JPS5982724A - 電子線描画装置の試料交換装置 - Google Patents
電子線描画装置の試料交換装置Info
- Publication number
- JPS5982724A JPS5982724A JP57192444A JP19244482A JPS5982724A JP S5982724 A JPS5982724 A JP S5982724A JP 57192444 A JP57192444 A JP 57192444A JP 19244482 A JP19244482 A JP 19244482A JP S5982724 A JPS5982724 A JP S5982724A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- case
- samples
- exchanger
- cases
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/34—Gas-filled discharge tubes operating with cathodic sputtering
- H01J37/3411—Constructional aspects of the reactor
- H01J37/3435—Target holders (includes backing plates and endblocks)
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Electron Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は電子線描画装置の試料交換装置に係シ、特に交
換装置内試料枚数が多い場合においても容易に取り扱え
る試料ケースに関する。
換装置内試料枚数が多い場合においても容易に取り扱え
る試料ケースに関する。
従来の電子線描画装置用試料交換装置は第１図に示す構
成となっている。すなわち試料交換装置ｌは、鏡体２、
試料移動台３、試料室４からなシ、内部が真空である。
成となっている。すなわち試料交換装置ｌは、鏡体２、
試料移動台３、試料室４からなシ、内部が真空である。
電子線描画装置の側壁に位置している。複数枚の試料５
は１つのケース６によって保持され、又ケース全体が上
下機構７によ如上下し、各試料を試料移動台の交換位置
と一致させて停止し、挿入機構８によって、ケースかう
試料移動台の試料保持位置９へ、また試料移動台上にあ
って電子線描画装置によって処理された、試料はケース
内へ搬送する。
は１つのケース６によって保持され、又ケース全体が上
下機構７によ如上下し、各試料を試料移動台の交換位置
と一致させて停止し、挿入機構８によって、ケースかう
試料移動台の試料保持位置９へ、また試料移動台上にあ
って電子線描画装置によって処理された、試料はケース
内へ搬送する。
ケース６内の全試料が処理されると、パルプ１０を閉じ
、試料室と交換装置を隔離する。続いて交換装置内を大
気とし、ふた１１を開き、ケースを取り出す。未処理試
料をケース６に入れふた１１部よシ挿入し、交換装置内
部を排気してパルプ１０を開き、試料室と交換装置を連
結することによって、再び前述した如く試料の搬送を行
なうことができる。
、試料室と交換装置を隔離する。続いて交換装置内を大
気とし、ふた１１を開き、ケースを取り出す。未処理試
料をケース６に入れふた１１部よシ挿入し、交換装置内
部を排気してパルプ１０を開き、試料室と交換装置を連
結することによって、再び前述した如く試料の搬送を行
なうことができる。
上述した交換装置において、ケース内の試料枚数を増し
、連続試料処理数を増したい場合には、ケース重量が増
加し及び外形が大型化する。全試料処理が完了し、交換
装置よ多試料を外部に取り出しする場合に、その取シ扱
いが難しく、取シ出し用のリフト装置が必要となる欠点
を有する。
、連続試料処理数を増したい場合には、ケース重量が増
加し及び外形が大型化する。全試料処理が完了し、交換
装置よ多試料を外部に取り出しする場合に、その取シ扱
いが難しく、取シ出し用のリフト装置が必要となる欠点
を有する。
本発明の目的は交換装置内の試料保持ケースを複数に分
割し１つのケースの重量を軽減した試料交換装置を提供
するものである。
割し１つのケースの重量を軽減した試料交換装置を提供
するものである。
以下本発明の一実施例ケ詳しく説明する。第２図は従来
（２’）試料交換装置内示す第１図のＡ−Ａ’断面にお
いて本発明を実施したものである。
（２’）試料交換装置内示す第１図のＡ−Ａ’断面にお
いて本発明を実施したものである。
試料交換装置ｌの内部にあるガイド１２，１２’に沿っ
て上下する上下機構７、北に試料５が各々４枚ずつ保持
し全く相似形のケース１３．１４’！ｌｒ設けてあシ、
これらは上下機構により一体となって動くために、ケー
ス間（コネクタ１５が設けである。各試料はＡ点におい
て試料台上に第１図と同一な動作で搬送され処理される
。各ケースの全試料が処理されたら、ふた１１を開き、
まず上下機構によってケース１３のトッテ１６がＢ点よ
り少し上昇した所で市めケース１３を取シ出し、さらに
ケース１４のトッテ１７がＢ点より少し上昇した所で上
下機構を止めて、ケース１４を取シだす。すなわち試料
交換内の試料を２つに分割することにより全試料重量の
１／２ のみを取り扱うため、その作業が容易になる。
て上下する上下機構７、北に試料５が各々４枚ずつ保持
し全く相似形のケース１３．１４’！ｌｒ設けてあシ、
これらは上下機構により一体となって動くために、ケー
ス間（コネクタ１５が設けである。各試料はＡ点におい
て試料台上に第１図と同一な動作で搬送され処理される
。各ケースの全試料が処理されたら、ふた１１を開き、
まず上下機構によってケース１３のトッテ１６がＢ点よ
り少し上昇した所で市めケース１３を取シ出し、さらに
ケース１４のトッテ１７がＢ点より少し上昇した所で上
下機構を止めて、ケース１４を取シだす。すなわち試料
交換内の試料を２つに分割することにより全試料重量の
１／２ のみを取り扱うため、その作業が容易になる。
例えば全試料重量がｚｏｏｌ（ｇの場合には２０分割し
１ケ一ス５Ｋｇにして取り扱えば極めて簡単に取扱うこ
とができる。ここでケースは相似形を示したが作業内容
、試料の種類別にして各々に形状をかえても本案は実施
できる。ケース間の試料距離とケース内の試料距離をか
えて図示したが、同一試料ピッチになるよう構成すれば
上下機構の制御が容易になる。
１ケ一ス５Ｋｇにして取り扱えば極めて簡単に取扱うこ
とができる。ここでケースは相似形を示したが作業内容
、試料の種類別にして各々に形状をかえても本案は実施
できる。ケース間の試料距離とケース内の試料距離をか
えて図示したが、同一試料ピッチになるよう構成すれば
上下機構の制御が容易になる。
第３図は本発明の他の実施例を示す。試料交換装置１の
内部にガイドウェーとベルト駆動による搬送機構１Ｂ上
に試料を６枚もつケース１９゜２０を設け、上下機構７
の真上においてケースが止まるようにストッパー２１ｆ
ｆ：設け、上下機構によｐケース１９を上下しＡ点にお
いて各試料は第１図と同様に試料移動台上に搬送される
。ケース１９の全試料が処理されると搬送機構１８によ
シ、上下機構上にはケース２０がセットされる。ケース
２０の各試料は前述のケー゛ス１９と同様に処理される
。また、試料交換装置ｌの両端にはバルブ２２．２３に
持つ予備排気室２８．２’ｌ−持っており、ガイ）２５
．２６とケース金移動するための押し引き機構２６．２
７ｅ備えている。ケース１９．２０の試料処理が完了し
たら、予備室２９からケース１９’ｋ、ケース２０は、
予備室２８へ送シ込みヒンジ３０，３１’ｉ持つふた３
２，３３より各々ケースを引き出し、新なケースを挿入
すると共に各予備室全排気し、バルブ２３．２４に開き
、試料交換室内に各ケースを挿入する。
内部にガイドウェーとベルト駆動による搬送機構１Ｂ上
に試料を６枚もつケース１９゜２０を設け、上下機構７
の真上においてケースが止まるようにストッパー２１ｆ
ｆ：設け、上下機構によｐケース１９を上下しＡ点にお
いて各試料は第１図と同様に試料移動台上に搬送される
。ケース１９の全試料が処理されると搬送機構１８によ
シ、上下機構上にはケース２０がセットされる。ケース
２０の各試料は前述のケー゛ス１９と同様に処理される
。また、試料交換装置ｌの両端にはバルブ２２．２３に
持つ予備排気室２８．２’ｌ−持っており、ガイ）２５
．２６とケース金移動するための押し引き機構２６．２
７ｅ備えている。ケース１９．２０の試料処理が完了し
たら、予備室２９からケース１９’ｋ、ケース２０は、
予備室２８へ送シ込みヒンジ３０，３１’ｉ持つふた３
２，３３より各々ケースを引き出し、新なケースを挿入
すると共に各予備室全排気し、バルブ２３．２４に開き
、試料交換室内に各ケースを挿入する。
次に予備室にケース３４を入れ又予備室２９を各々真空
排気しておき、ケース１９の処理が完了したと同時にバ
ルブ２３．２４を開きケース２０を上下機構上にケース
１９は予備室２９へ、ケース３４は、ケース２０の元の
場所へ送る。このようなサイクルを行なえばエンドレス
に試料処理が行なえる。本案によれば同一形状のケース
を複数個、試料交換室に入れることができかつ予備排気
室を持つことによって、試料交換装置内の真空を破るこ
となく試料処理が行なえる。
排気しておき、ケース１９の処理が完了したと同時にバ
ルブ２３．２４を開きケース２０を上下機構上にケース
１９は予備室２９へ、ケース３４は、ケース２０の元の
場所へ送る。このようなサイクルを行なえばエンドレス
に試料処理が行なえる。本案によれば同一形状のケース
を複数個、試料交換室に入れることができかつ予備排気
室を持つことによって、試料交換装置内の真空を破るこ
となく試料処理が行なえる。
本案によれば、連続して多数枚の試料を処理するために
試料交換内に多数枚の試料を保有した場合においても、
その全数を複数ブロックに分割することかできるので試
料を含むケースの重量が軽量化でき、その作業性向上に
与える影響は大きい。
試料交換内に多数枚の試料を保有した場合においても、
その全数を複数ブロックに分割することかできるので試
料を含むケースの重量が軽量化でき、その作業性向上に
与える影響は大きい。
又、軽量なケースであるため、手による取扱ができるの
でリフト装置等余分な装置が不要となる。
でリフト装置等余分な装置が不要となる。
第１図は従来の試料交換装置の断面図、第２図は第１図
のＡ−Ａ’矢視図で本発明の一実施例を示す断面図、第
３図は同じく他の実施例の試料交換装置の断面図である
。
のＡ−Ａ’矢視図で本発明の一実施例を示す断面図、第
３図は同じく他の実施例の試料交換装置の断面図である
。
Claims (1)
- １、電子線描画装置により処理されるところの試料を出
し入れするための試料交換装置内に、多数枚の試料を保
有するために設けたケースにおいて、該ケースを複数の
ブロックに分割し、かつ各ブロック間においても連続し
て試料が交換できるよう構成したことを特徴とする、電
子線描画装置の試料交換装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57192444A JPS5982724A (ja) | 1982-11-04 | 1982-11-04 | 電子線描画装置の試料交換装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57192444A JPS5982724A (ja) | 1982-11-04 | 1982-11-04 | 電子線描画装置の試料交換装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5982724A true JPS5982724A (ja) | 1984-05-12 |
Family
ID=16291402
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57192444A Pending JPS5982724A (ja) | 1982-11-04 | 1982-11-04 | 電子線描画装置の試料交換装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5982724A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62169327A (ja) * | 1986-01-21 | 1987-07-25 | Toshiba Mach Co Ltd | 基板交換装置 |
-
1982
- 1982-11-04 JP JP57192444A patent/JPS5982724A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62169327A (ja) * | 1986-01-21 | 1987-07-25 | Toshiba Mach Co Ltd | 基板交換装置 |
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