生することがで
きるからである・以上のようにすれば、（５）の”判定”、すなわち２祝
野合理性チェックで合格の場合、一応前回のしきい１１
１によるパッド検出が可能であるが、（１）のしきい匝
計其がまだＴＶカメラＯに対応するしきい値しか終了し
ていないので１次のＴＶカメラ１に対応するしきい恒量
算が終了するまで待たせるようにする。

ところが不合格であれば、図示のように新たなしきい値
が求まった段階で、再びマクロ処理→方向チェック処理
、ミクロ処理を起動すればよい。

かくして、１回目の判定で合格の場合は６フイールド（
＝１００ｍＳ）、２回目の判定で合格の場合は８フイー
ルド（＝１３３ｍＳ　）の時間で、パッド検出を行なう
ことができる。

処理時間をさらに短縮したい場合は、各処理回路の数を
」・〃加すればよい。しかし上記の処理時間は、フレー
ム送りやカセットテープへの書き込み。

あるいはワイヤポンディングの時間に比べて充分短いの
で、第４図でｎ＝４程度の検出システムでは実用上問題
にならない。

以上の各処理において、計算機プログラムによる処理が
幾つかあったが・座標計算程度の単純なものばかりなの
で計算機の代わりにマイクロコンピュータで置換でき、
装置親桟の増大をいとわなければ専用装置Ｉで実現でき
る。

以下１本発明を実施例により詳１１、υ１に説明する。

第２１図は第４因における映像処理装置１７と。

インターフェイス１９の映像処理装置に関係する部分１
９′ケ含めた１本発明装置の基本槽成の一例ケ示す。同
図は、第４図に分ける検出ステーションの故が４．しき
い１１！計算回路の数が１１群パターンマツチング回路
の数が１．白面積カウンタ４個で１−１９成された白面
積カウンタ群の数が２の場合のｒ１１４成例である。同
図中−１６１６１丁（ｆｓ　＝０〜３．　　ｊ　Ｔ−０
，１）は％ｒＢｉＩ１番目の１戸出ステーションの第ｉ
Ｔ番目のＴＶカメラからのアナログ映像信号である。

１００はいずれも映像前処理回路で、ＴＶカメラからの
アナログ映像信号の直流再生、ＩＸ市向歪の浦ｉＥ、シ
ェージング補正および２値化の処理を行なう。すなわち
、映像前処理回路１００の中の信号補正回路１０１は、
アナログ映像信号の直流再生、偏向歪の浦正、シェージ
ング補正を行なう回１洛で・この場合・三者とも従来方
式を用いる。

１０２は２値化回路で、その中の１０３はしきい値可変
型のシュミット回路、１０４はＤ　／　Ａ、変換器・１
０５はレジスタであり、前ｌ引υの２値化用しきい恒量
ｇ処理により求まったしきい値Ｔ　ＨＲｊＩｌ’ｒｋい
ずれかのレジスタ１０５に書き込み・その値を保持する
。したがって・第９図に示したような処理によりレジス
タ１０５の出力、すなわち１）／Ａ変換器１０４の出力
からアナログ映像信号ＶＩＤ’ｓ　１丁のドリフト変化
に追従するしきい値ＴＨＲｊｓｆＴ’ｉシュミット回路
１０３へ提供することができ、常に安定な２値化映像信
号ＢＮＲｒｓ　　ｊ　Ｔ　ｋ得ることができる。一方、
アナログ映像信号ＶＩＤｊｌ！ＩＴは図示のようにセレ
クタ１０６を介してしきい恒量算回路１０７へ入力され
、しきい恒量箕処理が行なわれる。

このように１本兄明では２値化用のしきい恒量尊回路と
２値化回路とを分１イ［（させたため、第２０図で睨明
した映像処理を同時に行なうことができる。

また、各７ユミツト回路１０３から得られる２値化映像
信号ＥＮＲ１’ｌｌ’Ｔは、セレクタ１０６を介してノ
イズ除去回路１０９．白面積カウンタ群Ｄｉ　１１．白
面積カウンタ群Ｍ１１２のいずれかに順次に信号Ｎｌ３
ＮＲ，ＤＢＮＲ，ＭＢＮＲとして供給される。各映像前
処理回路１００からはＢＮＩ（Ｉｊｓ　Ｏ，ＢＮＲｌｓ
　１のように２種類の２値化信号が供給されるが、セレ
クタ１０６としては２：３の１８号の接続関係を任意に
指定することができる。また、各映像前処理回路１００
相互の間をまたがるような信号の接続関係はないものと
し、セレクタ１０６に、その映像処理回路の番号すなわ
ち演出ステーションの番号ｆｓｔ指定する。

以上のような信号の接続関係は、インターフェイス１９
′経由で計算機からレジスタ１０８に書き込凍れ、ＳＥ
Ｌ信号としてセレクタ１０６へ与えられる。ｉだ、ノイ
ズ除去回路１０９の出力ＰＢＮＲは群パターンマツチン
グ回路１１０へ供給され、パッドを粗い積度で抽出する
。かくして図示のように、しきい領置算回路１０７１群
パターンマツチング回路１１０．白面積カウンタ群Ｄ１
１１、白面積カウンタ群Ｍ１１２のデータ転送。

起動１割込みの制御を、インターフェイス１９′を経由
して行なう。なお１１３は同期分配回路で・同図に示す
各回路および各ＴＶ右カメラ必要な同期信号、走査点の
座標を表わす信号等を供給する。

上記の説明では、２値化映像信号はノイズ除去回路１０
９を経由して群パターンマツチング回路１１０へ与えら
れていたが、映像にノイズが少ない場合は、必ずしもノ
イズ除去回路を必要としない。

以上の映像処理回路の詳細な説明を、ＨＩＴＡＣ−１０
Ｍ　（商品名）のような小型計算機に接続しｆＣ場合の
各回路の実施例によって説明する。なお。

一般の計′Ｒ，ｉ＆の場合でも、以下の実施例とおおむ
ね同じ考えで実現できる。

第２２図は小型計算機ＨＩＴＡＣ−１Ｏｎに接続した場
合のインターフェイス１９′の一実施例を示す。同図中
、レジスタ用コントローラ１２０は、第２１図の各レジ
スタ１０５，１０８に関する書込みおよび状態センスを
行なうためのものであり、信号ＤＶＮとＳＱＬでレジス
タ用コントローラ１２０が選択された争件下で、信号Ｏ
Ｄ　Ｒにより次の三つの動作が動作指令回路１２２によ
り指定される。

１ず、’ｖＶ　Ｔ　ＨＲ命令は第２１図の２値化用しき
い１ルジスタ１０５にしきい値を省き込むためのもの、
ＷＳＥＬ命令は第２１Ｆｌｉ！ｌのセレクタ用レジスタ
１０８にセレクタ１０６の信号接続関係を寿き込むため
のもの、ＤＳＥＬ命令はその信号接続状態全検出するた
めのものである。なお、５ＴＲ１ｉｄレジスタヤ１込み
命令を実行するためのストローブ１ｄ号である。かくし
て、レジスタ書込命令が発せられたときはＤＯＴ信号、
レジスタ状態センス命令が発せられたときはＤＩＮ信号
をそれぞれ経由してデータが転送される。

次に、第２２図のチャネルコントローラ１２３゜映像処
理−■コントローラ１２６について説明する。

両回路中の装置選択回路１２４と１２７、動作指令回路
１２５と１２８の機能は、いずれもレジスタ用コントロ
ーラ１２０の場合と同様である。チャネルコントローラ
１２３は。

（１）シきい仮計算回路（２）　　群パターンマツチング回路（３）白面積カウンタ群Ｄ（４）白面積カウンタ群Ｍと計算機との間の各高速データ転送を行ない、映像処理
用コントローラ１２６は上記の四つの処理回路の動作状
態ｋｉｔｔｌＪｆ１１１するためのものである。

チャネルコントローラ１２３の入力力信号ＣＮＴＯはチ
ャネルコントローラ１２３と計Ｗｉ　ｔｌとの間の高速
データ転送用の１ＩｉＩ制御イｄ号、ＣＮ’Ｉ’ｌ：Ｉ
チャネルコントローラ１２３と上記四つの処理回路との
間のデータ転送用の制御信号、ＣＮＴ２はチャネルコン
トローラ１２３と映像処理用コントローラ１２６との間
の制御信号である。また映像処理用コントローラ１２６
の入出力１３号ＣＮＴ３は上記の四つの処理回路の起動
、動作中、訃力作終了などの動作状！線を制御するため
の信号である。

チャネルコントローラ１２３の出力信号ＣＨＮＩＮＴは
割込み要求信号で、データ転送終了時にセットされる。

映像処理用コントローラ１２６の出力信号ＩＭＰ　　Ｉ
ＮＴも割込み要求信号で、上Ｍｕの四つの処理回路のい
ずれかが処理終了時にセットする。上記の両割込み要求
信号は図示のようにオア回路を通り、ＩＮＴ信号として
割込み要求を計算機に知らせる。これにより、計算機は
割込み要因をセンスするための命令を発生し、ＦＬＧ信
号によりいずれの装置からの割込み要求であったかを認
知する。

第２３図は第２１図のレジスタ１０日Ｉセレクタ１０６
の各実施例を示す。レジスタ１０８は７ビツトのＤタイ
プラッチレジスタで、同図はたとえば５ビツト目と６ビ
ツト目で検出ステーション番号（００）２〜（１１）＊
　を、４ビツト目で２値化回路甫号（０１２、＜１）２
　ｔ：、３ビツト目でしきい恒量算回路１０７へ入力す
べきアナログ番号（０）＊。

（１）２　’ｅ、　２ビット目、１ビット目、０ビツト
目で１帆に群パターンマツチング回路、白面積カウンタ
＋＋ｐ　Ｄ　、白面積カウンタ群Ｍへ入力すべき２値化
映像信号番号を、それぞれ割付けた場合の例である。

このレジスタ１０８への書き込みのストローブはＷＳＥ
Ｌ命令、読出しのストローブはＤＳＥＬ命令で行なう。

まず、アナログ映像信号ＶＩＤＩ＋＋！Ｔはアナログセ
レクタ１３０でＳＴＮ　　ＳＥＬ信号とＴＶＤＳＬ！：
Ｌ信号により、いずれかのｉ、、ｉｒ　（すなわち検出
ステーション番号とＴＶカメラ番号）が選ばれ、ＴＶＩ
Ｄ信号として第２１図のしきい１直計算回路１０７へ供
給される。また２値化映像信号ＢＮＲ’ｌｌｌ？は、デ
コーダ１３１により５ＴＮｓ　ｉｒ、　ｒ、信号で指定
される検出ステーション番号ｉｓが選ばれ、アンド回路
群１３２　＋ＣおいてＰＴＭＳＥＬ、Ｄ几ＣＳＥＬ、Ｍ
ＩＣＳＥＬの各ＳＥＬ信号によりノイズ除去回路、白面
積カウンタ群り。

白面積カウンタ群Ｍに対する２値化入力信号ＮＢＮＲ，
ＤＢＮ几、ＭＢＮ几全ノ１ζ択する。

以上のように構成することにより、一つのレジスタの内
容に適当な数値を計算機から指定するだけで、前記のよ
うな種々の映像処理が同時に行なうことができる。

第２４図は第２２図のチャネルコントローラ１２３の一
実施例である。大略の構成としては上記ＨＩＴＡＣＩＯ
ＩＩの直接モードの高速インターフェイス標準品とほぼ
同じなので、同一部分の説明は省略する。ここで標準品
と異なる点は、入出力用のバッファを各処理回路側に持
たせたこと、四つの処Ｊ、！Ｈ回Ｉｊ６のうち、いずれ
の処理回路とデータ転送中であるかを示すチャネル・ス
テータスのレジスタ１４０ケ設けたことである。

具体的にはデコーダ１４１を経由してデータ転送を行な
うべき処理回路に対応する番号ｉ　ｐ　（＝０〜４）の
ビットを、８ＣＨＮ命令によりセットする。ＫＣＨ’Ｎ
命令は割込みフラグ１４２のセンス。

ＣＣＨＮ命令は割込みフラグ１４２のクリヤ。

ＡＣ）ｆＮｆｆ６令はＷＡＩも（ワード・アドレス・レ
ジスタ）１４３０セツト、ＩＬＣＨＮ命令は読出しのデ
ータ転送、ＷＣＨＮ命令は書込みのデータ転送金それぞ
れ行なうための命令で、Ｒ，ＣＨＮ命令またはＷ　ＣＨ
Ｎ命令にエリＷＣＲ（ワード・カウント・レジスタ］１
４４に転送ワード数がセットされる。

次に％第２４図のチャネルコントローラの動作の概Ｉ＠
を第２５図を用いて説明する。なお・詳細はＨＩＴＡＣ
−１０■の高速インター７エイヌ（直接モード）等と同
じなので説明は省略する。

まずＳ　ＣＩ−Ｉ　Ｎ命令によりチャネル・ステータス
・レジスタ１４０の第ｊｐビット目をオンして、ＣＨＮ
　　、Ｂ　Ｓ　Ｙ信号として転送すべき処理回路を指定
する。続いてＡＣＨＮ命令により、計算機のメモリ内の
アドレスｔ［２４図のＷＡＲにセットする。なおＳ　Ｃ
）（Ｎ命令、ＡＣＨＮ命令の順序は入れ換えてもよい。

次いで・データ転送カリ１込み動作のとき（ａ）のＷＣ
ＨＮ命令、読出し動作のとき（１））の几Ｃ］ｌ　Ｎ命
令Ｃ以下（ａ）は書込み、（ｂ）は読出しの動作に伴う
信号動作をｎ味するものとする）ヲ促すると・第２４し
１のＷＣＲ１４４に転送すべきデータ数ｎがセットされ
る。これにより第２４図のＷＲＩＴＥＭＯＤＥの７リツ
プ・フロップ１４９は（ａ）の場合は”１２に、Φ）の
場合は“０゛にセットされる。

以降・このチャネルによる高速データ転送が開始し、（
ＡＤＤＲＩＮ）のようにｎデータ転送終了後、割込み要
求信号ＣＨＮ　　ＩＮＴがセットされる。

計算機はＫ　ＣＩ−Ｉ　Ｎ命令を出して、ＣＨＮ　　Ｆ
’ＬＧのよりにこのチャネルからの割込み要求であるこ
とを認知後、ＣＣＨＮ命令で割込み要求信号ＣＨＮＩＮ
Ｉ：クリヤする。それとともに、（ａ）の場合は詔２４
図のアンドゲート１４５によりＩＭＩ）Ｓ　’Ｉ’　Ｒ
Ｔの第ｉｐ　　ビット目にパルスが出て該当処理回路を
起動し、（ｂ）の場合は第２４図のアントゲ−）１４６
（ＣｊすＩＭＰ　　５ＴＯＰ（７）第１ｐビツト目にパ
ルスが出て該当処理回路の動作を停止し、いずれの場合
でもオアゲート１４７によりチャネルステータスレジス
タ１４（１−リセットスル。

なお第２４図におりで、　Ｔ　ＩＭ、　ＲＥＱ、　ＰＭ
Ｔ　ｉｎ。

ＡＤＤＲＩＮ、ＤＡＴＡ　　ＩＮ（入力側）、ＤＡＴＡ
ＯＵＴ（出力側）、ＲＱＬＯ（Ｄ各信号Ｕ、？４２Ｚ園
のＣＮＴＯに相当する信号である。また、Ｒ８Ｌ　ＣＴ
は図示のようにＷＣＲ，？デコードしたものであり、読
出し時のレジスタ切換信号である。

これと、ＤＡＴＡ　　０ＵＴ（出力側）、ＤＡＴＡＩＮ
（入力１μす）およびＣＨＮ　　ＢＳＹの各信号は。

第２２図（ＤＣＮＴＩＶｃ相当スル。さらに、ＩＭＰＳ
Ｔ几Ｔ、ＩＭＰ　　８ＴＯＰの各信号は第２２図のＣＮ
Ｔ　２に相当する信号である。

第２６図は、第２２図の映像処理用コントローラ１２６
の一笑施例である。図の映像処理ステータス・レジスタ
１５０は前記四つの処理回路の動作を制御するためのも
のであり・前述のようにｉｉＰ　　ＳＴＩも’Ｉ’、Ｉ
ＭＰ　　５ＴＯＰの第ｊｐ　　ビット目の信号によりこ
のレジスタの第ｉｐビット目がそれぞれセット、リセッ
トしてその出力信号ＩＭＰＢ８ＹＫより該当回路’ｃ　
ｔｌｔｌＪ御する。また、１５１はフラグ・レジスタで
１図示のようにＩＭＰＢＳＹ信号の第１ｐビツト目がセ
ット（すなわち、ｉｐに対応する処理回路が動作中）の
条件下でＩＭＰＥＮＤ信号のｉｐ　ビット目にパルスが
くると、このフラグ・レジスタ１５１の第ｉｐビット目
がセットする。したがって、いずれかの処理回路が動作
を終了すると、オアゲート１５２の出力から終了割込み
要求信号が出る。

１５４はマスクレジスタで、ＭＩＭＰ命令はこのレジス
タ１５４のセット／リセット全制御するためのものであ
り、二つ以上の処理回路から同時に終了割込み要求が発
生する場合、各側込み要求に対する計ｎ機処理を円滑に
行なわせるものである。ＩたＫ　Ｉ　Ｍ、　Ｐは終了割
込みのセンス命令。

ＣＢＳＹはフラグレジスタ１５１の特定ビットクリヤ命
令、ＤＢ８ＸＭフラグレジスタ１５１のステータスセン
ス命令である。さらに、几ＰＴＭは後述の群パターンマ
ツチング回路のパラメータの読出しを制御するための命
令である。

次に、第２７図に第２６図の映像処理用コントローラの
動作例を示す。第２７図のＡＤＤ几ＩＮ（ａ）、　（１
３）はチャネルコントローラによる書込み、読出しデー
タ転送中であることを表わし、前述のように書込みデー
タ転送終了後、ＩＭＰ　　８ＴＲ，Ｔ。

１Ｔｈａ出１．ｆ−夕転送終了後、ＩＭＰ　　８ＴＯＰ
（７）各ｊｐビット目にパルスが出る。

ｉｆ、ＩＭＰ　　８’ｌ’几Ｔのパルスに伴い、映像処
理ステータスレジスタ１５０の出力すなわちＩＭＰＢＳ
Ｙのｊｐ　ビット目がセットし、Ｉｐに対応する処理回
路が動作状態に入る。以降、その処理回路は所定の動作
を行ない、動作終了の時点でＩＭＰＥＮＤにパルスが出
力され１図示のようにＩＭＰＢＳＹがセットしている条
件下でフラグレジスタ１５１の１ｐビツト目がセットし
・マスクレジスタ１５４がリセットしておればＩＭＰ　
　ＩＮＴ　　から処理終了割込み要求が出る。

これにより計算機からＫＩＭＰ命令が送出され・これが
映像入出力コントローラからの割込み要求であることが
、ＩＭＰ　　ＦＬＧにパルスが返ってくることで認知さ
れる。計算機は次にＭＩＭＰ命令を送出してマスク・レ
ジスタ１５４をセットし・他の割込み要求を禁止し友後
、ＣＩＭＰ命令を出して７２グレジスタ１５１のｊｐ　
ビット目をクリヤする。この場合、もし他の割込み要求
がなければＩＭＰ　　ＩＮＴはリセットする。それに伴
ない、計算機は（ｂ）のようにチャネルコントローラに
よる読み出しデータ転送を行なう。

読み出しデータ転送終了時にはｉｐに対応する処理回路
からＩＭＰ　　５ＴＯＰの第ｊｐ　ビット目にパルスが
発生し・映像処理ステータス・レジスタ・したがってＩ
ＭＰ　　ＢＳＹの第１ｐビツト目全リセツトする。これ
とともに、計算機は再びＭＩＭＰ命令によりマスクレジ
スタをリセットして、他の終了割込み要求を許可する。

以上のようにして処理回路の動作を制御することができ
るが、上記の説明で示されたように。

ＩＭＰ　　ＢＳＹの第ｊｐビット目がセットした後しば
らくの間、計算機は別の作業を行なうことができるから
、ｉｐ以外の番号に対応する処理回路を起動させるよう
にすれば、複数個の処理回路を同時に起動させることが
できる。

第２８図は、第２１図の２値化用しきい恒量算１１路１
０７の一実施例である。同図中、アナログ映［象信号Ｔ
ＶＩＤは、サンプルホールド回路１６０ＩＡ　／　Ｄ　
変換器１６１によりデジタル信号に変換され・ラッチレ
ジスタ１６２へ格納される。ＸＣＰ／４とその１１１！
延された信号は、このサンプルホールド回路１６０．Ａ
／Ｄ変換器１６１．ランチレジスタ１６２のクロック信
号である。一方、エリア・ゲート回路１６３は画面中の
特定の長方形領域をゲートするための回路で、■端子の
信号ＴＨ几ＡＲＥＡがゲート信号である。

本回路の訃込みデータ転送の制御は、ＣＨＮＢＳＹ　Ｏ
とＤＡＴＡ　　ＯＵＴすなわちチャネルコントローラに
より行なわれ・アンドゲート１６４全経由してエリアゲ
ート回路１６３の■端子からエリア用パラメータのラッ
チレジスタ１６５に無視すべき信号レベルの限界１ｗと
ｌｎ−およびラッチレジスタ１６６にしきい値の初期値
θＯ′ｌｒ、それぞれ設定する。

コンパレータ１６７．１６８はそれぞれｆとｔｗ−ｆと
Ａｎ　との値の大小関係を比較するためのもので、それ
ぞれｆ　＜　ｔｗ、　ｆ　＞　ｔｙｒのときに１１”と
なる。したがって、アンドゲート１６９の出力は、映像
信号ｆが指定されたエリアの内部でかつｔｗ＞ｆ＞ｔｉ
＋のとき１２となる。１７１はアダーで、ラッチレジス
タ１６２とノット回路１７０の各出力を加えられ％ｆ−
００なる１直の出力を送出する・さらに１７２．１７３は式（２Ｌ　（３１の分子に相当
する”明るさＩｆｆ分゛を計算する回路、１７４゜１７
５は式（２）、（３）の分母に相当する′時間積分”を
計算するカウンタで、ｆ≧００ときアンドゲート１７６
が開いて１７２，１７４が動作し、ｆ（θのときアンド
ゲート１７７が開いて１７３゜１７５が動作する。明る
さ積分回路１７２，１７３の構成は１図示のようにアダ
ーとラッチレジスタ１７８で実現でき、このアダーの一
方の入力にはｆ−００，他力の入力にはラッチレジスタ
１７８の出力全フィードバックするようにすればよい。

かくして所定のしきい値積分動作終了時に、エリアゲー
ト回路１６３の■端子からＩＭＰ　　ＥＮＤＯの１６号
パルスが送出され、ラッチレジスタ１７８゜１７９には
所定の明るさ積分値ｐｎ、Ｑｎ、カウンタ１７４，１７
５には所定の時間積分値Ａｎ、Ｂｎが格納される。なお
ＩＭＰ　　８ＴＲＴＯはカウンタ１７４．１７５を積分
動作をする前にリセットするための信号である。

このようにして得られた各データは、チャネルコントロ
ーラにより順次読出される。すなわち・読出し用ストロ
ーブパルスＤＡＴＡ　　ＩＮはアンドゲート１８０でＣ
ＨＮ　　Ｂ８ＹＯとのアンドが取られ％几　８ＬＣＴ信
号によりアンドゲート１８１において選択された各デー
タは、上記アンドゲート１８０の出力ｔＵｊｌ出し用ス
トローブとしてナントゲート１８２＝ｉ経由して順次読
出されてゆく。

計算機は以上の四つのパラメータをもとに式（２）。

（３）の除算および式（１）の新たなしきい値θ１を計
算し・ラッチレジスタ１６６の内容をθ電として全く同
一の処理をしきい恒量算回路に繰り返し行なわせ・ｎ　
＝Ｎとなったとき得られるしきい値θＮを第２１図のレ
ジスタ１０５に与える。かくして。

同図のシュミット回路１０３の出力からはθＮをしきい
値とする２値化信号を得ることができる。

第２９図は本発明のエリアゲート回路１６３の一実施例
で、エリアに関するパラメータは％　１６図に準する。

また第３０図は第２９図の主要部の波形を示す。第２９
図において、ラッチレジスタ１９０．１９１，１９２，
１９３はそれぞれｘ８　＋ｙＩ！、ａ、ｂを設定するた
めのものである。すなわち・チャネルコントローラによ
る書込みストローブパルスが＠端子より与えられ、各デ
ータはのり高子より・たとえば図のように直列または並
列的に設定される。

一方、■、■端子はカウンタ１９４，１９５の起動（イ
ニシャライズ）用のもので、画面走査が第１６図のＸ＝
ＸＩ１．Ｙ＝Ｙｓなるタイミングでパルスが印加され、
各カウンタはリセットされる。

■νＩＭ子のＩＭＰ　　ＢＡＹ　ｌｐはｊｐに対応する
処理回路がＩＩｆ１１作可ｔｒＢ状）ト（に入れば第３
０図のＡ部のようＶＣオンになり、■端子のＸクロック
、■端子のＹクロックがアントゲ−）１９６．１９’ｌ
それぞれ通過し・カウンタ１９４，１９５が計数動作を
行なう。したがって、コンパレータ１９８，１９９はそ
れぞれＸ　＝　Ｘ　ｓ　＋　Ｘ　ｓ　、　Ｙ　＝　Ｙ　
ＩＩ＋　’／　ｓなるタイミングでパルスを送出する。

これに伴ない、それぞれカウンタ２００，２０１にリセ
ットするとともに、クリップ・７０ツブ２０２，２０３
ｔ−セットする。それ以＋ｃｆ！−カウンタ２００，２
０１は動作全開始し、それぞれＸ＝Ｘ、＋ＸＩＩ＋ａ。

Ｙ＝Ｙｓ　＋Ｙｓ　＋ｂとなるタイミングでコンパレー
タ２０４．？、０５から出力パルスを送出し、フリップ
・フロップ２０２，２０３をそれぞハ、リセットする。

したがって、アンドゲート２０６の出力すなわち■端子
からは、第３０図のようなＸ　ＩＩ　＋　Ｘ　ｓ　≦Ｘ
≦Ｘ５−１−ｘ８＋ａ、Ｙｓ　＋Ｖｓ　≦Ｙ≦Ｙｓ　＋
）’ｇ＋Ｅ）なるエリアの時間帯でオンとなるようなＡ
ＲＥ几信号が得られる。また、アンドゲート回路２０７
の出力は第３０図のＢ部のように、Ｘ＝Ｘ　ｓ、　＋　
Ｘ　ｓ　＋　ａ−かつＹ＝Ｙｇ　＋Ｙｓ　＋ｂなるタイ
ミングでパルスを送出するから、■端子からはディレー
２０８によりエリア走査終了という意味のパルスが送出
される。なお、■端子はチャネル用コントローラによる
書込みデータが次段の回路にまたがるような場合の出力
端子である（たとえば第２８図参照）。

δａ３１図ｔｉ、棺２１図のノイズ除去回路１０９の一
実施例である。同図は第１０図の原理説明における十字
状領域をＸ、Ｙ方向とも５絵素にとった例である。同図
中、シフトバッファ２１０は画面の４水平走査線（ラヌ
タ）のメモリ容ｊＡ：　ｌｃもつ直列入力直列出力型シ
フトレジスタ群で、各レジスタ２１１の長さはＸＣＰ／
４のように、たとえばモード４のサンプリングクロック
を用いる場合。

９６ビツトである。

一方、切出し１１１バツフア２１２は、ＸＣＰ／４をサ
ンプリングクロックとして画面から５絵素×５＠素の領
域全切出す回路で、長さ５ビツトの直列入力並列出力型
のシフトレジスタ２１３ｔ−５本１：１吋え、入力信号
ＮＢＮ１ｔＴｈ＃−ｔじめとして、シフトレジスタ２１
１の各出力■が並列的に各シフトレジスタ２１３に入力
される。この（→は画面上のＸ座１７７が同一で、Ｙ座
標が、たとえばモード４で連り櫃ユした情ｉ−にである
・切出し用バッファ２１２の出力■Ｉ′１ｉｉｏ図の十字
状領域に相当する信号で、１ビツト９人力のアダー２１
４で＠の”１″の個数を並列的に計数する。一方、２１
５はし言い＋ｉｉプリセットするためのレジスタであり
、この出力■とアダー２１４の出力■とがコンパレータ
２１６で比軟され、■≧（ｒ）ｉらｕコンパレータ２１
６の出力ＰＢＮｌ’１１１”となる。

このようにして得られた信号ＮＢＮ几は、前述のように
パターンの量子化誤差や・微小な孤立ノイズが除去され
た信号となる。

１刊３２図は第２１図のノイズ除去回路１０９の他の一
実施例でありｈ　７４１３１図の実施例と異なる点は・
シフトバッファ２１０中のシフトレジスタ２１１０代り
にＲＡ　Ｍ　（ｆＬａｍｄｏｍ　Ａｃｃｅｓｓ　Ｍｅｒ
ｎｏｒｙ）２１７を用いて等価な１ｑ路を実現したもの
である。

シフトバッファ１／こシフトレジスタを用いた場合。

本発明のように９６ビツト丁度の長さのものは実在せぬ
ため、たとえば６４ビツト＋３２ビツトのように適当な
長さのシフトレジスタを組合せて実現しなければならな
いため、ＩＣのｔｒｒｖ数が多くなつてしまう。

これに比べて、ＲＡ　Ｍ金層いる場合は長さは自由にθ
ろめることができ、ＩＣの個数も少なくて済む利点があ
る。

第３３図に第３２図のＩｔ　Ａ　Ｍの制御動作を示す。

同図のｌ’ｌ、　Ａ　Ｍのアドレス信号ＡＤＤＲＯ値は
ＸＣＩ）／４−αのパルスが出る毎に更新され、画面の
１ラスク走査時間に０がら９５まで変わる。Ｗ／Ｒ信号
はＲＡＭの１′手込み／読出しの指定を行なうためのも
ので、“０″が続出し、“１″が書込みである。Ｒ，Ａ
Ｍ　　８’ｌ’Ｒ，ＢｉｔＲＡＭＯ書込４．Ｕ出り。

用のストローブ信号、ＢＦＦＲ５ＴｒＬＢＨバツフアレ
ジスタ（Ｄ形りリップフロップ）２１８へのストローブ
信号である。図示のように、ＸＣＰ／４−αの各パルス
の前牛部では、ＡＤＤＩＩ、の値のアドレスのすべて（
ｌ（、ＡＭ２１７のｔ＃＠）を下のバッファレジスタ２
１８へ書込む。次いで後半部でＶま、バッファレジスタ
２１８から読み出された情報を、シフトレジスタ２１３
へ送るとともに次段のＲＡＭの同一アドレスへ４１込む
。この動作をＸＣＰ／４のパルス毎に繰り返すことによ
り、１（、Ａ　Ｍ　ｅシフトレジスタとして使うことが
できる。

以降の処理は第３１図の処理と全く同一なので、説明を
省略する。

なお第３１図、第３２図における切出し用バッファ２１
２中の直列入力並列出力型シフトレジスタ２１３０代り
に、信号＠をビット成分に持つラッチレジスタを４本用
いることにより切出し用バッファ２１２を実現すること
もできる。また、アダー２１４．Ｉ、きい値プリセント
用レジスタ２１５゜コンパレータ２１６の代りに■信号
をいったん電流値に変庚し、−を光音アナログ加算した
結果業シュミット回路で２値化する形態も考えられる。

さらに、一般にｉ絵素ｘｊ絵素の切出しバッファを実現
するためには、ｊ−１個の直列入力直列出力型のシフト
レジスタまたはＲＡ　Ｍからなるシフトバッファを構成
すればよい。

以上のようにして得られたノイズ除去信号ＰＢＮ几は、
次の群パターンマツチング回路へ提供される。

第３４図は、第２１図における群パターンマツチング回
路１１０の基本構成例を示す。同図の２１０すなわちシ
フトバッファ０と２．および２２０すなわちシフトバッ
ファ１は第３１図、第３２１メ１と同様に、それぞれ順
に４本、４本および１５本の直列入力直列出力型のシフ
トレジスタまたはｘＬ　Ａ　Ｍから構成される。また、
２１２すなわちｌｊＪ出し用バッファ０，１，２．３は
第３１図。

ｍ１３２図と同様に、５本の直列入力並列出力型のシフ
トレジスタｔｅはラッチレジスタから構成される。

ここで２１０すなわちシフトバッファ０．２の役割はノ
イズ除去回路の場合と同様に、画面上のＸ座標が同一で
Ｙ座標がたとえばモード４で連続したＩ’＃　ｌｆ嘔■
全並列的に得ることである。゛また、２２０すなわちシ
フトバッファ１の役割は、第１２図の各４９４パターン
相互のＹ方向の間隔を与えることである。２１２すなわ
ち切出し用バッファ０，１，２．３は第１２図の各領域
の対象パターンすなわちＰＫＵＰｏ、１．２．３を提供
するためのものである。

２２１すなわち部分パターンマツチング回路０゜１．２
．３は各無械での対象パターンＰＫＵＰ０゜１．２．３
と、標準パターン５ＴＮＤ　Ｏ，１，２゜３およびＭ８
Ｋ　Ｏ，１，２，３との一致判定（式（４）参照）を行
なう回路であり、各出力ＰＴＭ　０　。

１．２，３は対象パターンと標準パターンとが一致すれ
ば°１”、不一致であれば°Ｏｍである。

また、マツチングシフト回路２２２は第１２１縮。

第１３図に示すように各領域間の幾何学的距離の判定を
行なう回路であり、Ｘ方向はマツチング結果ＰＴＭ０．
１，２．３を相対的にディレーさせることにより、Ｙ方
向は２２０すなわちシフトバッファ１から送出されるＹ
ＴＡＰ信号のうちいずれかを選択することによりそれぞ
れ距醋を判定を行なう。疫おＭＴＣＨｉｊはその判定結
果である。

マツチングモード判定回路と２２３は、前述のマツチン
グモード（すなわちマツチングの敗り方）の−ＲＪ定処
惟を行ない、　ＭＴＣＩイ　ＭＯＤＥはその判定結果で
ある。このように画面走査に従い、順次求まる判定結果
ＭＴＣＨＭＯＤＥおよびマツチングが取れた画面座標Ｘ
／４．Ｙ／４が、一時的にメモリバッファ２２４に格納
される。

また、エリアゲート回路１６３は、指定されたエリアだ
けのパッドのみを抽出するようにゲートする信号Ｐ’［
’Ｍ　　ＡＪ（ＥＡ全発生するための回路である・この
よう（Ｃｌ、て・画面内の指定されたエリア内における
パッド数Ｎとその抽出結果ＰＡＤが計算機へ転送される
。

なお上記の構成ではエリアゲート回路が１個であったが
、映１女処理の都合上さらに複雑な形状をしたエリアヶ
ゲートしたい場合には・エリアゲート回路を複数ＩＩ’
ｉｌ用いるようにすればよい。

以ド、第２１図における群バターｙマツチング回路１１
０を構成する各回路の実ノイａ例の説明を行なう。

まず％第３５図は第３４図の部分パターンマツチング回
路２２１の実施例で、５絵素Ｘ　５　：Ｑ素の部分パタ
ーンマツチング回路の１例を示す。同図中、２３（１，
２３１＋７１椋準パターン、マスクパターンＩＪの各レ
ジスタで、図示のようにそれぞれ５１１・Ｍのラッチレ
ジスタ（５ビツト）から成る。各レジスタは図示のよう
に直列に接続されており、各データはチャネルコントロ
ーラにより七き込捷れる。すなわち、ＣＨＮ　　ＢＳＹ
　　ＩＴｈ条件として書込み用ストローブ信号］ＪＡｉ
’Ａ　　ＯＵＴがアントゲ−）２３：１通り・各ラッチ
レジスタの左から右ヘテータが転送される。

ＰＫＵＰ　ｉは対象パターンの２次元信号であり、標準
パターン用のレジスタ２３０の各ラッチレジスタの出力
と対応するもの同志が排他論理和（ＦＯＲ）回路マドリ
スで排他論理和をとられ、各結果は次のナンド回路マト
リクス２３４へ送られる。

各ナンド回路は図示のようにオープンコレクタになって
おり・排他論理和の各結果とそれに対応するマスクパタ
ーンとのナンド結果とは図のように出力部でワイヤード
オアされ、ノット回路２３５によりパターンマツチング
結果の信号ＰＴＭｉ　が得られる。

第３６図は、第３４図のマツチングシフト回路２２２の
一実施例である。ラッチレジスタ２４１゜２４１を第１
２１司、第１３図の領域間の「距離−１」すなわちＫｘ
−１、Ｋｙ　　ｌを格納するためのもので・各データは
チャネルコントローラにより′）１４き込まれる。すな
わち第３５図と同様に。

ＣＨＮ　　ＢＳＹ　１　とＤＡＴＡ　　ＯＵＴ　が７７
）”ゲート２４０に加えられ、その出力に、シ４・込み
用ストローブ信号が与えられる。なお、この部分は第３
５１ニドｌの場合と同じなので、第３５図のアンドゲー
ト２３２の出力信号をラッチレジスタ２４１，２４２の
ストローブ信号としてもよい。

ラッチレジスタ２４１の出力すなわちＫ　ｘ−１はセレ
クタ２４４と２４６に与えられ、それぞれＬ）ＴＭ　２
　、　ｌ）ＴＭ　Ｏ’を直列入力並列出力型のシフトレ
ジスタ２４３，２４５でノ（≠延させた信号のうち、い
ずれか一方ヲ込択する。また・ラッチレジスタ２４２の
出力すなわちＫｙｌはセレクタ２４７に与えられ、第３
４図のシフトバッファ１の出力ＹＴＡＰの１ｄ号からい
ずれが一方全選択してＹＳＩ＞Ｌ（＃カン−出力する。

−ｑ　ツチ７グ結果（７）ＰＴＭ　３ｔｊ：ＭＴＣＨ３
０ト同じ信号であり、　ｘ、Ｈ１３図の点ＰＢｏに対応
するマツチング結果ＰＴＭ　２に関しては、セレクタ２
４４の出力は２ビット直列入力並列出力型のシフトレジ
スタ２４８で遅タルされ、セレクタ２４４の出力。

シフトレジスタ２４１ｍよる１絵素フエれ、同じく２絵
素・、１４れの各信号が順にＭＴＣＨ２０，２１゜２２
となり、第１３図の点Ｐ２ｏ＋　Ｐａ１ｓ　Ｐｚｚに対
応するものとなる。

マツチング結果のＰＴＭ　１は、各２個の１（、Ａ　Ｍ
２４９とバッファメモリ２５０により２ラスタ分だけ遅
延され、ＰＴＭ　１そのもの、１ラスタ遅れ、２ラスタ
遅れの各信号が順にＭＴＣＨ１０，１１゜１２となり、
抛１３図の点ＰＩＯ＋　ＰＩＩ＋　Ｐｌｚに対応するも
のとなる。

マツチング結果のＰＴＡ４０に関しては、同様に各２個
のＲＡＭ２４９．バッファメモリ２５０と２５１、なら
びに直列入力直列出力のシフトレジスタ２５２により、
セレクタ２４６の出力、１ラスタ＋ｌ絵素遅れ、２ラス
タ＋２絵素遅れの各信号が順に第１３図の点Ｐａｏ＋　
Ｐｏｔ　＃　Ｐ　０２に対応するものとなる。

以上のようにして、各マツチング結果を第１３１に１の
ような壁間的な対応関係にさせることができる。またノ
イズ除去回路１０９の場合と同様に。

本回ｂａａのシフトバッファ中のＲＡＭ　２４９および
バッファメモリ２５００代りにシフトレジスタを用いて
もよい。

第３７図は１４３４図のマツチングモード判足回１１ｉ
ｉ　２２３の−’ｌさ流側である。同図のアンドゲート
回路群２６０，２６１，２６２では、四つの部分パター
ンマツチングのうち三つ以′上でマツチングが１反れた
か否か′ｆｒ、判定する。すなわち、各アンドゲート回
路群中のアンドゲート２６３は部分パターンが四つとも
ｉツチングがとれたとき、２６４は第１２図の左上隅の
マツチングのみがとれなかったとき、２６５は右下隅の
マツチングのみがとれなかったとき、２６６は左下隅の
マツチングのみがとれなかったとき・２６７は右下隅の
マツチングのみがとれなかったとき、それぞれ出力°１
″となる。

アンドゲート回路群２６０，２６１，２６２Ｆｉ第１３
（２）の各領域間の距離が、（Ｋｘｌ）ｘ（１（ｙ　　
１）、（ＫＸＸＫＹ）、（ＫＸ＋１）Ｘ（Ｋｙ＋１）の
群パターンマツチングに対応する。

これらのアンドゲート回路群２６０，２６１゜２６２の
各出力はそれぞれオアゲート２６８に通り、エンコーダ
２６９で３ピツトにコード化される。このオアゲート２
６９の出力１ビツトと、コードの３ビツトとの計４ビッ
トが領域間の三種類の距離について４Ｘ３＝１２　（ビ
ット）の情報としてラッチレジスタ２７０に一時格納さ
れる。

一方・３個のオアゲート２６８の各出力は図示のように
オアゲート２７１に加えられるが、これはアンドゲート
２６３〜２６７のうち少なくとも１個のアンドゲートが
°１“となったこと・すなわちパッド全検出したことを
意味する。よって。

フリップフロップ２７２はセットされ、ＤＴＣＴ信号が
０１″となる。また、ラッチレジスタ２７０の出力はマ
ツチングのとれ方を表わし、ｋｌＴｃＨＭＯＤＥ信号と
して次に説明するメモリバッファへ送られる。

第３８図は第３４図のメモリバッファ２２４の−央ｈｆ
’４例である。パッドが検出された銀、）合、第３６　
）イｌで説明したパッドの求まり方を表わすＭＴＣＨＭ
ＯＤＲと、そのパッドの画面座標（Ｘ／４．Ｘ／４）５
Ｃ計ＪＡ、機へ転送する必要がある。

ｓｒ＜　３　ｓ図および各部の動作を示す第３９図にお
いて、ＰＴＭ　　Ａｌ（、ＥＡ＝“１”　の条件下でパ
ッドが・演出（すなわち、ＤＴＣＴ＝“１”）されたと
ｅ、ＸＣＰ／４−ε０にパルスが出ればフリップフロッ
プ２８０１ｄセツトし、アンドゲート２８１が開いてＭ
ＴＣＨＭＯＩ）Ｅのデータがメモリバッファ２８３へ送
られる。′−！た、ＸＣＰ／４−εｌにパルスが出れば
ノリツブ７０ツブ２８０＋ｄリセツトし、アンドゲート
２８２が開いて画面座標の２．１ｈデータ（Ｘ／４．Ｘ
／４　）がメモリバッファ２８３へ送られる。

ＸＣＰ／４−ε。、ＸＣＰ／４−ε１のパルスはＤ’ｒ
ＣＴ＝　”　１”なる時間幅で１個づつ出るので、オア
ゲート２８４．アンドゲート２８５によりＤＴＣＴ＝“
１゛となる毎にアップダウンカウンタ２８６の匝を２づ
つ大きくする。一方、メモリバッファ２８３は図示のよ
うに祖数個の１（ｌＡＭ２８９で侮成されており、ＭＴ
ＣＨＭＯＤＥまたは（Ｘ／４．Ｘ／４　）のデータの各
ビットが１個の■もＡＭに対応しているＯいま、アンドゲート２８５からノくルスが出れば・フリ
ップフロップ２８７ケセツトしてＲＡＭ２８９の桝込み
動作を指定し、オアゲート２８８からのパルス金ストロ
ーブとし′〔・アップダウンカウンタ２８６の内容をＩ
ＬＡＭ　２８９のアドレスへＸ住込む。ここでディレー
２９０は、−４・込み用の最初のストローブパルスのタ
イミングにより、ｌＬＡＭのアドレスが０から始まるよ
うにするためのものである。したがって％１（、ＡＭ　
２８９の偶数アドレスにはＭＴＣＨＭＯＤＥ、奇数アド
レスには（Ｘ／４、Ｘ／４）がそれぞれ格納されてゆく
。

次に・Ｗ〜出しの場合の動作を説明する。几ＰＴＭ命令
Ｃ第２６図参照）が出ると、まず、アップダウンカウン
タ２８６の内ｙ（すなわち１、演出したパッド数をＮと
すれば２Ｎなる値）をアンドゲート２９１を介して計算
機に読込む。これによ２て・３目￥−’Ｊｅはチャネル
コントローラにより２Ｎ個のデータを＋ｔ６速に読込む
。

す彦わち＊　ｔｒ７ｅ出し用ストローブパルスＤＡＴＡ
ＩＮはアンドゲート２９２でＣＨＮ　　ＢＳＹＩとのア
ンドがとられ、ＰＴＭ　　ＡＲＥＡ＝”０“　なる条１
生下で、このストローブパルスはアンドゲート２９３を
通過し、アップダウンカウンタ２８６全ダウンさせる。

彦お、これとともにフリップフロップ２８７をリセット
してｎ　Ａ　Ｍ　＋１ｆｆｉ出し動作を指定し、アツブ
ダウンカウンク２８６の内容であるｉｔ　Ａ　Ｍのアド
レスから、オアゲー１−２８８の出力パルスケストロー
ブとして、アンドゲート２９４全経由して１唄次ｉ恍出
す。

なおディレー２９５は読出し用の最初のストローブパル
スのタイミングによりＲＡＭのアドレスが２Ｎ−１から
セットされるようにするためである。したがって、この
読出し動作によりＲＡ　Ｍの２Ｎ−１からＯまでｌ１ｊ
ｉに読出されてゆく。

以上のような回路構成により１群パターンマツチング回
路を実現することができる。

次に、紀４０図にｍ１２１図の白面積カウンタ群Ｄｌｌ
ｌ（あるいは白面積カウンタ群Ｍ１１２）の一実施例を
示す。白面積カウンタ群り１Ｍとも回路構成は全く同一
であるため１図にはカウンタ群りに関する回路番号、信
号名等を示し、カウンタ群Ｍに関するものは括弧内に示
しである。

本回路のパラメータ書込みもチャネルコントローラの制
御により行なわれる。すなわち、Ｃ，ＥＩＮＨ８Ｙ　２
　（３１とＩ）ＡＴＡ　　ＯＵＴとがアンドゲート３０
０に加えられ、その出力を一仰込み用ストローブとして
・たとえば図示のよう［１６３すなわちエリアゲート回
路３，２，１．０およびランチレジスタ３０２，３０１
へデータを直列に畦込んでゆく。ただし、ラッチレジス
タ３０１，３０２のデータは第１６図のＸＩｌ、Ｙｇ　
　（モード１）である。

コンパレータ３０３，３０４はそれぞれＸ＝Ｘｓ。

Ｙ　＝　Ｙ　Ｉ＋になったとき、各エリアゲート回ｈ￥
１６３中のＸ、Ｙカウンタｋ　端子＠、　＠　ｋ　通じ
てリセットするとともに、フリップフロップ３０５，３
０６をセットする。したがってＩＭＰ　　ＢＳＹ２ｆ３
）＝”１°なる条件下で−Ｘ＝ＸｓかつＹ　＝　Ｙ　ｓ
なるタイミングでアンドゲート３０７が開き、■端子に
よりすべてのエリアゲート回路１６３を起動する。一方
、モード１のクロックパルスｘｃｐ。

ＹＣＰが端子■、■より加えられ、すべてのエリアゲー
ト回路１６３のＸ、Ｙカランタラ動作させるＯ各エリアゲート回路は、第１６図に示した各エリアを走
査中に■端子が”１”となるため、アンドゲート３０８
はその時間帯でのＸＣＰノくルスが加わり、かつ第２１
図に示したセレクタ１０６からの信号１）ＢＮＲ，（、
ＭＢＮＲ）＝”１”すなわち対塚パターンが白のとき出
力を送出し・カウンタ３０９には計数される。このよう
にして、各エリアゲート回路１６３けエリア走査終了時
点に端子■からパルスを送出し、フリップフロップ３１
０會セツトする。したがって、すべてのフリップフロッ
プ３１０がセットしたタイミングでアンドゲート３１１
が°１°となり、フリップフロップ３０５．３０６，３
１０をリセットし％ＩＭＰＥ　Ｎ　Ｄ　２　（３）から
パルスを送出する。

このようにして、３０９すなわちカウンタ０゜１．２．
３に各エリアの白面イ責１直ｂＯ＋５ｌＩＳ２＋Ｓ３が
得られるが、各データはチャネルコントローラにより１
＠次読出される。すなわち、ＣＨＮＨＳ　Ｙ　２　（３
）とＤＡＴＡ　　ＩＮとがアンドゲート３１１に加わり
・その出力を読出し用ス）ｏ−ブとしてＲＳ　Ｌ　ＣＴ
とアンドゲート３１２で選択された各データは、ナント
ゲート３１３ｅ経由して順次Ｆ、ＪＰ、出されてゆく。

第４１図は、第２１図の同期分配回路１１３の一実施例
である。同図中、３２０はたとえば６ＭＨ１のパルス発
振器、３２１は）＜ルス幅変換用の整形回路で、Ｘ、Ｙ
カウンタ３２２，３２４およびデコーダ３２３，３２５
とともに図示のように接続されている。なお、この主要
出力信号の波形を第４２図に示す。

ここで、ＸＣＰは整形回路３２１の出力で６Ｍ１−１２
のパルス、ＹＣＰはデコーダ３２３の出力値が３８４に
なる毎１回送出される、すなわち１５．７Ｉ（ＨＺのパ
ルスである。ＨＤ、Ｖｌ）すなわちＴＶカメラ用の外部
同期信号は、それぞれフリップフロップ３２６，３２８
および波形整形回路（レベル、極性変換用）３２７，３
２９により図のようになる。また、５ＹＮＣすなわちモ
ニタ用外部同期信号はフリップフロップ３３０，３３１
．ＥＯＲ回路３３２および波形整形回路（レベル、極性
変換用）３３３に、より図のようになる。

ＸＣＰ／４はモード４のサンプリングクロックパルスで
、アンドゲート３３４，３３５および３３６によりＹカ
ウンタの値が４の倍数のときにのみＸカウンタの値が４
の倍数毎にパルスを出、す。

一方、ＹＣＰ／４はアントゲ−）３３５，３３７により
Ｙカウンタの値が４の倍数毎に１回のみパルス金山す。

なお第４３図にさらに詳細な信号波形１４１を示す◎ ２１’！：４１図の３３８〜３４１はディレーまたはデ
ィレ一群で、図のような各ディレ一時間を有するものと
すれは、ＸＣＰ、ＸＣＰ／４．ｌもＡＭ　ＳＴＩもＢ。

Ｗ／Ｒに関してはｆ−ｐＪ４３図のようになる。なおり
ＦＩ　　５ＴＲＢに関しては両図とも省略しである。さ
らに第４１図のＸｏ　、　ＹｏはそれぞれＸ＝Ｘｏ　、
Ｙ”Ｙｏなるタイミングにパルスを出す信号である。

以上説明したように５本発明においては主要部公金すべ
てハードウェアで実現し、計算様の方は簡単な座標計算
程度の処理全行なうのみのため。

信頼性の高い自動位置検出装置を提供することができ、
その効果は大きいものである。

【図面の簡単な説明】

ｈｆ４，１図はワイヤボンディング前のＩＣ，ＬＳＩ等
のベレットの説明図、第２図はベレット上へ設定する視
野を示す説明図、第３図は本発明の基本装置構成を示す
説明図、第４図は本発明を応用した位置検出システムの
借成例の説明図、第５図は光’ｆｌｆ変換器から得られ
るペレットの部分的拡大像のアナログ映像図・第６図は
第５図の２値化映像図、４７図（は本発明における映像
サンプリング例の説明図、Ｘ１１８図は２埴化用しきい
恒量算の原理１兄明図、−９図はｉ、ｉ、ｌ、’　ｆ３
図のしきい値ａ１算を行なうためのＮＩＧ’？Ｉ屈プロ
グラムの説明図％お１１０図、第１１図ｔまノイズ除去
処理の原理説明図、第１２図は群パターンマツチング処
理の原理説明図、第１３図は１１Ｃパターンマツチング
処理用領域の組合せ説明図、さ′４１４図は第１２図、
第１３図の群パターンマツチング処理を行なうための計
算機プログラムの説明図％第１５図は方向チェック処理
の原理説明図、２１〜１６図はエリアゲートおよび白面
４イ１カウント用に指定する長方形ｆｆｌ’の説明図、
第１７図は第１５図の方向チェック処：Ｅ！ｌ！を行な
うための計算機プログラムの説明図、第１８図はミクロ
処理の原理説明図、第１９図は第１８図のミクロ処理を
行なうための計算機プログラムの説明図、第２０図は本
発明の装置を動作させるための多重ｉＲｊ作の一例を示
す説明図、第２１図は第４図の位置検出システムにおけ
る本発明の基本装置構成例の説明図、４２２図は本発明
の装置を小型計算様ＢＩＴＡＣ１０ｎに接続した場合の
インターフェイス部の（１゛４成例を示す接続（９）、
第２３図はε１３２１図におけるレジスタ、セレクタの
実施例を示す接続１匈、第２４図はε（１２２図におけ
るチャネルコントローラの実／ｌｆ＋ｉ　＠を示す接続
図、第２５図は４２４図のチャネルコントローラの動作
説明図、第２６図は第２２図における映像処理用コント
ローラの′ｌｔ、画例を示す接続図、第２７図は第２６
図の映像処理用コントローラの動作説明図、第２８図は
２　＋１１ｆ化用しきい恒量算回路の実施例を示す接続
図、第２９図はエリアゲート回路の実施例を示す接続図
、第３０図は第２９図の主要部の動作説明（図、第３１
図は第２１図におけるノイズ除去回路の実施例を示す接
続図、第３２図は第２１図のノイズ除去回路の他の実施
例を示す接続図、第３３図はＷ２Ｂ５図のＲＡＭの制御
動作の説明図、第３４図は第２１図の群パターンマツチ
ング回路の実施例を示す接続図・鎮３５図は第３４図に
おける部分パターンマツチング回路の実施例を示す接続
図、第３６図Ｉ／ｉ第３４図におけるマツチングシフト
回路の実施例を示す接続図、第３７図は第３４図におけ
るマツチングモード判定回路の実施例を示す扱続図、第
３８図は第３４図におけるメモリバッファの実ｌＩｉ！
ｉ例を示す接続図、第３９図はＣＩ！３８図の動作説明
図、第４０図は第２１図における白面積カウンタ群の実
施例を示す接続図、第４１図は第２１図における同期分
配回路の実施例を示す接続図、εＰＪ４２図、第４３図
は第４１図における信号波形図である。１・・・ＬＳＩペレット、２・・・タブ（台座部分）、
３−０．３−１・・・ポンディングパッド、４−０．４
−１・・・外部電極・５−０．５−１・・・視野像、６
・・・ｆＪｉ板（リードフレーム）、７・・・フレーム
送り機ＩＩ′・Ｉ、８・・・ペレット照明用光源・９・
・・半透明鏡・１０・・・対′吻しンズ、１１・・・反
射鏡、１３−０゜１３−１・・・リレーレンズ、１４−
０．１４−１゜１５−０．１５−１・・・光電変換装置
・１６−０゜１６−１・・・アナログ映像信号、１７・
・・映像処理装置；闇、１９・・・インターフェイス、
２１・・・制御装置（計ｎＬＡ）　、２２・・・駆動回
路、２３・・・制御回路。２５・・・自動ワイヤボンダ、２６・・・検出ステーシ
ョ￥　４　　図ｆ５図　　　第６図第　７　邑Ｙｑ図第７９図 ■　１２　　図薯　７３　図第　／４Ｉ２）第　７５　　口第　７２　図夏　１７　　　図篤　／Ｆ　図第１ｑ図第　２２　　図（注１）−（１−ワイヤートオＩ ”８　２．３　　図第１頁の続き０発　明　者　山崎勇０発　明　者　浜田利潤横浜市戸塚区吉田町２９２番地株式会社日立製作所生産技術研究所内

Claims

【特許請求の範囲】

位置検出Ａべき対象物を間欠的に移動するための第１の
手段と、咳対象物が停止している期間中に上記対象物の
位置を検出する第２の手段とからなることを特徴とする
位置検出装置。