JPS5985689U - 載物台 - Google Patents

載物台

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Publication number
JPS5985689U
JPS5985689U JP18030582U JP18030582U JPS5985689U JP S5985689 U JPS5985689 U JP S5985689U JP 18030582 U JP18030582 U JP 18030582U JP 18030582 U JP18030582 U JP 18030582U JP S5985689 U JPS5985689 U JP S5985689U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
loading table
stage body
vacuum sensor
recorded
substrate
Prior art date
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Pending
Application number
JP18030582U
Other languages
English (en)
Inventor
町田　励治
雅彦 井上
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
NEC Corp
Original Assignee
NEC Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by NEC Corp filed Critical NEC Corp
Priority to JP18030582U priority Critical patent/JPS5985689U/ja
Publication of JPS5985689U publication Critical patent/JPS5985689U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の一実施例の載物台の真空センサ系統を
示すブロック図である。尚図において、１１・・・・・
・絶縁基板、１２・・・・・・載物台本体、１３・・・
・・・真空センサー用ノズル穴、１４・・・・・・フィ
ルタ、１５・・・・・・真空センサ、１６・・・・・・
真空源、１７・・・・・・レーザトリミング装置のシス
テムコントローラ。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 基板が載物台本体上に載置されているか否かを検出する
    ための真空センサ穴を前記載物台本体に設けたことを特
    徴とする載物台。
JP18030582U 1982-11-29 1982-11-29 載物台 Pending JPS5985689U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP18030582U JPS5985689U (ja) 1982-11-29 1982-11-29 載物台

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP18030582U JPS5985689U (ja) 1982-11-29 1982-11-29 載物台

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS5985689U true JPS5985689U (ja) 1984-06-09

Family

ID=30390980

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP18030582U Pending JPS5985689U (ja) 1982-11-29 1982-11-29 載物台

Country Status (1)

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JP (1) JPS5985689U (ja)

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