JPS598281Y2 - 電子レンズ - Google Patents
電子レンズInfo
- Publication number
- JPS598281Y2 JPS598281Y2 JP16569079U JP16569079U JPS598281Y2 JP S598281 Y2 JPS598281 Y2 JP S598281Y2 JP 16569079 U JP16569079 U JP 16569079U JP 16569079 U JP16569079 U JP 16569079U JP S598281 Y2 JPS598281 Y2 JP S598281Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- yoke
- magnetic pole
- magnetic
- lens
- electronic lens
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Description
【考案の詳細な説明】
本考案は分解、組立を容易に行うことのできる電子レン
ズに関する。
ズに関する。
従来広く使用されている電子顕微鏡等用対物レンズとし
ては第１図に示すように上磁極１と下磁極２とを非磁性
体製スペーサ−３とによって一体化された磁極片４と、
磁路を構戊する上側ヨーク５、外側ヨーク６、下側ヨー
ク７及び内側ヨーク８と、励磁コイル９とから構戊され
ている。
ては第１図に示すように上磁極１と下磁極２とを非磁性
体製スペーサ−３とによって一体化された磁極片４と、
磁路を構戊する上側ヨーク５、外側ヨーク６、下側ヨー
ク７及び内側ヨーク８と、励磁コイル９とから構戊され
ている。
１０は前記励磁コイル９のコイル枠で、該コイル枠は冷
却槽１１の冷却水により冷却されている。
却槽１１の冷却水により冷却されている。
１２及び１３は非磁性体で形或されたコイルの受体及び
押体である。
押体である。
今、励磁コイル９に励磁電流を流すことにより各ヨーク
５，６，７．８を介して上磁極１と下磁極２との間に磁
場が形威され、電子レンズ作用を生ずる。
５，６，７．８を介して上磁極１と下磁極２との間に磁
場が形威され、電子レンズ作用を生ずる。
しかして斯かる対物レンズにおいて上側ヨーク５の機械
的中心（磁極片４を挿入する穴１４の中心）と内側ヨー
ク８の機械的中心（電子線通過穴１５の中心）とがずれ
ると、磁極片４を装着した場合、磁極片とヨーク５及び
８との接触が面接触とならず、局所的な接触となり、こ
のため磁束の流れが不均一となり収差の原因となる。
的中心（磁極片４を挿入する穴１４の中心）と内側ヨー
ク８の機械的中心（電子線通過穴１５の中心）とがずれ
ると、磁極片４を装着した場合、磁極片とヨーク５及び
８との接触が面接触とならず、局所的な接触となり、こ
のため磁束の流れが不均一となり収差の原因となる。
そこで特殊治具を用いて上側ヨーク５と内側ヨーク８と
の機械的中心を一致させた後、ボルト１６等によって各
ヨークを一体化せしめている。
の機械的中心を一致させた後、ボルト１６等によって各
ヨークを一体化せしめている。
斯かる軸合せ操作は高精度を必要とするため、熟練した
人が組立なければならないことと組立に特殊泊具を必要
とすることから一度対物レンズを組立た後は分解するこ
とが事実上不可能であった。
人が組立なければならないことと組立に特殊泊具を必要
とすることから一度対物レンズを組立た後は分解するこ
とが事実上不可能であった。
その結果加速電圧が例えば２００ ＫＶ以上の高電圧電
子顕微鏡においては対物レンズは非常に大型化するため
、その重量が例えば１００ ｋｇ程度となるので、運搬
時にクレーン等が必要となり、取扱いが非常に厄介とな
る。
子顕微鏡においては対物レンズは非常に大型化するため
、その重量が例えば１００ ｋｇ程度となるので、運搬
時にクレーン等が必要となり、取扱いが非常に厄介とな
る。
本考案は斬様な不都合を解決することを目的とするもの
で、以下第２図に示す実施例装置に基づき詳説する。
で、以下第２図に示す実施例装置に基づき詳説する。
尚第２図において第１図と同一番号のものは同一構戒要
素を示す。
素を示す。
即ち本考案においては上側ヨーク５を内側部５ａと外側
部５ｂとに二分割すると共に該分割された内側部５ａと
内側ヨーク８とを筒状の非磁性体製支持体１７で一体化
したことに特徴がある。
部５ｂとに二分割すると共に該分割された内側部５ａと
内側ヨーク８とを筒状の非磁性体製支持体１７で一体化
したことに特徴がある。
前記支持体１７によって上側ヨーク５の内側部５ａと内
側ヨーク８とを一体化せしめる際には特殊治具等を用い
て両者の機械的中心を一致させた状態で行なわれる。
側ヨーク８とを一体化せしめる際には特殊治具等を用い
て両者の機械的中心を一致させた状態で行なわれる。
尚１８は上側ヨーク５の外側部５ｂの内縁部分を支持せ
しめるための非磁性体製の台である。
しめるための非磁性体製の台である。
斯様な構戊となせば上側ヨークと内側ヨークとの機械的
中心を一致せしめた状態で対物レンズを分解することが
可能となるため、運搬時に従来のようにクレーン等を使
用する必要がなくなり、取扱いが非常に容易になり、し
かも掃除や保守、点検を容易に行うことができるため、
内側ヨークに対する軸合せをより一層高精度で行うこと
ができる。
中心を一致せしめた状態で対物レンズを分解することが
可能となるため、運搬時に従来のようにクレーン等を使
用する必要がなくなり、取扱いが非常に容易になり、し
かも掃除や保守、点検を容易に行うことができるため、
内側ヨークに対する軸合せをより一層高精度で行うこと
ができる。
又上側ヨークを分割することにより磁極片が挿入される
内側部は小型になり、従って該内側部の加工精度の向上
をはかることができる。
内側部は小型になり、従って該内側部の加工精度の向上
をはかることができる。
更に上側ヨークの内側５ａ部及び内側ヨーク８と支持体
との接続部をロー付することによって極めて容易に励磁
コイル部分と電子線通路部分とを真空遮断することが可
能となる。
との接続部をロー付することによって極めて容易に励磁
コイル部分と電子線通路部分とを真空遮断することが可
能となる。
尚、前述の説明では下側ヨーク７と内側ヨーク８とは一
体的に形或した場合について述べたが、別々に形或して
もよい。
体的に形或した場合について述べたが、別々に形或して
もよい。
又対物レンズについて述べたが、他の試料照射系電子レ
ンズや結像系の中間、投影レンズにも実施できる。
ンズや結像系の中間、投影レンズにも実施できる。
更に、磁極片を上方から挿入するタイプについて示した
が、磁極片を下方から挿入するつまり第２図の天地を逆
にしたタイプにも同様に実施できる。
が、磁極片を下方から挿入するつまり第２図の天地を逆
にしたタイプにも同様に実施できる。
第１図は従来例を示す縦断面図、第２図は本考案の一実
施例を示す縦断面図である。 １：上磁極、２：下磁極、３：スペーサ、４：磁極片、
５：上側ヨーク、６：外側ヨーク、７：下側ヨーク、８
：内側ヨーク、９：励磁コイル、１０：コイル枠、１１
：冷却槽、１２及び１３：コイルの受体及び押体、１４
：穴、１５：電子線通過穴、１７：支持体、１８：台。
施例を示す縦断面図である。 １：上磁極、２：下磁極、３：スペーサ、４：磁極片、
５：上側ヨーク、６：外側ヨーク、７：下側ヨーク、８
：内側ヨーク、９：励磁コイル、１０：コイル枠、１１
：冷却槽、１２及び１３：コイルの受体及び押体、１４
：穴、１５：電子線通過穴、１７：支持体、１８：台。
Claims (1)
- 磁路を構或する上側ヨーク、外側ヨーク、下側ヨーク及
び内側ヨークと、励磁コイルと、前記上側又は下側ヨー
クと内側ヨークとの間にレンズ磁場を形戒するための磁
極片とからなる電子レンズにおいて、前記上側又は下側
ヨークを内側部と外側部とに二分割し、該分割された上
側又は下側ヨークの内側部と前記内側ヨークとを非磁性
体製支持体を介して一体化してなる電子レンズ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16569079U JPS598281Y2 (ja) | 1979-11-30 | 1979-11-30 | 電子レンズ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16569079U JPS598281Y2 (ja) | 1979-11-30 | 1979-11-30 | 電子レンズ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5682862U JPS5682862U (ja) | 1981-07-04 |
| JPS598281Y2 true JPS598281Y2 (ja) | 1984-03-14 |
Family
ID=29676596
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16569079U Expired JPS598281Y2 (ja) | 1979-11-30 | 1979-11-30 | 電子レンズ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS598281Y2 (ja) |
-
1979
- 1979-11-30 JP JP16569079U patent/JPS598281Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5682862U (ja) | 1981-07-04 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US10598745B2 (en) | Permanent magnet arrangement for MR apparatuses with axially and laterally displaceable, rotatably mounted ring modules | |
| US6333630B1 (en) | Magnetic field generating apparatus for magnetic resonance imaging system | |
| US10332718B1 (en) | Compact deflecting magnet | |
| US5539366A (en) | Magnet having contoured pole faces for magnetic field homogeneity | |
| US6498488B2 (en) | Magnetic resonance imaging apparatus | |
| US7242191B2 (en) | Cold mass support structure and helium vessel of actively shielded high field open MRI magnets | |
| US6534984B2 (en) | Asymmetric arrangement of permanent-magnetic elements for a magnetic resonance apparatus | |
| GB1459281A (en) | Electron microscopes | |
| JPS598281Y2 (ja) | 電子レンズ | |
| US2233264A (en) | Electron lens | |
| JPH0441463B2 (ja) | ||
| US4706057A (en) | Magnet of a nuclear spin tomograph | |
| JP3397347B2 (ja) | オメガフィルタ | |
| JPH03147305A (ja) | 磁気シールド付電磁石 | |
| JPH10125267A (ja) | エネルギーフィルタ | |
| JPS61151954A (ja) | 陰極線管用磁界型レンズ装置 | |
| JPH0422054A (ja) | 透過型電子顕微鏡の対物レンズ | |
| JPH0625927Y2 (ja) | Ｈ形分析電磁石 | |
| JP2658491B2 (ja) | 荷電粒子装置用偏向マグネット | |
| JPH09313458A (ja) | 永久磁石磁気回路 | |
| JPS5927012Y2 (ja) | 偏向ヨ−ク | |
| JPH06124664A (ja) | 電子ビーム集束装置 | |
| JPH0136284Y2 (ja) | ||
| JPS63131448A (ja) | 分析電磁石装置 | |
| KR830002712B1 (ko) | 전자렌즈 |