JPS5983077A - X線検出器 - Google Patents
X線検出器Info
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- A61B6/4208—Arrangements for detecting radiation specially adapted for radiation diagnosis characterised by using a particular type of detector
- A61B6/4233—Arrangements for detecting radiation specially adapted for radiation diagnosis characterised by using a particular type of detector using matrix detectors
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- G—PHYSICS
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- G01T—MEASUREMENT OF NUCLEAR OR X-RADIATION
- G01T1/00—Measuring X-radiation, gamma radiation, corpuscular radiation, or cosmic radiation
- G01T1/16—Measuring radiation intensity
- G01T1/185—Measuring radiation intensity with ionisation chamber arrangements
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- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
- G01N2223/40—Imaging
- G01N2223/419—Imaging computed tomograph
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/02—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material
- G01N23/04—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material and forming images of the material
- G01N23/046—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material and forming images of the material using tomography, e.g. computed tomography [CT]
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はX FJ +6出器及びその生産方法に関する
。
。
更に詳しく述べると、X線コンピュータ断層撮影装置(
以下単にX MCT装置と記す)において使用されるX
#Qt+出器に関するものである。
以下単にX MCT装置と記す)において使用されるX
#Qt+出器に関するものである。
xH−HcT装宿(ツ、X線管球からX線を被検体へ照
射し、被検体を透過したX線を多数の検出隔室からなる
X線検出器により検出して、この検出データをコンピュ
ータで処理することにより被検体の断層画像を11でい
る。
射し、被検体を透過したX線を多数の検出隔室からなる
X線検出器により検出して、この検出データをコンピュ
ータで処理することにより被検体の断層画像を11でい
る。
オす、従来から知られている検出器であるとともに、本
発明においても使用するxg検出器の動作原理等を第1
図を用いて説明する。
発明においても使用するxg検出器の動作原理等を第1
図を用いて説明する。
第1回は、従来から知られており、同時に本発明でも使
用するX線検出器の外観例及びその内部構成例がわかる
ようにケーA“部を切り開いた図である。ただし、内部
構成例がわかり易いように、本発明の構成要素は、第1
図では省略して描いである。同図において、1はケース
を表わし、この中に高圧のX線検出ガス2が充満されて
いる。このX線検出ガス2の気体の種類及び圧力等は、
当業者に周知なものが選ばれている。例えば、キセノン
1クリプトン、アルゴンなど原子番号の大きな希ガスが
用いられる。ケー21の前面部3は、X線の透過性を有
する物質でt(f成され、例えばプラスチックやアルミ
ニウム等が用いられる。ここでケース1に充満している
検出ガス2はX線周波数の放射線に対し実質的な不透過
性であり、前面部3け実質的に透過性であると門うこと
ができる。
用するX線検出器の外観例及びその内部構成例がわかる
ようにケーA“部を切り開いた図である。ただし、内部
構成例がわかり易いように、本発明の構成要素は、第1
図では省略して描いである。同図において、1はケース
を表わし、この中に高圧のX線検出ガス2が充満されて
いる。このX線検出ガス2の気体の種類及び圧力等は、
当業者に周知なものが選ばれている。例えば、キセノン
1クリプトン、アルゴンなど原子番号の大きな希ガスが
用いられる。ケー21の前面部3は、X線の透過性を有
する物質でt(f成され、例えばプラスチックやアルミ
ニウム等が用いられる。ここでケース1に充満している
検出ガス2はX線周波数の放射線に対し実質的な不透過
性であり、前面部3け実質的に透過性であると門うこと
ができる。
5は検出対象のX絆ビームを表わし、第1図に示すよう
な方向から入射する。6は信号電極板を表わし、7けバ
イアス電極板を表わす。信号電極板6とバイアス電極板
7は第1図に示す如く平面形状を有し、入射X’sに対
し図のような方向で、それぞれにぼ平行に配列される。
な方向から入射する。6は信号電極板を表わし、7けバ
イアス電極板を表わす。信号電極板6とバイアス電極板
7は第1図に示す如く平面形状を有し、入射X’sに対
し図のような方向で、それぞれにぼ平行に配列される。
七して、この信号電極板6とバイアス電極板7は交互に
約等間隔で配置される。その結果、バイアス電極板と信
号tlj 4(i、板とで形成する空間部分はX t4
の検出隔室を構成する。各バイアス電極板7は共通ライ
ンに接続され、この共通ラインを介して各バイアス電極
板7と各信号電極板6との間には直流電圧V、が加えら
れる。
約等間隔で配置される。その結果、バイアス電極板と信
号tlj 4(i、板とで形成する空間部分はX t4
の検出隔室を構成する。各バイアス電極板7は共通ライ
ンに接続され、この共通ラインを介して各バイアス電極
板7と各信号電極板6との間には直流電圧V、が加えら
れる。
以上のような第1図のX線1仝出器の前面部3を透過し
てX線が各検出隔室へ入射すると、X線はxH検出ガス
2の原子と相互作用して電子−イオン対を発生させ、こ
の電7−イオン対が電界に沿って流れ、信号百揮板6と
バイアスπを極板7の間に1[+7流の流れを生じさせ
る。この発生する可1流の個目、入射したX線エネルギ
ーに対応するので、各信号電極板6に接続したリード線
に流れる電流を測定することにより、各検出隔室ごとの
入射X紳エイル4゛−を1lll定することができる。
てX線が各検出隔室へ入射すると、X線はxH検出ガス
2の原子と相互作用して電子−イオン対を発生させ、こ
の電7−イオン対が電界に沿って流れ、信号百揮板6と
バイアスπを極板7の間に1[+7流の流れを生じさせ
る。この発生する可1流の個目、入射したX線エネルギ
ーに対応するので、各信号電極板6に接続したリード線
に流れる電流を測定することにより、各検出隔室ごとの
入射X紳エイル4゛−を1lll定することができる。
一方、X紳cTPv8t、t、1ル検休を牛(1切りに
しだようなlI:lF層画(9を得て、診整に役立てよ
うとする装置であるが、得られる断層面f%は高分解能
衾有したものであることが望ましい。すなわち〜体内組
織の微小外部分まで明瞭に写し出された画像が望ましい
わk)で、この画像の分解能の良否けX紳CT装置の重
要な性能の判断基準とされている。
しだようなlI:lF層画(9を得て、診整に役立てよ
うとする装置であるが、得られる断層面f%は高分解能
衾有したものであることが望ましい。すなわち〜体内組
織の微小外部分まで明瞭に写し出された画像が望ましい
わk)で、この画像の分解能の良否けX紳CT装置の重
要な性能の判断基準とされている。
上述したような画像の分解能を大きく左右する要素とし
てXn検出器がある。そして、この分解能の向上化を図
るには、X線検出器における信号電極板とバイアス電極
板を如何に高密度に配列して構成できるかKかかってく
る。
てXn検出器がある。そして、この分解能の向上化を図
るには、X線検出器における信号電極板とバイアス電極
板を如何に高密度に配列して構成できるかKかかってく
る。
本発明は、従来手段よυ大幅に信号電極板とバイアス電
極板を高密度実装できる手段及びその生産方法を提供し
ようとするものである。
極板を高密度実装できる手段及びその生産方法を提供し
ようとするものである。
まず従来手段では、電極板の高密度配列に一定の限界が
ある旨を第2図〜第7図を用いて説明する。
ある旨を第2図〜第7図を用いて説明する。
第2図は、従来手段を用いて信号電極板6とバイアス電
極板7を約等間隔で交互に配置した状態を示す図であり
、第1図のX線入射方向から見た図である。第2図にお
いて、9は信号電極板6とバイアス1!極板7を第1図
や第2図に示すように支持−Jるガイドである。また、
第3図は、このガイド9により信号電極板6とバイアス
雷、極板7を支持している状態を示す部分拡大図である
。なお、ガイド9に設けられた溝の部分において、信号
電極板とバイアス1!極板は接着剤にて固定されている
。
極板7を約等間隔で交互に配置した状態を示す図であり
、第1図のX線入射方向から見た図である。第2図にお
いて、9は信号電極板6とバイアス1!極板7を第1図
や第2図に示すように支持−Jるガイドである。また、
第3図は、このガイド9により信号電極板6とバイアス
雷、極板7を支持している状態を示す部分拡大図である
。なお、ガイド9に設けられた溝の部分において、信号
電極板とバイアス1!極板は接着剤にて固定されている
。
第2図及び第3図に示すような溝を有したガイド9によ
り信号m、電極板とバイアス電炉板7を支持する従来の
手段では、以下に示す理由により1E極板の高密度配列
を達成できない。
り信号m、電極板とバイアス電炉板7を支持する従来の
手段では、以下に示す理由により1E極板の高密度配列
を達成できない。
0) 電極板(信号電極板6と・;イアスミ極板7)は
互いに絶縁する必要がある。従って、ガイド9は、通常
セラミックなどの絶縁物で構成するが、こJl、らの材
料は、割れ易く細か六加工に適さない。そして、このガ
イド9に設ける溝の間隔を高密度に1ればする程割れ易
さは増大するため第2図及び第3図に示すような溝を設
けたガイド手段には、一定の限界がある。
互いに絶縁する必要がある。従って、ガイド9は、通常
セラミックなどの絶縁物で構成するが、こJl、らの材
料は、割れ易く細か六加工に適さない。そして、このガ
イド9に設ける溝の間隔を高密度に1ればする程割れ易
さは増大するため第2図及び第3図に示すような溝を設
けたガイド手段には、一定の限界がある。
一方、各検出隔宇へ入射したxk♀エネルギーに比例し
た電流を取9出すため、各信号電極板6には、リード線
を配線する必要がある。まだ、・くイアスミ極板7は、
例えば約500V位の高tl1位に接続する必要がある
。従来の接続手段を第4図に示す。
た電流を取9出すため、各信号電極板6には、リード線
を配線する必要がある。まだ、・くイアスミ極板7は、
例えば約500V位の高tl1位に接続する必要がある
。従来の接続手段を第4図に示す。
接続手段では、以下の理由によりN、極板の高密度配列
を達成できない。
を達成できない。
(r′I) このリードfdLs、 tcと電極板
6.7との接続は、ハンダ付けやボンディングなどによ
り行なわれるが、その接続点2部が盛り上るため、電極
板6.7を近接することができない。
6.7との接続は、ハンダ付けやボンディングなどによ
り行なわれるが、その接続点2部が盛り上るため、電極
板6.7を近接することができない。
また、従来においては、第5図に示すような構成の信号
電極板を用いて、画像の分解能を高めるようにした手段
がとられている。第5図において、61は絶縁物の平板
である。62はこの平板610両面に設けられた電極で
あり、もちろん導電性の物質で構成される。63は金属
チップであり、雷2極62とリード線ムとを電気的に接
続するものである。
電極板を用いて、画像の分解能を高めるようにした手段
がとられている。第5図において、61は絶縁物の平板
である。62はこの平板610両面に設けられた電極で
あり、もちろん導電性の物質で構成される。63は金属
チップであり、雷2極62とリード線ムとを電気的に接
続するものである。
以上のような信号電極板6を用いた従来のX線検出器の
電極配列は第6図の如く六る。第6図において付した捲
取素子番号は第1図〜第5図と共通するものであり、そ
ilらの再説明は省略する。
電極配列は第6図の如く六る。第6図において付した捲
取素子番号は第1図〜第5図と共通するものであり、そ
ilらの再説明は省略する。
第6図のよりなM、極配列のX線検出器においては、1
チヤンネル分の4灸出隔良10の幅dは、第6図に示す
通りである。一方、信号電極板6の構成が爪なる金属板
の場合には、1チャンネル分の検出隔室10の幅りは、
第3図°に示すようになる。すなわち 第3図と第6図
に示17た排出隔室10の幅dとDの間には、図から明
らか々ようにdLFl)/2なる関係があるので、第6
図の手段の方が分解能が優れていると言える。しかl/
、N< 6図のX線検出器には以下に示す欠点があり
、明瞭な断層画像を得るための障害となっている。
チヤンネル分の4灸出隔良10の幅dは、第6図に示す
通りである。一方、信号電極板6の構成が爪なる金属板
の場合には、1チャンネル分の検出隔室10の幅りは、
第3図°に示すようになる。すなわち 第3図と第6図
に示17た排出隔室10の幅dとDの間には、図から明
らか々ようにdLFl)/2なる関係があるので、第6
図の手段の方が分解能が優れていると言える。しかl/
、N< 6図のX線検出器には以下に示す欠点があり
、明瞭な断層画像を得るための障害となっている。
(ハ)第6図において、絶縁物61を挾んだ2つのチャ
ンネル間には、大きな容置C1が生じている。
ンネル間には、大きな容置C1が生じている。
この2つのチャンネルを第6図のu、bで示すと、この
2つのチャンネルから入力した電流は、第7図のような
回路に導入され、そこで積分器により電圧に変換されて
■流値が計測される。第7図に示したC1は上述した絶
縁物61による2つのチャンネル間に生じた容h1であ
る。U、、U2け増幅器であ松、第7図に示すような容
nr (−1により、2つのチャンネル間には相互干渉
が生じている。このため、明瞭な断層画像の再構成が妨
げられている。
2つのチャンネルから入力した電流は、第7図のような
回路に導入され、そこで積分器により電圧に変換されて
■流値が計測される。第7図に示したC1は上述した絶
縁物61による2つのチャンネル間に生じた容h1であ
る。U、、U2け増幅器であ松、第7図に示すような容
nr (−1により、2つのチャンネル間には相互干渉
が生じている。このため、明瞭な断層画像の再構成が妨
げられている。
本発明は、以上説明したような、(イ)、(ロ)、(→
の欠点を解消し、高密度なチャンネル構成のX線検出器
及びその生産方法を提供しようとするものである。
の欠点を解消し、高密度なチャンネル構成のX線検出器
及びその生産方法を提供しようとするものである。
以下図面に基づいて本発明の詳細な説明する3゜第8図
と第9図は本発明に係るX線検出器で使用する信号型、
極板の構成及び電極板の配列とその電気的接続例を示し
だものである。すなわち、第8図V3、本発明に係るX
線検出器の電極板の配列と千0■、気的接続を示したも
のであり、第9図は本発明に係るX線検出器で使用する
信号電極板の構成を説明するだめの図である。第9図に
おいて、65は導電性物質からなるガード平板であり、
このガード平板の両面に絶縁層66が設けられている。
と第9図は本発明に係るX線検出器で使用する信号型、
極板の構成及び電極板の配列とその電気的接続例を示し
だものである。すなわち、第8図V3、本発明に係るX
線検出器の電極板の配列と千0■、気的接続を示したも
のであり、第9図は本発明に係るX線検出器で使用する
信号電極板の構成を説明するだめの図である。第9図に
おいて、65は導電性物質からなるガード平板であり、
このガード平板の両面に絶縁層66が設けられている。
更にこの2つの絶縁層66の上に導電性物質からなる電
極67が設けられている1、在お、入射したX線により
牛じる2次X・1子が隣接」−る検出隔室へ侵入するの
を防ぐだめガード平板65と電極67のうち一方又は双
方は、X線に対し実質的に不透過性の物質で第1す1成
することが望ましい。
極67が設けられている1、在お、入射したX線により
牛じる2次X・1子が隣接」−る検出隔室へ侵入するの
を防ぐだめガード平板65と電極67のうち一方又は双
方は、X線に対し実質的に不透過性の物質で第1す1成
することが望ましい。
以Hのように、導電性を有し、かつX線に対し実質的に
不透過性の物質としては、例えば、モ1ノブデンMo、
タンタルTR,クンゲス−FyWなど力11られて
いる。
不透過性の物質としては、例えば、モ1ノブデンMo、
タンタルTR,クンゲス−FyWなど力11られて
いる。
1具体例を示すと、ガード平板65としてタングステン
WやモリブデンMoからなる利料を用い、絶縁層66と
電極67にはポリイミド(絶縁層66)の上に銅(電極
67)を蒸着したフレキンフ゛ルブ1)ント板を用いる
ととができる。もちろん、このフレキシブルプリント板
はガード平板65の両i苗へj内当な手段で接着される
。
WやモリブデンMoからなる利料を用い、絶縁層66と
電極67にはポリイミド(絶縁層66)の上に銅(電極
67)を蒸着したフレキンフ゛ルブ1)ント板を用いる
ととができる。もちろん、このフレキシブルプリント板
はガード平板65の両i苗へj内当な手段で接着される
。
本発明では、上述した第9図のよう々構成の信号電極板
6(以下、必要に応じてガード付両百電極板と言う)を
第8図に示す如くX線オ広143斌升に糸Uみ込み、各
信号電極板6のガード平板65を接す(魅市。
6(以下、必要に応じてガード付両百電極板と言う)を
第8図に示す如くX線オ広143斌升に糸Uみ込み、各
信号電極板6のガード平板65を接す(魅市。
位に接続している。そして、各電極67ヘリード線9を
接続してηr、 HP ti流を取り出すようにしてい
る。
接続してηr、 HP ti流を取り出すようにしてい
る。
従って、本発明ではガード平板65を接地η【も1に接
続しているので、隣接するチャンネル間に生じていた容
IC1は、除去される。
続しているので、隣接するチャンネル間に生じていた容
IC1は、除去される。
第10図と第11図は本発明に係るX線検L43 f!
%の要部を示17た図であって、バイアスTlti板7
と信号1N、極板のガード平板65の電気的接続手段を
示しだものである。mhoドロ=l余(親図であり、第
11南は第10図の入方向から見た図である。第10図
及び第11図におい゛〔,6は第9図で説明したような
信号電極板であり、7も上述で説明したようなバイアス
ff1Ti板であZ〕が、どちらもその1部に切り欠き
C後述する。寸だ平板15.15には第10図の■〕に
示すような凹みが設けられている。17と19H,4電
性ゴムである。この導電性のゴム17と19は、紐状の
形状を有し、平板13.15の凹部りに沿って配置され
る。そして導電性ゴム17には電圧v1が印加され、導
電性ゴム19は接地電位に接続される。
%の要部を示17た図であって、バイアスTlti板7
と信号1N、極板のガード平板65の電気的接続手段を
示しだものである。mhoドロ=l余(親図であり、第
11南は第10図の入方向から見た図である。第10図
及び第11図におい゛〔,6は第9図で説明したような
信号電極板であり、7も上述で説明したようなバイアス
ff1Ti板であZ〕が、どちらもその1部に切り欠き
C後述する。寸だ平板15.15には第10図の■〕に
示すような凹みが設けられている。17と19H,4電
性ゴムである。この導電性のゴム17と19は、紐状の
形状を有し、平板13.15の凹部りに沿って配置され
る。そして導電性ゴム17には電圧v1が印加され、導
電性ゴム19は接地電位に接続される。
とのよう寿構成の検出器においては、各バイアス電極板
7は、第10図及び第11図に示す如くB部分で導電性
ゴム17を押し圧するように配置されている。寸だ、信
号電極板6のガード平板65も図に示す如くE部分で4
電性ゴム19を押し圧するように配置されている。従っ
て、各バイアスvItit板7目導電性ゴl、1ノー\
、各ガード平板65は導電性コ゛ム19へ電気的に接続
されることと々る。
7は、第10図及び第11図に示す如くB部分で導電性
ゴム17を押し圧するように配置されている。寸だ、信
号電極板6のガード平板65も図に示す如くE部分で4
電性ゴム19を押し圧するように配置されている。従っ
て、各バイアスvItit板7目導電性ゴl、1ノー\
、各ガード平板65は導電性コ゛ム19へ電気的に接続
されることと々る。
一方、各信号ffl極板6とバイアス電極板7には切り
欠きが設けられているので、互に逆の導電性ゴムへ触れ
ることはない。
欠きが設けられているので、互に逆の導電性ゴムへ触れ
ることはない。
このように、第10図及び第111図によれU工、各ノ
(イアスミ極板7とガード平板65シ1、所定の位信へ
配置するだけで、上述したIJ −1,’紳Lcの配線
作業を要することがないので、前記した(口)の欠点は
改善さ11、信号電極板6とバイアス111極板7の間
隔を狭めることができる。
(イアスミ極板7とガード平板65シ1、所定の位信へ
配置するだけで、上述したIJ −1,’紳Lcの配線
作業を要することがないので、前記した(口)の欠点は
改善さ11、信号電極板6とバイアス111極板7の間
隔を狭めることができる。
なお、上述においては、導電性ゴノ・17.19を平板
13.15と各ガード平板65.各・(イアス1(f、
極7との間に股りるように図示して説明したが、これに
限定するものでは方く、四辺形の電極板6,7において
、どの辺に導電、性ゴム17.19を配置するようにし
、でも本発明は成立する。
13.15と各ガード平板65.各・(イアス1(f、
極7との間に股りるように図示して説明したが、これに
限定するものでは方く、四辺形の電極板6,7において
、どの辺に導電、性ゴム17.19を配置するようにし
、でも本発明は成立する。
−4だ、導電性ゴムD、19を配lするために平板15
.15に設けられた凹部りは、無くても本発明は成立す
る。例えば、第12図に示すように各電極板6.7にも
適切な大きさの切り欠きFを設ければ凹部りは必要ない
。
.15に設けられた凹部りは、無くても本発明は成立す
る。例えば、第12図に示すように各電極板6.7にも
適切な大きさの切り欠きFを設ければ凹部りは必要ない
。
寸だ、第10図及び第11図では、各電極板6,7が他
方の導電性ゴムに接触するのを防ぐため、tDJり欠き
Cを設Uた例で説明しだが、このL7Jり欠きCが無く
ても本発明H1成立する。例えば、第13図に示すよう
に平板15に設けられ一℃いる凹部りへ導、電性ゴム1
7を若干落し込み、各電極板6,7と導電性ゴム17.
19の間に絶縁物2oを設ければ、切り欠きCは必要な
い。
方の導電性ゴムに接触するのを防ぐため、tDJり欠き
Cを設Uた例で説明しだが、このL7Jり欠きCが無く
ても本発明H1成立する。例えば、第13図に示すよう
に平板15に設けられ一℃いる凹部りへ導、電性ゴム1
7を若干落し込み、各電極板6,7と導電性ゴム17.
19の間に絶縁物2oを設ければ、切り欠きCは必要な
い。
′!Fだ、上述の説明では導電性ゴムの形状を紐状であ
るとしたが、本明細書においては単なる紐状のみを意味
するだけでなく、帯状、綿状、板状、棒状などを含む広
い意味として用いた。
るとしたが、本明細書においては単なる紐状のみを意味
するだけでなく、帯状、綿状、板状、棒状などを含む広
い意味として用いた。
第14図〜第16図は本発明に係るX線検出器の要部を
示した図であって、信号電極板6の各電極67へ電気配
線を行ない電Ili!#電流を取シ出す手段を示したも
のである。第14図〜第16図において、6と7は、上
述で説明したような信号電極板とバイアス電極板である
。ただし、第16図に示ず如く信号ML電極板の1部に
突起Mが設けられている。21はプリント板であり配列
された各信号電極板6の各突起Mと嵌め合う11b分に
穴22が設けられている。
示した図であって、信号電極板6の各電極67へ電気配
線を行ない電Ili!#電流を取シ出す手段を示したも
のである。第14図〜第16図において、6と7は、上
述で説明したような信号電極板とバイアス電極板である
。ただし、第16図に示ず如く信号ML電極板の1部に
突起Mが設けられている。21はプリント板であり配列
された各信号電極板6の各突起Mと嵌め合う11b分に
穴22が設けられている。
そして、この穴22の少なくとも1部に導電性の、<タ
ーン251と23jが設けられている。第15図は、と
の穴22と五′711性パターン231,23Jの部分
を拡大して示した図である。もちろん4市性・くターン
251と25jとd互いに絶縁された回路である。そし
て、第14図に示す如く各突起Mと各穴22とを嵌め合
い、信号電極板乙の表面側と裏面側の電極67をそれぞ
れfi−電性パターン231と23jへ電気的に接続す
る。この時の電気的接続手段は、ノ・ンタ付や導電性接
着剤力ど各種の手段が用いられ、本発明においては、こ
の電気的接続手段を限定するものではない。
ーン251と23jが設けられている。第15図は、と
の穴22と五′711性パターン231,23Jの部分
を拡大して示した図である。もちろん4市性・くターン
251と25jとd互いに絶縁された回路である。そし
て、第14図に示す如く各突起Mと各穴22とを嵌め合
い、信号電極板乙の表面側と裏面側の電極67をそれぞ
れfi−電性パターン231と23jへ電気的に接続す
る。この時の電気的接続手段は、ノ・ンタ付や導電性接
着剤力ど各種の手段が用いられ、本発明においては、こ
の電気的接続手段を限定するものではない。
なお、第14図及びWf、16図において、信号電極板
6の突起Mを単に長方形で示1〜だが、この形状に限定
するものでなく、穴22へ挿入し易いように先夫形にし
たり、先細形にしたりすることもできる。
6の突起Mを単に長方形で示1〜だが、この形状に限定
するものでなく、穴22へ挿入し易いように先夫形にし
たり、先細形にしたりすることもできる。
オだプリント板21の穴22の形状も第14図及び第1
5図に示しだ形状に限定するものではない。
5図に示しだ形状に限定するものではない。
また、プリント板21としては、剛体のプリント板のみ
を意味するものでなく、いわゆるフレキ/プルのプリン
ト板を用いることができるλまた、信号電極板6の突起
Mは、このTt電極板4辺のうちどの辺に設けてもよい
。
を意味するものでなく、いわゆるフレキ/プルのプリン
ト板を用いることができるλまた、信号電極板6の突起
Mは、このTt電極板4辺のうちどの辺に設けてもよい
。
また、第16図では信号電極板6の1部に切り欠きを設
りて描いだが、これは、電極板6の41り成をわかり易
ぐするためのもので、実際の市、極板6には、第16図
に示したような切り欠きはない。
りて描いだが、これは、電極板6の41り成をわかり易
ぐするためのもので、実際の市、極板6には、第16図
に示したような切り欠きはない。
以上のように、小14図〜第16図によれば、各信号電
極板乙の表面側と裏面側の電極67へ上述したリード線
t6の配線作業を要することがないので、前記しプこ(
ロ)の欠点は散着され、信号電極板6とバイアス電極板
7の間隔を狭めることができる。
極板乙の表面側と裏面側の電極67へ上述したリード線
t6の配線作業を要することがないので、前記しプこ(
ロ)の欠点は散着され、信号電極板6とバイアス電極板
7の間隔を狭めることができる。
jf’、17図と第18図は本発明に係るX線検出器の
別の要部を示した図であって、第2M及び第5図で示し
た溝つきガイド9の代りに溝のない平面状の板を使用し
て構成したX線検出器である。すなわち、第17図及び
第18図で説明しようとする本発明のX IN検出器の
要旨は、次の如くである。
別の要部を示した図であって、第2M及び第5図で示し
た溝つきガイド9の代りに溝のない平面状の板を使用し
て構成したX線検出器である。すなわち、第17図及び
第18図で説明しようとする本発明のX IN検出器の
要旨は、次の如くである。
X線検出ガスが満たされているケース内において対向1
.−C配置さilだ平面状の板と、このグー向した平面
状の板の間に各信号型、極板と各バイアス′1(【極板
の面と而とを向い合わせで約等間隔で交互に配置し、こ
の各信号電極板と各バイアス電極板の上縁及び下縁を対
向している平面状の板の面へ接以下、図面に基づいて詳
しく詐明する。
.−C配置さilだ平面状の板と、このグー向した平面
状の板の間に各信号型、極板と各バイアス′1(【極板
の面と而とを向い合わせで約等間隔で交互に配置し、こ
の各信号電極板と各バイアス電極板の上縁及び下縁を対
向している平面状の板の面へ接以下、図面に基づいて詳
しく詐明する。
第17図は治工具を用いて信号電極板6及びバイアス電
極板を配列する様子を示した図であり、第18図は、治
工具に信号重体板6とバイアス電極板7及び平面状の板
を組み込み、本発明の要部がわかるようにした図である
。
極板を配列する様子を示した図であり、第18図は、治
工具に信号重体板6とバイアス電極板7及び平面状の板
を組み込み、本発明の要部がわかるようにした図である
。
第17図及び第18図において、25と26は治工具を
表わし、互に平行た2つの湾曲状の面aとbi有してい
る。この2つの湾曲状の面aとbには、第17図に示す
如く多数の溝A11A2.A5.・・・とB1.B2゜
B5.・・・が設けられている。そして、第17図に示
す如く溝A1とB7. A2とB2.・・・は対向して
対となるように形成されており、例えば、対になる溝A
1とB。
表わし、互に平行た2つの湾曲状の面aとbi有してい
る。この2つの湾曲状の面aとbには、第17図に示す
如く多数の溝A11A2.A5.・・・とB1.B2゜
B5.・・・が設けられている。そして、第17図に示
す如く溝A1とB7. A2とB2.・・・は対向して
対となるように形成されており、例えば、対になる溝A
1とB。
には信号型、極板6又はバイアス電pi板7が挿入され
る。このように、それぞilの対となる溝へ第17図の
如く、信号電極板6とバイアス電極板7とを交互に挿入
すると、第1図に示す如く、信号電極板6とバイアス電
極板7とは面と面とを向い合わせて約等間隔で、かつ入
射X線方向5に対し扇形状に配列される。
る。このように、それぞilの対となる溝へ第17図の
如く、信号電極板6とバイアス電極板7とを交互に挿入
すると、第1図に示す如く、信号電極板6とバイアス電
極板7とは面と面とを向い合わせて約等間隔で、かつ入
射X線方向5に対し扇形状に配列される。
第18図においてVl、治工具は2つのブロック25と
26で構成されておりGの部分で、ブロック25と26
は左右に分離することができるようになっている。もつ
とも、治工具の要部l−1:第17図に示した通りであ
り、本発明においては治工具を1つのブロックで構成す
るか又は複数のブロックで構成するかはどちらでもよく
、虜だブロックの結合・分離の構成などもどのようなも
のであってもよい。第18図において、15と15は平
面aの板であり本発明の構成要件の1つである。この平
面状の板13と15は、従来例におけるガイド9と外な
り、信号電極板6とバイアス電極板7を挿入するための
溝を有さない形状のものである。もちろん、平面状の板
13と15は絶縁性を有する必要があるが、アルミニウ
ムなどをアルマイト処理した物であっても良い。
26で構成されておりGの部分で、ブロック25と26
は左右に分離することができるようになっている。もつ
とも、治工具の要部l−1:第17図に示した通りであ
り、本発明においては治工具を1つのブロックで構成す
るか又は複数のブロックで構成するかはどちらでもよく
、虜だブロックの結合・分離の構成などもどのようなも
のであってもよい。第18図において、15と15は平
面aの板であり本発明の構成要件の1つである。この平
面状の板13と15は、従来例におけるガイド9と外な
り、信号電極板6とバイアス電極板7を挿入するための
溝を有さない形状のものである。もちろん、平面状の板
13と15は絶縁性を有する必要があるが、アルミニウ
ムなどをアルマイト処理した物であっても良い。
以下、第18図を参照しながら本発明に係るX線検出器
の生産方法の1例を説明する。
の生産方法の1例を説明する。
(イ) 治工具のブロック25と26をG部で組み合1
フせる。
フせる。
(ロ) 平面状の板15を治工具の下面へ第18図の
如く配置する。
如く配置する。
(!今 信号電極板6とバイアス電極板7を上述17
だ如く治工具の対になる溝へ挿入する。
だ如く治工具の対になる溝へ挿入する。
に) 平面状の板15を信号電極板6とノ(イアス■、
極板7の上縁に配置する。
極板7の上縁に配置する。
@令 このような状態で各信号電極板6と/;イアス1
@板7の上縁及び下縁を平面状の板13表15の面(す
なわち第18図の面HとJ)へ接着剤により接着して固
定する。fkお、接着剤は、予め平板13と15の面K
、及び又は各信号電極板6と各バイアス電極板7の上縁
と下縁に塗っておいても良く、又は第18図のように配
置後、所定の部分へ接着剤を注入して接着しても良い。
@板7の上縁及び下縁を平面状の板13表15の面(す
なわち第18図の面HとJ)へ接着剤により接着して固
定する。fkお、接着剤は、予め平板13と15の面K
、及び又は各信号電極板6と各バイアス電極板7の上縁
と下縁に塗っておいても良く、又は第18図のように配
置後、所定の部分へ接着剤を注入して接着しても良い。
寸だ、治工具の構成によっては、まず信号電極板6とバ
イアス電極板7とを治工具で配列し、その後、この信号
TL電極板とバイアスW極板7の下縁及び上縁へ平面状
の板13と15を接するように配置することもできる。
イアス電極板7とを治工具で配列し、その後、この信号
TL電極板とバイアスW極板7の下縁及び上縁へ平面状
の板13と15を接するように配置することもできる。
このように、第17図及び第18図で説明したX線検出
器によれば、従来のよう外、溝を設けたガイ1゛を必要
とせず、単純な構成の平面状の板をその代りとして使用
するので、上述しだ0)の欠点は除去さJl、信号電極
板6とバイアス電極板7の間隔を狭めることができる。
器によれば、従来のよう外、溝を設けたガイ1゛を必要
とせず、単純な構成の平面状の板をその代りとして使用
するので、上述しだ0)の欠点は除去さJl、信号電極
板6とバイアス電極板7の間隔を狭めることができる。
第1図は従来から知られており、同時に本発明でも使用
するX線検出器の外観、例及び千の内部構成例がわかる
ようにケースの1部を切り開いた図、第2図は従来手ν
りを用いて信号型(6板とバイアス電極板を配置した状
態を示す図、第5図は従来手7段により信号電極板6と
バイアス111極板7を支持1、ている状iすを示す部
分拡大M11部図は各信号電極板とバイアス電極板へ電
気配線を行なう従来手段を示した図、第5図は従来の信
号電極板の構成を示す図、第6図はf115図の信号電
極板を使用17て41゛り成しだX線検出器の市棹板配
列の状態を示す図、第7図は従来の信号電極板を使用し
た場合の入力回路を示した図、第8図11を本発明に係
るX線検出器の1実施((((であってi)i、’ %
板の配列とその軍、JA的接続を示す図、用91シ+
i:1本発明にも−いて使用する信号電極板の構成を開
明するだめの図、第10図〜第13図は本発明に係るX
線検出器の別の実rF例であって電気的接続手段として
導電性ゴムを使用した場合を示す図、第14図〜第16
図は本発明に係るX#検出器の別の実施f’11であっ
て電気的接続手段としてプリント板を使用した場合を示
す図、ff(17図及び第18図は本発明に係るX線検
出器の別の実施例であって治工具を用いて信号電極板6
とバイアス’ui 11板7を配列する様子を示した図
である。 1・・・ケース、2・・・X線検出ガス、3・・・前面
部、6・・・信号電極板、7・・・バイアス電極板、1
0・・・検出隔室、13. i5・・・平面状の板、1
7.19・・・導電性ゴム、21・・・プリント板、2
2・・・穴、23i、 23j・・・パターン、25
.26・・・治工具のプロ、り、65・・・ガード平板
、66・・・絶縁層、67・・・電極。 屈1図 M2図 M4図 1、 篇5図 M2S図 第17図 革18図 3 \ /′ ・ 1コ 第1頁の続き 0発 明 者 森史部 武蔵野市中町2丁目9番32号株 式会社横河電機製作所内
するX線検出器の外観、例及び千の内部構成例がわかる
ようにケースの1部を切り開いた図、第2図は従来手ν
りを用いて信号型(6板とバイアス電極板を配置した状
態を示す図、第5図は従来手7段により信号電極板6と
バイアス111極板7を支持1、ている状iすを示す部
分拡大M11部図は各信号電極板とバイアス電極板へ電
気配線を行なう従来手段を示した図、第5図は従来の信
号電極板の構成を示す図、第6図はf115図の信号電
極板を使用17て41゛り成しだX線検出器の市棹板配
列の状態を示す図、第7図は従来の信号電極板を使用し
た場合の入力回路を示した図、第8図11を本発明に係
るX線検出器の1実施((((であってi)i、’ %
板の配列とその軍、JA的接続を示す図、用91シ+
i:1本発明にも−いて使用する信号電極板の構成を開
明するだめの図、第10図〜第13図は本発明に係るX
線検出器の別の実rF例であって電気的接続手段として
導電性ゴムを使用した場合を示す図、第14図〜第16
図は本発明に係るX#検出器の別の実施f’11であっ
て電気的接続手段としてプリント板を使用した場合を示
す図、ff(17図及び第18図は本発明に係るX線検
出器の別の実施例であって治工具を用いて信号電極板6
とバイアス’ui 11板7を配列する様子を示した図
である。 1・・・ケース、2・・・X線検出ガス、3・・・前面
部、6・・・信号電極板、7・・・バイアス電極板、1
0・・・検出隔室、13. i5・・・平面状の板、1
7.19・・・導電性ゴム、21・・・プリント板、2
2・・・穴、23i、 23j・・・パターン、25
.26・・・治工具のプロ、り、65・・・ガード平板
、66・・・絶縁層、67・・・電極。 屈1図 M2図 M4図 1、 篇5図 M2S図 第17図 革18図 3 \ /′ ・ 1コ 第1頁の続き 0発 明 者 森史部 武蔵野市中町2丁目9番32号株 式会社横河電機製作所内
Claims (4)
- (1)X線検出ガスが満たされているケースと、このケ
ース内に設けられる平面状の複数の信号電極板及び平面
状の複数のべ・fアス電、極板とを備え、との信号電極
板とバイアスm極板とにより前記ケース内に空間的に仕
切られた多数の検出隔室を構成し、この各検出隔室内に
照射さiまたX線エネルギーを前記各信号電極板の電極
に流れる電流に変換することにより検出するようにした
装置において、 前記信号電極板として導電性物質からなるガード平板(
65)と、このガード平板(65)の両面に設けられた
絶filtN(66)と、更にこの2つの絶縁W4(6
6)の上にそれぞれ設けられた導電性物質からなる電極
(67)とで構成したガード付両面電極板を用い、この
信号電極板とバイアス電極板を面と面とを向い合わせて
交互に配置し、この信号電極板とバイアス電極板の上梓
及び下縁を対向して設けられた平面状の板(13゜15
)へ接着剤により接着して固定したことを特徴とするX
線検出器1゜ - (2)瀉+と第2の紐状の導電性ゴムを備え、第1の導
電性ゴムには前記各バイアス電極板を押し圧し、第2の
導電性ゴムには前記各ガード平板部分を押し圧するよう
にした特許請求の範囲第1項記載のX線検出器。 - (3) 前記各信号1fi、極板に突起を設りるよう
にし、この突起と嵌め合う部分に穴が設けられこの穴の
少なくとも1部に導電性のパターンを2回路有したプリ
ント板を具備し、この穴部において、前記信号’i、極
板の表面側の電極と裏1Til側の電極とをそれぞれ2
つの回路のパターンへ別々に電気的に接続するようにし
た・′1テ許請求の範囲第1項記載のX線検出器。 - (4)X線検出ガスが満たされているケースと、このケ
ース内に設けられる平面状の複数の信号筒1極板及び平
面状の複数のバイアス電極板とを偵え、この信号W極板
とバイアス電極板とにより前記ケース内に空間的に仕切
られた多数の検出隔室を構成し、この各検出隔室内に照
射されたX線エネルギーを前記各信号電極板の電極に流
れる電流に変換することにより検出するようにした装置
において、 互に約平行な2つの湾曲状の面を有し、この2つの湾曲
状の面にそれぞれ設けられ対向して対に々る多数の溝を
有し、この対に々る溝のそれぞれへ前記信号電極板とバ
イアス1!極板の縁を挿入することができる治工具を用
意し、この治工具の溝へ各信号電極板と各バイアス電極
板の縁を挿入して配列する工程と、各信号電極板と各バ
イアス軍、極板の上縁及び下縁にそノ1ぞれ平面状の板
を配置する工程を有し、 この平面状の板と、各信号ILt4板及び各バイアス電
極板の上縁、下縁とを接着剤で接着するようにして製作
したX線検出器の生産方法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57193157A JPS5983077A (ja) | 1982-11-02 | 1982-11-02 | X線検出器 |
| GB08236201A GB2130002B (en) | 1982-11-02 | 1982-12-20 | X-ray detector and method of making same |
| US06/452,714 US4491734A (en) | 1982-11-02 | 1982-12-23 | X-ray detector and method of making same |
| DE3248184A DE3248184C2 (de) | 1982-11-02 | 1982-12-27 | Röngtenstrahlungsdetektor und Verfahren zu seiner Herstellung |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57193157A JPS5983077A (ja) | 1982-11-02 | 1982-11-02 | X線検出器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5983077A true JPS5983077A (ja) | 1984-05-14 |
| JPH0347472B2 JPH0347472B2 (ja) | 1991-07-19 |
Family
ID=16303225
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57193157A Granted JPS5983077A (ja) | 1982-11-02 | 1982-11-02 | X線検出器 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4491734A (ja) |
| JP (1) | JPS5983077A (ja) |
| DE (1) | DE3248184C2 (ja) |
| GB (1) | GB2130002B (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62259080A (ja) * | 1986-03-14 | 1987-11-11 | ゼネラル・エレクトリツク・カンパニイ | X線検出器 |
Families Citing this family (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH081797B2 (ja) * | 1983-07-30 | 1996-01-10 | 株式会社日立製作所 | 放射線検出器 |
| US4763008A (en) * | 1983-12-27 | 1988-08-09 | General Electric Company | Ionization detector with conductive signal and ground traces |
| JPS60257383A (ja) * | 1984-06-04 | 1985-12-19 | Hitachi Ltd | 電離箱型x線検出器の製造方法 |
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