JPS5984107A - 静的軸合せ方法及び装置及び軸合せ監視方法及び装置 - Google Patents

静的軸合せ方法及び装置及び軸合せ監視方法及び装置

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JPS5984107A
JPS5984107A JP58181752A JP18175283A JPS5984107A JP S5984107 A JPS5984107 A JP S5984107A JP 58181752 A JP58181752 A JP 58181752A JP 18175283 A JP18175283 A JP 18175283A JP S5984107 A JPS5984107 A JP S5984107A
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axis
radiation
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radiation beam
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ステフン・ピ−・マラク
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    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/26Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes
    • G01B11/27Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes for testing the alignment of axes
    • G01B11/272Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes for testing the alignment of axes using photoelectric detection means

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は軸継手により連結される2つの軸の心合わせを
行なう軸合せ装置に関し、特に軸合せ位置読出しのため
に軸を回転する必要のない静的軸合せ装置に関する。
非回転又は静的軸合せ装置は米国特許第4,115.9
25号、第4,161,068号及び第3,192,6
31号に開示されている。米国特許第4,115,92
5号は位置検知器を適宜取付けた2つのユニバーサルジ
ヨイントを使用して3次元軸合せの・検出を行なってい
る。
ジヨイントは各ユニーバーサルジヨイントの1つのヨー
クに取付けられた伸縮式連結部によって連動づる。位置
検知器は角度的及び平行なずれの状態の両方を示す続出
制御器へ信号を供給する。この装置は正確な伸縮式連結
部を必要とするので精度に限界があったが、本装置はか
がる機械的連結部を必要としない。また、軸の位置を有
用な直交座標情゛報に変換づるユニバーサルヨークは位
置検知器を取付けうる最小の大きさにしなければならな
い。ユニバーサルヨークはそれ壱れの軸に載置されてい
るからユニバー°す゛ショー9間の最小取付位置には限
界があるためこれには問題かあ、る。本発明はかかるユ
ニバーザルジヨイントは使用しないので最小軸間取角距
離をかなり小さくしうる。米国特許第4.161.06
8号は、角度のずれを検出するための2つの協働するモ
アレ縞模様とともに機械的ターゲットロッド及びマイ−
クロメータを使用してずれ情報を得ている。本発明は偏
向しうる機械的ターゲットロッドを使用しない。また、
モアレ縞模様を使用するには互いに密接させねばならな
いがこれは困ガである。また、モアレ模様は、ずれの大
きさ及び方向に表わし−なおすのが難しい。
米国特許第3,192,6.13号は十字線グラテイキ
ュール及び十字線目標面を有する望遠鏡部材を使用する
。これらの特別の部材はずれの方向を表示しうるがずれ
状態の程度は表示しえず、軸は望遠鏡を通して見て心合
わせができるまで試行錯誤により調節しなければならな
い。本発明は、ずれの大きさと方向を同時に表わす電子
信号を瞬時に供給するため試行錯誤は行なわずにすむ。
本発明は、ずれの状態の大きさ及び方向を同時に検出し
2つの軸の軸合せのため必要な動き及び調整を表示して
2つの軸の3次元的な静的軸合せを行なう簡単な方法及
び装置を提供することを概括的目的とする。
概括的には本発明は支持体と、支持体に取付けられ放射
ビームを出す二軸放射検知手段とを有する軸合せ又は監
視検知構成体力Fらなる。静的な軸合せ装置は連結され
る2つの軸の心合せを行ない又はチェックす゛るために
使用される場合、各検知構成体をそれぞれ軸に対面して
固定する軸取伺手段にそれぞれ取付【プられた2つの軸
合せ検知構成体を使用覆る。検知構成体は、各検知構成
体が出す放射ビームが対面の二軸放射検知手段に当たる
よう各軸取付手段を方向付ける位相方向付は手段を有す
る。各放射検知手段は対面の検知構成体からの放射ビー
ムに応答して、所定の軸合せ状態を有する続出手段に送
られる信号を発生する。2つの放射検知手段からの信号
は組合わさって所定の軸合ぜ状態と比較したずれの大き
さ及び方向を表わず情報を直交座標又は極座標情報どし
て提供し、従って2つ軸の軸方向ずれ位置を表現する。
特に第1の軸の第2の軸とを静的に心合わせする軸合せ
装置は、第1の軸に取付けられ第1の二軸放射検知手段
及び第1の放射源を取付けられた第1の取付手段と、第
2の軸に取付【ノられ第2の二軸放射検知手段及び第2
の放射源を取付けられた第2の取付手段とからなる。第
1の放射源は、第2の信号を発生ずる第2の二軸放射検
知手段へ第1の放射ビームを出ずよう方向付けられ、第
2の放射節は、第1の信号を発生する第1のニー放射検
知手段へ第2の放射ビームを出すよう方向付けられる。
所定の軸合せ状態を有する続出手段は第1の信号及び第
2の信号に応答して所定の軸合ぜ状態と一致する第1の
信号及び第2の信号により示される2つの軸の軸合せに
より軸合せを視覚的に表示する。続出手段は第1及び第
2の信号を     ・所定の軸合せ状態と比較し、較
正された状態である所定の軸合せ状態からの第1及び第
2の信号のずれを大きさ及び方向の双方のずれとして表
示する。一方の軸を軸方向基準として選んだなら他方の
軸は表示されたずれ情報により基準軸と軸合ゼするよう
調整される。
本発明の別の目的は、較正された状態を再現するよう各
取付手段を正確に方向付けるように、第1の取付手段及
び第2の取付手段に設(プた位相方向付は手段を使用す
ることで2つの軸の略平行な横方向ずれを防止する軸合
せ装置を提供するにある。
本発明の更に別の目的は、ずれ情報を得るのにどちらか
の軸を回転しなくてし、軸方向に連結される2つの軸の
心合わせができる軸合せ装置を提供するにある。
本発明の他の目的は、軸に容易に着脱しうる軸合せ方法
及び装置を提供するにある。
本発明の更に別の目的は、連結をはずさなくとも連結さ
れた2つの軸の軸合ゼを迅速にチェックする方法及び装
置を提供するにある。
本発明の他の目的は、連結された2つの軸の軸合せ状態
を常時モニタしうる軸合せ検知構成体を提供するにある
本発明の他の目的は従来技術で必要とされた試行錯誤を
減らし、軸上に取付けられた対面する検知構成体間の機
械的接続器を必要としない方法及び装置を提供するにあ
る。
以下図面を参照して説明するに、まず第1,2及び3図
に関連して、第1図では本発明装置は、9及び10に位
置する2つの検知構成体がらなり、8で概括的に表わさ
れている。軸合せ検知構成体9及び10はそれぞれ支持
体28及び26に取付けられる。本発明の軸合せ装置は
第1の取付手段30及び第2の取付手段32にそれぞれ
固定された検知構成体9及び10からなる。第1の取付
手段30及び第2の取付手段32(第3図に最も良く示
されている)は駆動ユニット4の第1の軸4a及び被動
ユニット・6の第2の軸6aのそれぞれに設置されてい
る。両取付手段はVブロックの形状としう・る。取付手
段32には、端部がっまみねじ44を有する螺刻枠42
になっている帯4゜がビン38により取付けられている
。取付手段32は、帯40を軸6aの下に通し螺刻枠4
2を溝46に挿込んで軸6aに固定される。っまみねじ
44は表面45にしっかりと係合するよう調節される。
取付手段30も同様な帯及び溝を有していて軸4aに固
定される。このようにして両取付手段は、それぞれの軸
に迅速に着脱することができる。
再び第1及び2図を参照するに検知構成体9は、第1の
信号出力線18及び第1の軸合せ放射源16を有する第
1の二輪放射検知手段11からなる。放射検知手段11
1支持体28に固定された取付具22に取(”J’ <
プられている。取付具22には水準器の如き第1の位相
方向付【プ手段34を取付けることもできる。位相方向
付は手段としては電子式水1%li器及び電子式垂直位
置検知器でもよい。
同様に、第3図に最も良く示づ如く、検知構成体10は
、第2の信号比)j線20及び第2の軸合せ放射源14
を有する第2の二軸放射検知検出器12からなる。第2
の放射検知検出器12は支持体26に固定された取付具
24に取付けられており、取付具には第2の位相方向付
は手段36を取イqけることもできる。
二軸放射検知検出器11及び12は、二軸電子オートコ
リメータの如き光電式光検知器のような二軸位置検知光
検出器であればよい。オートコリメータは例えば米国力
リホルニア州カルバーシティのユナイテッド ディテク
タ テクノロジーにより製造されたUDTモデル100
0エレクトロニック オー1〜]リメータである。この
電子式光オートコリメータは、その表面に受けた放射の
点の正確な位置を検出しうる二軸ラテラルエフェクトホ
トダイオードからなる。検知検出器11に対してはこれ
は軸合ぜ放射ビーム14aであり、検知検出器12に対
しては軸合U放射ビーム16aである。カメラレンズの
形についての周知の光学がオートコリメータの一部にも
使用されていて、放射ビームをホトダイオード上に東京
する。第5図で全体として120で示されている検知検
出器11のホトダイオードは検出器の端部で、第4図に
示した読出手段48へ導線18を介して共に第1の出力
電流信号を供給する4本の電極導線122゜123、.
124及び125を有する。電極導線122及び123
は、第3図の放射ビームに重ねられた直交座標に関する
X′軸位置信号である第1軸信号を供給する。x′軸信
号は、読出手段48内のブロック126で示された電子
増幅回路へ送られる。ホトダイオード用増幅回路は当業
者にとり周知であるから略述するにとどめる。電極導線
122及び123はそれぞれ増幅器128及び129に
接続され、増幅器128及び129はX′軸位置信号出
力電流をこれに比例した電圧に変換して導線130及び
132にそれぞれ出力する。導線130及び132はそ
れぞれ差動増幅器134及び加算増幅器136の両方に
接続される。
導線138の差信号出力は放射ビーム14aの点の強度
及び位置に比例し、導線140の和信号出力は放射ビー
ム14aの点の強度にのみ比例する。
当業者に周知のアナログ除算器142は、導線138に
おりる差信号と導線140にお(プる和信号の両方を受
取って差信号を和信号で割ってx′軸位置信号を導線1
44に出力して増幅器146に送る。増幅器146から
の出力線148はy′軸位置を表わす電圧を伝送するが
、これは電圧計50に検出され表示される(第4図で続
出手段に組込んで図示しである)。
詳細な説明は行なわないが、同様にして二軸位置検知ホ
トダイオード120の第2軸信号は導線124及び12
5においてy′軸位置を検知し、かかる信号は差動及び
加算増幅器に送られ、その出力信号は上述した如くアナ
ログ除算器で除算され、その各出力信号は増幅されて電
圧計54に表示するために検出される。
第3図に示した第1の軸合せ放射ビームには(説明上)
x’、y’ 基準直交座標軸を重ねである。第1の二軸
位置検知検出器11には軸合せ放射ビーム14aが当た
り、光検出器及び協働する増幅回路により放射ビーム1
4aの図示された基準(又は較正) x l 、 y 
l座標に対するy′軸位置及びy′軸位置が得られる。
同様な動作で第2の二軸位置検知検出器12には放射源
16からの第2の軸合せ放射ビーム16が当たり、第1
の二軸位置検知検出器11につき説明した如く、検出器
12は光検出器及び協働する増幅回路によって、続出手
段48の電圧計52及び56に検出表示されるX軸位置
信号及びy軸位置信号を提供する。
軸合せ放射ビーム16aにはx、y直交基準(又は較正
)座標軸が重ねられる。各放射ビームに重ねられたx、
■及びx’、y’座標軸は、各二軸位置検知検出器11
及び12の二軸光検出器において物理的に構成すること
ができる。この場合の基準(又は較正)座標軸は後述の
較正棒に関して決められる。
第1及び第2の二軸位置検知検出器11及び12につい
ては、例えばユナイテッド ディテクタ テクノロジー
製の如き二軸ホトダイオード及び協働する光学レン゛ズ
を述べた。しかし二軸検出器は、二軸光導電性検知器、
光起電性検知器9種々の区分、4分割、配列ホトダイオ
ード及び他の二軸位置信号を供給しつる放射ビーム検出
器の配置とすることもできる。第1及び第2の放射ビー
ムT 4 a及び16aを発生する第1及び第2の軸合
せ放射源14−及び16は例えば赤外線又は可視光を発
するダイオード、協aする光学的集束レンズを有する又
は右さない白熱光、オプチカルファイバ及びレーザどツ
ることができる。どの放射源を使用するかは選択された
放射検知検出器及びその特定の応答性2作動範囲及びス
ペク1ヘル範囲に依存する。
第4図に示した読出手段48は典型的には第5図に示し
た適当な電気回路と、当業者には周知の電圧削、電流計
又はゼロメータの如きメータ50゜52.54及び56
の形式の位置信号検゛出器及び表示器とからなる。検出
器11からのx l 、 V l出力信号は導線18に
より前述の回路を通じてメータ50及び54にそれぞれ
接続され、検出器12からのx、y出力位置信号は導線
20により同様な回路を通じてメータ52及び56のそ
れぞれへ接続する。メータ50.52.54及び56は
点58で示した較正軸合せく又はゼロ)状態、及び受取
った各X ’ + X + V′及びy信号に応じて軸
合せ状態58に関し十又は−に移動するメータの剣50
a 、52a 、54a及び56aをそれぞれ有する。
点58における基準又は較正軸合せ状態は相共にx l
 、 y J及びx、y軸の交差点を表現する。十又は
−状態ば軸合せ状態にづるには一方の軸牽他方の軸に対
してどの方向に動かせばよいのかを示す。メータ50,
52.54及び56は目盛が付けられていて各側の軸合
I状態58からの移動量が移動又は軸合せするために必
要な調整の大きさに関する情報を与える。各メータと協
働して、駆動ユニットに関し被動ユニットを如何に調整
するかを図形的に示すメータ54にお(プるが如き図形
の絹60を設【プてもよい。
続出手段48は、円形の精密に研磨されたまつり″ぐな
棒である較正棒(図示せず)上に、相対向する各二軸検
知構成体とともに両数句手段30及び32を固定づるこ
とで初めに較正する。各取付手段は垂直方向付(プが示
されている第1図にある如(較正棒上に同時に方向(=
Iけらる。それぞれは同時に方向付t]られるべきであ
って、そうでない場合は角度がずれるとその結果の軸合
せにより軸は平行方向には合うが実際には軸がずれる。
これは望ましいこともあるであろうが、軸合せの大部分
は2つの軸が軸方向又は直線的アライメントをなすこと
を要する。平行方向の軸合せ及びその結果の軸方向のず
れが望ましいものでない場合、それを最小にづるため各
取付手段は2つの水準器3/I及び36を使用して正確
に方向付けられる(これを位相方向付けという)。軸合
せ装置の垂直方向付けが図示されているが、軸合せ装置
は垂直方向付りに限られているものではない。例えば、
両数付手段30及び32を垂直方向から同一方向に90
”回転し各水準器を支持体28及び26に水平に取付け
ても、取付手段の正確な位相方向付は及び各検知構成の
直線的軸合せが可能である。
従って軸4a及び6aの軸合ぜは、2つの取付手段の垂
直方向付は又は水平方向付げによりあるいは実際には較
正位置で使用される位相方向付けが再現される限り軸の
回りの任意の角度でも可能である。
取(=1手段30及び32を較正棒上で位相方向付けし
た後、例えば当業者に周知の内部ゼロ化回路は゛第5図
に図示した各増幅回路ど協働して側50a等の各メータ
の剣が各メータの軸合せ状態点58に零点調整される。
軸合せ装置の較正は軸合せ作業の前に行なわれねばなら
ないというものではないが、機械的な使用量及び装置の
誤用に応じて定期的に、また周囲温度に相当の変化があ
った場合チェックしなければならない。
第1,3及び4図を参照して以下軸4a及び6aの軸合
せを行なう方法を説明する。取付手段30及び32及び
その各二軸位置検知構成体は上述の如く各軸にそれぞれ
固定される。次に取付手段は較正方向へ同様にして位相
方向付けされる。
導線18及び20は読出手段48に接続されてX。
x’、、y及びy′位置信号を伝送し、それらは前述の
電気回路により処理されてメータ50,52゜54及び
56に表示される。各メータの針は受けた信号に応じて
動き、ずれ状態の大きさ及び方向についての軸合せ情報
を実時間で表示する。情報の典型的な表示法を第4図に
示す。簡単のため、一方の軸を基準軸として選び他方の
軸をこれに軸合せする。基準軸の選択はしなくてもよい
が、選択°づると一方の軸のみをシム又は水平方向調整
を行なえばよいので作業が非常に簡単になる。基準ユニ
ットとして選択されなかったユニットは、表示されたず
れ情報に応じ4つのメータに較正軸合せ状態58が表示
されるまでシム及び水平方向調整される。これが行なわ
れると、2つの軸の中心軸は較正枠の基準軸を再現層る
ように直線的に位置する。
x、y及びx L 、 ’ y J位置信号は組合わさ
って各放射ビームが対面の検知構成に如何なる角度で当
っているかを決定することにも使用しうる。これは、2
つの軸を結合するのに業者が指定した一定の角度の許容
誤差内で2つの軸の軸合せを行なう必要がある場合に有
用である。
第6,6a及び7図は軸合せ検知構成体の第1変形例を
示す。検知構成体71及び73はそれぞれ支持体68及
び70からなっており、各支持体にはそれぞれ第1の一
軸放射検出器78と第2の一軸放射検出器82(V:l
座標位置検出用)と、それぞれ第3の一軸放射検出器7
6と第4の一軸放射検出器76 <x、χ′座標位置検
出用)とからなる二軸放射検知手段が取付けられている
また支持体68及び70にはそれぞれ前述の型の放射源
72及び74が取付けら゛れている。各支持体には、や
はり前述した水準器の型の位相方向付は手段84及び8
6が取付られる。各検知構成体の1つの二軸放射検知手
段の代わりに2つの一軸放射検出器を使用する場合、各
−軸放射検出器に当てるために1つずつ、各検知構成体
には2つの放射ビームが必要である。放射源72及び7
4がそれぞれ2つb9. QJビーム72a’、72b
及び74a。
74bを発づる単一の放射源と、して図示されたより簡
単な方法を第6,6a 、及び7図に示しである。これ
は、tiLi射源74からのビーム75を2つの軸合せ
放射ビームに分割する放射ビームインタセプト用散開ビ
ーム分割手段によって行なわれる。
分割手段はキューブスプリッタと反射鏡からなる。
一部分を透過し一部分を反射するキューブスプリッタ9
2は垂直軸合せ放射ビーム74a、水平軸合せ放射ど一
ム74. bを生成する。2つの放射ビーム74a及び
741)は対面の検知構成体71に属する第3の一軸放
射検出器76及び第1の一軸放射検出器78にそれぞれ
当るJ:う方向付けられる。ビーム74a及び74. 
bはそれぞれプリズム94.96及び98上の反射鏡に
よって方向付けられる。支持体70に適宜に鏡を取付け
て分割ビームを受けることも可能である。同様にして、
同様な放射ビーム分割手段を用いて検知構成体71は垂
直軸合せ放射ビーム72a及び水平軸合1!敢躬ビーム
72bを方向付りて対面の検知構成体73を構成する第
4の一軸放射検出器80及び第2の一軸放射検出器82
に当たるようにする。
検知構成体71及び73は、第3図で前述の取付手段と
構成動作が同様の軸取付手段64及び66にそれぞれ取
付けられる。この変形例においては、軸合せ放射ビーム
72a 、721)、711a及び74bはレーザビー
ムとしうる。−軸放射検出器76.78.80及び82
は、ホトダイオード、光電導性検知器、光起電性検知器
及び他の放射ビーム検出器構成等の一軸位置検知光検知
器であればよい。
例えば第7a図は、放射検知領域81を有する一軸放射
検出器80上に当った軸合せ放射ビーム’72aを示す
。軸合せ放射ビーム72aは領域81上に黒い点で示さ
れ、検出器80はこの領域のビーム72aの位置を表示
する出力信号を出ず。
伯の検出器も同様に動作する。図示の単一の狭いレーザ
ビームを使用する限定は、心合わせする2つの軸が相当
なずれを起した場合、投射された軸合眩放射は検知構成
体に72a′で当たり、検出器80には検知されない。
2つの軸の最初の状態は使用される特定の検知の範囲よ
り大なるずれを通常起こしていると考えられるから、第
8図に示す如き分割手段の第2変形例が使用される。
第8図は、レーザビームを拡げてレーザ光の帯7つにす
る円柱形レンズ77を出力に設けたレーザ放射源74の
使用を示づ。レーザの帯79はキューブスプリット92
でインタセプトされ垂直軸合せ放射ビーム79b及び水
平軸合せ放射ビーム79aが作られる。垂直ビーム79
bは鏡98aにより位置検出器78に当たるよう方向付
けられ、水平ビーム79aは鏡94a及び9’6aによ
り位置検出器76に当たるよう方向付けられる。検出器
は両方とも検知構成体71上にある。同様にレーザ放射
源72を備えた検知構成体71は位置光検出器82に当
たる垂直軸合世帯状ビーム及び位置検知光検出器80に
当たる水平軸合せ放射帯状ビーム73aを作る同様な円
柱状レンズ及び分割手段を有する。検出器は両方とも検
知構成体73上にある。狭いビーム72aが検出器80
に投射した放射点と異なり、第8a図に示した帯状レー
ザビーム73aは中心位置から相当に離れて位置73a
′及び738″に至っても検出器80に当って位置信号
を発生せしめる。このため検出範囲が拡大し、2つの軸
の最初のずれがより大なる場合を許容する。
第8図で説明した放射帯によった一軸位置検出器を使用
する変形例は第7b図に示しである。支持体70は部分
断面図として示してあり、上述の如く検出器82が取付
(プられている。検出器82と協働して第2の一軸位置
検出器82aがスペーサ85によって検出器82aが検
出器82より先に放射ビーム72 bを受けるように取
付1)られている。2つの検出器をこのように離したた
め、検出器82は後方検出器として働き検出器82aは
前方検出器として働くので、2つの検出器位置間で定義
され検知構成体71の検知構成体73に対する角度位置
を表わす角度Aを検出できる。2つの検出器は共に、X
座標等のある座標軸における位置検出を行なうはか、放
射ビームの特定の座標に対する角度位置を表わす組合わ
せ出力信号を出す。この角度位置は第7b図の位置Cの
如き較正角度位置に電子的に比較され、角度にJ:る軸
ずれ情報を与える。同様に、位置検出器76.78及び
80の各々は前方に取付けられた第2の検出器と協働し
て各座標に対する放射ビーム74a。
74b及び72aの角をそれぞれ同様に検出する。
第9図は一軸位置光検出器76,78.80及び82の
任意の1つからの信号を処理し読出手段48のメータに
表示覆るための電気回路の一例を示す。光検出器は例え
ばユナイテッド ディテクタ テクノロジー製のシリー
ズLS’C型の位置検知ホ1−ダイオードである。第9
図に位置検知ホトダイオードとして示した光検出器80
は導線101゜106.110のそれぞれを接続された
3つのビン83a 、83b及び830を有する。導線
101は、他端が導線103に接続された負荷抵抗R1
に接続されている。導線106は電源V+の負の側に接
続されて逆電圧バイアスを与え、vlの正の側は導線1
04により、他端が導線103に接続された負荷抵抗R
2に接続されている。導線110は、他端が導線108
により抵抗R3に接続されたトリミング又はナリング抵
抗[で4に接続されている。。抵抗R3の他端は導線1
03に接続されている。検出器80の作動面81に当る
放射ビームの位置の読みはメータ56等の電圧旧の導線
で取出される。導線105及び107は導線101及び
110それぞれに接続される。本質的には、光検出器8
0は、放射ビームが検出器の作動領域の中心に当たった
場合電気信号が発生しないという原理によって動作する
(ゼロ又は軸合せ状態)。
しかし放射ビームが中心から変位すると、放射ビームの
中心からの正確な距離に正比例して連続的電気信号を発
生する。操作において前述の如き較正手続中は4つの軸
合せ放射ビームはその対面の光検出器に向けられる。読
出手段48で検知されたこれらの検出器からの信号は、
各光検出器回路の調整抵抗R4によって各メータの各側
が軸合せ状態58に位置するJ:うゼロ化される。心合
わせされる2つの軸のそれぞれの上の検知構成体の位置
決めは軸合わせ放射ビームがその各検出器方向へ向けら
れ、敢躬ビームが各検出器の中心又はゼロ位置からずれ
るとそれに比例して大きざ及び方向が表示される。それ
らの読みは、較正棒の中心軸と比較した2つの軸の中心
軸のずれの犬ぎさ及び方向を表わづ。
第1図乃至第8図及び検知構成体及び軸取(=j手段の
説明に関して、第1の軸には第1の二軸放射検知手段及
び第1の放射ビームを出(第1の放射源が取(=Jt:
lられ、第2め軸には第2の二軸放射検知手段及び第2
の放射ビームを出す第2の放射源が取付りられ読出手段
は所定の軸合せ状態を有づる、第1の軸と第2の軸とを
軸合せさける方法は、第1の放射ビームを第2の二軸放
射手段に方向付(プ′(第1のビームの方向を表わづ第
2の信号を発生させる段階と、第2のM射ビームを第1
の二軸放射検知手段に方向イ」けて第2の放射ビームの
方向を表わす第1の信号を発生させる段階と、読出手段
で第1及び第2の信号を検知し第1及び第2の放射ビー
ムの方向を視覚的に表示する段階と第1の信号及び第2
の信号が読取手段で所定の軸合せ状態を表示するまで第
1の軸を第2の軸に関して調整する段階とからなる。第
1の二軸放射検知手段が第1の一軸位置検知光検出器と
第3の一軸位置検知光検出器とからなり、第2の二軸放
射検知手段が第2の一軸位置検知光検出器と第4の一軸
位置光検出器とからなる場合は、静的軸合せ方法は、第
1の放射ビームを受ける第1の放射ビーム分割手段を設
置又は位置決めし、第2の一軸位置検知光検出器に当た
るような向きの第1の垂直軸合せ放射ビームと第4の一
軸検知光検出器に当たるような向きの水平軸合せ放射ビ
ームとを発生する段階と、第2の放射ビームを受ける第
2の放射ビーム分割手段を設置し、第1の一軸位置検知
光検出器に当たるような向きの垂直軸合せ放射ビームと
第3の一軸位置検知光検出器に当たるような向きの第2
の水平軸合せ放射ビームとを発生する段階とを更に有す
る。
本発明の軸合せ検知構成体の他の目的は、その操作中に
2つの結合された軸の軸合せの変化を監視することにあ
る。第10図にそのような構成を示している。被動’1
116 aを有する被動ユニット6に軸継手7により結
合される駆動軸4aを有する駆動ユニット4の軸合ぜの
監視装置は、駆動ユニ・ット4に取付けられ第1の二輪
放射検知構成体9を設けである第1の支持体28と、駆
動ユニット6に取付けられ第2の二輪放射検知構成体1
0を設(ブである支持体26とからなる。検知溝成体9
及び10は第1.2及び3図で説明した如きものか、第
6,6a及び8図で説明したその変形例の如きものであ
る。これらの図面と共に説明したように、第1の支持体
には第2の信号を導線20に出力する第2の二輪放射検
出器に当たる向きの第1の軸合U放射ビームを出ず放射
源の形式の第1の手段を設置プてあり、第2の支持体に
は第1の信号を導線18に出力する第1の二軸放射検出
器に当たる向きの第2の軸合せ放射ビームを出す放射源
の形式の第2の手段を設りてあり、第1及び第2の信号
は続出手段 48に接続されている。第1の支持体は駆
動ユニット上の第1の支持体の位相方向付けを行なう第
1の手段を有し、第2の支持体は被動ユニット上の第2
の支持体の位相方向(=Iけを行なう第2の手段を有し
うる。被動ユニットの軸に関する駆動ユニットの軸の軸
合せの変化の監視方法は、第2の二軸放射検知手段上の
第1の軸合せ放射ビーム位置を検知して第1のビーム位
置を表わす第2の信号を発生ツる段階と、第1の二軸放
射検知手段上の第2の軸合吐放射ビーム位置を検知して
第2のビーム位置を表わす第1の信号を発生づる段階と
、第1及び第2の信号を視覚表示のため読出手段に送る
段階と、第1及び第2の信号を読出手段の所定の軸合せ
状態に一致するよう較正する段階とからなる。本質的に
は、検知構成体がモニタされるユニットに取付けられる
と、その基準信号は基準軸合せ状態を得るよう読出手段
48のメータで軸合せ状態58に零点調整される。2つ
のユニットを通常の動作状態で操作すると、2つの軸の
間の軸合せにお(プるどのような変化も検知構成体によ
り検出され、基準軸台U状態からのこのずれの大きさ及
び方向は続出手段に連続的に表示される。
【図面の簡単な説明】
第1図は2つの軸に取付けられた軸合ぼ装置を示1側面
図、第2図は2つの軸に取イ」りられた軸合ゼ装置を示
1平面図、第3図は軸合せ二軸検知構成体を取イ」(プ
た軸取イ」手段の1つを示す斜視図、第4図はずれ情報
を表示り″る読出手段の一例を示゛丈斜視図、第5図は
放射検出器の1つと協働する電気回路の一実施例を示づ
ブロック図、第6図は一軸位「イ倹知検出器を使用した
軸合せ装置の第1変形例を示す図、第6a図は第6図に
示した軸合1!装置の第1変形例の平面図、第7図は第
6図に示した軸合せ装置の第1変形例の斜視図、第7a
図は位置放射検出器の1つの正面図、第7b図は角度位
置を検出するため対で使用することを示した一軸位置検
知検出器の第1変形例を示す図、第8図は軸合せ放射ビ
ームの投射を制御するビーム分割手段の第1変形例の斜
視図、第8a図は第8図の軸合せ放射ビームの1つが投
射された位置放射検出器の1つの正面図、第9図は第7
a、7b又は88図の放射検出器の1つと協働する電気
回路の一例を示す図、第10図は動作中の設備の軸合し
変化を監視するため取付けられた軸合せ検知構成体を示
す側面図である。 4・・・駆動ユニット、4a 、6a・・・軸、6・・
・被動」ニット、7・・・軸継手、8・・・軸合せ装置
、9゜10・・・軸合せ検゛知構成体、11.12・・
・二軸放射検知手段、14.16・・・軸合せ放射源、
14a。 16a・・・軸合せ放射ビーム、18.20・・・信号
出力線、22.24・・・取付具、26.28・・・支
持体、30.32・・・取付手段、34.36・・・位
相方向付t)手段、38・・・ビン、40・・・帯、4
2・・・螺刻棒、44・・・つまみねじ、45・・・表
面、46・・・溝、48・・・読出手段、50.52.
54.56・・・電圧耐、50a・・・針、58・・・
軸合せ状態、60・・・図形、64、’66・・・軸取
付手段、68.70・・・支持体、71.73・・・検
知構成体、72.74・・・放射源、72a、74a・
・・垂直軸合せ放射ビーム、72b。 74b・・・水平軸合ぜti9.射ビーム、73a・・
・帯状レーリ“ビーム、75・・・ビーム、76.78
・・・−軸放射検出器、77・・・円柱形レンズ、79
・・・レーデ光の帯、79a・・・水平611合せ放射
ビーム、791)・・・垂直軸合U放射ビーム、80.
82・・・−軸放射検出器、81・・・領域、83’a
 、83b 、83c −・・ビン、84.86・・・
位相方向付【ノ手段、85・・・スペーイプ、92・・
・キコーブスプリツタ、94.96゜98・・・プリズ
ム、94a 、96a 、98a・・・鏡、101.1
03,104..105,106. 107゜108.
110・・・導線、120・・・ホ1−ダイオード、1
22.123,124,125・・・電極導線、126
・・・電子増幅回路、128,129・・・増幅器、1
30.132・・・導線、134・・・差動増幅器、1
36・・・加算増幅器、138.140・・・導線、1
/12・・・アナログ除算器、144・・・導線、14
G・・・増幅器、1/I8・・・出力線。 図面の浄書(内容に変更なし) F/(y 2 FIG、 4 FIG、 5 手続ネfll正書 特許庁長官 若 杉 和 夫  殿 1、事件の表示 昭和58外特箔願第181752号 2、発明の名称 静的軸合゛上方法及び装置及び軸合1!監視方法及び装
置3、補正をづ−る者 事件との関係   特許出願人 住 所 アメリカ合衆国 ライスコンスイン 5320
2ミルウA−キー ノース プロスペクト アベニュー
 1720番地 氏 名 ステフン ビー マラク (国籍 アメリカ合衆国) 4、代理人 住 所 〒102  東京都千代口]区麹町5丁目7番
地図面。 7、補正の内容 図面を添付図面のとおり補充する。 −69=

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 (1)支持体と、支持体に取付けられた二軸放射検知手
    段と、支持体に取付けられた放射ビームを出す放射源と
    からなる軸合せ検知装置。 (2支持体に取イ」(プられた位相方向付【〕手段を更
    に有づ−ることを特徴とする特許請求の範囲第1項記載
    の軸台せ検知装置。 (3)位相方向付は手段は、水準器であることを特徴と
    する特許請求の範囲第2項記載の軸合せ検知装置。 (4)  二軸放射検知手段は二軸位置検知光検出器で
    あることを特徴とする特許請求の範囲第2項記載の軸合
    せ検知装置。 6) 二軸位置検知光検出器は二軸電子式光学オートコ
    リメータであることを特徴とする特許請求の範囲第4項
    記載の軸合せ粉知装置。 (6)二軸位置検知光検出器は第1の一軸位置光検出器
    と第2の一軸位置光検出器とからなることを特徴とする
    特許請求の範囲第4項記載の軸合せ検知装置。 (7)  Illll射光光ダイオードであることを特
    徴とする特許請求の範囲第2項記載の軸合せ検知装置。 ■ 放射源はレーザであることを特徴とする特許請求の
    範囲第2項記載の軸合せ検知装置。 (9)支持体に取付けられており放射ビームを受けて第
    1の垂直軸合せ放射ビーム及び第1の水平軸合せ放射ビ
    ームを発生する放射ビーム分割手段を更に有することを
    特徴とする特許請求の範囲第8項記載の軸合せ検知装置
    。 (10)  第1の信号を出す第1の二軸位置検知検出
    器と、第2の信号を出す第2の二輪位置検知検出器と、
    第1の二軸位置検知検出器を第1の軸へ取付ける第1の
    取付手段と、第2の二軸位置検知検出器を第2の軸へ取
    付ける第2の取付手段と、第1の取付手段に取付けられ
    第2の信号を発生ずるように第2の二軸位置検知検出器
    へ第1の軸合は放射ビー11を出りJ:うに方向付けら
    れている第1の軸合せ放射源と、第2の取イ]手段に取
    付られ第1の信号を発生するよう第1の二軸位置検知検
    出器へ第2の輔合せビームを出すように方向付りられて
    いる第2の軸合せ放射源と、所定の軸合せ状態を有し第
    1及び第2の信号に応答して軸合せを視覚的に表示する
    ことにより第1の軸の第2の軸に関りる調整を行って所
    定の軸合せ状態により第1の軸と第2の軸の軸合せが表
    示される読出手段とからなる第1の軸と第2の軸の軸合
    ぜを静的に行なう軸合ぜ装置。 (11)  第1の二軸位置検知検出器は第1の二軸位
    置光検出器であり第2の二軸位置検知検出器は第2の二
    軸位置光検出器であることを特徴とする特許請求の範囲
    第10項記載の軸合は装置。 (12)  第1の二軸位置光検出器は第1の電子式光
    学A−トコリメータであり、第2の二軸位置光検出器は
    第2の二軸電子式光学オートコリメータであることを特
    徴とする特許請求の範囲第11項記載の軸合せ装置。 (13)  第1の取イ」手段に取付りられた第1の位
    相方向付は手段と第2の取付手段に取付けられた第2の
    位相方向付は手段とを更に右することを特徴とする特許
    請求の範囲第11項記載の軸合せ装置。 (14)  第1の位相方向イ」け手段は第1の水準器
    であり第2の位相方向付は手段は第2の水準器Cあるこ
    とを特徴とする特許請求の範囲第13項記載の軸合せ装
    置。 (1!i)  第1の軸合せ放射源は第1のレーザであ
    り第2の軸合せ放射源は第2のレーザ゛であることを特
    徴とする特許請求の範囲第11項記載の軸合せ装置。 (16)  第1の二軸位置光検出器は第1の一軸位置
    検知光検出器と第3の一軸位置検知光検出器とからなり
    、第2の二軸位置光検出器は第2の一軸位置検知光検出
    器と第4の一軸位置光検出器とからなることを特徴とす
    る特許請求の範囲第11項記載の軸合ぜ装置。 (17)  読出手段は第1の一軸位置検知光検出器、
    第2の一軸位置検知光検出器、第3の一軸位置検知光検
    出器及び第4の一軸位置検知光検出器に選択的に応答す
    ることを特徴とする特許請求の範囲第16項記載の軸合
    せ装置。 (18)  第1の軸合せ放射源は第1の軸合せ放射ビ
    ームを出1第1のレーザと、第1の軸合せ放射ビームを
    受【ノて第2の一軸位置検知光検出器に当たる向きの第
    1の垂直軸合せ放射ビーム及び第4の一軸位置検知光検
    出器に当たる向ぎの第1の水平軸合せ放射ビームを発生
    ずる第1の放射ビーム分割手段とからなり、第2の軸合
    せ放射源は第2の軸合せ放射ビームを出す第2のレーザ
    と、第2の軸合拷放射ビームを受けて第1の一軸位置検
    知光検出器に当たる向きの第2の垂直方向軸合せ放射ビ
    ーム及び第3の一軸位置検知光検出器に当たる向きの第
    2の水平軸合せ放射ビームを発生する第2の放射ビーム
    分割手段とからなることを特徴とする特許請求の範囲第
    17項記載の軸合せ装置。 (19)  第1の二軸位置光検出器は第1の前方−軸
    位置検知光検出器と第1の後方−軸位置検知光検出器と
    第3の前方−軸位置検知光検出器と第4の後方−軸位置
    検知光検出器とからなり、第2の二軸位置光検出器は第
    2の前方−軸位置検知光検出器と第2の後方−軸位置検
    知光検出器と第4の前方−軸位置検知光検出器と第4の
    後方−軸位置検知光検出器とからなることを特徴とする
    特許請求の範囲第11項記載の軸合せ装置。 (20)  第1の軸に取付けられ第1の二軸放射検知
    手段を設けである第1の取付手段と、第2の軸に取付け
    られ第2の二軸IIi躬検知手段を設けである第2の取
    付手段と、第1の取付手段に設りられており第1の放射
    ビームを出し第1の散開ビームを第2の二輪放射検知手
    段に投射して第2の信号を発生するように方向付けられ
    ている第1の放射手段と、第2の取付手段に設(プられ
    ており第2の放射ビームを出し第2の放射ビームを第1
    の二軸放射検知手段に投射して第1の信号を発生するよ
    うに方向付けられている第2の放射手段と、所定の軸合
    せ状態を右し第1及び第2の信号に応答して軸合ぜを視
    覚的に表示することにより第1の軸を第2の軸に関し調
    整して第1の信号及び第2の信号が所定の軸合せ状態に
    一致したとき第1の軸と第2の軸との軸合せが表示され
    る続出手段とからなることを特徴とする第1の軸と第2
    の軸の心合わμを行なうための軸合せ装置。 (21)  第1の二軸放射検知手段は第1の二輪光検
    出器であり第2の二軸放射検知手段は第2の二軸光検出
    器であることを特徴とする特許請求の範囲第202項記
    載の軸合せ装置。 (22)  第1の二軸光検出器は第1の一軸位置光検
    出器と第3の一軸位置光検出器とがらなり、第2の二軸
    光検出器は第2の一軸位置光検出器と第4の一軸位置光
    検出器とからなることを特徴とする特許請求の範囲第2
    1項記載の軸合せ装置。 (23)  、第1の放射手段は第1のレーザであり第
    2の放射手段は第2のレーザであることを特徴とする特
    許請求の範囲第22項記載の軸合せ装置。 (24)  第1の放射ビームを受け、第2の一軸位置
    光検出器に当たる向きの第1の垂直軸合せ放射ビーム及
    び第4の一軸位置光検出器に当たる向きの第1の水平軸
    合せ放射ビームを発生する第1の手段と、第2の放射ビ
    ームを受tノ、第1の一軸位置光検出器に当たる向きの
    第2の垂直軸合せ放射ビーム及び第3の一軸位置光検出
    器に当たる向きの第2の水平軸合せ放射ビームを発生す
    る第2の手段とを更に有することを特徴とする特許請求
    の範囲第23項記載の軸合せ装置。 (25)  第1の二軸光検出器は第1の前方−軸位置
    検知光検出器と第1の後方−軸位置検知光検出器と第3
    の前方−軸位置検知光検出器と第3の後方−軸位置検知
    光検出器とからなり、第2の二軸光検出器は第2の前方
    −軸位置検知光検出器と第2の後方−軸位置検知光検出
    器と第4の前方−軸位置検知光検出器と第4の後方−軸
    位置検知光検出器とからなることを特徴とする特許請求
    の範囲第21項記載の軸合せ装置。 (26)  第1の取付手段に取付けられた第1の位相
    方向付は手段と、第2の取付手段に取付けられた第2の
    位相方向付tノ手段とを更に有することを特徴とする特
    許請求の範囲第21項記載の軸合せ装置。 (27)  第1の取付手段に取付りられた第1の二軸
    放射検知手段と、第2の取付手段に数句けられた第2の
    二軸放射検知手段と、第1の取付手段に設けられ第2の
    二輪放射検知手段が第2の信号を発生覆るように第1の
    放射ビームを出すよう方向付けられた第1の放射源と、
    第2の取付手段に設番プられ第1の二軸放射検知手段が
    第1の信号を発生するように第2の放射ビームを出すよ
    う方向付けられた第2の放射源と、所定の軸合せ状態を
    有し軸合l゛を視覚的に表示するため第1の信号及び第
    2の信号に応答づ゛る読出手段とからなる静的軸合せ装
    置。 (28)  第1の二軸放射検知手段は第1の二輪位置
    光検出器であり、第2の二軸放射検知手段は第2の二軸
    位置光検出器であることを特徴とする特許請求の範囲第
    27項に記載の静的軸合せ装置。 り29)  第1の二軸位置光検出器は第1の二軸電子
    式光学オートコリメータであり、第2の二軸位置光検出
    器は第2の二軸電子式光学オー1−コリメータであるこ
    とを特徴とする特許請求の範囲第28項記載の静的軸合
    せ装置。 (30)  第1の取付手段に取付(プられた第1の位
    相方向付は手段と、第2の取付手段に取付けられた第2
    の位相方向付は手段とを更に有することを特徴とする特
    許請求の範囲第28項記載の静的軸合せ装置。 (31)  第1の二軸位置光検出器は第1の一軸位置
    光検出器と第3の一軸位置光検出器とからなり、第2の
    二輪位置光検出器は第2の一軸位置光検出器と第4の一
    軸位置光検出器とからなることを特徴とする特許請求の
    範囲第28項記載の静的軸合せ装置。 (32)  第1の放射源は第1のレーザであり第2の
    放射源は第2のレーザであることを特徴とする特許請求
    の範囲第31項記載の静的軸合せ装置。 (33)  第1の放射ビームを受け、第2の一軸位置
    光検出器に当たる向きの第1の垂直軸合せ放射ビーム及
    び第4の一軸位置光検出器に当たる向きの第1の水平軸
    合せ放射ビームを発生する第1の放射ビー11分割手段
    と、第2の放射ビームを受け、第1の一軸位置検出器に
    当たる向きの第2の垂直軸合V放射ビーム及び第3の一
    軸位置検出器に当たる向ぎの第2の水平軸合せ放射ビー
    ムを発生ずる第2の放射ビーム分割手段とを更に有する
    ことを特徴とする特許請求の範囲第32項記載の軸合せ
    装置。 (34)  第1の二軸位置光検出器は第1の前方−軸
    位置検知光検出器と第1の後方−軸位置検知光検出器と
    第3の前方−軸位置検知光検出器と第4の後方−軸位置
    検知光検出器とからなり、第2の二軸位置光検出器は第
    2の前方−軸位置検知光検出器と第2の後方−軸位置検
    知光検出器と第4の前方−軸位置検知光検出器と第4の
    後方−軸位置検知光検出器とからなることを特徴とする
    特許請求の範囲第28項記載の静的軸合せ装置。 (35)  第1の軸には第1の二軸放射検知手段及び
    第1の放射ビームを出す第1の放射源が取付けられ、第
    2の軸には第2の二軸放射検知手段及び第2の放射ビー
    ムを出す第2の放射源が取付けられ、読出手段は所定の
    軸合せ状態を有し、第1の放射ビームを第2の二軸放射
    検知手段へ方向付は第1の放射ビームの方向を表わ1第
    2の信号を発生させる段階と、第2の放射ビームを第1
    の二軸放射検知手段へ方向付は第2の放射ビームの方向
    を表わす第1の信号を発生させる段階と、第1及び第2
    の信号を読出手段で検知し第1の放射ビーム及び第2の
    放射ビームの方向を視覚的に表示する段階と、第1の′
    信号及び第2の信号が読出手段に所定の軸合せ状態を表
    示するまで第1の軸を第2の軸に対して調整する段階と
    からなる第1の軸と第2の軸との静的軸合せ方法。 (36)  第1の放射検知手段は第1の二軸位置検知
    光検出器であり第2の放射検知手段は第2の二軸位置検
    知光検出器であることを特徴とする特許請求の範囲第3
    5項記載の静的軸合せ方法。 (37)  第1の二軸位置検知光検出器は第1の二軸
    電子式光学オートコリメータであり、第2の二軸位置検
    知光検出器は第2の二軸電子式光学オートコリメータで
    あることを特徴とする特許請求の範囲第36項記載の静
    的軸合せ方法。 り38)  第1の二軸位置検知光検出器は第1の一軸
    位置光検出器と第3の一軸位置光検出器とからなり、第
    2の二軸位置検知光検出器は第2の一軸位置光検出器と
    第4の一軸位置光検出器とからなることを特徴とする特
    許請求の範囲第36項記載の静的軸合せ方法。 (39)  第1の放9A源は第1のレーザであり第2
    の放射源は第2のレーザであって、第1の放射ビームを
    受(プ、第2の一軸位置光検出器に当たる向きの第1の
    垂直軸合せ放射ビーム及び第4の一軸位置光検出器に当
    たる向きの第1の水平軸合せ放射ビームを発生する1I
    141の放射ビーム分割手段を設ける段階と、第2の放
    射ビームを受け、第1の一軸位置光検出器に当たる向き
    の第2の垂直軸合せ放射ビーム及び第3の一軸位置光検
    出器に当たる向きの第2の水平軸合せ放射ビームを発生
    する第2の放射ビーム分割手段を設ける段階とを含むご
    とを特徴とする特許請求の範囲第38項記載の静的軸合
    せ方法。 (40)  第1の軸上の第1の二軸放射検知手段及び
    第1の放射源を方向付ける第1の位相方向付は手段を設
    ける段階と、第2の軸上の第2の二軸放射検知手段及び
    第2の放射源を方向付ける第2の位相方向付は手段を設
    ける段階とを更に有することを特徴とする特許請求の範
    囲第36項記載の静的軸合せ方法。 (41)  第1の軸には第1の二軸放射検知手段及び
    第1の放射ビームを出す第1の放射源を取付け、第2の
    軸には第2の二軸放射検知手段及び第2の放射ビームを
    出す第2の放射源を取付け、読出手段は所定の軸合せ状
    態を有し、第2の二軸放射検知手段上の第1の放射ビー
    ムの位置を検知し第1の放射ビームの位置を表わす第2
    の信号を発生すむ段階と、第1の二軸放射検知手段上の
    第2の放射ビームの位置を検知し第2の放射ビームの位
    置を表わす第1の信号を発生づる段階と、第1の信号及
    び第2の信号が所定の軸合せ状態に一致するまで第1の
    軸を第2の軸に対し調整して読出手段に所定の軸合せ状
    態を表示する段階とからなる第1の軸と第2の軸との静
    的軸合せ方法。 (42)  第1の放射検知手段は第1の二軸位置検知
    光検出器Cあり第2゛のlli剣検知手段は第2の二軸
    位置検知光検出器であることを特徴とする特許請求の範
    囲第41項記載の静的軸合せ方法。 (43)  第1の軸上の第1の二軸位置検知光検出器
    及び第1の放射源を方向付ける第1の位相方向付は手段
    を設りる段階と、第2の軸上の第2の二軸位置検知光検
    出器及び第2の放射源を方向付ける第2の位相方向付り
    手段を設ける段階とを更に有することを特徴とする特許
    請求の範囲第41項記載の静的軸合せ方法。 (44)  第1の二軸位置検知光検出器は第1の一軸
    位置光検出器と第3の−゛軸位置光検出器とからなり、
    第2の二軸位置検知光検出器は第2の一軸位置光検出器
    と第4の一軸位置光検出器とからなることを特徴とする
    特許請求の範囲第43項記載の静的軸合せ方法。 (45)  第1の放射源は第1のレーザであり第2の
    放射源は第2のレーザであって、第1の放射ビームを受
    け、第2の一軸位置光検出器に当たるように第1の垂直
    軸合せ放射ビームを向は第4の一軸位置光検出器に当た
    るように第1の水平軸合lq−#射ビームを向(プる第
    1の放射ビーム分割手段の位置決めをする段階と、第2
    の放射ビームを受【ブ、第1の一軸位置光検出器に当た
    るように第2の垂直軸合せ放射ビー′ムを向は第3の一
    軸位置光検出器に当たるように第2の水平軸合せ放射ビ
    ームを向ける第2の放射ビーム分割手段の位置決めをす
    る段階とを含むことを特徴とする特許請求の範囲第44
    項記載の静的軸合せ方法。 (46)  駆動ユニットに取付けられ第一の二軸放射
    検知手段を設(プである第1の支持体と、被動ユニット
    に取付けられ第2の二軸放射検知手段を設けである第2
    の支持体と、第2の二軸放射検知手段に当たる向きの第
    1の軸合せ放射ビームを出して第2の信号を発生させる
    第1の支持体に設りられた第1の手段と、第1の二輪放
    射検知手段に当たる向きの第2の軸合せ放射ビームを出
    して第1の信号を発生させる第2の支持体に設けられた
    第2の手段と、所定の軸合せ状態を有し駆動軸の被動軸
    に対づる軸合せを視覚的に表示するため第1の信号及び
    第2の信号に応答する読出手段とからなる、駆動軸と被
    動軸が軸継手で連結された駆動軸を有する駆動ユニット
    と被動軸を有する被動ユニットの軸合せを監視する装置
    。 (47>  第1の二軸放射検知手段は第1の二軸位置
    検知光検出器であり、第2の二軸放射検知手段は第2の
    二軸位置検知光検出器であることを特徴とする特許請求
    の範囲第46項記載の軸合せ監視装置。 (48)  第1の二軸位置検知光検出器は第1の二軸
    電子式光学オートコリメータであり、第2の二軸位置検
    知光検出器は第2の二輪電子式光学オートコリメータで
    あることを特徴とする特許請求の範囲第47項記載の軸
    合せ監視装置。 (49)  第1の二軸位置検知光検出器は第1の一軸
    位置光検出器と第3の一軸位置光検出器とからなり、第
    2の二軸位置検知光検出器は第2の一軸位置光検出器と
    第4の一軸位置光検出器とhxらなることを特徴とする
    特許請求の範囲第47項記載の軸合せ監視装置。 (50)  第1の軸合せ放射ビームを受け、第2の一
    軸位置検知光検出器に当たる向きの第1の垂直放射ビー
    ム及び第4の一軸位置検知光検出器に当たる向きの第1
    の水平放射ビームを発生する号1の手段と、第2の軸合
    せ放射ビームを受【ノ、第1の一軸位置検知光検出器に
    当たる向きの第2の垂直放射ビーム及び第3の一軸位置
    検知光検出器に当たる向きの第2の水平放射ビームを発
    生する第2の手段とを更に有することを特徴とする特許
    請求の範囲第49項記載の軸合せ監視装置。 (51)  駆動ユニット上の第1の支持体の位相方向
    付けを行なう第1の手段と、被動ユニット上の第2の支
    持体の位相方向付けを行なう第2の手段とを更に有する
    ことを特徴とする特許請求の範囲第46項記載の軸合ぜ
    監視装置。 〈52〉  第1の支持体の方向付けを行なう第1の手
    段は第1の水準器であり、第2の支持ゝ休の方向付けを
    行なうのは第2の水準器であることを特徴とする特許請
    求の範囲第51項記載の軸合せ監視装置。 (53)  第1の軸合せ放射ビームを出す第1の手段
    は第1のレーザであり、第2の軸合せ放射ビームを出す
    第2の手段は第2のレーザであることを特徴とする特許
    請求の範囲第46項記載の軸合ぜ監視装置。 (54)  駆動ユニットには第1の二軸放射検知手段
    及び第1の611合せ放射ビームを出す手段が取付1ノ
    られており1、被動ユニットには第2の二軸放射検知手
    段及び第2の軸合せ放射ビームを出す手段が取付()ら
    れており、読出手段は所定の軸合せ状態を有し、第2の
    二軸放射検知手段上の第1の軸合せ放射ビームの位置を
    検知して第1の軸合せ放射ビームの位置を表わす第1の
    信号を発生ずる段階と、第1の二Irgtltll射検
    知手段上の第2の軸合せ放射ビームの位置を検知して第
    2の軸合せ放射ビームの位置を表わす第2の信号を発生
    ずる段階と、第1の信号及び第2の信号を視覚的表示の
    ため読出手段へ送る段階と、第1及び第2の信号を所定
    の軸合せ状態に一致するよう較正することにより第1及
    び第2の信号が駆動ユニットの被動ユニットに対する軸
    合せにおける所定の軸合せ状態と比較した動1作による
    変化を監視する段階とよりなる、駆動軸と被動軸が軸継
    手で連結された駆動軸を有する駆動ユニットと被動軸を
    有する被動ユニットの軸合せの動作による変化を監視す
    る方法。
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