JPS5983064U - 紫外線予備電離ガスレ−ザ装置 - Google Patents

紫外線予備電離ガスレ−ザ装置

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JPS5983064U
JPS5983064U JP17850882U JP17850882U JPS5983064U JP S5983064 U JPS5983064 U JP S5983064U JP 17850882 U JP17850882 U JP 17850882U JP 17850882 U JP17850882 U JP 17850882U JP S5983064 U JPS5983064 U JP S5983064U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
gas laser
ionization gas
laser equipment
ultraviolet pre
ultraviolet
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Pending
Application number
JP17850882U
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English (en)
Inventor
和明 堀田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来の紫外線予備ガスレーザ装置の鳥徹図と横
断面図である。第２図は本考案の第１の実施例、第３図
は本考案の第２の実施例、第４図は本考案の第３の実施
例である。 １．２・・・・・・放電電極、３．４・・・・・・アー
ク電極、５・・・・・・放電空間、６・・・・・・アー
ク放電、１１．１２・・・・・・放電電極、１３．１４
・・・・・・アーク電極、１５・・・・・・放電空間、
１６・・・・・・アーク放電、１７・・・・・・反射体
、２７・・・・・・楕円面を持つ反射体、２８．２９・
・・・・・楕円面の焦点、３３．３４・・・・・・アー
ク電極、３５．３６・・・・・・アーク電極、３７・・
・・・・放電空間、３８．３９・・・・・・アーク放電
、４０．４１・・・・・・反射体。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 一対の放電電極と、この放電電極の近くに設置、　　　
    されたアーク放電電極とを具備したガスレーザ装置にお
    いて、前記アーク放電電極に対向して反射鏡を設けたこ
    とを特徴とする紫外線予備電離ガスレーザ装置。
JP17850882U 1982-11-26 1982-11-26 紫外線予備電離ガスレ−ザ装置 Pending JPS5983064U (ja)

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JP17850882U JPS5983064U (ja) 1982-11-26 1982-11-26 紫外線予備電離ガスレ−ザ装置

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JP17850882U JPS5983064U (ja) 1982-11-26 1982-11-26 紫外線予備電離ガスレ−ザ装置

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Publication Number Publication Date
JPS5983064U true JPS5983064U (ja) 1984-06-05

Family

ID=30387539

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JP17850882U Pending JPS5983064U (ja) 1982-11-26 1982-11-26 紫外線予備電離ガスレ−ザ装置

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59200480A (ja) * 1983-04-15 1984-11-13 シ−メンス、アクチエンゲゼルシヤフト 横励起ガスレ−ザ−

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59200480A (ja) * 1983-04-15 1984-11-13 シ−メンス、アクチエンゲゼルシヤフト 横励起ガスレ−ザ−

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