JPS60257383A - 電離箱型x線検出器の製造方法 - Google Patents

電離箱型x線検出器の製造方法

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JPS60257383A
JPS60257383A JP59114029A JP11402984A JPS60257383A JP S60257383 A JPS60257383 A JP S60257383A JP 59114029 A JP59114029 A JP 59114029A JP 11402984 A JP11402984 A JP 11402984A JP S60257383 A JPS60257383 A JP S60257383A
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adhesive
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electrode plates
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秀司 藤井
Takayuki Hayakawa
早川 孝之
Shigeru Sato
茂 佐藤
Eiichi Yanagihara
柳原 栄一
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Hitachi Healthcare Manufacturing Ltd
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は、電離箱型X線検出器の製造方法に関し、特に
コンピユータ化されたX線断層撮影装置に用いる電離箱
型X線検出器の電極板支持固定方法に関する。
〔発明の背景〕
全身用X線CT (CoIIIputed Tomog
raphy)装置は、第1図(a) (b)に示すよう
に、円板2oの中心に人間の頭部あるいは腹部等を挿入
するための穴21が設けられ、円板20上にX線を照射
する管球22を搭載するとともに、円板20」二の管球
22と対向する位置にX線検出器23を搭載したもので
ある。X線管球22と検出器23の間に被検体が入り、
円板20を回転させながら、X線ビームを断層面上で回
転照射し、これをX線検出器23で受けて、その出力デ
ータから計算機により画像を再構成する。
上記X線検出器23として、X線の空間分布を測定する
電離箱型X線検出器が用いられている。
この電離箱型X線検出器23は、第2図に示すように、
複数個の平面状アノード電極2と平面状カソード電極3
とを交互にほぼ平行な間隔を保持して配列し、約10〜
50気圧の圧力の範囲のキセノン(Xe)等のガスを封
入し、て構成する7この中にxiが入射されると、キセ
ノン−イオン(Xe ” )と電子(e−)に分離され
、両電極2,3間に高電圧を印加することにより電lI
i電流が捕集される、。
検出器23の概略構造は、第3図に示すように、複数個
の平面状アノード電極2と平面状カソード電極3とを交
互に、はぼ平行間隔で上下の絶縁物1に接着固定される
。すなわち、平面状電極2゜3を挿入して支持固定する
ための溝を絶縁物1に等間隔で設け、この溝に電極2.
3を挿入し接着固定する。X線は、例えば扁平な扇状に
広がるファンビームとして、第3図に示す矢印の方向よ
り入射するので、前述のように、アノード電極2とカソ
ード電極3の間に存在する空間で生じた電離電流が測定
される。こめ種のX線検出器23では空間位置分解能が
アノード電極2とカソード電極3で構成される検出セル
の扇状配列方向の単位長さ当りの数と機械的精度(電極
板の平坦度、電極板を支持固定するための溝の形成の精
度等)に大きく影響される。空間位置分解能を高めるた
めに、X線検出器23は1000対以上の検出セルから
構成されている。しかし、これらの検出セルを構成する
各電極2,3間の距離は数100ミクロン以下であって
、きわめて短かいため、電極板を挿入支持固定するため
の溝の形成を高くし、かつ各電極2,3間の距離を精度
よく保持して、電極板を」二記溝の中に接着固定するに
は、高度な技術が必要である1、電極板が溝中に不十分
な形で接着固定されている場合には、電極板の振動によ
るマイクロホニック雑音を生じる。また、隣接する検出
セルにおいて、各電極2.3間の距離に約10μm以上
の差異があるときには、再生された断層像にリング状雑
音が出現する原因になる。し、たがって、このような検
出器は、X線断層撮影装置の検出器として使用できない
このように、マイクロホニック雑音を発生せず、かつ電
極間距離を精度よく保持しながら、電極板を、絶縁物に
精度よく形成された溝の中に接着固定するため、従来は
第4図に示すような方法で製造している。
第4図においては、電(@@2,3にあらがじめ接着剤
4を短冊状に仮接着しておき、一方、互いに相隔たる1
対の絶縁物1には、電極板2,3と仮接着剤部分の厚さ
が挿入できる幅を有する複数個の溝を高精度に形成して
おく。そして、接着剤4とともに各電極板2,3をこれ
らの溝中に挿入して支持すると、所定の硬化条件にした
がって接着剤4が硬化するので、電極板2,3は溝壁に
接着固定される。この場合、接着剤4としては、Bステ
ージを有するエポキシ樹脂や、種々の熱可塑性樹脂のフ
ィルム等を使用する。しかし、第4図に示す電極板2,
3の接着固定方法では、接着剤4の硬化収縮の影響や、
電極板21,3の平坦度のばらつき等があり、さらに高
精度に形成された溝を有する上下1対の絶縁物1を、精
度よく相隔てさせる治工具の精度等に問題があるため、
必らずしも満足できる状態で電極板2,3を溝中に接着
固定することができない。このため、接着固定部位の点
検や1.不良部位の再接着等、余分の製造工程が必要と
なっている。また、絶縁物1に形成する溝の幅は、電極
板2,3の厚さと仮接着剤4の厚さの和より大きくする
必要がある。例えば、電極板2,3の厚さを0.15m
m、仮接着剤4の厚さを0.05++uw程度とすれば
、合計の厚さは0.2mm程度となり、これを溝中に挿
入させるためには、゛電極板2.3の厚さ、平坦度のば
らつき、仮接着剤4の厚さのばl一つき等を考慮すると
、022〜0.2/Inv+程度の溝の幅が必要となる
。しかし、切削機により絶縁物jに)IΦを形成する場
合、」−記の例では、溝の幅が広いため、溝の形成速度
が遅く、また、非常に硬い絶縁物1の切削では切削刃の
損傷も激しく、溝の形成精度を悪くする原因となってい
る。
〔発明の[1的] 本発明の目的は、このような従来の問題を改善し、絶縁
物に形成される溝の幅をできる限り狭くし・で、電極間
隔距離を精度よく保ち、かつマイクロホニック雑音を発
生しないように電極板を溝中に接着固定して、高性能で
安価な電極箱型X線検出器の製造方法を提供することに
ある。
〔発明の概要〕
上記目的を達成するため、本発明による電離箱型X線検
出器は、所定の気体媒体中に複数個の平面状のアノード
電極とカソード電極を交互に配列した電離箱型X線検出
器において、上記アノード電極とカソード電極を支持固
定するための1対の相隔たる絶縁物の内面に、上記電極
の厚さより僅かに広い幅を有する溝を複数個形成し、あ
らかじめ上記溝の深さ分だけ手前の両面または片面に接
着剤が短冊状に仮接着された上記電極を、上記溝中に挿
入した後、該電極と溝壁の間に低粘度の接着剤を溝の端
部より注入し、上記仮接着された接着剤と注入された接
着剤を一体的に硬化させて。
上記各電極を溝中に強固に接着固定することに特徴があ
る。
〔発明の実施例〕
以下、本発明の実施例を、図面により説明する。
第5図は、本発明の一実施例を示す電極板の側面図と正
面図である。
第5図に示すように、本実施例においては、電極板2,
3の接着剤4の取付は位置を、両先端から溝の深さ分の
距離だけ中央方向に移動する。すなわち、接着剤4は、
電極板2,3の両面の溝内に挿入されない部位に短冊状
に仮接着される。したがって、第5図(a) (b)の
寸法dは、絶縁物1に形成された溝の深さに等しいか、
あるいは溝の深さより約01.mm程度大きい寸法であ
ればよい。仮接着する接着剤4としては、Bステージを
有するエポキシ樹脂を使用する。
第6図は、第5図の電極板を溝中に挿入した状態を示す
図である。
1対の相隔たる絶縁物1には、電極板2,3を挿入支持
するための溝が形成されている。これらの溝の幅は、電
極板2,3が挿入できるだけの最小の幅をもっていれば
よく、例えば、電極板2゜3の厚さが0.1mmないし
O,15mmの場合には、溝の幅はそれぞれ0.11 
0.]2mmないし0.16−0.17mmf’j度で
十分である。
接着剤4は、短冊状にスクリーン印刷あるいは他の塗布
方法により、第5図に示す寸法dだけずらした位置に仮
接着され、接着剤4の厚さは0.05〜0.+mml!
i!度で十分であり、厚さの精度は何ら必要どしない。
このようにして仮接着された接着剤4を両面にもつ電極
板2,3を、電極板を挿入できる最小の幅をもつ多数の
溝と精度よく対峙させた後、各電極板2,3を溝中に挿
入する。すべての溝に電極板2.3が挿入された後、低
粘度の液状の接着剤(例えば、溶剤稀釈可能なエポキシ
樹脂等)を、第6図に示す電極板2,3と溝部壁面の間
にある狭い間隙5に注入する。この間隙5の体積は非常
に小さく、例えば電極板2,3の厚さをO,15mm、
 X線入射方向での電極@2,3の長さを35mm、溝
の幅を0.17mm、溝の深さを1mmとすると、間隙
5の体積は7 X I O−” c!にすぎない。この
、ような微小体積の液体の注入は、数多く市販されてい
る吐出量の制御可能な精密液体定量供給装置等を利用す
ることにより、簡単に実現できる。この液体接着剤の注
入方法は、上記精密液体定量供給装置の液体吐出先端を
部位6に配置し、溝の端部8で電極板2,3およびこれ
らに仮接着された接着剤4に接触させることにより・、
接着剤7を溝部壁面と電極板2,3の間にある狭い間隙
5に°流し込む。
液体接着剤7を上下2箇所の溝の端部8がら注入するこ
とによりitの中では、溝壁、電極板2゜3および電極
板2,3に仮接着された接着剤4が、注入された接着剤
7を挟むような形となる。
すべての溝に接着剤7を注入した後、電極板2゜3がほ
ぼ水平となるようにして、所定の温度と時間の条件で、
すべての接着剤7を一体硬化させることにより、電極板
2,3を溝中に完全に接着固定する。なお、接着剤7の
注入時において、接着剤7が溝端部8や溝面9に広がる
こともあるが、接着剤7の硬化後の電気的特性が適当と
なるように接着剤7を選択すれば、X線検出器の性能を
保持することができる。
第7図は、第6図の他の変形例を示す電極板の溝内への
接着固定方法の説明図である。
第7図では、電極板2,3の片面のみに接着剤4が仮接
着された場合の溝中への接着固定方法を示している。す
なわち、溝の深さに等しい寸法dだけずらした位置に接
着剤4を片面だけ仮接着した電極板2.3を、絶縁物1
の多数の溝に精度よく対峙させた後、各電極板2,3を
溝中に挿入する。そして、低粘度の液状の接着剤7を電
極板2゜3と溝部壁面の間の間隙5内に注入する。その
他の接着・固定方法は、第6図に示す場合と全く同じで
ある。
第6図、第7図に電極板固定方法では、溝に入らない位
置に接着剤4を仮接着しておき、これが溶融する際に流
動して、溝中に入り、注入された接着剤7とともに電極
板2.3を溝壁に接着固定するので、溝の幅をほぼ電極
Fi2.3の幅に設定することができ、溶融量に差があ
っても、接着剤4の幅に差があっても、取付は精度を上
げる必要がなくなる。したがって、簡単な方法により電
極板2.3を高精度で強固に配列固定することができる
ので、電極板2,3の振動がなくなって、マイクロホニ
ック雑音が低減さ九るどともに、再生された断層像にリ
ング状雑音が出現しなくなる。
第8図は、本発明の他の実施例を示す電極板の接着固定
方法の説明図であり、第9図は第8図の要部拡大図であ
る。
第8図の実施例においては、あらがじめ接着剤4を仮接
着させておくことなく、溝と電極板2゜3の間の間隙5
に接着剤】0を注入することのみにより電極板2,3を
接着固定する。
第8図において、1対の相隔たる絶縁物1には。
複数個の電極板2,3を挿入するための溝が高精度で形
成されている。この溝の幅は、電極板2゜3が挿入でき
るだけの最小の寸法があればよい。
例えば、電極板2,3の厚さが0.1ないし0.15m
mの場合には、溝の0.12ないし0.17mm程度で
十分である。このように、電極板2,3が挿入できる最
小の幅をもつ多数の溝を有する1対の絶縁物Iを精度よ
く隔てた後、電極板2,3をすべて溝中に挿入する1、
このとき、電極板2,3には、何ら接着固定のための処
理を施す必要はない。つまり。
第6図、第7図に示すような接着剤4を仮接着する必要
がない。すべての溝に電極板2,3が挿入された後、低
粘度の液体接着剤(例えば、溶剤稀釈可能なエポキシ樹
脂等)7を、電極板2,3ど溝部空間つ間にある狭い間
隙5に注入する。この間隙5の体積は、第6図で説明し
たように、7XIn−’cJ程度のきわめて微小な体積
である。この間隙5への液体の注入は、市販されている
吐出量の制御可能な精密液体定量供給装置等を用いれば
、簡単に実現できる。接着剤7を注入する方法は、第9
図に示すように、精密液体定量供給装置の液体吐出先端
を部位6に配置し、絶縁物1の端部8で電極板2あるい
は3とともに接触させることにより、接着剤7を間隙5
内に流し込む。接着剤7を溝の両端部8より注入するこ
とにより、溝の中では溝壁と電極板2,3が接着剤7を
挟むような形となる。すべての溝に接着剤7が注入され
たとき、電極板2,3がほぼ水平となるようにして、所
定の硬化条件で接着剤7を硬化させることにより電極板
2.3を溝中に接着し固定する。
液状の接着剤7は、絶縁物lの材質によっては無機系接
着剤も使用可能であるが、接着剤7の構成粒子の粒子径
は2〜3μm以下でなければ注入には適さない。また、
紫外線硬化性と熱硬化性を併せ持つ樹脂も使用可能であ
るが、絶縁物1は必ずしも透明である必要はない。上記
樹脂を使用した場合には、第9図に示す溝の両端部8の
方向より紫外線を照射して、紫外線透明部分を硬化させ
、この後加熱硬化によりすべての接着剤を硬化させる。
なお、第8図、第9図に実施例においても、接着剤7の
注入時に、接着剤7が第9図に示す溝の端部8や溝面9
し;広がることがあるが、接着剤7の硬化後の電気的特
性が適当な値になるように接着剤7を選゛択することと
、硬化条件を適切にとることに留意すれば、X線検出器
としての性能に悪影響は及ばずことはない。
このように、第8図の実施例においては、絶縁物1に電
極板2,3を接着固定するための溝を形成する際、溝の
幅を電極板2,3の厚さより僅かに広くするだけでよい
ため、溝形成の効率を向上させることができ、また電極
板2,3を溝中に接着固定する際に、電極板2,3のみ
を溝中に挿入するだけでよく、しかも接着剤7の注入と
接着剤7の硬化の2工程でよいため、工程が非常に短縮
される。そして、高精度で電極板2,3を強固に配列固
定できるので、電極板2,3の振動がなくなり、マイク
ロホニック雑音が低減され、再生されだ断層像にリング
状雑音が出現しなくなる。また、高精度で安価なX線検
出器の製造方法が実現できる。
次に第6図、第7図の実施例では、電極板2゜:3の溝
内に挿入されない部分の両面または片面に接着剤4を仮
接着しておき、電極板2,3のみを溝内に挿入して、さ
らに接着剤7を溝内の間隙に注入することにより、すべ
ての接着剤4,7を一体硬化させるので、絶縁物1の溝
の幅を電極板2゜3の厚さより極く僅かだけ広い寸法、
つまり最小必要幅にして溝形成の効率を向上させること
ができ、かつ電極板2,3を溝内に接着固定する際に、
精度よく確実に実行できる。したがって、この方法でX
線検出器を製造すれば、マイクロホニック雑音は減少し
、再生された断層像にリング状雑音が出現することがな
くなる。なお、本発明は、X線CT装置のみならず、そ
れ以外のX線の強弱を計測するすべての装置に適用でき
る。
〔発明の効果〕
以上、説明したように、本発明によれば、絶縁物に形成
される溝の幅をできる限り狭くして、電極間隔距離を精
度よく保ち、かつ電極板を絶縁物のff&中に確実に安
定して接着固定することができるので、高性能で安価な
電離箱型X線検出器を実現でき、マイクロホニック雑音
や再生された断層像のリンク状雑音を殆んどなくすこと
ができる。
【図面の簡単な説明】
第1図はX線CT装置の原理図、第2図は電離箱型X線
検出器の動作原理図、第3図はX線検出器の斜視図、第
4図は従来のX線検出器の電極板保持方法の説明図、第
5図は本発明の一実施例を示す電極板の取付は前の側面
図と正面図、第6図は第5図における電極板の接着固定
方法の説明図、第7図は第6図の他の変形例を示す電極
板の接着固定方法の説明図、第8図は本発明の他の実施
例を示す電極板の接着固定方法の説明図、第9図は第8
図の要部拡大図である。 ■=絶縁物、2,3:電極板、4:仮接着された接着剤
、5:間隙、6:液体吐出先端の位置、7:注入用接着
剤、8:溝の端部、9:溝の表面。 第 1 図 1 第 2 図 第 6 図 第 5 図 (、)(b) 第 6 図 第 7 図 第8図

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)所定の気体媒体中に複数個の平面状のアノード電
    極とカソード電極を交互に配列した電離箱型X線検出器
    において、上記アノード電極とカソード電極を支持固定
    するための1対の相隔たる絶縁物の内面に、上記電極の
    厚さより僅かに広い幅を有する溝を複数個形成し、あら
    かじめ上記溝の深さ分だけ手前の両面または片面に接着
    剤が短冊状に仮接着された上記電極を、上記溝中に挿入
    した後、該電極と溝壁の間に低粘度の接着剤を溝の端部
    より注入し、」二記仮接着された接着剤と注入された接
    着剤を一体的に硬化させて、上記各電極を溝中に接着固
    定することを特徴とする電離箱型X線検出器の製造方法
  2. (2)所定の気体媒体中に複数個の平面状のアノード電
    極とカソード電極を交互に配列した電離箱型f線検出器
    において、上記アノード−電極とカソード電極を支持固
    定するための1対の相隔たる絶縁物の内面に、上記電極
    の厚さより僅かに広い幅を有する溝を複数個形成し、該
    溝中に1〕記電極を挿入した後、該電極と溝壁の間に低
    粘度の接着剤を溝の端部より注入し、該接着剤を硬化さ
    せて一■−記各電極を溝中に接着固定することを特徴ど
    する電離箱型X線検出器の製造方法。
  3. (3)前記絶縁物として、透明な材料を使用し、接着剤
    には低粘度の紫外線硬化性樹脂を使用することを特徴と
    する電離箱型X線検出器の製造方法。
JP59114029A 1984-06-04 1984-06-04 電離箱型x線検出器の製造方法 Granted JPS60257383A (ja)

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